本技術(shù)涉及硅片加工領(lǐng)域，具體為一種硅片加工用涂膠裝置。

背景技術(shù)：

1、隨著半導體行業(yè)的生產(chǎn)和技術(shù)發(fā)展，對生產(chǎn)設(shè)備的自動化要求越來越高。硅片是半導體元件制造的材料，一般情況下，多晶硅通過重熔拉晶，切片，倒角，研磨，拋光，清洗等工序后，即可獲得表面光滑平坦，邊緣整齊的芯片級硅片。在硅片加工過程中，涂膠是必不可少的一道工序。

2、現(xiàn)有的硅片加工用涂膠設(shè)備通常會先將膠水滴加到硅片上，之后通過工具將膠水抹勻，但是在涂膠的過程中添加的料量較多時，多余的膠水會被推出棄用，造成了資源的浪費。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的在于提供一種硅片加工用涂膠裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

2、為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：一種硅片加工用涂膠裝置，包括底座，所述底座的頂部設(shè)有隔網(wǎng)，所述隔網(wǎng)的頂部安裝有硅片定位框，所述底座背面的一側(cè)固定連接有第一安裝架，所述第一安裝架的頂部安裝有第一電動伸縮桿，所述第一電動伸縮桿的輸出端安裝有第二電動伸縮桿，所述第一安裝架的頂端安裝有料箱，所述料箱的內(nèi)部安裝有膠泵，所述第二電動伸縮桿的輸出端安裝有滴膠頭，所述底座背面的另一側(cè)安裝有第二安裝架，所述第二安裝架的頂部安裝有第三電動伸縮桿，所述第三電動伸縮桿的輸出端連接有刷膠機構(gòu)，所述底座的中部設(shè)有中槽，所述中槽的中部安裝有引流斗，所述底座的底部卡接有收集箱，所述底座正面的一側(cè)安裝有開關(guān)面板。

3、優(yōu)選的，所述第一電動伸縮桿、第二電動伸縮桿、膠泵和第三電動伸縮桿均通過開關(guān)面板與外接電源電性連接，開關(guān)面板便于對第一電動伸縮桿、第二電動伸縮桿、膠泵和第三電動伸縮桿進行控制。

4、優(yōu)選的，所述膠泵的輸出端連通有輸料管，所述輸料管的一端與滴膠頭連通。

5、優(yōu)選的，所述刷膠機構(gòu)包括橫向殼、轉(zhuǎn)動安裝在橫向殼內(nèi)部的絲桿、螺紋連接在絲桿表面的套筒和連接在套筒底部的固定桿，所述固定桿的底部連接有橫移桿，所述橫移桿與硅片定位框相匹配，所述橫移桿的底部設(shè)有軟毛刷，所述橫向殼的一側(cè)安裝有驅(qū)動電機，所述驅(qū)動電機的輸出端與絲桿的一端連接，刷膠機構(gòu)便于滴加的膠水涂勻在硅片表面。

6、優(yōu)選的，所述隔網(wǎng)安裝在中槽內(nèi)壁的頂部，所述引流斗的頂部與隔網(wǎng)的底部相對應，所述引流斗的底部與收集箱相對應，所述料箱的頂部設(shè)有加料口。

7、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是：

8、通過膠泵能夠?qū)⒛z水抽出并通過滴膠頭滴加到硅片表面，啟動刷膠機構(gòu)能夠?qū)⒐杵砻娴哪z水涂勻，完成涂膠工作，且進行涂膠過程中，多余的膠水被刷到硅片定位框的邊緣位置后會順著硅片定位框落到隔網(wǎng)上，之后穿過隔網(wǎng)進入引流斗內(nèi)部，最終流到收集箱內(nèi)部收集，整個涂膠裝置能夠在涂膠過程中對溢出的多余的膠水進行收集，節(jié)約資源，減少浪費。

技術(shù)特征：

1.一種硅片加工用涂膠裝置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的頂部設(shè)有隔網(wǎng)(2)，所述隔網(wǎng)(2)的頂部安裝有硅片定位框(3)，所述底座(1)背面的一側(cè)固定連接有第一安裝架(4)，所述第一安裝架(4)的頂部安裝有第一電動伸縮桿(5)，所述第一電動伸縮桿(5)的輸出端安裝有第二電動伸縮桿(6)，所述第一安裝架(4)的頂端安裝有料箱(7)，所述料箱(7)的內(nèi)部安裝有膠泵(23)，所述第二電動伸縮桿(6)的輸出端安裝有滴膠頭(8)，所述底座(1)背面的另一側(cè)安裝有第二安裝架(10)，所述第二安裝架(10)的頂部安裝有第三電動伸縮桿(11)，所述第三電動伸縮桿(11)的輸出端連接有刷膠機構(gòu)(12)，所述底座(1)的中部設(shè)有中槽(21)，所述中槽(21)的中部安裝有引流斗(22)，所述底座(1)的底部卡接有收集箱(13)，所述底座(1)正面的一側(cè)安裝有開關(guān)面板(9)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片加工用涂膠裝置，其特征在于：所述第一電動伸縮桿(5)、第二電動伸縮桿(6)、膠泵(23)和第三電動伸縮桿(11)均通過開關(guān)面板(9)與外接電源電性連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片加工用涂膠裝置，其特征在于：所述膠泵(23)的輸出端連通有輸料管(24)，所述輸料管(24)的一端與滴膠頭(8)連通。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片加工用涂膠裝置，其特征在于：所述刷膠機構(gòu)(12)包括橫向殼(14)、轉(zhuǎn)動安裝在橫向殼(14)內(nèi)部的絲桿(15)、螺紋連接在絲桿(15)表面的套筒(16)和連接在套筒(16)底部的固定桿(17)，所述固定桿(17)的底部連接有橫移桿(18)，所述橫移桿(18)與硅片定位框(3)相匹配，所述橫移桿(18)的底部設(shè)有軟毛刷(19)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種硅片加工用涂膠裝置，其特征在于：所述橫向殼(14)的一側(cè)安裝有驅(qū)動電機(20)，所述驅(qū)動電機(20)的輸出端與絲桿(15)的一端連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片加工用涂膠裝置，其特征在于：所述隔網(wǎng)(2)安裝在中槽(21)內(nèi)壁的頂部，所述引流斗(22)的頂部與隔網(wǎng)(2)的底部相對應。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片加工用涂膠裝置，其特征在于：所述引流斗(22)的底部與收集箱(13)相對應，所述料箱(7)的頂部設(shè)有加料口。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種硅片加工用涂膠裝置，包括底座，底座的頂部設(shè)有隔網(wǎng)，隔網(wǎng)的頂部安裝有硅片定位框，底座背面的一側(cè)固定連接有第一安裝架，第一安裝架的頂部安裝有第一電動伸縮桿，第一電動伸縮桿的輸出端安裝有第二電動伸縮桿，第一安裝架的頂端安裝有料箱，料箱的內(nèi)部安裝有膠泵，第二電動伸縮桿的輸出端安裝有滴膠頭，底座背面的另一側(cè)安裝有第二安裝架，第二安裝架的頂部安裝有第三電動伸縮桿，第三電動伸縮桿的輸出端連接有刷膠機構(gòu)，底座的中部設(shè)有中槽，中槽的中部安裝有引流斗，底座的底部卡接有收集箱，本技術(shù)一種硅片加工用涂膠裝置，整個涂膠裝置能夠在涂膠過程中對溢出的多余的膠水進行收集，節(jié)約資源。

技術(shù)研發(fā)人員：陳帥
受保護的技術(shù)使用者：蘇州金研光電科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240131
技術(shù)公布日：2024/12/19