本發(fā)明涉及過濾器，具體涉及一種氣體過濾器。

背景技術(shù)：

1、在過去的幾十年里，膜過濾技術(shù)逐漸嶄露頭角。這種技術(shù)利用特殊的高分子膜材料，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)微小顆粒和雜質(zhì)的高效分離。然而，膜過濾技術(shù)在處理高流量和高壓氣體時(shí)，往往面臨著膜的破損和性能下降的挑戰(zhàn)。并且，傳統(tǒng)的直線流過濾器結(jié)構(gòu)在處理大流量氣體時(shí)，壓力損失較大。

2、在實(shí)際應(yīng)用中，不同行業(yè)對(duì)高純氣體過濾器的要求也在不斷推動(dòng)技術(shù)的發(fā)展。在半導(dǎo)體制造行業(yè)，由于芯片制造工藝的不斷精細(xì)化，對(duì)氣體中的雜質(zhì)顆粒尺寸和濃度要求達(dá)到了極高的標(biāo)準(zhǔn)。生物醫(yī)藥領(lǐng)域?qū)怏w的純度和無菌性要求極高，因此不僅要求過濾器能夠去除物理雜質(zhì)，還需要具備除菌和抗病毒的功能。航空航天領(lǐng)域?qū)^濾器的輕量化、小型化和耐極端環(huán)境性能提出了特殊要求，以在保證過濾效果的同時(shí)，減輕過濾器的重量，提高其在高溫、高壓和強(qiáng)輻射等惡劣環(huán)境下的穩(wěn)定性。

3、綜上所述，氣體過濾器面臨著諸多挑戰(zhàn)，如進(jìn)一步提高過濾精度、延長(zhǎng)使用壽命、降低成本以及適應(yīng)更加復(fù)雜和苛刻的應(yīng)用環(huán)境等。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明實(shí)施例提供一種氣體過濾器，以解決現(xiàn)有的氣體過濾器存在的過濾精度低、使用壽命短、成本高以及難以適應(yīng)復(fù)雜和苛刻的應(yīng)用環(huán)境等問題。

2、根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例提供的氣體過濾器，包括：

3、殼體，所述殼體包括上游殼體和下游殼體，所述上游殼體的一端設(shè)置有進(jìn)氣口，所述下游殼體的一端設(shè)置有出氣口，所述上游殼體的另一端和下游殼體的另一端相互接合，形成沿所述殼體長(zhǎng)度方向延伸的中空腔室；

4、濾芯，設(shè)置在所述中空腔室內(nèi)，所述濾芯形成多個(gè)流道，所述流道沿所述殼體長(zhǎng)度方向延伸，所述流道的一端堵塞形成盲孔，且朝向進(jìn)氣方向開口的流道為上游流道，朝向所述出氣方向開口的流道為下游流道，所述上游流道的壁上設(shè)置有濾膜，待過濾的氣體通過所述上游流道上的濾膜和壁實(shí)現(xiàn)過濾。

5、在一些實(shí)施方式中，所述濾芯為陶瓷濾芯，所述濾膜為t?io2、zro2或al2o3納米級(jí)膜。

6、在一些實(shí)施方式中，所述上游流道的個(gè)數(shù)大于所述下游流道的個(gè)數(shù)；和/或，

7、所述上游流道的截面面積小于所述下游流道的截面面積。

8、在一些實(shí)施方式中，所述上游流道個(gè)數(shù)與所述下游流道個(gè)數(shù)的比值為10:9-24:13；和/或，

9、所述上游流道截面與所述下游流道截面的面積比為1-1.5。

10、在一些實(shí)施方式中，所述殼體、所述上游流道、上游流道的截面的形狀采用如下的任一種：圓形或多邊形。

11、在一些實(shí)施方式中，所述上游殼體和所述下游殼體之間可拆卸連接。

12、在一些實(shí)施方式中，所述上游殼體螺紋連接或者卡接在所述下游殼體上。

13、在一些實(shí)施方式中，所述濾芯和所述上游殼體之間設(shè)置有o型圈和o型圈壓環(huán)；和/或，

14、所述濾芯和所述下游殼體之間設(shè)置有o型墊片。

15、在一些實(shí)施方式中，所述o型圈壓環(huán)一側(cè)與所述濾芯和所述o型圈抵接，另一側(cè)與所述上游殼體內(nèi)的臺(tái)階抵接；

16、所述o型墊片一側(cè)與所述濾芯抵接，另一側(cè)與所述下游殼體內(nèi)的臺(tái)階抵接。

17、在一些實(shí)施方式中，所述濾膜通過溶膠凝膠法合成；和/或，

18、所述濾膜的厚度為20-60微米，所述濾膜中濾孔的直徑為0.6-1.5納米。

19、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn)：

20、本發(fā)明實(shí)施例提供的氣體過濾器，采用的多流道的壁向流濾芯堅(jiān)固耐用，濾膜精度高，由于多流道內(nèi)表面過濾，單位體積內(nèi)的過濾面積高，操作彈性大，在線壽命長(zhǎng)。

21、并且，濾芯采用全陶瓷結(jié)構(gòu)，耐受腐蝕性氣體的腐蝕及沖刷；陶瓷內(nèi)的濾膜精度高，適用于半導(dǎo)體制造、生物醫(yī)藥、航空航天等眾多領(lǐng)域；多流道內(nèi)表面過濾，單位體積內(nèi)的過濾面積是柱狀外表面單流道濾芯的8-10倍，可以耐受氣體流量和固含量的波動(dòng)，能處理更大流量及更高固含量，而處理同樣的氣量及固含量，過濾器的成本是傳統(tǒng)過濾器的1/3-1/4，且操作彈性大，在線壽命常，陶瓷濾芯外部清洗簡(jiǎn)單易操作，可多次清洗后循環(huán)再利用過濾器的在線壽命得到延長(zhǎng)，耐腐蝕性好。

技術(shù)特征：

1.一種氣體過濾器，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體過濾器，其特征在于，所述濾芯為陶瓷濾芯，所述濾膜為tio2、zro2或al?2o3納米級(jí)膜。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體過濾器，其特征在于，所述上游流道的個(gè)數(shù)大于所述下游流道的個(gè)數(shù)；和/或，

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的氣體過濾器，其特征在于，所述上游流道個(gè)數(shù)與所述下游流道個(gè)數(shù)的比值為10:9-24:13；和/或，

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體過濾器，其特征在于，所述殼體、所述上游流道、上游流道的截面的形狀采用如下的任一種：圓形或多邊形。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-5中任一項(xiàng)所述的氣體過濾器，其特征在于，所述上游殼體和所述下游殼體之間可拆卸連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的氣體過濾器，其特征在于，所述上游殼體螺紋連接或者卡接在所述下游殼體上。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的氣體過濾器，其特征在于，所述濾芯和所述上游殼體之間設(shè)置有o型圈和o型圈壓環(huán)；和/或，

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的氣體過濾器，其特征在于，所述o型圈壓環(huán)一側(cè)與所述濾芯和所述o型圈抵接，另一側(cè)與所述上游殼體內(nèi)的臺(tái)階抵接；和/或，

10.根據(jù)權(quán)利要求1-5中任一項(xiàng)所述的氣體過濾器，其特征在于，所述濾膜通過溶膠凝膠法合成；和/或，

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種氣體過濾器。所述氣體過濾器包括殼體，所述殼體包括上游殼體和下游殼體，上游殼體的一端設(shè)置有進(jìn)氣口，下游殼體的一端設(shè)置有出氣口，上游殼體的另一端和下游殼體的另一端相互接合，形成沿殼體長(zhǎng)度方向延伸的中空腔室；濾芯，設(shè)置在中空腔室內(nèi)，濾芯形成多個(gè)流道，流道沿所述殼體長(zhǎng)度方向延伸，流道的一端堵塞形成盲孔，且朝向進(jìn)氣方向開口的流道為上游流道，朝向所述出氣方向開口的流道為下游流道，上游流道的壁上設(shè)置有濾膜，待過濾的氣體通過所述上游流道上的濾膜和壁實(shí)現(xiàn)過濾。本發(fā)明提供的多流道的壁向流濾芯堅(jiān)固耐用，濾膜精度高，由于采用多流道內(nèi)表面過濾，單位體積內(nèi)的過濾面積高，操作彈性大，在線壽命長(zhǎng)。

技術(shù)研發(fā)人員：李鋒,郭偉,洪群生
受保護(hù)的技術(shù)使用者：常州賽璞睿生科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/10/24