一種新型甩干機(jī)過(guò)濾器加熱系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種新型甩干機(jī)過(guò)濾器加熱系統(tǒng),包括：被加熱腔體、加熱噴嘴、溫控器、加熱器、加熱腔室，所述加熱噴嘴安裝在被加熱腔體一側(cè)，熱噴嘴連接于加熱腔室，熱噴嘴與加熱腔室之間設(shè)有高溫氣體過(guò)濾器，加熱腔室后端安裝有加熱器，加熱腔室下側(cè)一端連接有進(jìn)氣管，進(jìn)氣管上設(shè)有低溫氣體過(guò)濾器、另一端設(shè)有出口處氣體溫度檢測(cè)探頭，出口處氣體溫度檢測(cè)探頭連接有溫控器。本發(fā)明可以保證吹入腔體內(nèi)氮?dú)鉂崈舳纫螅ＷC腔體內(nèi)無(wú)任何污染物存在；降低因清洗、烘干等環(huán)節(jié)出現(xiàn)不良產(chǎn)品的概率，產(chǎn)品良率提高1%；降低生產(chǎn)成本、提高產(chǎn)量，提高經(jīng)濟(jì)效益。
【專利說(shuō)明】一種新型甩干機(jī)過(guò)濾器加熱系統(tǒng)【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及LED生產(chǎn)【技術(shù)領(lǐng)域】，具體為一種新型甩干機(jī)過(guò)濾器加熱系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]在現(xiàn)代LED生產(chǎn)制造過(guò)程中，因?yàn)槟承┬酒谕庋由a(chǎn)過(guò)程中受到不同程度的污染、所以在進(jìn)行MESA光刻、ITO蒸鍍、沉積S102等工序前都需分別進(jìn)行外延清洗烘干、ITO蒸鍍前清洗烘干、沉積S102前清洗烘干，而這些清洗環(huán)節(jié)之后都必須使用甩干機(jī)，甩干機(jī)的作用就將在各種化學(xué)藥液內(nèi)清洗干凈的芯片，再次放入甩干機(jī)內(nèi)將其進(jìn)行清洗、烘干，然后再將產(chǎn)品流入下一道工序進(jìn)行加工，以便生產(chǎn)出合格的LED產(chǎn)品。
[0003]目前國(guó)內(nèi)外大部分甩干機(jī)生產(chǎn)行業(yè)加熱系統(tǒng)設(shè)計(jì)思路如下:氮?dú)膺^(guò)濾器加熱棒腔體烘干芯片。這樣設(shè)計(jì)思路存在一定缺陷:加熱棒在高溫時(shí)易被少量氧氣氧化，致使加熱棒在使用一段時(shí)間后加熱棒加熱區(qū)出現(xiàn)顏色暗淡、加熱棒表面出現(xiàn)明顯的氧化現(xiàn)象，加熱棒表面出現(xiàn)少量固體顆粒等雜質(zhì)，在高壓氮?dú)庾饔孟聨肭惑w內(nèi)，進(jìn)而附著在干凈的芯片上，污染產(chǎn)品降低產(chǎn)品良率；同時(shí)沒(méi)有溫度實(shí)時(shí)監(jiān)控，不能設(shè)定溫度高低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明所解決的技術(shù)問(wèn)題在于提供一種新型甩干機(jī)過(guò)濾器加熱系統(tǒng)，以便解決上述【背景技術(shù)】中的問(wèn)題。
[0005]本發(fā)明所解決的技術(shù)問(wèn)題采用以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn):一種新型甩干機(jī)過(guò)濾器加熱系統(tǒng)，包括:被加熱腔體、加熱噴嘴、溫控器、加熱器、加熱腔室，所述加熱噴嘴安裝在被加熱腔體一側(cè)位置位于45°方向，熱噴嘴連接于加熱腔室，熱噴嘴與加熱腔室之間設(shè)有高溫氣體過(guò)濾器，加熱腔室后端安裝有加熱器，加熱器電源連接于市電，加熱腔室下側(cè)一端連接有進(jìn)氣管，進(jìn)氣管上設(shè)有低溫氣體過(guò)濾器、另一端設(shè)有出口處氣體溫度檢測(cè)探頭，出口處氣體溫度檢測(cè)探頭連接有溫控器，加熱腔室上側(cè)一端設(shè)有高溫報(bào)警傳感器、另一端設(shè)有低溫報(bào)警傳感器，低溫報(bào)警傳感器一側(cè)安`裝有GN2壓力傳感器。
[0006]所述加熱噴嘴為“一”字型結(jié)構(gòu)。
[0007]所述加熱器為“U”型結(jié)構(gòu)。
[0008]所述進(jìn)氣管為“L”型結(jié)構(gòu)。
[0009]與已公開(kāi)技術(shù)相比，本發(fā)明存在以下優(yōu)點(diǎn):本發(fā)明可以保證吹入腔體內(nèi)熱氮?dú)鉂崈舳纫?，保證腔體內(nèi)無(wú)任何污染物存在；降低因清洗、烘干等環(huán)節(jié)出現(xiàn)不良產(chǎn)品的概率，產(chǎn)品良率提高1%;降低生產(chǎn)成本、提高產(chǎn)量、提高經(jīng)濟(jì)效益；同時(shí)可以避免加熱系統(tǒng)出現(xiàn)故障后，其它清洗環(huán)節(jié)依然逐步執(zhí)行，單次故障可節(jié)約生產(chǎn)時(shí)間10分鐘，降低能源消耗，提高經(jīng)濟(jì)效益。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0010]圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖?！揪唧w實(shí)施方式】
[0011]為了使本發(fā)明的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、工作流程、使用方法達(dá)成目的與功效易于明白了解，下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0012]如圖1所示，一種新型甩干機(jī)過(guò)濾器加熱系統(tǒng)，包括:被加熱腔體1、加熱噴嘴2、溫控器5、加熱器9、加熱腔室11，所述加熱噴嘴2安裝在被加熱腔體I 一側(cè)，熱噴嘴2連接于加熱腔室U，熱噴嘴2與加熱腔室11之間設(shè)有高溫氣體過(guò)濾器3，加熱腔室11后端安裝有加熱器9，加熱器9連接于市電，加熱腔室11下側(cè)一端連接有進(jìn)氣管，進(jìn)氣管上設(shè)有低溫氣體過(guò)濾器10、另一端設(shè)有出口處氣體溫度檢測(cè)探頭4，出口處氣體溫度檢測(cè)探頭4連接有溫控器5，加熱腔室11上側(cè)一端設(shè)有高溫報(bào)警傳感器6、另一端設(shè)有低溫報(bào)警傳感器7，低溫報(bào)警傳感器7 —側(cè)安裝有GN2壓力傳感器。
[0013]所述加熱噴嘴2為“一”字型，使得噴出的氮?dú)獬伞癡”型，這樣熱氮可以和芯片表面充分接觸，達(dá)到最佳的烘干效果。
[0014]所述加熱器9為“U”型結(jié)構(gòu)。
[0015]所述進(jìn)氣管為“L”型結(jié)構(gòu)。
[0016]本發(fā)明中氮?dú)庀冉?jīng)低溫氣體過(guò)濾器10過(guò)濾后吹入加熱腔室11中進(jìn)行加熱處理，加熱處理后的氣體再吹入高溫氣體過(guò)濾器3進(jìn)行二級(jí)過(guò)濾處理，最后將加熱過(guò)濾后的氣體吹入腔體內(nèi)將芯片烘干；
[0017]本發(fā)明中設(shè)有加熱系統(tǒng)自動(dòng)檢測(cè)功能，即程序進(jìn)入加熱環(huán)節(jié)2分鐘后，如果檢測(cè)加熱系統(tǒng)溫度的傳感器沒(méi)有信號(hào)輸出，說(shuō)明加熱系統(tǒng)出現(xiàn)故障，無(wú)法加熱此時(shí)程序自動(dòng)停止并發(fā)出報(bào)警提示，提示設(shè)備出現(xiàn)故障
[0018]本發(fā)明中設(shè)有溫度控制裝置，如配置有高、低溫度檢測(cè)傳感器，配置有檢測(cè)加熱后吹入腔體內(nèi)氣體溫度裝置，低溫時(shí)開(kāi)始加熱高溫時(shí)自動(dòng)停止加熱，被加熱的氣體溫度達(dá)到設(shè)定溫度后加熱系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)停止加熱，低于設(shè)定溫度設(shè)定范圍時(shí)加熱自動(dòng)開(kāi)啟。
[0019]本發(fā)明中的氮?dú)鈬娮煸O(shè)計(jì)成三個(gè)，噴嘴出氣口設(shè)計(jì)成“一”字型，噴嘴的位置和芯片的位置保持垂直方式，這樣使得噴出的熱氮和高速旋轉(zhuǎn)的芯片充分接觸，達(dá)到最佳的烘干效果；
[0020]本發(fā)明中設(shè)有加熱氣體壓力檢測(cè)裝置，當(dāng)加熱氣體壓力低于設(shè)定值時(shí)，系統(tǒng)提示加熱氣體壓力異常無(wú)法實(shí)現(xiàn)加熱，當(dāng)?shù)獨(dú)鈮毫μ邥r(shí)，系統(tǒng)提示氮?dú)鈮毫Ω?，?qǐng)檢查氣體壓力是否異常。
[0021]以上顯示和描述了本發(fā)明的基本原理、主要特征及本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本發(fā)明不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說(shuō)明書中描述的只是說(shuō)明本發(fā)明的原理，在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下，本發(fā)明還會(huì)有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本發(fā)明范圍內(nèi)。本發(fā)明的要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。
【權(quán)利要求】
1.一種新型甩干機(jī)過(guò)濾器加熱系統(tǒng)，包括:被加熱腔體、加熱噴嘴、溫控器、加熱器、力口熱腔室，其特征在于:所述加熱噴嘴安裝在被加熱腔體一側(cè)，熱噴嘴連接于加熱腔室，熱噴嘴與加熱腔室之間設(shè)有高溫氣體過(guò)濾器，加熱腔室后端安裝有加熱器，加熱器連接于市電，加熱腔室下側(cè)一端連接有進(jìn)氣管，進(jìn)氣管上設(shè)有低溫氣體過(guò)濾器、另一端設(shè)有出口處氣體溫度檢測(cè)探頭，出口處氣體溫度檢測(cè)探頭連接有溫控器，加熱腔室上側(cè)一端設(shè)有高溫報(bào)警傳感器、另一端設(shè)有低溫報(bào)警傳感器，低溫報(bào)警傳感器一側(cè)安裝有GN2壓力傳感器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型甩干機(jī)過(guò)濾器加熱系統(tǒng)，其特征在于:所述加熱噴嘴為“一”字型結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型甩干機(jī)過(guò)濾器加熱系統(tǒng)，其特征在于:所述加熱器為“U”型結(jié)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型甩干機(jī)過(guò)濾器加熱系統(tǒng)，其特征在于:所述進(jìn)氣管為“L”型結(jié)構(gòu)。
【文檔編號(hào)】B01D46/00GK103822458SQ201410090564
【公開(kāi)日】2014年5月28日 申請(qǐng)日期:2014年3月12日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月12日
【發(fā)明者】丁維才 申請(qǐng)人:合肥彩虹藍(lán)光科技有限公司