一種鹵素?zé)粲没旌蠚獾呐錃庋b置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及機(jī)械【技術(shù)領(lǐng)域】，具體地說是一種鹵素?zé)粲没旌蠚獾呐錃庋b置。壓縮空氣輸入端依次與空氣過濾調(diào)壓二聯(lián)件、不銹鋼球閥一、氣體增壓泵驅(qū)動(dòng)氣缸和高壓隔膜閥一連接。高壓隔膜閥一分五路分別與五個(gè)高壓隔膜閥連接。氣體增壓泵高壓氣缸依次與過濾器、高壓隔膜閥七連接。高壓隔膜閥七分五路分別與五個(gè)高壓隔膜閥連接。本實(shí)用新型同現(xiàn)有技術(shù)相比，設(shè)計(jì)了專用于鹵素?zé)粲没旌蠚獾呐錃庋b置，在原料氮?dú)馄?、氪氣瓶、氙氣瓶增設(shè)高壓純化器，脫除氣體中的微量氧和水分，使混合氣中的含氧量、含水量均小于1PPm；增設(shè)了氣體增壓系統(tǒng)，使稀有氣體氪氣和氙氣全部回收，提高了氣體回收率。
【專利說明】—種南素?zé)粲没旌蠚獾呐錃庋b置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及機(jī)械【技術(shù)領(lǐng)域】，具體地說是一種鹵素?zé)粲没旌蠚獾呐錃庋b置。
【背景技術(shù)】
[0002]鹵素?zé)粲没旌蠚獾呐渲茫话阌袃煞N，一種是按研發(fā)比例配置，每種電光源其功能不同，配比值也不同；另一種是根據(jù)用戶的配比需求配置出鹵素?zé)粲没旌蠚?。鹵素?zé)粲没旌蠚馀錃庋b置是確保配置氣體符合產(chǎn)品要求的必備設(shè)備。它要求配氣無任何泄漏，混合氣體的含氧量和含水量均小于IPPm。另外有的鹵素?zé)羰褂秒瘹鉃槠胶鈿猓@種稀有氣體價(jià)格極其昂貴，在確保質(zhì)量的前提下，提高氙氣回收率也是十分重要的事。
[0003]因此，需要設(shè)計(jì)一種含氧量、含水量小于IPPm且回收率高的鹵素?zé)粲没旌蠚獾呐錃庋b置。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實(shí)用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供了一種含氧量、含水量小于IPPm且回收率高的鹵素?zé)粲没旌蠚獾呐錃庋b置。
[0005]為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型設(shè)計(jì)了一種鹵素?zé)粲没旌蠚獾呐錃庋b置，其特征在于:壓縮空氣輸入端與空氣過濾調(diào)壓二聯(lián)件的輸入端連接，空氣過濾調(diào)壓二聯(lián)件的輸出端與不銹鋼球閥一的一端連接，不銹鋼球閥一的另一端與氣體增壓泵驅(qū)動(dòng)氣缸的輸入端連接，氣體增壓泵高壓氣缸的輸出端與高壓隔膜閥一的一端連接，高壓隔膜閥一的另一端分五路分別與高壓隔膜閥二的一端、高壓隔膜閥三的一端、高壓隔膜閥四的一端、高壓隔膜閥五的一端以及高壓隔膜閥六的一端連接，高壓隔膜閥二的另一端與真空泵連接，高壓隔膜閥三的另一端與安全閥連接，高壓隔膜閥五的另一端為氣體充裝口 ；氣體增壓泵高壓氣缸的輸入端與過濾器的一端連接，過濾器的另一端與高壓隔膜閥七的一端連接，高壓隔膜閥七的另一端分五路分別與高壓隔膜閥六的另一端、高壓隔膜閥八的一端、高壓隔膜閥九的一端、高壓隔膜閥十的一端以及高壓隔膜閥十一的一端連接，高壓隔膜閥八的另一端與溴甲烷氣瓶連接，高壓隔膜閥九的另一端與高壓純化器一的一端連接，高壓純化器一的另一端與不銹鋼球閥二的一端連接，不銹鋼球閥二的另一端與氮?dú)馄窟B接，高壓隔膜閥十的另一端與高壓純化器二的一端連接，高壓純化器二的另一端與不銹鋼球閥三的一端連接，不銹鋼球閥三的另一端與氪氣瓶連接，高壓隔膜閥十一的另一端與高壓純化器三的一端連接，高壓純化器三的另一端與不銹鋼球閥四的一端連接，不銹鋼球閥四的另一端與氙氣瓶連接。
[0006]所述的高壓隔膜閥一與所述的高壓隔膜閥四之間的管路上設(shè)有壓力表一。
[0007]所述的高壓隔膜閥三與所述的安全閥之間的管路上設(shè)有壓力表二。
[0008]所述的高壓隔膜閥七與所述的高壓隔膜閥八之間的管路上設(shè)有壓力表三。
[0009]所述的氣體充裝口與待充氣瓶連接，氣體充裝口的下方設(shè)有電子秤。
[0010]本實(shí)用新型同現(xiàn)有技術(shù)相比，設(shè)計(jì)了專用于鹵素?zé)粲没旌蠚獾呐錃庋b置，在原料氮?dú)馄俊㈦礆馄?、氙氣瓶增設(shè)高壓純化器，脫除氣體中的微量氧和水分，使混合氣中的含氧量、含水量均小于IPPm;增設(shè)了氣體增壓系統(tǒng)，使稀有氣體氪氣和氙氣全部回收，提高了氣體回收率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0012]參見圖1，I為空氣過濾調(diào)壓二聯(lián)件；2為不銹鋼球閥一 ；3為氣體增壓泵；4為高壓隔膜閥一 ；5為高壓隔膜閥二 ；6為高壓隔膜閥三；7為高壓隔膜閥四；8為高壓隔膜閥五；9為高壓隔膜閥六；10為真空泵；11為安全閥；12為過濾器；13為高壓隔膜閥七；14為高壓隔膜閥八；15為高壓隔膜閥九；16為高壓隔膜閥十；17為高壓隔膜閥十一 ；18為高壓純化器一 ；19為不銹鋼球閥二 ；20為高壓純化器二 ；21為不銹鋼球閥三；22為高壓純化器三；23為不銹鋼球閥四；24為壓力表一 ；25為壓力表二 ；26為壓力表三。
【具體實(shí)施方式】
[0013]現(xiàn)結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步描述。
[0014]參見圖1，本實(shí)用新型是一種鹵素?zé)粲没旌蠚獾呐錃庋b置。壓縮空氣輸入端與空氣過濾調(diào)壓二聯(lián)件I的輸入端連接，空氣過濾調(diào)壓二聯(lián)件I的輸出端與不銹鋼球閥一 2的一端連接，不銹鋼球閥一 2的另一端與氣體增壓泵3驅(qū)動(dòng)氣缸的輸入端連接，氣體增壓泵3高壓氣缸的輸出端與高壓隔膜閥一 4的一端連接，高壓隔膜閥一 4的另一端分五路分別與高壓隔膜閥二 5的一端、高壓隔膜閥三6的一端、高壓隔膜閥四7的一端、高壓隔膜閥五8的一端以及高壓隔膜閥六9的一端連接，高壓隔膜閥二 5的另一端與真空泵10連接，高壓隔膜閥三6的另一端與安全閥11連接，高壓隔膜閥五8的另一端為氣體充裝口 ；氣體增壓泵3高壓氣缸的輸入端與過濾器12的一端連接，過濾器12的另一端與高壓隔膜閥七13的一端連接，高壓隔膜閥七13的另一端分五路分別與高壓隔膜閥六9的另一端、高壓隔膜閥八14的一端、高壓隔膜閥九15的一端、高壓隔膜閥十16的一端以及高壓隔膜閥十一 17的一端連接，高壓隔膜閥八14的另一端與溴甲烷氣瓶連接，高壓隔膜閥九15的另一端與高壓純化器一 18的一端連接，高壓純化器一 18的另一端與不銹鋼球閥二 19的一端連接，不銹鋼球閥二 19的另一端與氮?dú)馄窟B接，高壓隔膜閥十16的另一端與高壓純化器二 20的一端連接，高壓純化器二 20的另一端與不銹鋼球閥三21的一端連接，不銹鋼球閥三21的另一端與氪氣瓶連接，高壓隔膜閥十一 17的另一端與高壓純化器三22的一端連接，高壓純化器三22的另一端與不銹鋼球閥四23的一端連接，不銹鋼球閥四23的另一端與氙氣瓶連接。
[0015]本實(shí)用新型采用重量法配置混合氣。
[0016]本實(shí)用新型中，為了便于管路壓力值的檢測(cè)，高壓隔膜閥一 4與高壓隔膜閥四7之間的管路上設(shè)有壓力表一 24，壓力表一 24為1.6級(jí)，工作壓力lOMpa。高壓隔膜閥三6與安全閥11之間的管路上設(shè)有壓力表二 25，壓力表二 25為1.6級(jí)，工作壓力0.1-0.3Mpa。高壓隔膜閥七13與高壓隔膜閥八14之間的管路上設(shè)有壓力表三26，壓力表三26為1.6級(jí)，工作壓力16Mpa。
[0017]高壓純化器一 18、高壓純化器二 20、高壓純化器三22內(nèi)置高效脫氧劑，用于脫去原料氣中的微量水和微量氧，微量氧和微量水將嚴(yán)重危及燈泡的壽命。有效地控制混合氣中的氧分和水分是關(guān)鍵技術(shù)之一。
[0018]安全閥11設(shè)定值為0.2mPa。氣體充裝口與待充氣瓶連接，氣體充裝口的下方設(shè)有電子秤。
[0019]本實(shí)用新型的氣體增壓系統(tǒng)由空氣過濾調(diào)壓二聯(lián)件1、不銹鋼球閥一 2、氣體增壓泵3、高壓隔膜閥一 4、過濾器12和高壓隔膜閥七13組成，壓縮空氣經(jīng)空氣過濾調(diào)壓二聯(lián)件I過濾調(diào)壓后，通過不銹鋼球閥一 2進(jìn)入氣體增壓泵3的驅(qū)動(dòng)氣缸，氣體增壓泵3的高壓氣缸經(jīng)由高壓隔膜閥七13、過濾器12吸入原料氣，經(jīng)高壓隔膜閥一 4排出。其中，氣體增壓泵3的壓力比為1:2，最大壓縮比為1:10，最小氣體入口壓力為Obar，最大氣體入口壓力為20bar，最大允許出口壓力為20bar。該氣體增壓系統(tǒng)可將稀有氣體氪氣和氙氣全部回收，當(dāng)氣瓶內(nèi)的壓力低于20bar時(shí)，通過增壓達(dá)到20bar，將氣瓶內(nèi)的剩余氣體全部抽空。
[0020]本實(shí)用新型的真空置換系統(tǒng)由高壓隔膜閥二 5、高壓隔膜閥三6、高壓隔膜閥四7、高壓隔膜閥五8、高壓隔膜閥六9、真空泵10、安全閥11及壓力表一 24、壓力表二 25組成。真空置換系統(tǒng)的目的是將管路系統(tǒng)和待充氣瓶內(nèi)的雜質(zhì)抽出，以確保配置氣的純度。
[0021]本實(shí)用新型在工作時(shí)，按如下步驟完成鹵素?zé)粲没旌蠚獾呐錃?
[0022]步驟一，啟動(dòng)真空泵10，將管路系統(tǒng)和待充氣瓶抽真空置換。
[0023]步驟二，按所需比例充入溴甲烷，溴甲烷依次經(jīng)由高壓隔膜閥八14、高壓隔膜閥六9和高壓隔膜閥四7后，溴甲烷進(jìn)入待充氣瓶，并由電子稱稱重。當(dāng)電子秤顯示重量達(dá)到設(shè)定數(shù)值時(shí)，溴甲烷充裝完成。
[0024]步驟三，按所需比例充入氮?dú)?，氮?dú)庖来谓?jīng)由不銹鋼球閥二 19、高壓純化器一 18、高壓隔膜閥九15、高壓隔膜閥六9和高壓隔膜閥四7后，氮?dú)膺M(jìn)入待充氣瓶，并由電子稱稱重。當(dāng)電子秤顯示重量達(dá)到設(shè)定數(shù)值時(shí)，氮?dú)獬溲b完成。
[0025]步驟四，按所需比例充入氪氣，氪氣依次經(jīng)由不銹鋼球閥三21、高壓純化器二 20、高壓隔膜閥十16、高壓隔膜閥六9和高壓隔膜閥四7后，氪氣進(jìn)入待充氣瓶，并由電子稱稱重。當(dāng)電子秤顯示重量達(dá)到設(shè)定數(shù)值時(shí)，氪氣充裝完成。
[0026]步驟五，按所需比例充入平衡氣氙氣，氙氣依次經(jīng)由不銹鋼球閥四23、高壓純化器三22、高壓隔膜閥十一 17、高壓隔膜閥六9和高壓隔膜閥四7后，氙氣進(jìn)入待充氣瓶，并由電子稱稱重。當(dāng)電子秤顯示重量達(dá)到設(shè)定數(shù)值時(shí)，氙氣充裝完成。
[0027]本實(shí)用新型設(shè)計(jì)了專用于鹵素?zé)粲没旌蠚獾呐錃庋b置，在原料氮?dú)馄?、氪氣瓶、氙氣瓶增設(shè)高壓純化器，脫除氣體中的微量氧和水分，使混合氣中的含氧量、含水量均小于IPPm ;增設(shè)了氣體增壓系統(tǒng),使稀有氣體氪氣和氙氣全部回收,提高了氣體回收率。
【權(quán)利要求】
1.一種鹵素?zé)粲没旌蠚獾呐錃庋b置，其特征在于:壓縮空氣輸入端與空氣過濾調(diào)壓二聯(lián)件(I)的輸入端連接，空氣過濾調(diào)壓二聯(lián)件(I)的輸出端與不銹鋼球閥一(2)的一端連接，不銹鋼球閥一(2)的另一端與氣體增壓泵(3)驅(qū)動(dòng)氣缸的輸入端連接，氣體增壓泵(3)高壓氣缸的輸出端與高壓隔膜閥一(4)的一端連接，高壓隔膜閥一(4)的另一端分五路分別與高壓隔膜閥二(5)的一端、高壓隔膜閥三(6)的一端、高壓隔膜閥四(7)的一端、高壓隔膜閥五(8)的一端以及高壓隔膜閥六(9)的一端連接，高壓隔膜閥二(5)的另一端與真空泵(10)連接，高壓隔膜閥三(6)的另一端與安全閥(11)連接，高壓隔膜閥五(8)的另一端為氣體充裝口 ；氣體增壓泵(3)高壓氣缸的輸入端與過濾器(12)的一端連接，過濾器(12)的另一端與高壓隔膜閥七(13)的一端連接，高壓隔膜閥七(13)的另一端分五路分別與高壓隔膜閥六(9)的另一端、高壓隔膜閥八(14)的一端、高壓隔膜閥九(15)的一端、高壓隔膜閥十(16)的一端以及高壓隔膜閥十一(17)的一端連接，高壓隔膜閥八(14)的另一端與溴甲烷氣瓶連接，高壓隔膜閥九(15)的另一端與高壓純化器一(18)的一端連接，高壓純化器一(18)的另一端與不銹鋼球閥二(19)的一端連接，不銹鋼球閥二(19)的另一端與氮?dú)馄窟B接，高壓隔膜閥十(16)的另一端與高壓純化器二(20)的一端連接，高壓純化器二(20)的另一端與不銹鋼球閥三(21)的一端連接，不銹鋼球閥三(21)的另一端與氪氣瓶連接，高壓隔膜閥十一(17)的另一端與高壓純化器三(22)的一端連接，高壓純化器三(22)的另一端與不銹鋼球閥四(23)的一端連接，不銹鋼球閥四(23)的另一端與氙氣瓶連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鹵素?zé)粲没旌蠚獾呐錃庋b置，其特征在于:所述的高壓隔膜閥一(4)與所述的高壓隔膜閥四(7)之間的管路上設(shè)有壓力表一(24)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鹵素?zé)粲没旌蠚獾呐錃庋b置，其特征在于:所述的高壓隔膜閥三(6)與所述的安全閥(11)之間的管路上設(shè)有壓力表二(25)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鹵素?zé)粲没旌蠚獾呐錃庋b置，其特征在于:所述的高壓隔膜閥七(13)與所述的高壓隔膜閥八(14)之間的管路上設(shè)有壓力表三(26)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鹵素?zé)粲没旌蠚獾呐錃庋b置，其特征在于:所述的氣體充裝口與待充氣瓶連接，氣體充裝口的下方設(shè)有電子秤。
【文檔編號(hào)】B01F15/00GK203389571SQ201320459481
【公開日】2014年1月15日 申請(qǐng)日期:2013年7月30日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月30日
【發(fā)明者】楊高峰 申請(qǐng)人:上海磊諾工業(yè)氣體有限公司