一種mocvd集塵過(guò)濾器的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種MOCVD集塵過(guò)濾器，包括：冷卻過(guò)濾裝置和濾芯過(guò)濾裝置，所述冷卻過(guò)濾裝置包括：設(shè)有進(jìn)氣口和連通出氣口的冷卻筒、均勻排列設(shè)于冷卻筒內(nèi)的至少一層水冷粗濾層、環(huán)繞所述水冷粗濾層的至少一根冷卻水管，所述冷卻水管接入外部水管；所述濾芯過(guò)濾裝置包括：設(shè)有出氣口和連通進(jìn)氣口的過(guò)濾筒、均勻排列設(shè)于過(guò)濾筒內(nèi)的濾芯；所述冷卻過(guò)濾裝置與濾芯過(guò)濾裝置通過(guò)連通出氣口和連通進(jìn)氣口密封連接。本實(shí)用新型設(shè)有冷卻過(guò)濾裝置和濾芯過(guò)濾裝置，冷卻過(guò)濾裝置對(duì)廢氣進(jìn)行粗過(guò)濾，氣體經(jīng)過(guò)該冷卻區(qū)域動(dòng)能降低，粗濾后的氣體再通過(guò)濾芯進(jìn)一步細(xì)濾，保證氣體的充分凈化。
【專利說(shuō)明】—種MOCVD集塵過(guò)濾器

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本實(shí)用新型涉及一種MOCVD集塵過(guò)濾器。

【背景技術(shù)】
[0002]MOCVD是半導(dǎo)體LED行業(yè)的基礎(chǔ)性設(shè)備，而我國(guó)在該設(shè)備主要依賴于進(jìn)口，隨著國(guó)家能源的緊缺和半導(dǎo)體照明工程的發(fā)展，國(guó)產(chǎn)MOCVD設(shè)備的研發(fā)工作的重要性愈加凸顯。目前該型設(shè)備上一般都使用工藝廢氣排放過(guò)濾器，過(guò)濾器的主要作用是過(guò)濾工藝廢氣中的粉塵，延長(zhǎng)干泵的使用壽命，避免干泵內(nèi)粉塵積累引起故障停機(jī)。現(xiàn)有過(guò)濾器主要采用濾網(wǎng)或?yàn)V芯對(duì)廢氣進(jìn)行過(guò)濾，濾網(wǎng)只能對(duì)大顆粒的粉塵進(jìn)行過(guò)濾，對(duì)廢氣中的小顆粒粉塵無(wú)法做到完全過(guò)濾清除，凈化效果不好，濾網(wǎng)極易被粉塵堵塞，干泵和過(guò)濾器的維護(hù)周期短。
[0003]因此，如何設(shè)計(jì)一種過(guò)濾效果好、維護(hù)周期長(zhǎng)的高的MOCVD集塵過(guò)濾器是業(yè)界亟待解決的技術(shù)問(wèn)題。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]本實(shí)用新型針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)中存在的問(wèn)題提供了一種過(guò)濾效果好、維護(hù)周期長(zhǎng)的高的MOCVD集塵過(guò)濾器。
[0005]本實(shí)用新型提出的技術(shù)方案是，設(shè)計(jì)一種MOCVD集塵過(guò)濾器，包括:冷卻過(guò)濾裝置和濾芯過(guò)濾裝置，所述冷卻過(guò)濾裝置包括:設(shè)有進(jìn)氣口和連通出氣口的冷卻筒、均勻排列設(shè)于冷卻筒內(nèi)的至少一層水冷粗濾層、環(huán)繞所述水冷粗濾層的至少一根冷卻水管，所述冷卻水管接入外部水管；所述濾芯過(guò)濾裝置包括:設(shè)有出氣口和連通進(jìn)氣口的過(guò)濾筒、均勻排列設(shè)于過(guò)濾筒內(nèi)的濾芯；所述冷卻過(guò)濾裝置與濾芯過(guò)濾裝置通過(guò)連通出氣口和連通進(jìn)氣口密封連接。
[0006]所述水冷粗濾層上橫向間隔設(shè)有定位孔，所述冷卻水管順次穿過(guò)所述定位孔環(huán)繞所有水冷粗濾層。
[0007]所述水冷粗濾層縱向平行設(shè)于冷卻筒內(nèi)、所述進(jìn)氣口設(shè)于冷卻筒的一端，冷卻筒內(nèi)還設(shè)有一與進(jìn)氣口相鄰的氣流擋板，擋板一側(cè)設(shè)有引流口，所述連通出氣口設(shè)于冷卻筒上背向引流口的側(cè)面。
[0008]所述濾芯縱向平行設(shè)于過(guò)濾筒內(nèi)，所述出氣口設(shè)于過(guò)濾筒的一端，所述連通進(jìn)氣口設(shè)于過(guò)濾筒的一側(cè)面。
[0009]所述過(guò)濾筒內(nèi)還設(shè)有一與出氣口相鄰的限流板，所述限流板中心設(shè)有通孔，限流板與過(guò)濾筒內(nèi)壁形成一與出氣口連通的緩沖腔。
[0010]所述冷卻筒兩端由冷卻筒端蓋密封，所述過(guò)濾筒兩端由過(guò)濾筒端蓋密封，所述進(jìn)氣口設(shè)于冷卻筒端蓋上，所述出氣口設(shè)于過(guò)濾筒端蓋上。
[0011]所述冷卻筒內(nèi)設(shè)有四層水冷粗濾層及兩根冷卻水管，所述冷卻水管順次穿過(guò)定位孔纏繞在相鄰的兩層水冷粗濾層之間。
[0012]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型設(shè)有冷卻過(guò)濾裝置和濾芯過(guò)濾裝置，冷卻過(guò)濾裝置對(duì)廢氣進(jìn)行粗過(guò)濾，氣體經(jīng)過(guò)該冷卻區(qū)域動(dòng)能降低，同時(shí)熱量也大大降低，確保更多的粉塵可以在冷卻筒內(nèi)被捕集，粗濾后的氣體再通過(guò)濾芯進(jìn)一步細(xì)濾，保證氣體的充分凈化，安全的進(jìn)入干泵，加長(zhǎng)了過(guò)濾器和干泵的維護(hù)周期。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0013]下面結(jié)合實(shí)施例和附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明，其中:
[0014]圖1為本實(shí)用新型的剖視圖。

【具體實(shí)施方式】
[0015]如圖1所示，本實(shí)用新型提出的MOCVD集塵過(guò)濾器，包括:冷卻過(guò)濾裝置I和濾芯過(guò)濾裝置2。
[0016]冷卻過(guò)濾裝置I包括:設(shè)有進(jìn)氣口 11和連通出氣口 12的冷卻筒13、均勻排列設(shè)于冷卻筒13內(nèi)的至少一層水冷粗濾層14、環(huán)繞水冷粗濾層14的至少一根冷卻水管15，冷卻水管15接入外部水管16。濾芯過(guò)濾裝置2包括:設(shè)有出氣口 21和連通進(jìn)氣口 22的過(guò)濾筒23、均勻排列設(shè)于過(guò)濾筒23內(nèi)的濾芯24。冷卻過(guò)濾裝置I與濾芯過(guò)濾裝置2通過(guò)連通出氣口 12和連通進(jìn)氣口 22密封連接。冷卻過(guò)濾裝置I對(duì)廢氣進(jìn)行粗過(guò)濾，氣體經(jīng)過(guò)該冷卻區(qū)域動(dòng)能降低，同時(shí)熱量也大大降低，確保更多的粉塵可以在冷卻筒13內(nèi)被捕集，粗濾后的氣體再通過(guò)濾芯24進(jìn)一步細(xì)濾，保證氣體的充分凈化，安全的進(jìn)入干泵，加長(zhǎng)了過(guò)濾器和干泵的維護(hù)周期。
[0017]水冷粗濾層14上橫向間隔設(shè)有定位孔，冷卻水管15順次穿過(guò)定位孔環(huán)繞所有水冷粗濾層14，冷卻水管15環(huán)繞穿過(guò)每層水冷粗濾層14，與廢氣充分接觸冷卻水管15，氣體動(dòng)能大幅降低，廢氣中大粒粉塵沉降，水冷粗濾層14的過(guò)濾效率高。水冷粗濾層14縱向平行設(shè)于冷卻筒13內(nèi)、進(jìn)氣口 11設(shè)于冷卻筒13的一端,冷卻筒13內(nèi)還設(shè)有一與進(jìn)氣口 11相鄰的氣流擋板17，擋板17 —側(cè)設(shè)有引流口 18，連通出氣口 12設(shè)于冷卻筒13上背向引流口 18的側(cè)面，即連通出氣口 12垂直朝向水冷粗濾層14設(shè)置。廢氣進(jìn)過(guò)進(jìn)氣口 11進(jìn)入冷卻筒13內(nèi)，被擋板17引流到多層水冷粗濾層14 一側(cè)進(jìn)入，經(jīng)過(guò)多層水冷粗濾層14的冷卻過(guò)濾再匯集到連通出氣口 12，引流口 18和連通出氣口 12的設(shè)置保證進(jìn)入冷卻筒內(nèi)的廢氣與水冷粗濾層14完全接觸。
[0018]濾芯24縱向平行設(shè)于過(guò)濾筒23內(nèi)，出氣口 21設(shè)于過(guò)濾筒23的一端，連通進(jìn)氣口22設(shè)于過(guò)濾筒23的一側(cè)面，即連通進(jìn)氣口 22垂直朝向?yàn)V芯24設(shè)置，過(guò)濾筒23內(nèi)還設(shè)有一與出氣口 21相鄰的限流板25，限流板25中心設(shè)有通孔26，通孔26的設(shè)置能減小過(guò)濾筒23的出氣量，使進(jìn)入過(guò)濾筒23內(nèi)的氣體速度盡量慢的經(jīng)過(guò)濾芯24，更徹底的凈化氣體，限流板25與過(guò)濾筒23的內(nèi)壁形成一與出氣口連通的緩沖腔27，氣體經(jīng)過(guò)通孔26后流速較快，緩沖腔27起到緩沖作用，減少氣體對(duì)干泵的沖擊。
[0019]冷卻筒13兩端由冷卻筒端蓋19密封，過(guò)濾筒23兩端由過(guò)濾筒端蓋28密封，進(jìn)氣口 11設(shè)于冷卻筒端蓋19上，出氣口 21設(shè)于過(guò)濾筒端蓋28上。本實(shí)施例中，冷卻筒13內(nèi)設(shè)有四層水冷粗濾層14及兩根冷卻水管15，冷卻水管15順次穿過(guò)定位孔纏繞在相鄰的兩層水冷粗濾層14之間，設(shè)置兩根冷卻水管15的目的是保證冷卻水管15內(nèi)的水快速循環(huán)，防止冷卻水管15過(guò)長(zhǎng)，與廢氣熱交換后冷卻水管15的尾端溫度升高，無(wú)法滿足冷卻需要。實(shí)際應(yīng)用中，可根據(jù)過(guò)濾需要設(shè)置相應(yīng)數(shù)量的冷卻水管15和水冷粗濾層14。
[0020]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種服)(^0集塵過(guò)濾器，其特征在于包括:冷卻過(guò)濾裝置和濾芯過(guò)濾裝置， 所述冷卻過(guò)濾裝置包括:設(shè)有進(jìn)氣口和連通出氣口的冷卻筒、均勻排列設(shè)于冷卻筒內(nèi)的至少一層水冷粗濾層、環(huán)繞所述水冷粗濾層的至少一根冷卻水管，所述冷卻水管接入外部水管； 所述濾芯過(guò)濾裝置包括:設(shè)有出氣口和連通進(jìn)氣口的過(guò)濾筒、均勻排列設(shè)于過(guò)濾筒內(nèi)的濾芯； 所述冷卻過(guò)濾裝置與濾芯過(guò)濾裝置通過(guò)連通出氣口和連通進(jìn)氣口密封連接。
2.如權(quán)利要求1所述的10(^0集塵過(guò)濾器，其特征在于:所述水冷粗濾層上橫向間隔設(shè)有定位孔，所述冷卻水管順次穿過(guò)所述定位孔環(huán)繞所有水冷粗濾層。
3.如權(quán)利要求2所述的顯集塵過(guò)濾器，其特征在于，所述水冷粗濾層縱向平行設(shè)于冷卻筒內(nèi)、所述進(jìn)氣口設(shè)于冷卻筒的一端，冷卻筒內(nèi)還設(shè)有一與進(jìn)氣口相鄰的氣流擋板，擋板一側(cè)設(shè)有引流口，所述連通出氣口設(shè)于冷卻筒上背向引流口的側(cè)面。
4.如權(quán)利要求1所述的10(^0集塵過(guò)濾器，其特征在于:所述濾芯縱向平行設(shè)于過(guò)濾筒內(nèi)，所述出氣口設(shè)于過(guò)濾筒的一端，所述連通進(jìn)氣口設(shè)于過(guò)濾筒的一側(cè)面。
5.如權(quán)利要求4所述的顯集塵過(guò)濾器，其特征在于，所述過(guò)濾筒內(nèi)還設(shè)有一與出氣口相鄰的限流板，所述限流板中心設(shè)有通孔，限流板與過(guò)濾筒內(nèi)壁形成一與出氣口連通的緩沖腔。
6.如權(quán)利要求1所述的10(^0集塵過(guò)濾器，其特征在于，所述冷卻筒兩端由冷卻筒端蓋密封，所述過(guò)濾筒兩端由過(guò)濾筒端蓋密封，所述進(jìn)氣口設(shè)于冷卻筒端蓋上，所述出氣口設(shè)于過(guò)濾筒端蓋上。
7.如權(quán)利要求2所述的10(^0集塵過(guò)濾器，其特征在于，所述冷卻筒內(nèi)設(shè)有四層水冷粗濾層及兩根冷卻水管，所述冷卻水管順次穿過(guò)定位孔纏繞在相鄰的兩層水冷粗濾層之間。
【文檔編號(hào)】B01D50/00GK204159172SQ201420550764
【公開日】2015年2月18日 申請(qǐng)日期:2014年9月24日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月24日
【發(fā)明者】李致文, 楊寶立 申請(qǐng)人:深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司