精密液體氣相發(fā)生器的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種精密液體氣相發(fā)生器，包括氣液混合控制管路，所述氣液混合控制管路包括氣體進入管路、液體進入管路，所述氣體進入管路、液體進入管路結(jié)合后經(jīng)過氣液混合加熱系統(tǒng)加熱，構(gòu)成高溫混合氣體出口管路。本實用新型的組合式設(shè)計，相較于現(xiàn)有技術(shù)的氣液混合裝置，不僅操作方便，而且具有可控性強、調(diào)節(jié)性強、安全可靠的優(yōu)勢。
【專利說明】精密液體氣相發(fā)生器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種氣相發(fā)生器，具體涉及一種精密液體氣相發(fā)生器。
【背景技術(shù)】
[0002]目前市場上還沒有組合整體式的精密氣相發(fā)生器，有的只是單獨的氣液混合罐，氣體流量控制器是單獨的浮子流量計或是質(zhì)子流量控制器，還沒有將這些系統(tǒng)整合在一起的設(shè)備。
實用新型內(nèi)容
[0003]本實用新型的目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種操作方便快捷、采用模塊化組合方式的精密液體氣相發(fā)生器。
[0004]一種精密液體氣相發(fā)生器，包括氣液混合控制管路，所述氣液混合控制管路包括氣體進入管路、液體進入管路，所述氣體進入管路、液體進入管路結(jié)合后經(jīng)過氣液混合加熱系統(tǒng)加熱，構(gòu)成高溫混合氣體出口管路。
[0005]所述氣體進入管路、液體進入管路結(jié)合處設(shè)有四通閥，所述四通閥將氣體進入管路、液體進入管路結(jié)合后使其流入通往氣液混合加熱系統(tǒng)的混合管路，所述四通閥的第四條管路連接有密微型可調(diào)安全閥。
[0006]所述氣體進入管路上設(shè)有雙卡套角式穿板截止閥及氣體流量控制器。
[0007]所述液體進入管路上設(shè)有數(shù)字液體蠕動泵。
[0008]所述氣液混合加熱系統(tǒng)進入端的管路上設(shè)有壓力表。
[0009]所述高溫混合氣體出口管路上設(shè)置有保溫裝置。
[0010]所述氣液混合加熱系統(tǒng)置于不銹鋼或石英混合罐中。
[0011]所述氣液混合加熱系統(tǒng)和保溫裝置分別采用兩套獨立的智能PID溫控系統(tǒng)。
[0012]本實用新型的組合式設(shè)計，相較于現(xiàn)有技術(shù)的氣液混合裝置，不僅操作方便，而且具有可控性強、調(diào)節(jié)性強、安全可靠的優(yōu)勢。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1為本實用新型的管路結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0014]以下結(jié)合具體實施例，對本實用新型做進一步說明。應(yīng)理解，以下實施例僅用于說明本實用新型而非用于限制本實用新型的范圍。
[0015]實施例1
[0016]參見圖1，本實用新型提供的一種精密液體氣相發(fā)生器，包括置于發(fā)生器殼體(圖未示)中的氣液混合控制管路I，所述氣液混合控制管路I包括氣體進入管路la、液體進入管路lb，所述氣體進入管路la、液體進入管路Ib結(jié)合后經(jīng)過氣液混合加熱系統(tǒng)Ic加熱，構(gòu)成高溫混合氣體出口管路ld，最終將高溫混合氣體排出發(fā)生器殼體外。
[0017]實施例2
[0018]作為對上述實施例的進一步改進，所述氣體進入管路la、液體進入管路Ib結(jié)合處設(shè)有四通閥2，所述四通閥2將氣體進入管路la、液體進入管路Ib結(jié)合后使其流入通往氣液混合加熱系統(tǒng)Ic的混合管路，為了提高使用時的安全性，所述四通閥2的第四條管路連接有密微型可調(diào)安全閥le。
[0019]實施例3
[0020]作為對實施例1的進一步改進，所述氣體進入管路Ia上設(shè)有雙卡套角式穿板截止閥3及氣體流量控制器4，方便于對氣體進入流量的控制。
[0021]實施例4
[0022]作為對實施例1的進一步改進，所述液體進入管路Ib上設(shè)有數(shù)字液體蠕動泵5，方便于對液體進入流量的控制。
[0023]實施例5
[0024]作為對實施例1的進一步改進，所述氣液混合加熱系統(tǒng)Ic進入端的管路上設(shè)有壓力表6,方便于隨時準確掌握該處管道的壓力。
[0025]實施例6
[0026]作為對實施例1的進一步改進，所述高溫混合氣體出口管路Id上設(shè)置有保溫裝置，降低因管道流通對混合氣體溫度所帶來的影響。
[0027]實施例7
[0028]作為對實施例1的進一步改進，所述氣液混合加熱系統(tǒng)Ic置于不銹鋼或石英混合罐7中，確保加熱溫度的同時，可提高操作時的安全性。
[0029]實施例8
[0030]所述氣液混合加熱系統(tǒng)和實施例6中所述的保溫裝置分別采用兩套獨立的智能PID溫控系統(tǒng)，可以根據(jù)客戶不同實驗的需要進行溫度的設(shè)定。極大的提高整體系統(tǒng)的應(yīng)用性。
【權(quán)利要求】
1.一種精密液體氣相發(fā)生器，其特征在于:包括氣液混合控制管路，所述氣液混合控制管路包括氣體進入管路、液體進入管路，所述氣體進入管路、液體進入管路結(jié)合后經(jīng)過氣液混合加熱系統(tǒng)加熱,構(gòu)成高溫混合氣體出口管路。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的精密液體氣相發(fā)生器，其特征在于:所述氣體進入管路、液體進入管路結(jié)合處設(shè)有四通閥，所述四通閥將氣體進入管路、液體進入管路結(jié)合后使其流入通往氣液混合加熱系統(tǒng)的混合管路，所述四通閥的第四條管路連接有密微型可調(diào)安全閥。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的精密液體氣相發(fā)生器，其特征在于:所述氣體進入管路上設(shè)有雙卡套角式穿板截止閥及氣體流量控制器。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的精密液體氣相發(fā)生器，其特征在于:所述液體進入管路上設(shè)有數(shù)字液體蠕動泵。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的精密液體氣相發(fā)生器，其特征在于:所述氣液混合加熱系統(tǒng)進入端的管路上設(shè)有壓力表。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的精密液體氣相發(fā)生器，其特征在于:所述高溫混合氣體出口管路上設(shè)置有保溫裝置。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的精密液體氣相發(fā)生器，其特征在于:所述氣液混合加熱系統(tǒng)置于不銹鋼或石英混合罐中。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的精密液體氣相發(fā)生器，其特征在于:所述氣液混合加熱系統(tǒng)和保溫裝置分別采用兩套獨立的智能PID溫控系統(tǒng)。
【文檔編號】B01F3/04GK203525577SQ201320661002
【公開日】2014年4月9日 申請日期:2013年10月24日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月24日
【發(fā)明者】方輝, 邾根祥, 江曉平 申請人:合肥科晶材料技術(shù)有限公司