一種多晶硅生產(chǎn)過程中尾氣雜質(zhì)過濾的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及多晶硅生產(chǎn)技術(shù)，特別指一種多晶硅生產(chǎn)過程中尾氣雜質(zhì)過濾的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在多晶硅生產(chǎn)過程中，根據(jù)各物料的不同物化特性，在特定的設(shè)備內(nèi)，控制一定的溫度、壓力，實(shí)現(xiàn)各種物料的純化、回收、分離、循環(huán)利用是不可缺少的重要環(huán)節(jié)，也是多晶硅產(chǎn)品質(zhì)量及生產(chǎn)成本、規(guī)模的保障，由于它成功的技術(shù)，已被國(guó)際著名多晶硅廠家采用，并已得到證實(shí)。
[0003]近些年，隨著多晶硅行業(yè)內(nèi)逐漸擴(kuò)大規(guī)模后面臨的尾氣雜質(zhì)，需要加強(qiáng)對(duì)尾氣雜質(zhì)過濾去除，以確保后續(xù)工序及動(dòng)設(shè)備等穩(wěn)定運(yùn)行?；谝陨媳尘?，設(shè)計(jì)一種多晶硅生產(chǎn)過程中尾氣雜質(zhì)過濾去除方法，對(duì)多晶硅行業(yè)內(nèi)，擴(kuò)大規(guī)模后面臨的尾氣雜質(zhì)加強(qiáng)過濾去除力度與裝置運(yùn)行穩(wěn)定性具有重要作用。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種多晶硅生產(chǎn)過程中尾氣雜質(zhì)過濾的方法，這種方法通過深冷工藝優(yōu)化調(diào)整和膜分離技術(shù)應(yīng)用，加強(qiáng)了對(duì)尾氣雜質(zhì)過濾去除，確保后續(xù)工序及動(dòng)設(shè)備等穩(wěn)定運(yùn)行。
[0005]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提出如下方案:本發(fā)明所設(shè)計(jì)的方法由深冷工藝優(yōu)化調(diào)整和膜分離技術(shù)應(yīng)用兩部分組成。①深冷工藝優(yōu)化調(diào)整，尾氣經(jīng)過低溫氯硅烷鼓泡噴淋，其中大部分氯硅烷被冷淋下來。然后混合氣被壓縮機(jī)壓縮到一定壓力后，再進(jìn)行低溫冷凝；②膜分離技術(shù)應(yīng)用，以微孔濾芯為過濾元件，不銹鋼為過濾外殼(特殊應(yīng)用場(chǎng)合可選用鈦金屬外殼或內(nèi)襯膠、襯四氟等)組合而成的密閉式精密過濾裝置。從而通過固液分離方式，可將Iym以上的顆粒一次性濾除，且穩(wěn)定性高，無吸附損耗問題，不改變過濾介質(zhì)的原有成份。
[0006]具體工藝過程如下:一種多晶硅生產(chǎn)過程中尾氣雜質(zhì)過濾的的方法，通過深冷工藝優(yōu)化調(diào)整和膜分離技術(shù)應(yīng)用，對(duì)尾氣雜質(zhì)過濾去除，確保后續(xù)工序及動(dòng)設(shè)備等穩(wěn)定運(yùn)行。多晶硅生產(chǎn)過程中排放的尾氣、安全泄放氣混合后進(jìn)入鼓泡噴淋塔底部，在塔內(nèi)溫度為(-40-33°C、壓力為50-80KPaG的環(huán)境下，從頂部噴淋而下的低溫液態(tài)氯硅烷與塔底部從下而上混合后的尾氣、安全泄放氣進(jìn)行逆向接觸，將尾氣中的氯硅烷物料液化回收，未被冷凝的不凝氣體(H2、氮?dú)獾?從鼓泡噴淋塔頂部出來進(jìn)入下游工序處理，塔底液態(tài)氯硅烷通過回流泵分兩路輸送，一路送至氟利昂冷卻器冷卻后再供鼓泡噴淋塔噴淋吸收尾氣；另一路由輸送泵進(jìn)入下游的膜分離器，通過膜分離器內(nèi)置濾芯的過濾，清液通過濾芯從膜分離器的頂部出口出來進(jìn)入下游精餾工序，大于I μ m的固體顆粒被所述濾芯過濾下來，當(dāng)膜分離器進(jìn)出口壓力差大于10KPaG的規(guī)定工藝參數(shù)值時(shí)，停止膜過濾操作進(jìn)行反沖洗，首先將沉積在膜分離器底端的固體顆粒通過底部出口排至殘液處理塔用堿液進(jìn)行處理，然后使用氮?dú)饣蛘咔逡簭哪し蛛x上部物料口進(jìn)入膜分離器，將附著在膜分離器壁上的固體顆粒沖洗干凈，反沖洗液進(jìn)入殘液儲(chǔ)槽，反沖洗合格后再進(jìn)行冷凝液的過濾操作。
[0007]本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是:本方法及裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、性能穩(wěn)定、雜質(zhì)過濾去除表現(xiàn)良好。通過固液分離方式，可將Iym以上的顆粒一次性濾除，且穩(wěn)定性高，無吸附損耗問題，不改變過濾介質(zhì)的原有成份。在實(shí)際使用中具有良好的效果。
【附圖說明】
[0008]圖1是本發(fā)明的流程示意簡(jiǎn)圖。
[0009]圖2是深冷工藝優(yōu)化鼓泡噴淋的示意圖。
[0010]圖3是膜分離技術(shù)應(yīng)用的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0011]以下根據(jù)實(shí)例具體說明本發(fā)明即一種多晶硅生產(chǎn)過程中尾氣雜質(zhì)過濾去除方法的【具體實(shí)施方式】，但并不對(duì)本發(fā)明產(chǎn)生任何限制。
[0012]如圖1所示的流程示意圖，通過深冷工藝優(yōu)化調(diào)整和膜分離技術(shù)應(yīng)用，對(duì)尾氣雜質(zhì)過濾去除，確保后續(xù)工序及動(dòng)設(shè)備等穩(wěn)定運(yùn)行。
[0013]如圖2所示，多晶硅生產(chǎn)過程中排放的尾氣、安全泄放氣混合后進(jìn)入鼓泡噴淋塔底部，在塔內(nèi)溫度為_33°C、壓力為50KPaG的環(huán)境下，從頂部噴淋而下的低溫液態(tài)氯硅烷與塔底部從下而上混合后的尾氣、安全泄放氣進(jìn)行逆向接觸，將尾氣中的氯硅烷物料液化回收，未被冷凝的不凝氣體(H2、氮?dú)獾?從鼓泡噴淋塔頂部出來進(jìn)入下游工序處理，塔底液態(tài)氯硅烷通過回流泵分兩路輸送，一路送至氟利昂冷卻器冷卻后再供鼓泡噴淋塔噴淋吸收尾氣；另一路由輸送泵進(jìn)入下游的膜分離器。
[0014]如圖3所示，通過膜分離器內(nèi)置濾芯的過濾，清液通過濾芯從膜分離器的頂部出口出來進(jìn)入下游精餾工序，大于I μ m的固體顆粒被所述濾芯過濾下來，當(dāng)膜分離器進(jìn)出口壓力差大于10KPaG的規(guī)定工藝參數(shù)值時(shí)，停止膜過濾操作進(jìn)行反沖洗，首先將沉積在膜分離器底端的固體顆粒通過底部出口排至殘液處理塔用堿液進(jìn)行處理，然后使用氮?dú)饣蛘咔逡簭哪し蛛x上部物料口進(jìn)入膜分離器，將附著在膜分離器壁上的固體顆粒沖洗干凈，反沖洗液進(jìn)入殘液儲(chǔ)槽，反沖洗合格后再進(jìn)行冷凝液的過濾操作。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種多晶硅生產(chǎn)過程中尾氣雜質(zhì)過濾的的方法，通過深冷工藝優(yōu)化調(diào)整和膜分離技術(shù)應(yīng)用，對(duì)尾氣雜質(zhì)過濾去除，確保后續(xù)工序及動(dòng)設(shè)備等穩(wěn)定運(yùn)行，其特征是:多晶硅生產(chǎn)過程中排放的尾氣、安全泄放氣混合后進(jìn)入鼓泡噴淋塔底部，在塔內(nèi)溫度為<-40--33°C、壓力為50-80KPaG的環(huán)境下，從頂部噴淋而下的低溫液態(tài)氯硅烷與塔底部從下而上混合后的尾氣、安全泄放氣進(jìn)行逆向接觸，將尾氣中的氯硅烷物料液化回收，未被冷凝的不凝氣體(H2、氮?dú)獾?從鼓泡噴淋塔頂部出來進(jìn)入下游工序處理，塔底液態(tài)氯硅烷通過回流泵分兩路輸送，一路送至氟利昂冷卻器冷卻后再供鼓泡噴淋塔噴淋吸收尾氣；另一路由輸送泵進(jìn)入下游的膜分離器，通過膜分離器內(nèi)置濾芯的過濾，清液通過濾芯從膜分離器的頂部出口出來進(jìn)入下游精餾工序，大于I μπι的固體顆粒被所述濾芯過濾下來，當(dāng)膜分離器進(jìn)出口壓力差大于10KPaG的規(guī)定工藝參數(shù)值時(shí)，停止膜過濾操作進(jìn)行反沖洗，首先將沉積在膜分離器底端的固體顆粒通過底部出口排至殘液處理塔用堿液進(jìn)行處理，然后使用氮?dú)饣蛘咔逡簭哪し蛛x上部物料口進(jìn)入膜分離器，將附著在膜分離器壁上的固體顆粒沖洗干凈，反沖洗液進(jìn)入殘液儲(chǔ)槽，反沖洗合格后再進(jìn)行冷凝液的過濾操作。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種多晶硅生產(chǎn)過程中尾氣雜質(zhì)過濾的方法，通過深冷工藝優(yōu)化調(diào)整主要是以鼓泡噴淋形式將低溫液態(tài)氯硅烷與塔底部從下而上混合后的尾氣、安全泄放氣進(jìn)行逆向接觸，將尾氣中的氯硅烷物料液化回收，未被冷凝的不凝氣體從鼓泡噴淋塔頂部出來進(jìn)入下游工序處理。膜分離技術(shù)應(yīng)用主要是通過膜分離器內(nèi)置濾芯的過濾，清液通過濾芯從膜分離器的頂部出口出來進(jìn)入下游精餾工序，大于1μm的固體顆粒被所述濾芯過濾下來。本方法具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、性能穩(wěn)定、雜質(zhì)過濾去除表現(xiàn)良好等特點(diǎn)。
【IPC分類】B01D47-05, B01D47-06, B01D61-00, B01D36-00
【公開號(hào)】CN104524904
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201410856902
【發(fā)明人】石程亮, 姜海明, 李輝
【申請(qǐng)人】?jī)?nèi)蒙古神舟硅業(yè)有限責(zé)任公司
【公開日】2015年4月22日
【申請(qǐng)日】2014年12月31日