生產(chǎn)多晶硅產(chǎn)生的尾氣的淋洗處理設(shè)備和工藝的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種生產(chǎn)多晶硅產(chǎn)生的尾氣的淋洗處理設(shè)備和工藝。所述淋洗處理設(shè)備包括：用于淋洗尾氣的尾氣淋洗塔；水解池，所述水解池與所述尾氣淋洗塔相連，用于接納從所述尾氣淋洗塔排出的廢水；中和槽，所述中和槽與所述水解池相連；和刮渣機，所述刮渣機可移動地設(shè)置在所述水解池上方，用于將所述水解池內(nèi)的廢水表面漂浮的渣自動地刮到所述中和槽內(nèi)。由此可以有效自動地處理生產(chǎn)多晶硅過程中產(chǎn)生的尾氣經(jīng)過淋洗生成的漂浮在廢水表面的渣，改變了傳統(tǒng)工藝采用人工打撈的低效收集方式，改善了工人高強度勞動。
【專利說明】生產(chǎn)多晶硅產(chǎn)生的尾氣的淋洗處理設(shè)備和工藝
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及多晶硅生產(chǎn)【技術(shù)領(lǐng)域】，具體地涉及一種生產(chǎn)多晶硅產(chǎn)生的尾氣的淋洗處理設(shè)備和處理工藝。
【背景技術(shù)】
[0002]利用三氯硅烷還原生成多晶硅過程中產(chǎn)生的尾氣通常需要經(jīng)過水淋洗后達標排放。但是，淋洗后的廢水中漂浮大量的渣(SiO2，俗稱白炭黒)。渣的粒徑很小屬納米級，用水剛淋洗下來漂浮在水面。大量的渣在輸送過程中經(jīng)常堵塞水泵及管道。為此，目前采用人工打撈的方式收集廢水內(nèi)的渣。然而采用人工打撈，人工輸送，所需工人較多，工人勞動強度較大，勞動環(huán)境較差，所需空間大。
[0003]由此，生產(chǎn)多晶硅產(chǎn)生的尾氣的淋洗處理設(shè)備和處理工藝有待改進。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明旨在至少在一定程度上解決現(xiàn)有技術(shù)中的上述技術(shù)問題之一。為此，本發(fā)明的目的在于提出一種生產(chǎn)多晶硅產(chǎn)生的尾氣的淋洗處理設(shè)備和工藝。利用根據(jù)本發(fā)明實施例的設(shè)備依據(jù)本發(fā)明實施例的工藝，可以有效地處理多晶硅生產(chǎn)所產(chǎn)生的尾氣，提高了多晶硅尾氣處理的效率，節(jié)省了人工勞動強度，改善了勞動環(huán)境。
[0005]根據(jù)本發(fā)明第一方面的實施例提出了一種生產(chǎn)多晶硅產(chǎn)生的尾氣的淋洗處理設(shè)備，包括:用于淋洗尾氣的尾氣淋洗塔；水解池，所述水解池與所述尾氣淋洗塔相連，用于接納從所述尾氣淋洗塔排出的廢水；中和槽，所述中和槽與所述水解池相連；和刮渣機，所述刮渣機可移動地設(shè)置在所述水解池上方，用于將所述水解池內(nèi)的廢水表面漂浮的渣刮到所述中和槽內(nèi)。
[0006]根據(jù)本發(fā)明實施例的生產(chǎn)多晶硅產(chǎn)生的尾氣的淋洗處理設(shè)備，可以自動地處理生產(chǎn)多晶硅過程中產(chǎn)生的尾氣經(jīng)過淋洗生成的漂浮在廢水表面的渣，不僅可以有效地收集所產(chǎn)生的廢渣，提高了多晶硅尾氣處理的效率，并且徹底改變了傳統(tǒng)工藝采用人工打撈的低效收集方式，改善了工人高強度勞動。
[0007]優(yōu)選地，所述中和槽內(nèi)設(shè)有攪拌裝置。由此可以提高中和反應的效率和效果。
[0008]優(yōu)選地，所述攪拌裝置從所述中和槽的上方向下伸入所述中和槽。
[0009]優(yōu)選地，所述中和槽的下部設(shè)有出渣口，所述出渣口連接有渣泵。
[0010]經(jīng)過中和反應的廢渣沉降在中和槽的下部，通過在所述中和槽的下部設(shè)有出渣口，并利用所述出渣口連接的渣泵可以有效地轉(zhuǎn)移經(jīng)過中和的廢渣，從而有利于后續(xù)對廢渣的進一步處理。
[0011]優(yōu)選地，所述生產(chǎn)多晶硅產(chǎn)生的尾氣的淋洗處理設(shè)備進一步包括與所述渣泵相連的壓濾機。
[0012]由于經(jīng)過中和反應的廢渣是含有水分的，利用與渣泵相連的壓濾機可以將經(jīng)過中和處理的廢渣經(jīng)渣泵輸送至壓濾機進行脫水處理，從而有效地提高處理廢渣的效率。[0013]優(yōu)選地，所述中和槽和所述水解池一體形成。由此，經(jīng)過淋洗的生產(chǎn)多晶硅尾氣可以在水解池中進行充分水解后直接通過刮渣機將水面漂浮的納米級廢渣轉(zhuǎn)移到一體形成的中和槽中，避免了中間廢渣的存留和損失，可以盡可能多的將本設(shè)備系統(tǒng)中經(jīng)過水解產(chǎn)生的廢渣進行中和反應，進而提高了生產(chǎn)多晶硅尾氣的處理效率。
[0014]優(yōu)選地，所述中和槽上方設(shè)有用于將石灰自動添加到中和槽內(nèi)的中和劑添加裝置。
[0015]在中和槽中是利用中和劑石灰與經(jīng)過水解生成的廢渣進行的中和反應的，通過設(shè)置的中和劑添加裝置可以將中和劑石灰均勻有效地加入中和槽中內(nèi)，從而提高中和反應進行的效率。
[0016]根據(jù)本發(fā)明第二方面的實施例提供了 一種生產(chǎn)多晶娃產(chǎn)生的尾氣的淋洗處理工藝，包括以下步驟:對生產(chǎn)多晶硅產(chǎn)生的尾氣進行淋洗；將淋洗得到的廢水輸送到水解池；利用刮渣機將水解池內(nèi)的廢水表面漂浮的渣刮到中和槽內(nèi)；和向中和槽內(nèi)投放石灰中和刮至Ij中和槽內(nèi)的渣。
[0017]根據(jù)本發(fā)明實施例的生產(chǎn)多晶硅產(chǎn)生的尾氣的淋洗處理工藝，可以有效自動地處理生產(chǎn)多晶硅過程中產(chǎn)生的尾氣經(jīng)過淋洗生成的漂浮在廢水表面的渣，由此不僅可以有效地收集所產(chǎn)生的廢渣，提高了多晶硅尾氣處理的效率，并且徹底改變了傳統(tǒng)工藝采用人工打撈的低效收集方式，改善了工人高強度勞動。
[0018]優(yōu)選地，所述生產(chǎn)多晶硅產(chǎn)生的尾氣的淋洗處理工藝進一步包括將中和后的渣輸送到壓濾機脫水后進行廢固處理；和將水解池內(nèi)的廢水送至廢水處理廠進行處理。
[0019]由此，可有效地處理利用壓濾機進行脫水處理的廢渣，并且由于該廢渣經(jīng)過了中和處理，對其進行廢固處理可以達到環(huán)保要求；此外將水解池內(nèi)的廢水送至廢水處理廠進行處理可以達到有效循環(huán)利用的目的，節(jié)省了能源。
[0020]優(yōu)選地，在中和渣的過程中同時攪拌。由此提高中和效果。
[0021]本發(fā)明的附加方面和優(yōu)點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本發(fā)明的實踐了解到。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0022]本發(fā)明的上述和/或附加的方面和優(yōu)點從結(jié)合下面附圖對實施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中:
[0023]圖1是根據(jù)本發(fā)明實施例的生產(chǎn)多晶硅產(chǎn)生的尾氣的淋洗處理設(shè)備的示意圖。
[0024]圖2是根據(jù)本發(fā)明實施例的生產(chǎn)多晶硅產(chǎn)生的尾氣的淋洗處理工藝的流程示意圖。
[0025]附圖標記:100:尾氣淋洗塔；200:水解池；300:中和槽；400:刮渣機；500:攪拌裝置；600:出渣口 ；700:中和劑添加裝置。
【具體實施方式】
[0026]下面詳細描述本發(fā)明的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，旨在用于解釋本發(fā)明，而不能理解為對本發(fā)明的限制。[0027]在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語“中心”、“縱向”、“橫向”、“長度”、“寬度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”、“順時
針”、“逆時針”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本發(fā)明的限制。
[0028]在本發(fā)明中，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”、“固定”等術(shù)語應做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或成一體；可以是機械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內(nèi)部的連通或兩個元件的相互作用關(guān)系。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語在本發(fā)明中的具體含義。
[0029]在本發(fā)明中，除非另有明確的規(guī)定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接觸，也可以包括第一和第二特征不是直接接觸而是通過它們之間的另外的特征接觸。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或僅僅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或僅僅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0030]下面首先參考圖1描述根據(jù)本發(fā)明實施例的生產(chǎn)多晶硅產(chǎn)生的尾氣的淋洗處理設(shè)備。根據(jù)本發(fā)明實施例的生產(chǎn)多晶硅產(chǎn)生的尾氣的淋洗處理設(shè)備包括:尾氣淋洗塔100，水解池200，中和槽300和刮渣機400。
[0031]尾氣淋洗塔100用于淋洗生產(chǎn)多晶硅產(chǎn)生的尾氣，例如尾氣淋洗塔100的尾氣進口可以與反應爐(未示出)的尾氣出口相連。
[0032]水解池200與尾氣淋洗塔100相連，用于接納從尾氣淋洗塔100排出的廢水。這里，相連應作廣義理解，只要尾氣淋洗塔100排出的廢水能夠輸送到水解池200即可，例如尾氣淋洗塔100的廢水排出管可以直接插入到水解池200內(nèi)，或者尾氣淋洗塔100排出的廢水通過溝道流到水解池200內(nèi)。
[0033]中和槽300與水解池200相連。刮渣機400可移動地設(shè)置在水解池200上方，以將水解池200內(nèi)的廢水表面漂浮的渣刮到中和槽300內(nèi)。例如，在水解池200的頂部設(shè)置導軌，刮渣機400沿導軌可移動，刮渣機400的刮渣板伸入到水解池200內(nèi)，以將廢水表面漂浮的渣刮到中和槽300內(nèi)。優(yōu)選地，可以設(shè)置多個刮渣機400，多個刮渣機400可以平行地移動。
[0034]根據(jù)本發(fā)明實施例的生產(chǎn)多晶硅產(chǎn)生的尾氣的淋洗處理設(shè)備，可以有效自動處理生產(chǎn)多晶硅過程中產(chǎn)生的尾氣經(jīng)過淋洗生成的漂浮在廢水表面的渣，不僅可以有效地收集所產(chǎn)生的廢渣，提高了多晶硅尾氣處理的效率，并且徹底改變了傳統(tǒng)工藝采用人工打撈的低效收集方式，改善了工人高強度勞動。
[0035]根據(jù)本發(fā)明的實施例，中和槽300的位置并不受特別限制，只要可以接納刮渣機400從水解池200收集的渣即可。根據(jù)本發(fā)明的具體示例，中和槽300設(shè)置在水解池200的下游，并且中和槽300和水解池200 —體形成，例如通過隔墻將一個池子隔出中和槽300和水解池200。
[0036]由此，經(jīng)過淋洗的生產(chǎn)多晶硅尾氣可以在水解池中進行充分水解后直接由刮渣機將水面漂浮的納米級廢渣刮到中和槽中，避免了中間廢渣的存留和損失，提高了生產(chǎn)多晶娃尾氣的處理效率。
[0037]在本發(fā)明的一些具體示例中，中和槽300內(nèi)設(shè)有攪拌裝置500，攪拌裝置500從中和槽300的上方向下伸入中和槽300。通過攪拌裝置可以提高中和槽300內(nèi)部中和反應的效率和效果。
[0038]在本發(fā)明的另一個具體示例中，中和槽300的下部設(shè)有出渣口 600，出渣口 600連接有渣泵。經(jīng)過中和反應的廢渣沉降在中和槽300的下部，通過渣泵從出渣口 600排出廢渣，以對廢渣進行后續(xù)處理。
[0039]根據(jù)本發(fā)明的一些實施例中，優(yōu)選地，中和槽300上方設(shè)有用于將石灰自動添加到中和槽300內(nèi)的中和劑添加裝置700，中和劑添加裝置700可以自動地將石灰加入到中和槽300內(nèi)。根據(jù)本發(fā)明的實施例，可以進一步設(shè)置用于控制中和劑添加裝置700添加中和劑的流量的控制單元，以控制單位時間內(nèi)加入的中和劑量，從而控制中和反應進行的程度，從而不僅提高中和反應的效率并且保證中和反應的安全進行，避免產(chǎn)生局部劇烈反應而造成的安全危險。
[0040]根據(jù)本發(fā)明的實施例，中和槽300中排出的廢渣可以送至廢固處理廠進行符合環(huán)境排放標準的處理。優(yōu)選地，首先對通過渣泵從中和槽300的出渣口 600排出的廢渣進行脫水處理，以便出去廢渣中的水分。例如，可以利用與所述渣泵相連的壓濾機進行脫水處理。
[0041]下面參考圖2并結(jié)合圖1描述根據(jù)本發(fā)明實施例的生產(chǎn)多晶硅產(chǎn)生的尾氣的淋洗處理工藝。根據(jù)本發(fā)明實施例的生產(chǎn)多晶硅產(chǎn)生的尾氣的淋洗處理工藝包括以下步驟:對生產(chǎn)多晶硅產(chǎn)生的尾氣進行淋洗；將淋洗得到的廢水輸送到水解池；利用刮渣機將水解池內(nèi)的廢水表面漂浮的渣自動地刮到中和槽內(nèi)；和向中和槽內(nèi)投放石灰中以中和中和槽內(nèi)的渣。
[0042]根據(jù)本發(fā)明實施例的生產(chǎn)多晶硅產(chǎn)生的尾氣的淋洗處理工藝，可以有效自動地處理生產(chǎn)多晶硅過程中產(chǎn)生的尾氣經(jīng)過淋洗生成的漂浮在廢水表面的渣，由此不僅可以有效地收集所產(chǎn)生的廢渣，提高了多晶硅尾氣處理的效率，并且徹底改變了傳統(tǒng)工藝采用人工打撈的低效收集方式，改善了工人高強度勞動。
[0043]更具體地，生產(chǎn)多晶硅的尾氣首先在尾氣淋洗塔中被淋洗，淋洗產(chǎn)生的廢水由尾氣淋洗塔排出到水解池內(nèi)，廢水表面漂浮有大量的渣；廢水在水解池200中經(jīng)過充分時間的水解反應也會產(chǎn)生大量的渣而漂浮在水解池表面。
[0044]驅(qū)動刮渣機移動，從而將漂浮在廢水表面的渣刮到位于水解池下流的中和槽內(nèi)。利用刮渣機可以高效自動地收集漂浮在水解池表面的粒徑很小的屬納米級的渣，而且避免了設(shè)置輸送管道而易導致的水泵及管道的堵塞問題，也節(jié)省了傳統(tǒng)人工打撈收集方式的勞動力，進而提高了處理生產(chǎn)多晶硅尾氣的效率，節(jié)省了人力，并達到了保護環(huán)境的目的。
[0045]根據(jù)本發(fā)明的實施例，所述生產(chǎn)多晶硅產(chǎn)生的尾氣的淋洗處理工藝進一步包括將中和后的渣輸送到壓濾機脫水后進行廢固處理；和將水解池內(nèi)的廢水送至廢水處理廠進行處理。由此，可有效地處理利用壓濾機進行脫水處理的廢渣，并且由于該廢渣經(jīng)過了中和處理，對其進行廢固處理可以達到環(huán)保要求；此外將水解池內(nèi)的廢水送至廢水處理廠進行處理可以達到有效循環(huán)利用的目的，節(jié)省了能源。
[0046]在本發(fā)明的一些實施例中，在中和渣的過程中同時攪拌，以提高中和的效率和效果O
[0047]在本說明書的描述中，參考術(shù)語“一個實施例”、“一些實施例”、“示例”、“具體示例”、或“一些示例”等的描述意指結(jié)合該實施例或示例描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點包含于本發(fā)明的至少一個實施例或示例中。在本說明書中，對上述術(shù)語的示意性表述不必須針對的是相同的實施例或示例。而且，描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點可以在任何的一個或多個實施例或示例中以合適的方式結(jié)合。此外，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以將本說明書中描述的不同實施例或示例進行接合和組合。
[0048]盡管上面已經(jīng)示出和描述了本發(fā)明的實施例，可以理解的是，上述實施例是示例性的，不能理解為對本發(fā)明的限制，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在本發(fā)明的范圍內(nèi)可以對上述實施例進行變化、修改、替換和變型。
【權(quán)利要求】
1.一種生產(chǎn)多晶娃產(chǎn)生的尾氣的淋洗處理設(shè)備，其特征在于，包括: 用于淋洗尾氣的尾氣淋洗塔； 水解池，所述水解池與所述尾氣淋洗塔相連，用于接納從所述尾氣淋洗塔排出的廢水； 中和槽，所述中和槽與所述水解池相連；和 刮渣機，所述刮渣機可移動地設(shè)置在所述水解池上方，用于將所述水解池內(nèi)的廢水表面漂浮的渣自動地刮到所述中和槽內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的生產(chǎn)多晶硅產(chǎn)生的尾氣的淋洗處理設(shè)備，其特征在于，所述中和槽內(nèi)設(shè)有攪拌裝置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的生產(chǎn)多晶硅產(chǎn)生的尾氣的淋洗處理設(shè)備，其特征在于，所述攪拌裝置從所述中和槽的上方向下伸入所述中和槽。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項所述的生產(chǎn)多晶硅產(chǎn)生的尾氣的淋洗處理設(shè)備，其特征在于，所述中和槽的下部設(shè)有出渣口，所述出渣口連接有渣泵。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的生產(chǎn)多晶硅產(chǎn)生的尾氣的淋洗處理設(shè)備，其特征在于，還包括與所述渣泵相連的壓濾機。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5中任一項所述的生產(chǎn)多晶硅產(chǎn)生的尾氣的淋洗處理設(shè)備，其特征在于，所述中和槽和所述水解池一體形成。
7.根據(jù)權(quán)利要求6中所述的生產(chǎn)多晶硅產(chǎn)生的尾氣的淋洗處理設(shè)備，其特征在于，所述中和槽上方設(shè)有用于將石灰自動添加到中和槽內(nèi)的中和劑添加裝置。
8.一種生產(chǎn)多晶硅產(chǎn)生的尾氣的淋洗處理工藝，其特征在于，包括以下步驟: 對生產(chǎn)多晶硅產(chǎn)生的尾氣進行淋洗； 將淋洗得到的廢水輸送到水解池； 利用刮渣機將水解池內(nèi)的廢水表面漂浮的渣自動地刮到中和槽內(nèi)；和 向中和槽內(nèi)投放石灰以中和中和槽內(nèi)的渣。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的生產(chǎn)多晶硅產(chǎn)生的尾氣的淋洗處理工藝，其特征在于，還包括: 將中和后的渣輸送到壓濾機脫水后進行廢固處理；和 將水解池內(nèi)的廢水送至廢水處理廠進行處理。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的生產(chǎn)多晶硅產(chǎn)生的尾氣的淋洗處理設(shè)備，其特征在于，在中和渣的過程中同時攪拌。
【文檔編號】B01D53/14GK103432871SQ201310404409
【公開日】2013年12月11日 申請日期:2013年9月6日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月6日
【發(fā)明者】陳希勇, 葉紹成, 張志剛, 楊永亮, 嚴大洲 申請人:中國恩菲工程技術(shù)有限公司