本公開涉及空氣過濾系統(tǒng)。更具體來說，本公開涉及產(chǎn)生經(jīng)過濾空氣用于半導(dǎo)體制造中的空氣過濾系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體制造中可采用空氣過濾系統(tǒng)來將經(jīng)過濾空氣供應(yīng)到制造區(qū)域?？諝膺^濾系統(tǒng)可供應(yīng)待由半導(dǎo)體生產(chǎn)工具使用及/或圍繞半導(dǎo)體生產(chǎn)工具的無塵空氣。例如，無塵空氣可用作半導(dǎo)體晶片制造中的無塵清洗氣體。此外，例如，無塵空氣可用于其中制造半導(dǎo)體晶片的無塵室中?？諝膺^濾系統(tǒng)可經(jīng)配置以過濾空氣以去除會(huì)負(fù)面影響正在生產(chǎn)的半導(dǎo)體的質(zhì)量的各種污染物。例如，此類污染物可包含會(huì)污染晶片材料且降低所生產(chǎn)半導(dǎo)體的質(zhì)量的顆粒及/或揮發(fā)性有機(jī)物。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、在實(shí)施例中，一種空氣過濾系統(tǒng)包含光催化反應(yīng)器、經(jīng)安置于所述光催化反應(yīng)器的上游的第一空氣過濾器及經(jīng)安置于所述光催化反應(yīng)器的下游的第二空氣過濾器。所述光催化反應(yīng)器包含光催化劑組合物及經(jīng)配置以照射所述光催化劑組合物的燈。所述光催化劑組合物經(jīng)配置以分解通過所述光催化反應(yīng)器的空氣中的一或多種揮發(fā)性有機(jī)化合物。所述第一空氣過濾器經(jīng)配置以過濾來自所述空氣的一或多種化合物。所述第二空氣過濾器經(jīng)配置以過濾來自通過所述第二空氣過濾器的所述空氣的一或多種產(chǎn)物中的至少一者。

2、在實(shí)施例中，一種空氣過濾系統(tǒng)包含光催化反應(yīng)器及經(jīng)安置于所述光催化反應(yīng)器的上游的空氣過濾器。所述光催化反應(yīng)器包含光催化劑組合物的可攪動(dòng)床及經(jīng)配置以照射所述光催化劑組合物的燈。所述光催化劑組合物經(jīng)配置以分解通過所述光催化反應(yīng)器的空氣中的一或多種揮發(fā)性有機(jī)化合物。所述第一空氣過濾器經(jīng)配置以過濾來自所述空氣的一或多種化合物。

3、一種在空氣過濾系統(tǒng)中過濾空氣的方法包含：使空氣通過包含光催化劑組合物及燈的光催化反應(yīng)器；及在使所述空氣通過所述光催化反應(yīng)器之前使所述空氣通過第一過濾器。使所述空氣通過所述光催化反應(yīng)器包含使用所述燈來照射所述光催化劑組合物，及使用所述光催化劑組合物來將所述空氣中的一或多種揮發(fā)性有機(jī)化合物分解成一或多種產(chǎn)物。使所述空氣通過所述第一過濾器包含過濾來自所述空氣的一或多種化合物。所述方法包含：使所述空氣通過第二空氣過濾器包含過濾來自所述空氣的所述一或多種產(chǎn)物中的至少一者；及/或使所述空氣通過所述光催化反應(yīng)器包含使所述空氣通過所述光催化劑組合物的可攪動(dòng)床。

技術(shù)特征：

1.一種空氣過濾系統(tǒng)，其包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的空氣過濾系統(tǒng)，其進(jìn)一步包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的空氣過濾系統(tǒng)，其中由所述第一空氣過濾器過濾的所述一或多種化合物包含以下中的一或多者：

4.根據(jù)任何前述權(quán)利要求所述的空氣過濾系統(tǒng)，其進(jìn)一步包括：

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的空氣過濾系統(tǒng)，其進(jìn)一步包括：

6.根據(jù)任何前述權(quán)利要求所述的空氣過濾系統(tǒng)，其進(jìn)一步包括：

7.根據(jù)任何前述權(quán)利要求所述的空氣過濾系統(tǒng)，其中所述一或多種揮發(fā)性化合物包含異丙醇，所述光催化劑組合物經(jīng)配置以分解所述異丙醇。

8.根據(jù)任何前述權(quán)利要求所述的空氣過濾系統(tǒng)，其中所述光催化反應(yīng)器包含所述光催化劑組合物的可攪動(dòng)床。

9.一種空氣過濾系統(tǒng)，其包括：

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的空氣過濾系統(tǒng)，其中

11.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的空氣過濾系統(tǒng)，其進(jìn)一步包括：

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的空氣過濾系統(tǒng)，其進(jìn)一步包括：

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的空氣過濾系統(tǒng)，其進(jìn)一步包括：

14.根據(jù)權(quán)利要求9到13中任一權(quán)利要求所述的空氣過濾系統(tǒng)，其中由所述第一空氣過濾器過濾的所述一或多種化合物包含以下中的一或多者：

15.根據(jù)權(quán)利要求9到14中任一權(quán)利要求所述的空氣過濾系統(tǒng)，其進(jìn)一步包括：

16.根據(jù)權(quán)利要求9到15中任一權(quán)利要求所述的空氣過濾系統(tǒng)，其中所述一或多種揮發(fā)性化合物包含異丙醇，所述光催化劑組合物經(jīng)配置以分解所述異丙醇。

17.一種在空氣過濾系統(tǒng)中過濾空氣的方法，其包括：

18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其包括：

19.根據(jù)權(quán)利要求17或18所述的方法，其中所述使所述空氣通過所述光催化反應(yīng)器包含使所述空氣通過所述光催化劑組合物的所述可攪動(dòng)床。

20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其進(jìn)一步包括：

技術(shù)總結(jié)
一種空氣過濾系統(tǒng)包含光催化反應(yīng)器及所述光催化反應(yīng)器的上游的第一空氣過濾器。所述光催化反應(yīng)器包含光催化劑組合物及經(jīng)配置以照射所述光催化劑組合物的燈。所述光催化劑組合物經(jīng)配置以分解空氣中的一或多種揮發(fā)性有機(jī)化合物。所述第一空氣過濾器經(jīng)配置以過濾來自所述空氣的一或多種鈍化化合物。一種在空氣過濾系統(tǒng)中過濾空氣的方法包含使空氣通過光催化反應(yīng)器及在使所述空氣通過所述光催化反應(yīng)器之前使所述空氣通過第一過濾器。使所述空氣通過所述光催化反應(yīng)器包含光催化劑組合物分解所述空氣中的一或多種揮發(fā)性有機(jī)化合物。

技術(shù)研發(fā)人員：M·伊拉尼,J·高卓,R·斯里瓦斯塔瓦
受保護(hù)的技術(shù)使用者：恩特格里斯公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/10