廢氣處理裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】廢氣處理裝置，由酸堿管道、輔助管道、終端處理池、廢氣進(jìn)口、酸堿三通閥、轉(zhuǎn)換三通閥、預(yù)處理池組成，其特征是酸堿管道與輔助管道平行設(shè)置，酸堿管道的一端與終端處理池相連接，酸堿管道的另一端與酸堿三通閥相連接，輔助管道的一端與終端處理池相連接，輔助管道的另一端與轉(zhuǎn)換三通閥相連接，酸堿三通閥的上端設(shè)置廢氣進(jìn)口，轉(zhuǎn)換三通閥的下端設(shè)置預(yù)處理池，本實(shí)用新型的有益效果是廢氣處理裝置使用安全，廢氣處理過(guò)程中不會(huì)引起燃燒。
【專(zhuān)利說(shuō)明】廢氣處理裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于晶體生長(zhǎng)設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，更具體的說(shuō)是一種廢氣處理裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，電子產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域排放的廢氣中，有部分含有H2和NH3等高危氣體，現(xiàn)有技術(shù)的處理方式一般是先經(jīng)廢氣處理機(jī)(Gas Scrubber)初步處理，再由專(zhuān)業(yè)處理設(shè)備處理后排放至大氣中，處理過(guò)的廢氣中H2和NH3殘余量很低，可經(jīng)由酸堿排管道直接排放，但當(dāng)處理設(shè)備停機(jī)保養(yǎng)或出現(xiàn)異常時(shí)，廢氣就無(wú)法處理，未經(jīng)處理廢氣中H2和NH3含量較高，經(jīng)切換旁路排至酸堿排管道時(shí)，由于管道材質(zhì)及密封性問(wèn)題，外界環(huán)境中空氣極易進(jìn)入管道，與氫氣混合后極有可能引起燃燒，因此，此種管道設(shè)計(jì)存在很大的安全隱患。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為了解決上述問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種使用安全、廢氣處理過(guò)程中不會(huì)引起燃燒的廢氣處理裝置，其具體方案為:所述的廢氣處理裝置由酸堿管道、輔助管道、終端處理池、廢氣進(jìn)口、酸堿三通閥、轉(zhuǎn)換三通閥、預(yù)處理池組成，其特征是酸堿管道與輔助管道平行設(shè)置，酸堿管道的一端與終端處理池相連接，酸堿管道的另一端與酸堿三通閥相連接，輔助管道的一端與終端處理池相連接，輔助管道的另一端與轉(zhuǎn)換三通閥相連接，酸堿三通閥的上端設(shè)置廢氣進(jìn)口，轉(zhuǎn)換三通閥的下端設(shè)置預(yù)處理池。
[0004]本實(shí)用新型所述的酸堿三通閥、轉(zhuǎn)換三通閥，其特征在于酸堿三通閥、轉(zhuǎn)換三通閥通過(guò)管道相連接，管道材質(zhì)采用SUS304不銹鋼。
[0005]本實(shí)用新型的有益效果是廢氣處理裝置使用安全，廢氣處理過(guò)程中不會(huì)引起燃
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【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0006]附圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；附圖1中:
[0007]1.酸堿管道，2.輔助管道，3.終端處理池，4.廢氣進(jìn)口，5.酸堿三通閥，6.轉(zhuǎn)換三通閥，7.預(yù)處理池。
【具體實(shí)施方式】
[0008]結(jié)合附圖1對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步詳細(xì)描述，以便公眾更好地掌握本實(shí)用新型的實(shí)施方法，本實(shí)用新型具體的實(shí)施方案為:所述的廢氣處理裝置由酸堿管道1、輔助管道2、終端處理池3、廢氣進(jìn)口 4、酸堿三通閥5、轉(zhuǎn)換三通閥6、預(yù)處理池7組成，其特征是酸堿管道I與輔助管道2平行設(shè)置，酸堿管道I的一端與終端處理池3相連接，酸堿管道I的另一端與酸堿三通閥5相連接，輔助管道2的一端與終端處理池3相連接，輔助管道2的另一端與轉(zhuǎn)換三通閥6相連接，酸堿三通閥5的上端設(shè)置廢氣進(jìn)口 4，轉(zhuǎn)換三通閥6的下端設(shè)置預(yù)處理池7。[0009]本實(shí)用新型所述的酸堿三通閥5、轉(zhuǎn)換三通閥6，其特征在于酸堿三通閥5、轉(zhuǎn)換三通閥6通過(guò)管道相連接，管道材質(zhì)采用SUS304不銹鋼。
[0010]本實(shí)用新型的有益效果是廢氣處理裝置使用安全，廢氣處理過(guò)程中不會(huì)引起燃
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【權(quán)利要求】
1.廢氣處理裝置，由酸堿管道(I)、輔助管道(2)、終端處理池(3)、廢氣進(jìn)口(4)、酸堿三通閥(5)、轉(zhuǎn)換三通閥(6)、預(yù)處理池(7)組成，其特征是酸堿管道(I)與輔助管道(2)平行設(shè)置，酸堿管道(I)的一端與終端處理池(3)相連接，酸堿管道(I)的另一端與酸堿三通閥(5)相連接，輔助管道(2)的一端與終端處理池(3)相連接，輔助管道(2)的另一端與轉(zhuǎn)換三通閥(6)相連接，酸堿三通閥(5)的上端設(shè)置廢氣進(jìn)口(4)，轉(zhuǎn)換三通閥(6)的下端設(shè)置預(yù)處理池(7)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的廢氣處理裝置，其特征在于酸堿三通閥(5)與轉(zhuǎn)換三通閥(6)通過(guò)管道相連接，管道材質(zhì)采用SUS304不銹鋼。
【文檔編號(hào)】B01D53/00GK203469752SQ201320559277
【公開(kāi)日】2014年3月12日 申請(qǐng)日期:2013年9月10日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月10日
【發(fā)明者】陳建榮, 王新陽(yáng), 趙海標(biāo) 申請(qǐng)人:冠銓?zhuān)ㄉ綎|）光電科技有限公司