本發(fā)明涉及多晶硅的尾氣回收的，尤其涉及一種反吹系統(tǒng)的。

背景技術：

1、在多晶硅生產過程中，尾氣回收是一個重要的環(huán)節(jié)，旨在提高原料的利用率并減少環(huán)境污染。在現(xiàn)有技術中，吸附柱用于回收和凈化尾氣中的有用成分，如氫氣和氯硅烷。然而，隨著吸附劑使用時間的增長，其表面會積累一定量的雜質，這會降低吸附效率，因此需要定期進行反吹活化以恢復其性能。

2、現(xiàn)有的反吹技術中雖然出于能耗考慮和成本問題采用了熱氣反吹和冷氣的技術，但是現(xiàn)有技術中并未考慮到由于熱氣反吹和冷氣所造成的加熱組件損壞等現(xiàn)象發(fā)生。另外，相當部分的反吹技術未充分考慮熱吹所造成的熱損傷問題。

技術實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明要解決的技術問題是如何能快速高效地實現(xiàn)反吹效果，同時避免對吸附劑和加熱組件造成熱損傷，提高長期穩(wěn)定性和使用壽命。

2、為解決上述技術問題，根據本發(fā)明提供一種反吹吸附柱的加熱組件，包括：

3、多個加熱單元，多個所述加熱單元串聯(lián)連接；

4、溫度傳感器，所述溫度傳感器設于所述加熱組件的出口處；

5、控制部，所述控制部電連接所述溫度傳感器和所有所述加熱單元。

6、進一步地，所述控制部為plc控制器，所述plc控制通過脈寬調制信號控制所有所述加熱單元。

7、一種反吹系統(tǒng)，包括上述一種反吹吸附柱的加熱組件，包括：

8、吸附組件，所述吸附組件包括多個吸附柱；每個所述吸附柱的進口端設有一個熱吹反吹出路；

9、氫氣罐，所述氫氣罐的進口端和每個所述吸附柱的出口端之間設有冷氣出路；同時，所述氫氣罐的出口端和每個所述吸附柱的進口端之間設有冷氣進路；

10、所述加熱組件的進口端連接至所述氫氣罐的出口端，所述加熱組件的出口端和每個所述吸附柱的出口端之間設有熱氣反吹進路。

11、進一步地，每個所述吸附柱的進口端連接尾氣進口，同一個所述吸附柱的出口端通過尾氣出口連接至所述氫氣罐。

12、進一步地，所述尾氣進口和所述尾氣出口處均設有第一開關閥；所述第一開關閥上均并聯(lián)有升壓閥。

13、進一步地，所有所述熱吹反吹出路連接至排氣路，所述熱吹反吹出路和所述熱吹反吹進路均設有第二開關閥，所述第二開關閥并聯(lián)有泄壓閥。

14、進一步地，所述冷氣出路和所述冷氣進路均設有第三開關閥。

15、進一步地，所有所述吸附柱內均設壓力傳感器。

16、一種反吹系統(tǒng)的控制方法，包括上述任意一種所述一種反吹系統(tǒng)，包括：

17、步驟1：控制部將其中一個所述吸附柱的所述第一開關閥打開，將該所述吸附柱的其余開關閥關閉；該所述吸附柱進行吸附過程；

18、同時，相鄰的所述吸附柱的相應的所述升壓閥打開，該吸附柱的所述第三開關閥打開；該吸附柱進行升壓冷卻過程；

19、同時，剩余的所述吸附柱的相應的所述減壓閥打開，該吸附柱的所述第二開關閥打開；該所述吸附柱進行熱氣反吹過程。

20、步驟2：將控制部首先控制的所述吸附柱向右移動一位，其余重復上一步驟操作；

21、步驟3：重復步驟2，直至停止操作。

22、一種反吹吸附柱的加熱組件的控制方法，適用于上述任意一種所述一種反吹系統(tǒng)，包括：

23、步驟一、當所述第三開關閥打開時，所述控制部將所有所述加熱單元的加熱頻率降低至下位預設值；

24、步驟二、當所述溫度傳感器感應到所述第三開關閥打開時起計算的預設時間段內，溫度變化梯度趨平時，再將所有所述加熱單元的加熱頻率調高至正常加熱頻率；

25、步驟三、所述控制部檢測加熱頻率是否超出上位預設值，若超出則停止加熱操作。

26、與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明的實施例所提供的技術方案至少可實現(xiàn)如下有益效果：

27、第一、本發(fā)明通過熱氣反吹和冷氣正吹的結合使用，可以更有效地清除吸附柱中的殘留物，從而提高吸附柱的吸附效率。

28、第二、本發(fā)明通過控制加熱組件的加熱頻率和溫度，可以避免對吸附劑和加熱單元等造成熱損傷，從而提高其長期穩(wěn)定性和使用壽命。

29、第三、本發(fā)明通過自動控制加熱組件和吸附柱的開關閥，可以確保系統(tǒng)在不同的操作階段都能穩(wěn)定運行

30、第四、本發(fā)明通過設置上位預設值來保護加熱組件，避免加熱單元已經損壞后所造成的更大損失，能及時修理，延長了設備的使用壽命。

技術特征：

1.一種反吹吸附柱的加熱組件，其特征在于，包括：

2.根據權利要求1所述的一種反吹吸附柱的加熱組件，其特征在于，所述控制部為plc控制器，所述plc控制通過脈寬調制信號控制所有所述加熱單元。

3.一種反吹系統(tǒng)，包括權利要求1至2所述一種反吹吸附柱的加熱組件，其特征在于，包括：

4.根據權利要求3所述的一種反吹系統(tǒng)，其特征在于，每個所述吸附柱的進口端連接尾氣進口，同一個所述吸附柱的出口端通過尾氣出口連接至所述氫氣罐。

5.根據權利要求4所述的一種反吹系統(tǒng)，其特征在于，所述尾氣進口和所述尾氣出口處均設有第一開關閥；所述第一開關閥上均并聯(lián)有升壓閥。

6.根據權利要求5所述的一種反吹系統(tǒng)，其特征在于，所有所述熱吹反吹出路連接至排氣路，所述熱吹反吹出路和所述熱吹反吹進路均設有第二開關閥，所述第二開關閥并聯(lián)有泄壓閥。

7.根據權利要求6所述的一種反吹系統(tǒng)，其特征在于，所述冷氣出路和所述冷氣進路均設有第三開關閥。

8.根據權利要求6所述的一種反吹系統(tǒng)，其特征在于，所有所述吸附柱內均設壓力傳感器。

9.一種反吹系統(tǒng)的控制方法，包括權利要求1至8任意一種所述一種反吹系統(tǒng)，包括：

10.一種反吹吸附柱的加熱組件的控制方法，適用于權利要求1至8任意一種所述一種反吹系統(tǒng)，包括：

技術總結
本發(fā)明涉及一種加熱組件和其反吹系統(tǒng)，包括：吸附組件包括多個吸附柱；每個吸附柱的進口端設有一個熱吹反吹出路；氫氣罐的進口端和每個吸附柱的出口端之間設有冷氣出路；同時，氫氣罐的出口端和每個吸附柱的進口端之間設有冷氣進路；加熱組件的進口端連接至氫氣罐的出口端，加熱組件的出口端和每個吸附柱的出口端之間設有熱氣反吹進路。本發(fā)明通過控制加熱組件的加熱頻率和溫度，可以避免對吸附劑和加熱單元等造成熱損傷，從而提高其長期穩(wěn)定性和使用壽命。

技術研發(fā)人員：謝勇剛,董瑞斌,彭冬壽,孫飛,宋筱江,徐寶寶,杜彥杰,葉梅,任剛剛
受保護的技術使用者：新疆東方希望新能源有限公司
技術研發(fā)日：
技術公布日：2024/12/19