本技術(shù)涉及實(shí)驗(yàn)輔助設(shè)備領(lǐng)域，具體為一種動(dòng)態(tài)十級(jí)超高潔凈度實(shí)驗(yàn)柜。

背景技術(shù)：

1、超凈高純?cè)噭┦浅笠?guī)模集成電路(ic)生產(chǎn)制程中一類關(guān)鍵基礎(chǔ)化工材料，主要用于晶圓的清洗、蝕刻，以及芯片摻雜和沉淀工藝。伴隨著微電子工業(yè)的發(fā)展，目前超凈高純?cè)噭┮延袛?shù)百種，具有品種多、用量大、技術(shù)要求高、貯存有效期短和腐蝕性強(qiáng)等特點(diǎn)，主要可分為無(wú)機(jī)酸類、無(wú)機(jī)堿類、有機(jī)溶劑類和其他超凈高純?cè)噭?。超凈高純?cè)噭┗诎雽?dǎo)體技術(shù)的發(fā)展需求而生產(chǎn)，每一代集成電路產(chǎn)品需要對(duì)應(yīng)等級(jí)的超凈高純?cè)噭┡c之配套，其純度和潔凈度對(duì)集成電路的成品率、電性能及可靠性均有十分重要的影響。隨著相關(guān)產(chǎn)業(yè)技術(shù)的發(fā)展，目前先進(jìn)半導(dǎo)體制程的最新發(fā)展對(duì)于超凈高純?cè)噭┲械碾s質(zhì)管控要求越來(lái)越高。

2、由于半導(dǎo)體制程用超凈高純?cè)噭┑某哿侩s質(zhì)元素檢測(cè)目前主要用放置在百級(jí)潔凈度環(huán)境中的電感耦合等離子體-三重四極桿質(zhì)譜聯(lián)用儀(icp-ms/ms)進(jìn)行檢測(cè)。在檢測(cè)過(guò)程中，由于樣品中的雜質(zhì)含量極低，即使已將測(cè)試環(huán)境的整體潔凈度提升至百級(jí)潔凈度水平，樣品在實(shí)際檢測(cè)過(guò)程中也會(huì)因測(cè)試環(huán)境的污染引起本底值偏高、重復(fù)性不佳甚至樣品測(cè)試數(shù)據(jù)失真等潛在的數(shù)據(jù)質(zhì)量風(fēng)險(xiǎn)。

3、此前這一問(wèn)題未引起足夠重視的原因主要是初代成熟制程對(duì)相應(yīng)等級(jí)高純?cè)噭┑囊笃毡槎急容^低（雜質(zhì)水平約在ppb級(jí)），因這類樣品中雜質(zhì)的絕對(duì)量相對(duì)較高，故樣品對(duì)測(cè)試環(huán)境潛在污染的容忍度也較高；而用于先進(jìn)制程的超凈高純?cè)噭┲须s質(zhì)限量極低(絕大多數(shù)雜質(zhì)水平在1ppt或亞ppt級(jí))，這類樣品對(duì)測(cè)試過(guò)程中潛在污染的容忍度急劇降低。因此，如何在不增加現(xiàn)有實(shí)驗(yàn)室整體潔凈度控制成本的條件下通過(guò)凈化技術(shù)增強(qiáng)樣品保藏微區(qū)環(huán)境的整體環(huán)境潔凈度和抗污染能力，逐漸成為檢測(cè)行業(yè)內(nèi)亟需解決的關(guān)鍵問(wèn)題，對(duì)此，本實(shí)用新型設(shè)計(jì)了一種動(dòng)態(tài)十級(jí)超高潔凈度實(shí)驗(yàn)柜來(lái)解決上述問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、針對(duì)上述情況，為克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，本實(shí)用新型提供一種動(dòng)態(tài)十級(jí)超高潔凈度實(shí)驗(yàn)柜，有效的解決了上述背景技術(shù)中檢測(cè)效率低、檢測(cè)準(zhǔn)確度低的問(wèn)題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種動(dòng)態(tài)十級(jí)超高潔凈度實(shí)驗(yàn)柜，包括柜體，所述柜體頂部設(shè)有接線盒，所述柜體內(nèi)部設(shè)有引風(fēng)機(jī)，所述引風(fēng)機(jī)固定于所述柜體內(nèi)部頂端，所述引風(fēng)機(jī)底部設(shè)有新風(fēng)入口超高效過(guò)濾膜，所述新風(fēng)入口超高效過(guò)濾膜固定于所述柜體內(nèi)部中間位置，所述柜體內(nèi)部底端固定有帶孔底板，所述柜體前側(cè)設(shè)有上下兩塊玻璃門，所述玻璃門前側(cè)通過(guò)多個(gè)固定螺母固定連接，所述玻璃門外表面固定有集成式觸摸屏。

3、優(yōu)選的，所述柜體后部頂端設(shè)有新風(fēng)入口，所述新風(fēng)入口設(shè)于所述引風(fēng)機(jī)中部位置，所述柜體背部底端設(shè)有廢氣風(fēng)閥，所述廢氣風(fēng)閥設(shè)于所述帶孔底板與所述柜體底面之間。

4、優(yōu)選的，所述柜體前部中間位置設(shè)有防爆led燈帶，所述防爆led燈帶固定于上端所述玻璃門內(nèi)側(cè)。

5、優(yōu)選的，所述帶孔底板上貫穿設(shè)有多個(gè)抽風(fēng)孔，每個(gè)所述抽風(fēng)孔的直徑均為毫米。

6、優(yōu)選的，所述柜體底部對(duì)稱設(shè)有至少四個(gè)靜音萬(wàn)向輪。

7、優(yōu)選的，所述防爆led燈帶、所述廢氣風(fēng)閥和所述引風(fēng)機(jī)與所述集成式觸摸屏通過(guò)信號(hào)連接，所述集成式觸摸屏用于控制所述防爆led燈帶、所述廢氣風(fēng)閥和所述引風(fēng)機(jī)工作。

8、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：

9、本實(shí)用新型將動(dòng)態(tài)百實(shí)驗(yàn)室內(nèi)部空氣通過(guò)新風(fēng)處理機(jī)組內(nèi)的超高效過(guò)濾裝置進(jìn)一步處理后潔凈度優(yōu)于動(dòng)態(tài)十級(jí)，可保持柜體內(nèi)部空間空氣潔凈度持續(xù)優(yōu)于動(dòng)態(tài)十級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，柜體采用模塊化拼裝技術(shù)，形成較大的內(nèi)部使用空間，滿足試驗(yàn)人員進(jìn)行液體樣品進(jìn)樣、液體樣品稀釋等必要的實(shí)驗(yàn)操作，柜體實(shí)現(xiàn)設(shè)計(jì)模塊化、構(gòu)件生產(chǎn)工業(yè)化、現(xiàn)場(chǎng)安裝裝配化、結(jié)構(gòu)裝飾集成化，降低電子級(jí)化學(xué)品在檢測(cè)過(guò)程中的樣品污染風(fēng)險(xiǎn)，提高檢測(cè)過(guò)程中樣品保藏區(qū)微環(huán)境的整體抗污染能力，從而保證樣品的安全。

10、本實(shí)用新型所提供的動(dòng)態(tài)十級(jí)潔凈度實(shí)驗(yàn)柜，采用可閉合的實(shí)驗(yàn)柜，避免了高純?cè)噭悠吩跇悠愤M(jìn)樣過(guò)程中受到實(shí)驗(yàn)室的環(huán)境污染，從而進(jìn)一步增加設(shè)備內(nèi)部氣體的清潔度。

11、本實(shí)用新型設(shè)置了廢氣排放系統(tǒng)，排風(fēng)閥為雙重單向閥，閥后管道直接與電感耦合等離子體-三重四極桿質(zhì)譜聯(lián)用儀(icp-ms/ms)的廢氣管道相連，不增加額外排放管道，且由于雙重單向閥的阻隔作用，可使得廢氣被排出，同時(shí)可避免排放閥內(nèi)廢氣倒灌入實(shí)驗(yàn)柜而污染樣品，從而進(jìn)一步增加樣品的安全度。

12、本實(shí)用新型通過(guò)新風(fēng)入口超高效過(guò)濾膜，可將氣體進(jìn)行分離，從而使得有機(jī)/刺激性氣味試劑蒸汽及時(shí)被抽走，從而進(jìn)一步保證柜體內(nèi)部的清潔度。

技術(shù)特征：

1.一種動(dòng)態(tài)十級(jí)超高潔凈度實(shí)驗(yàn)柜，其特征在于：包括柜體（2），所述柜體（2）頂部設(shè)有接線盒（1），所述柜體（2）內(nèi)部設(shè)有引風(fēng)機(jī)（3），所述引風(fēng)機(jī)（3）固定于所述柜體（2）內(nèi)部頂端，所述引風(fēng)機(jī)（3）底部設(shè)有新風(fēng)入口超高效過(guò)濾膜（5），所述新風(fēng)入口超高效過(guò)濾膜（5）固定于所述柜體（2）內(nèi)部中間位置，所述柜體（2）內(nèi)部底端固定有帶孔底板（9），所述柜體（2）前側(cè)設(shè)有上下兩塊玻璃門（7），所述玻璃門（7）前側(cè)通過(guò)多個(gè)固定螺母（8）固定連接，所述玻璃門（7）外表面固定有集成式觸摸屏（4）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種動(dòng)態(tài)十級(jí)超高潔凈度實(shí)驗(yàn)柜，其特征在于：所述柜體（2）后部頂端設(shè)有新風(fēng)入口（12），所述新風(fēng)入口（12）設(shè)于所述引風(fēng)機(jī)（3）中部位置，所述柜體（2）背部底端設(shè)有廢氣風(fēng)閥（13），所述廢氣風(fēng)閥（13）設(shè)于所述帶孔底板（9）與所述柜體（2）底面之間。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種動(dòng)態(tài)十級(jí)超高潔凈度實(shí)驗(yàn)柜，其特征在于：所述柜體（2）前部中間位置設(shè)有防爆led燈帶（6），所述防爆led燈帶（6）固定于上端所述玻璃門（7）內(nèi)側(cè)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種動(dòng)態(tài)十級(jí)超高潔凈度實(shí)驗(yàn)柜，其特征在于：所述帶孔底板（9）上貫穿設(shè)有多個(gè)抽風(fēng)孔（10），每個(gè)所述抽風(fēng)孔（10）的直徑均為50毫米。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種動(dòng)態(tài)十級(jí)超高潔凈度實(shí)驗(yàn)柜，其特征在于：所述柜體（2）底部對(duì)稱設(shè)有至少四個(gè)靜音萬(wàn)向輪（11）。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種動(dòng)態(tài)十級(jí)超高潔凈度實(shí)驗(yàn)柜，其特征在于：所述防爆led燈帶（6）、所述廢氣風(fēng)閥（13）和所述引風(fēng)機(jī)（3）與所述集成式觸摸屏（4）通過(guò)信號(hào)連接，所述集成式觸摸屏（4）用于控制所述防爆led燈帶（6）、所述廢氣風(fēng)閥（13）和所述引風(fēng)機(jī)（3）工作。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及實(shí)驗(yàn)輔助設(shè)備領(lǐng)域，具體為一種動(dòng)態(tài)十級(jí)超高潔凈度實(shí)驗(yàn)柜，包括柜體，所述柜體頂部設(shè)有接線盒，所述柜體內(nèi)部設(shè)有引風(fēng)機(jī)，所述引風(fēng)機(jī)固定于所述柜體內(nèi)部頂端，所述引風(fēng)機(jī)底部設(shè)有新風(fēng)入口超高效過(guò)濾膜，所述新風(fēng)入口超高效過(guò)濾膜固定于所述柜體內(nèi)部中間位置，所述柜體內(nèi)部底端固定有帶孔底板，所述柜體前側(cè)設(shè)有上下兩塊玻璃門，所述玻璃門前側(cè)通過(guò)多個(gè)固定螺母固定連接，所述玻璃門外表面固定有集成式觸摸屏；本技術(shù)所提供的動(dòng)態(tài)十級(jí)潔凈度實(shí)驗(yàn)柜，采用可閉合的實(shí)驗(yàn)柜，避免了高純?cè)噭悠吩跇悠愤M(jìn)樣過(guò)程中受到實(shí)驗(yàn)室的環(huán)境污染，從而進(jìn)一步增加設(shè)備內(nèi)部氣體的清潔度。

技術(shù)研發(fā)人員：鹿燕,廖上富,胡丹,韓延剛,盧珩俊,葉濤
受保護(hù)的技術(shù)使用者：浙江方圓檢測(cè)集團(tuán)股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231205
技術(shù)公布日：2024/12/17