專利名稱：高純度三氯氧磷鼓泡桶的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種三氯氧磷存儲裝置，具體地，涉及一種高純度三氯氧磷鼓泡桶。
背景技術(shù)：
高純度三氯氧磷(99.9999-99.99999% )是集成電路、太陽能電池、電子原件生產(chǎn)過程中的擴(kuò)散、摻雜工藝中的主要原料，被廣泛應(yīng)用于光伏、IC產(chǎn)業(yè)。在太陽能制造過程中，目前主要采用液態(tài)源進(jìn)行擴(kuò)散，高純氮氣通入源液中，攜帶三氯氧磷蒸汽至擴(kuò)散爐中，在硅片表面形成PN結(jié)。如圖1所示，其為現(xiàn)有常用的高純度三氯氧磷源瓶的結(jié)構(gòu)示意圖，高純氮氣由進(jìn)氣管2通入源液4中，攜帶三氯氧磷蒸汽由出氣管3排出至擴(kuò)散爐中。然而，由于瓶體I為平底結(jié)構(gòu)，在擴(kuò)散工藝中會造成一部分源浪費，當(dāng)源瓶中液面較低，通常低于2cm時，高純氮氣攜帶源蒸汽較少，將不再滿足生產(chǎn)需要，此部分源被浪費掉，不僅浪費了原料，還對環(huán)境產(chǎn)生污染。

實用新型內(nèi)容針對現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷，本實用新型的目的是提供一種高純度三氯氧磷鼓泡桶，本實用新型能夠充分利用三氯氧磷原料，有效避免環(huán)境污染。根據(jù)本實用新型的一個方面，提供一種高純度三氯氧磷鼓泡桶，包括:密閉瓶體和設(shè)置于瓶體上的進(jìn)氣管和出氣管，瓶體底部中心位置向下凹陷形成一積源槽，進(jìn)氣管設(shè)置在瓶體中心處且向瓶體內(nèi)部延伸至積源槽的底面。優(yōu)選地，積源槽上部略成漏斗狀。優(yōu)選地，積源槽直徑略大于進(jìn)氣管直徑。優(yōu)選地，積源槽的直徑大于等于4.0cm優(yōu)選地，積源槽槽深為2.0 2.5cm。優(yōu)選地，積源槽周圍的瓶體部分為實體耐高溫玻璃。本實用新型使用時，當(dāng)瓶體內(nèi)剩余源較少時，剩余的源被集中到積源槽中，源液面的高度使得氮氣充分與源液體接觸產(chǎn)生源蒸汽，滿足生產(chǎn)需要，從而提高源的利用率，同時降低生產(chǎn)成本，減輕對于環(huán)境的污染。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型具有如下的有益效果:1、本實用新型通過設(shè)計積源槽對剩余源進(jìn)行收集，最大程度的利用源瓶中三氯氧磷原料，大大提高了三氯氧磷源的利用率，減少了源的浪費率，降低生產(chǎn)成本，且有效減輕了環(huán)境污染，利于環(huán)保。2、本實用新型的瓶體結(jié)構(gòu)為圓柱形，與目前最常用的源瓶形狀一致，不需要對現(xiàn)有恒溫槽體做改變即可直接用于生產(chǎn)，可有效節(jié)約設(shè)備升級成本，適用范圍廣泛。3、瓶體底 部積源槽周圍部分為實體玻璃，整體穩(wěn)定性好。
通過閱讀參照以下附圖對非限制性實施例所作的詳細(xì)描述，本實用新型的其它特征、目的和優(yōu)點將會變得更明顯:圖1為現(xiàn)有高純度三氯氧磷源瓶的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實用新型高純度三氯氧磷鼓泡桶的結(jié)構(gòu)示意圖；圖中:1為瓶體,2為進(jìn)氣管,3為出氣管,4為源液,5為積源槽。
具體實施方式
下面結(jié)合具體實施例對本實用新型進(jìn)行詳細(xì)說明。以下實施例將有助于本領(lǐng)域的技術(shù)人員進(jìn)一步理解本實用新型，但不以任何形式限制本實用新型。應(yīng)當(dāng)指出的是，對本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本 實用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)。這些都屬于本實用新型的保護(hù)范圍。三氯氧磷是一種用于太陽能電池片生產(chǎn)過程的擴(kuò)散、摻雜工藝中的重要原料，高純氮氣通入裝有三氯氧磷的瓶子，將攜帶三氯氧磷至擴(kuò)散石英爐中，經(jīng)過高溫下一系列反應(yīng)后，磷原子擴(kuò)散到硅片中，完成擴(kuò)散。鼓泡桶是用來裝三氯氧磷的瓶子，高純氮氣通入裝有三氯氧磷的瓶子后，形成氣泡，所以被稱為鼓泡桶；請參閱圖2，一種高純度三氯氧磷鼓泡桶，包括:密閉瓶體I和設(shè)置于瓶體I上的進(jìn)氣管2和出氣管3,瓶體I底部中心位置向下凹陷形成一積源槽5,進(jìn)氣管2向瓶體I內(nèi)部延伸至積源槽5的底面。具體地,積源槽槽深為2.0 2.5cm,本實施例中槽深為2cm，槽直徑約為4.0cm,積源槽5上部略成漏斗狀，可以最大限度的收集源。積源槽5的直徑略大于進(jìn)氣管2的直徑,具體地,槽直徑大于等于4.0cm,本實施例中槽直徑為4.0cm0進(jìn)氣管2位于瓶體I的中心位置，其延伸至積源槽5底部附近，從進(jìn)氣管2通入的高純氮氣可以充分與源接觸。瓶體I底部積源槽5的周圍部分與瓶體I瓶壁為一體，均為耐高溫玻璃，保證源瓶在搬運過程中的穩(wěn)定性。本實用新型使用時，當(dāng)瓶體I中剩余三氯氧磷源量較少時，源就會匯集于積源槽5中，增大了源液面高度，從進(jìn)氣管2通入的氣體可以充分的與源液體接觸，從而增大高純氮氣攜帶源量，最大限度的利用了三氯氧磷。對于一瓶500ml的源，現(xiàn)有技術(shù)源瓶源液面高度約為8cm，當(dāng)不能滿足擴(kuò)散生產(chǎn)時的液面高度為2cm，即使用現(xiàn)有技術(shù)的源瓶用于擴(kuò)散工藝，源的浪費率約為25% (100ml)。而使用本實用新型源瓶用于擴(kuò)散工藝中，源液面低于2cm時僅為圖2凹形槽的容積。本實用新型源瓶的凹形槽的深度為2.0cm,槽直徑為4.0cm,即使用本實用新型源瓶后，源的浪費量僅約為5% (25ml)，浪費率僅為現(xiàn)有技術(shù)的平底源瓶的1/5，大大提高了三氯氧磷的有效利用率，降低了成本。以上對本實用新型的具體實施例進(jìn)行了描述。需要理解的是，本實用新型并不局限于上述特定實施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在權(quán)利要求的范圍內(nèi)做出各種變形或修改，這并不影響本實用新型的實質(zhì)內(nèi)容。
權(quán)利要求1.一種高純度三氯氧磷鼓泡桶，包括:密閉瓶體和設(shè)置于瓶體上的進(jìn)氣管和出氣管，其特征在于，所述瓶體底部中心位置向下凹陷形成一積源槽，所述進(jìn)氣管設(shè)置在所述瓶體中心處且向瓶體內(nèi)部延伸至所述積源槽的底面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純度三氯氧磷鼓泡桶，其特征在于，所述積源槽上部略成漏斗狀。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純度三氯氧磷鼓泡桶，其特征在于，所述積源槽直徑略大于所述進(jìn)氣管直徑。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的高純度三氯氧磷鼓泡桶，其特征在于，所述積源槽的直徑大于等于4.0cm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純度三氯氧磷鼓泡桶，其特征在于，所述積源槽槽深為2.0 2.5cm0
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純度三氯氧磷鼓泡桶，其特征在于，所述積源槽周圍的瓶體部分 為實體耐高溫玻璃。
專利摘要本實用新型提供一種高純度三氯氧磷鼓泡桶，包括密閉瓶體和設(shè)置于瓶體上的進(jìn)氣管和出氣管，瓶體底部中心位置向下凹陷形成一積源槽，進(jìn)氣管設(shè)置在瓶體中心處且向瓶體內(nèi)部延伸至積源槽的底面。本實用新型具有提高三氯氧磷源利用率，降低生產(chǎn)成本、減少環(huán)境污染且適用范圍廣泛、穩(wěn)定性好的優(yōu)點。
文檔編號B01F13/02GK203079692SQ20132008856
公開日2013年7月24日 申請日期2013年2月27日 優(yōu)先權(quán)日2013年2月27日
發(fā)明者戴熙明, 張坤 申請人:上海艾力克新能源有限公司