專利名稱：切割研磨廢水的超過濾過濾裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及過濾裝置技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及超過濾(UF)過濾裝置技術(shù)領(lǐng)域，具體是指一種切割研磨廢水的超過濾(UF)過濾裝置。
背景技術(shù)：
在電子制程相關(guān)產(chǎn)業(yè)，例如IC封裝產(chǎn)業(yè)的制程，包括晶圓切割(Wafer Saw)及晶圓研磨(Wafer Back Grinding)這些制程,均會使用超純水洗凈，因此也產(chǎn)生了大量的切割研磨廢水。在這些電子相關(guān)產(chǎn)業(yè)中，晶片切割研磨廢水因?yàn)楹袠O細(xì)微的粉末顆粒，在處理 上并不容易，同時廢水處理費(fèi)用也相當(dāng)驚人，回收率也不高。傳統(tǒng)以UF濾膜處理研磨廢水的方式，多采用橫流過濾(Cross Flow)法進(jìn)行過濾,但由于使用橫流過濾(Cross Flow)法的設(shè)備較為復(fù)雜、設(shè)置成本高、回收率低，且因?yàn)閺U水的進(jìn)水流動方向和UF濾膜平行，廢水中的懸浮顆粒和矽粉末不僅會造成UF系統(tǒng)阻塞，也會刮傷UF濾膜，導(dǎo)致UF濾膜的壽命縮短(使用壽命僅約一年)，不符合經(jīng)濟(jì)效益。因此，需要提供一種切割研磨廢水的超過濾(UF)過濾裝置，其在使用中不會刮傷UF濾膜，延長UF濾膜的使用壽命，并降低水處理成本。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是克服了上述現(xiàn)有技術(shù)中的缺點(diǎn)，提供一種切割研磨廢水的超過濾(UF)過濾裝置，該切割研磨廢水的超過濾(UF)過濾裝置設(shè)計(jì)巧妙，結(jié)構(gòu)簡潔，在使用中不會刮傷UF濾膜，延長UF濾膜的使用壽命，并降低水處理成本，適于大規(guī)模推廣應(yīng)用。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的切割研磨廢水的超過濾(UF)過濾裝置，其特點(diǎn)是，包括上進(jìn)水控制閥、UF濾膜全流過濾模組和產(chǎn)水控制閥，所述UF濾膜全流過濾模組由多支UF濾膜組成，所述UF濾膜全流過濾模組的上進(jìn)水端通過所述上進(jìn)水控制閥管路連接切割研磨廢水收集容器，所述UF濾膜全流過濾模組的出水端通過所述產(chǎn)水控制閥管路連接產(chǎn)水收集容器。較佳地，所述UF濾膜豎直放置。較佳地，所述的切割研磨廢水的超過濾(UF)過濾裝置還包括下進(jìn)水控制閥、排放口和排水控制閥，所述UF濾膜全流過濾模組的下進(jìn)水端還通過所述下進(jìn)水控制閥管路連接所述切割研磨廢水收集容器，所述UF濾膜全流過濾模組的上進(jìn)水端還通過所述排水控制閥管路連接所述排放口。更佳地，所述的切割研磨廢水的超過濾(UF)過濾裝置還包括供氣模組和供氣控制閥，所述UF濾膜全流過濾模組的下進(jìn)水端還通過所述供氣控制閥管路連接所述供氣模組。更進(jìn)一步地，所述供氣模組為壓縮干燥空氣(CDA)供氣模組或氮?dú)夤饽＝M。更佳地，所述的切割研磨廢水的超過濾(UF)過濾裝置還包括逆洗泵，所述UF濾膜全流過濾模組的出水端還通過所述逆洗泵管路連接所述產(chǎn)水收集容器。更佳地，所述的切割研磨廢水的超過濾(UF)過濾裝置還包括供藥模組、供藥控制閥和排藥控制閥，所述UF濾膜全流過濾模組的出水端還通過所述供藥控制閥管路連接所述供藥模組，所述UF濾膜全流過濾模組的下進(jìn)水端還通過所述排藥控制閥管路連接所述排放口。更進(jìn)一步地，所述供藥模組包括次氯酸鈉儲存容器、次氯酸鈉加壓機(jī)、鹽酸儲存容器、鹽酸加壓機(jī)、氫氧化鈉儲存容器和氫氧化鈉加壓機(jī)，所述供藥控制閥分別通過所述次氯酸鈉加壓機(jī)、所述鹽酸加壓機(jī)和所述氫氧化鈉加壓機(jī)管路連接所述次氯酸鈉儲存容器、所述鹽酸儲存容器和所述氫氧化鈉儲存容器。較佳地，所述的切割研磨廢水的超過濾(UF)過濾裝置還包括初濾模組，所述切割研磨廢水收集容器通過所述初濾模組管路連接所述上進(jìn)水控制閥，或者所述上進(jìn)水控制閥通過所述初濾模組管路連接所述UF濾膜全流過濾模組的上進(jìn)水端。本實(shí)用新型的有益效果具體在于I、本實(shí)用新型的切割研磨廢水的超過濾(UF)過濾裝置包括上進(jìn)水控制閥、UF濾膜全流過濾模組和產(chǎn)水控制閥，所述UF濾膜全流過濾模組由多支UF濾膜組成，所述UF濾膜全流過濾模組的上進(jìn)水端通過所述上進(jìn)水控制閥管路連接切割研磨廢水收集容器，所述UF濾膜全流過濾模組的出水端通過所述產(chǎn)水控制閥管路連接產(chǎn)水收集容器，從而以全流過濾(DeadEnd)方式產(chǎn)水，使設(shè)備簡單化，不僅初期投資成本得以降低，操作上亦比橫流過濾(CrossFlow)方式節(jié)省能源,設(shè)計(jì)巧妙,結(jié)構(gòu)簡潔，在使用中不會刮傷UF濾膜,延長UF濾膜的使用壽命，并降低水處理成本，適于大規(guī)模推廣應(yīng)用。2、本實(shí)用新型的切割研磨廢水的超過濾(UF)過濾裝置還包括下進(jìn)水控制閥、排放口和排水控制閥，所述UF濾膜全流過濾模組的下進(jìn)水端還通過所述下進(jìn)水控制閥管路連接所述切割研磨廢水收集容器，所述UF濾膜全流過濾模組的上進(jìn)水端還通過所述排水控制閥管路連接所述排放口，從而可以實(shí)現(xiàn)正洗，設(shè)計(jì)巧妙，結(jié)構(gòu)簡潔，在使用中不會刮傷UF濾膜，延長UF濾膜的使用壽命，并降低水處理成本，適于大規(guī)模推廣應(yīng)用。3、本實(shí)用新型的切割研磨廢水的超過濾(UF)過濾裝置還包括供氣模組和供氣控制閥，所述UF濾膜全流過濾模組的下進(jìn)水端還通過所述供氣控制閥管路連接所述供氣模組，從而可以實(shí)現(xiàn)氣洗，設(shè)計(jì)巧妙，結(jié)構(gòu)簡潔，在使用中不會刮傷UF濾膜，延長UF濾膜的使用壽命，并降低水處理成本，適于大規(guī)模推廣應(yīng)用。4、本實(shí)用新型的切割研磨廢水的超過濾(UF)過濾裝置還包括逆洗泵，所述UF濾膜全流過濾模組的出水端還通過所述逆洗泵管路連接所述產(chǎn)水收集容器，從而實(shí)現(xiàn)逆洗，設(shè)計(jì)巧妙，結(jié)構(gòu)簡潔，在使用中不會刮傷UF濾膜，延長UF濾膜的使用壽命，并降低水處理成本，適于大規(guī)模推廣應(yīng)用。5、本實(shí)用新型的切割研磨廢水的超過濾(UF)過濾裝置還包括供藥模組、供藥控制閥和排藥控制閥，所述UF濾膜全流過濾模組的出水端還通過所述供藥控制閥管路連接所述供藥模組，所述UF濾膜全流過濾模組的下進(jìn)水端還通過所述排藥控制閥管路連接所述排放口，從而實(shí)現(xiàn)藥洗，設(shè)計(jì)巧妙，結(jié)構(gòu)簡潔，在使用中不會刮傷UF濾膜，延長UF濾膜的使用壽命，并降低水處理成本，適于大規(guī)模推廣應(yīng)用。
圖I是本實(shí)用新型的一具體實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
為了能夠更清楚地理解本實(shí)用新型的技術(shù)內(nèi)容，特舉以下實(shí)施例詳細(xì)說明。請參見圖I所示，本實(shí)用新型的切割研磨廢水的超過濾 (UF)過濾裝置包括上進(jìn)水控制閥41a、UF濾膜全流過濾模組I和產(chǎn)水控制閥42，所述UF濾膜全流過濾模組I由多支UF濾膜組成，所述UF濾膜全流過濾模組I的上進(jìn)水端通過所述上進(jìn)水控制閥41a管路連接切割研磨廢水收集容器200，所述UF濾膜全流過濾模組I的出水端通過所述產(chǎn)水控制閥42管路連接產(chǎn)水收集容器300。所述UF濾膜可以任意設(shè)置，在本實(shí)用新型的具體實(shí)施例中，所述UF濾膜豎直放置。UF濾膜可以采用聚砜樹脂(P0LYSULF0NE)材質(zhì)的中空纖維膜，采用以壓力差提供驅(qū)動力的過濾方式，將水中微細(xì)顆粒攔截，以降低SDI，而且其UF濾膜選用內(nèi)壓過濾式，污堵物質(zhì)收集在絲膜內(nèi)測，死角較外壓膜少，因此易于控制污染范圍，使清洗更有效率。為了對UF濾膜實(shí)現(xiàn)清洗，請參見圖I所示，在本實(shí)用新型的具體實(shí)施例中，所述的切割研磨廢水的超過濾(UF)過濾裝置還包括下進(jìn)水控制閥41b、排放口 51和排水控制閥43，所述UF濾膜全流過濾模組I的下進(jìn)水端還通過所述下進(jìn)水控制閥41b管路連接所述切割研磨廢水收集容器200，所述UF濾膜全流過濾模組I的上出水端還通過所述排水控制閥43管路連接所述排放口 51。為了對UF濾膜實(shí)現(xiàn)氣洗，請參見圖I所示，在本實(shí)用新型的具體實(shí)施例中，所述的切割研磨廢水的超過濾(UF)過濾裝置還包括供氣模組2和供氣控制閥44，所述UF濾膜全流過濾模組I的下進(jìn)水端還通過所述供氣控制閥44管路連接所述供氣模組2。所述供氣模組2可以采用任何合適的供氣模組，更進(jìn)一步地，所述供氣模組2為壓縮干燥空氣(CDA)供氣模組或氮?dú)夤饽＝M。在本實(shí)用新型的具體實(shí)施例中，所述供氣模組2為壓縮干燥空氣(CDA)供氣模組。為了對UF濾膜實(shí)現(xiàn)逆洗，請參見圖I所示，在本實(shí)用新型的具體實(shí)施例中，所述的切割研磨廢水的超過濾(UF)過濾裝置還包括逆洗泵52，所述UF濾膜全流過濾模組I的出水端還通過所述逆洗泵52管路連接所述產(chǎn)水收集容器300。為了對UF濾膜實(shí)現(xiàn)藥洗，請參見圖I所示，在本實(shí)用新型的具體實(shí)施例中，所述的切割研磨廢水的超過濾(UF)過濾裝置還包括供藥模組3、供藥控制閥45和排藥控制閥46，所述UF濾膜全流過濾模組I的出水端還通過所述供藥控制閥45管路連接所述供藥模組3，所述UF濾膜全流過濾模組I的下進(jìn)水端還通過所述排藥控制閥46管路連接所述排放口51。所述供藥模組3可以采用任何合適的供藥模組，在本實(shí)用新型的具體實(shí)施例中，所述供藥模組3包括次氯酸鈉儲存容器、次氯酸鈉加壓機(jī)、鹽酸儲存容器、鹽酸加壓機(jī)、氫氧化鈉儲存容器和氫氧化鈉加壓機(jī)，所述供藥控制閥45分別通過所述次氯酸鈉加壓機(jī)、所述鹽酸加壓機(jī)和所述氫氧化鈉加壓機(jī)管路連接所述次氯酸鈉儲存容器、所述鹽酸儲存容器和所述氫氧化鈉儲存容器。顯然，所述供藥模組3可以只包括次氯酸鈉儲存容器和次氯酸鈉加壓機(jī)，或者只包括鹽酸儲存容器和鹽酸加壓機(jī)，只包括氫氧化鈉儲存容器和氫氧化鈉加壓機(jī)，或者包括其中兩個組合。為了提高過濾效果，較佳地，所述的切割研磨廢水的超過濾(UF)過濾裝置還包括初濾模組53，所述切割研磨廢水收集容器200通過所述初濾模組53管路連接所述上進(jìn)水控制閥41a，或者所述上進(jìn)水控制閥41a通過所述初濾模組53管路連接所述UF濾膜全流過濾模組I的上進(jìn)水端。從而對切割研磨廢水進(jìn)行初步過濾。請參見圖I所示，在本實(shí)用新型的具體實(shí)施例中，所述切割研磨廢水收集容器200通過所述初濾模組53分別管路連接所述上進(jìn)水控制閥41a和所述下進(jìn)水控制閥41b。本實(shí)用新型使用時，在同時開啟上進(jìn)水控制閥41a和產(chǎn)水控制閥42下，切割研磨廢水經(jīng)初濾模組53和UF濾膜全流過濾模組I，可以產(chǎn)生純度較高的凈水進(jìn)入產(chǎn)水收集容器300。進(jìn)行清洗時，打開下進(jìn)水控制閥41b和排水控制閥43后，可以進(jìn)行正洗程序，為了增大UF濾膜表面流速，提高清洗效果，即以雙倍產(chǎn)水水量由下而上清洗UF濾膜全流過濾模組I的膜管內(nèi)表面。當(dāng)開啟下進(jìn)水控制閥41b和排水控制閥43，并開啟供氣控制閥44時，可以進(jìn)行正洗和氣洗步驟，以壓縮干燥空氣(CDA)氣體進(jìn)入沖刷并松動膜管內(nèi)表面污垢。當(dāng)下進(jìn)水控制閥41b、排水控制閥43、供氣控制閥44都打開，而且啟動逆洗泵52后，可以進(jìn)行正洗、氣洗和逆洗程序，由膜管內(nèi)側(cè)產(chǎn)水道往膜管進(jìn)水側(cè)逆向沖洗，將經(jīng)過正洗和氣洗松動的膜管內(nèi)側(cè)污堵物沖除。實(shí)施時，也可采用由上而下清洗的正洗步驟。當(dāng)上進(jìn)水控制閥41a，排藥控制閥46打開，巧妙的，將排藥控制閥46轉(zhuǎn)化為由上而下正洗的排水控制閥，將UF濾膜下部積留污物快速沖洗排放入排放口 51。進(jìn)行藥洗時，則在正洗和逆洗過程中，啟動供藥控制閥45和排藥控制閥46，由膜管內(nèi)側(cè)產(chǎn)水道往膜管進(jìn)水側(cè)逆向?qū)⑺幰簺_除，及由進(jìn)水側(cè)往產(chǎn)水側(cè)以產(chǎn)水流量做最后沖洗。上述各操作模式，可以選擇觸控方式為手動或自動操作。自動產(chǎn)水流程可以設(shè)定，當(dāng)產(chǎn)水收集容器300低于預(yù)定水位時，且切割研磨廢水收集容器200處于預(yù)定液位以上時，UF系統(tǒng)開始產(chǎn)水程序。產(chǎn)水進(jìn)行至產(chǎn)水收集容器300高于預(yù)定水位或切割研磨廢水收集容器200低于預(yù)定液位時，停止產(chǎn)水。當(dāng)產(chǎn)水累積造水量達(dá)設(shè)定值，即進(jìn)入再生流程，再生流程完畢后再進(jìn)入產(chǎn)水，而若又達(dá)設(shè)定值即又進(jìn)行一次再生，如此周而復(fù)始進(jìn)行產(chǎn)水及再生動作。UF系統(tǒng)產(chǎn)水時，進(jìn)出口壓力差以低于0.8kg/cm2為較佳。水洗及藥洗時，進(jìn)出口壓力以低于2. Okg/cm2為較佳。本實(shí)用新型以全流過濾(Dead End)方式產(chǎn)水，使設(shè)備簡單化，不僅初期投資成本得以降低，操作上也比橫流過濾(Cross Flow)方式節(jié)省能源；在設(shè)定條件到達(dá)后進(jìn)入清洗模式。在標(biāo)準(zhǔn)設(shè)定下，UF濾膜上堆積濾餅還沒造成永久性壓差前，即可進(jìn)行清洗，從而確保UF濾膜污堵物去除效率維持在最高狀態(tài)。本實(shí)用新型的UF濾膜全流過濾模組1，設(shè)于切割研磨廢水收集容器200和產(chǎn)水收集容器300之間，其內(nèi)部設(shè)有用以控制進(jìn)水、排水、供氣、供藥的閥控制模組，從而將經(jīng)過切割制程或研磨制程產(chǎn)生的廢水，主要以全流過濾模式對UF濾膜過濾模組I進(jìn)行連續(xù)性過濾，過濾后轉(zhuǎn)成純度較高的凈水，得以循環(huán)再利用，并且提升UF濾膜的使用壽命，而且水處理的成本也能有效降低。綜上，本實(shí)用新型的切割研磨廢水的超過濾(UF)過濾裝置設(shè)計(jì)巧妙，結(jié)構(gòu)簡潔，在使用中不會刮傷UF濾膜，延長UF濾膜的使用壽命，并降低水處理成本，適于大規(guī)模推廣應(yīng)用。在此說明書中，本實(shí)用新型已參照其特定的實(shí)施例作了描述。但是，很顯然仍可以作出各種修改和變換而不背離本實(shí)用新型的精神和范圍。因此，說明書和附圖應(yīng)被認(rèn)為是說明性的而非限制性的。
權(quán)利要求1.一種切割研磨廢水的超過濾過濾裝置，其特征在于，包括上進(jìn)水控制閥、UF濾膜全流過濾模組和產(chǎn)水控制閥，所述UF濾膜全流過濾模組由多支UF濾膜組成，所述UF濾膜全流過濾模組的上進(jìn)水端通過所述上進(jìn)水控制閥管路連接切割研磨廢水收集容器，所述UF濾膜全流過濾模組的出水端通過所述產(chǎn)水控制閥管路連接產(chǎn)水收集容器。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的切割研磨廢水的超過濾過濾裝置，其特征在于，所述UF濾膜豎直放置。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的切割研磨廢水的超過濾過濾裝置，其特征在于，所述的切割研磨廢水的超過濾過濾裝置還包括下進(jìn)水控制閥、排放口和排水控制閥，所述UF濾膜全流過濾模組的下進(jìn)水端還通過所述下進(jìn)水控制閥管路連接所述切割研磨廢水收集容器，所述UF濾膜全流過濾模組的上進(jìn)水端還通過所述排水控制閥管路連接所述排放口。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的切割研磨廢水的超過濾過濾裝置，其特征在于，所述的切割研磨廢水的超過濾過濾裝置還包括供氣模組和供氣控制閥，所述UF濾膜全流過濾模組的下進(jìn)水端還通過所述供氣控制閥管路連接所述供氣模組。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的切割研磨廢水的超過濾過濾裝置，其特征在于，所述供氣模組為壓縮干燥空氣供氣模組或氮?dú)夤饽＝M。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的切割研磨廢水的超過濾過濾裝置，其特征在于，所述的切割研磨廢水的超過濾過濾裝置還包括逆洗泵，所述UF濾膜全流過濾模組的出水端還通過所述逆洗泵管路連接所述產(chǎn)水收集容器。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的切割研磨廢水的超過濾過濾裝置，其特征在于，所述的切割研磨廢水的超過濾過濾裝置還包括供藥模組、供藥控制閥和排藥控制閥，所述UF濾膜全流過濾模組的出水端還通過所述供藥控制閥管路連接所述供藥模組，所述UF濾膜全流過濾模組的下進(jìn)水端還通過所述排藥控制閥管路連接所述排放口。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的切割研磨廢水的超過濾過濾裝置，其特征在于，所述供藥模組包括次氯酸鈉儲存容器、次氯酸鈉加壓機(jī)、鹽酸儲存容器、鹽酸加壓機(jī)、氫氧化鈉儲存容器和氫氧化鈉加壓機(jī)，所述供藥控制閥分別通過所述次氯酸鈉加壓機(jī)、所述鹽酸加壓機(jī)和所述氫氧化鈉加壓機(jī)管路連接所述次氯酸鈉儲存容器、所述鹽酸儲存容器和所述氫氧化鈉儲存容器。
9.根據(jù)權(quán)利要求I所述的切割研磨廢水的超過濾過濾裝置，其特征在于，所述的切割研磨廢水的超過濾過濾裝置還包括初濾模組，所述切割研磨廢水收集容器通過所述初濾模組管路連接所述上進(jìn)水控制閥，或者所述上進(jìn)水控制閥通過所述初濾模組管路連接所述UF濾膜全流過濾模組的上進(jìn)水端。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種切割研磨廢水的超過濾(UF)過濾裝置，用于回收處理經(jīng)切割研磨后的廢水，使之經(jīng)過過濾后轉(zhuǎn)成純度較高的凈水而得以循環(huán)利用。該超過濾(UF)過濾裝置包括有一UF濾膜全流過濾模組、一連通至UF濾膜全流過濾模組的供氣模組、一連通至UF濾膜全流過濾模組的供藥模組、以及用以控制進(jìn)水、排水、供氣、供藥等的閥控制模組，并由此提供自動或手動控制的正洗、逆洗或藥洗流程。較佳地，UF濾膜豎直放置，還包括逆洗泵、初濾模組等。本實(shí)用新型的切割研磨廢水的超過濾(UF)過濾裝置設(shè)計(jì)巧妙，結(jié)構(gòu)簡潔，在使用中不會刮傷UF濾膜，除了能延長UF濾膜的使用壽命，并能降低水處理成本，適于大規(guī)模推廣應(yīng)用。
文檔編號B01D61/18GK202516481SQ201220177850
公開日2012年11月7日 申請日期2012年4月24日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月24日
發(fā)明者不公告發(fā)明人 申請人:上海漢華水處理工程有限公司