專利名稱：適用于動態(tài)氣體發(fā)生器的超低濃度管路系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種超低濃度管路系統(tǒng)，尤其是涉及適用于動態(tài)氣體發(fā)生器的超低濃度管路系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
傳統(tǒng)的氣體發(fā)生器只能用單一標(biāo)準(zhǔn)滲透管的獲得單一的標(biāo)準(zhǔn)氣體，并且很難需要獲得小流量的動態(tài)氣體。

實用新型內(nèi)容本實用新型主要是解決現(xiàn)有技術(shù)所存在的技術(shù)問題；提供了一種能夠配比出超低濃度小于50ppb的流量氣；舍棄了傳統(tǒng)的單一容器混合器進(jìn)行混合，能夠是配比氣體更均勻的適用于動態(tài)氣體發(fā)生器的超低濃度管路系統(tǒng)及其配氣方法。本實用新型的上述技術(shù)問題主要是通過下述技術(shù)方案得以解決的:—種適用于動態(tài)氣體發(fā)生器的超低濃度管路系統(tǒng)，其特征在于，包括與第一質(zhì)量流量計輸出口連接的超低濃度配氣管和與第二質(zhì)量流量計輸出口連接高濃度配氣管，所述超低濃度配氣管和高濃度配氣管同時接一氣體混合組件后接氣體配比輸出管，所述第一質(zhì)量流量計輸入口連接零氣輸入管，所述零氣輸入管接零氣發(fā)生器，所述第二質(zhì)量流量計輸A 口連接標(biāo)氣輸入管，所述標(biāo)氣輸入管接鋼瓶氣。在上述的一種適用于動態(tài)氣體發(fā)生器的超低濃度管路系統(tǒng)，所述超低濃度配氣管的輸入氣體濃度為小于100mL/min ;所述高濃度配氣管的輸入氣體濃度為大于等于10 mL/min0在上述的一種適用于動態(tài)氣體發(fā)生器的超低濃度管路系統(tǒng)，所述的氣體混合組件包括一螺旋狀配氣管，所述螺旋狀配氣管采用聚四氟乙烯管。在上述的一種適用于動態(tài)氣體發(fā)生器的超低濃度管路系統(tǒng)，所述超低濃度配氣管的輸入氣體濃度為5 mL/min -10 mL/min,所述所述高濃度配氣管的輸入氣體濃度為大于等于 10L/min。在上述的一種適用于動態(tài)氣體發(fā)生器的超低濃度管路系統(tǒng)，所述螺旋狀配氣管的盤旋層數(shù)為大于等于10層。在上述的一種適用于動態(tài)氣體發(fā)生器的超低濃度管路系統(tǒng)，所述超低濃度配氣管和高濃度配氣管采用不銹鋼，內(nèi)壁均經(jīng)過過氧化處理。一種適用于配氣機(jī)的超低濃度管路系統(tǒng)的配氣方法，其特征在于，包括以下步驟:步驟1，將第一質(zhì)量流量計和第二質(zhì)量流量計分別通入5 mL/min -10 mL/min和10L/min的氣體,定義Q1為5mL/min_10 mL/min !Q1為10L/min ;定義Cb為鋼瓶氣濃度；步驟2，第一質(zhì)量流量計和第二質(zhì)量流量計的氣體分別經(jīng)過超低濃度配氣管和高濃度配氣管后進(jìn)入螺旋狀配氣 管后經(jīng)過若干次螺旋回轉(zhuǎn)后在螺旋狀配氣管內(nèi)均勻混合，最終的配氣稀釋濃度為
權(quán)利要求1.一種適用于動態(tài)氣體發(fā)生器的超低濃度管路系統(tǒng)，其特征在于，包括與第一質(zhì)量流量計(I)輸出口連接的超低濃度配氣管(2)和與第二質(zhì)量流量計(3)輸出口連接高濃度配氣管(4)，所述超低濃度配氣管(2)和高濃度配氣管(4)同時接一氣體混合組件后接氣體配比輸出管，所述第一質(zhì)量流量計(I)輸入口連接零氣輸入管(10)，所述零氣輸入管(10)接零氣發(fā)生器(7 )，所述第二質(zhì)量流量計(3 )輸入口連接標(biāo)氣輸入管(8 )，所述標(biāo)氣輸入管(8 )接鋼瓶氣(9)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于動態(tài)氣體發(fā)生器的超低濃度管路系統(tǒng)，其特征在于，所述超低濃度配氣管(2)的輸入氣體濃度為小于100mL/min ;所述高濃度配氣管(4)的輸入氣體濃度為大于等于10L/min。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于動態(tài)氣體發(fā)生器的超低濃度管路系統(tǒng)，其特征在于，所述的氣體混合組件包括一螺旋狀配氣管(6)，所述螺旋狀配氣管(6)采用聚四氟乙烯管。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于動態(tài)氣體發(fā)生器的超低濃度管路系統(tǒng)，其特征在于，所述超低濃度配氣管(2)的輸入氣體濃度為5mL/min-10mL/min，所述所述高濃度配氣管(4)的輸入氣體濃度為大于等于10L/min。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于動態(tài)氣體發(fā)生器的超低濃度管路系統(tǒng)，其特征在于，所述螺旋狀配氣管(6)的盤旋層數(shù)為大于等于10層。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于動態(tài)氣體發(fā)生器的超低濃度管路系統(tǒng)，其特征在于，所述超低濃度配氣管(2)和高濃度配氣管(4)采用不銹鋼，內(nèi)壁均經(jīng)過過氧化處理。
專利摘要本實用新型涉及適用于動態(tài)氣體發(fā)生器的超低濃度管路系統(tǒng)。包括與第一質(zhì)量流量計輸出口連接的超低濃度配氣管和與第二質(zhì)量流量計輸出口連接高濃度配氣管，所述超低濃度配氣管和高濃度配氣管同時接一氣體混合組件后接氣體配比輸出管，所述第一質(zhì)量流量計輸入口連接零氣輸入管，所述零氣輸入管接零氣發(fā)生器，所述第二質(zhì)量流量計輸入口連接標(biāo)氣輸入管，所述標(biāo)氣輸入管接鋼瓶氣。因此，本實用新型具有如下優(yōu)點(diǎn)1.能夠配比出超低濃度小于50ppb的流量氣；2. 混合管采用螺旋狀的配比管進(jìn)行配比混合，舍棄了傳統(tǒng)的單一容器混合器進(jìn)行混合，能夠是配比氣體更均勻。
文檔編號B01F15/04GK203002315SQ20132000761
公開日2013年6月19日 申請日期2013年1月8日 優(yōu)先權(quán)日2013年1月8日
發(fā)明者李虹杰, 李愷驊 申請人:武漢宇虹環(huán)保產(chǎn)業(yè)發(fā)展有限公司