廢氣處理系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及一種廢氣處理系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]微機(jī)電(MEMS)晶片在生成過程中有一表面顆粒去除清洗工藝，該工藝中使用到的溶液的配比為NH4OH = H2O2 = H2O = 1:1:6，其中氨水會揮發(fā)生成一定量的氨氣。氨氣作為一種弱堿性氣體，積存較多量存在一定的風(fēng)險。因此，為減小風(fēng)險，需求一套氨氣回收處理裝置。
[0003]在目前市場上比較普遍適用的氨氣處理裝置有廢棄處理系統(tǒng)(Local Scrubber)，其中常用的一種廢氣處理系統(tǒng)采用電漿處理方式，其通過工藝機(jī)臺端的排風(fēng)管將氨氣等混合氣體通過廢氣處理系統(tǒng)，該系統(tǒng)的反應(yīng)腔內(nèi)產(chǎn)生高能電漿，使得氨氣裂解并與氧氣反應(yīng)，以達(dá)到去除氨氣的功能，其去除效率(DRE)在正常情況下能達(dá)到99%。
[0004]但是，現(xiàn)有的電漿處理方式的廢氣處理系統(tǒng)雖能夠提供較高的去除效率，但也存在如下不足之處:
[0005]1、環(huán)保方面:
[0006]該系統(tǒng)采用電漿處理使得氨氣與氧氣發(fā)生反應(yīng)，以達(dá)到處理氨氣的目的，4NH3+302->2N2+6H20，但高溫燃燒的同時也會生成少量氮氧化物，4NH3+502 =催化劑加熱=4N0+6H20，氮氧化物中除二氧化氮以外，其他氮氧化物均極不穩(wěn)定，遇光、濕或熱變成二氧化氮及一氧化氮，一氧化氮又變?yōu)槎趸趸锒季哂胁煌潭鹊亩拘浴?br>[0007]2、低處理能力:
[0008]目前工藝設(shè)備端的2支排風(fēng)管，風(fēng)速達(dá)到12m/s，風(fēng)量為22標(biāo)方每分鐘，總和為44標(biāo)方每分鐘，此風(fēng)量為排風(fēng)系統(tǒng)最大總量。但上述類型的廢氣處理系統(tǒng)的處理能力一般僅有600升每分鐘，部分處理系統(tǒng)的處理能達(dá)到1500升每分鐘，但仍遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于目前工藝設(shè)備的排風(fēng)要求，這必將極大影響去除效率(DRE)。
[0009]3、價格方面:
[0010]上述廢氣處理系統(tǒng)在目前市場上的售價普遍為$60，000?80，000美元，約合Y360, 000?490，000元，價格較高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0011]本發(fā)明的目的是提供一種廢氣處理系統(tǒng)，其不會產(chǎn)生氮氧化物等光污染氣體，且成本低廉。
[0012]為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是:一種廢氣處理系統(tǒng)，用以處理含有氨氣的廢氣，包括水槽、設(shè)置在水槽一側(cè)的噴淋裝置及分別與所述水槽連接的進(jìn)氣線路和排氣線路，所述水槽分為相鄰設(shè)置的噴淋區(qū)和干燥區(qū)，所述噴淋區(qū)與進(jìn)氣線路連接，所述干燥區(qū)與排氣線路連接，所述噴淋裝置朝向噴淋區(qū)并向噴淋區(qū)噴射水，所述廢氣經(jīng)進(jìn)氣線路進(jìn)入至噴淋區(qū)遇水，廢氣中氨氣溶于水中別并隨水沉入水槽，其他氣體經(jīng)干燥區(qū)進(jìn)入排氣線路。
[0013]進(jìn)一步的，所述噴淋裝置與水槽之間設(shè)置有循環(huán)管路，所述循環(huán)管路上設(shè)置有將水槽內(nèi)的液體輸送至噴淋裝置的循環(huán)動力裝置，所述廢氣處理系統(tǒng)還包括用以檢測水槽內(nèi)的液位的水槽液位檢測計，所述水槽液位檢測計與循環(huán)動力裝置電性連接。
[0014]進(jìn)一步的，所述循環(huán)動力裝置的數(shù)量為并列設(shè)置在循環(huán)管路上的兩個。
[0015]進(jìn)一步的，所述水槽上設(shè)置有排水管路，所述排水管路上設(shè)置有排水動力裝置，所述排水動力裝置與水槽液位檢測計電性連接。
[0016]進(jìn)一步的，所述循環(huán)動力裝置和排水動力裝置均為水泵。
[0017]進(jìn)一步的，所述水槽上還設(shè)置有進(jìn)水管路，所述進(jìn)水管路上設(shè)置有補(bǔ)水閥，所述補(bǔ)水閥與水槽液位檢測計電性連接。
[0018]進(jìn)一步的，所述廢氣處理系統(tǒng)還包括用以檢測水槽內(nèi)液體的酸堿度的酸堿值檢測計，所述酸堿值檢測計分別與排水動力裝置、補(bǔ)水閥電性連接。
[0019]進(jìn)一步的，所述廢氣處理系統(tǒng)的底部設(shè)置有防漏盤，所述廢氣處理系統(tǒng)還包括檢測是否有液體滴落至防漏盤的漏液檢測器及與所述漏液檢測器連接的提示裝置。
[0020]進(jìn)一步的，所述噴淋區(qū)的上側(cè)和左側(cè)分別設(shè)置有噴淋裝置。
[0021]進(jìn)一步的，所述水槽具有形成在水槽兩端的進(jìn)氣口和出氣口，所述進(jìn)氣口設(shè)置在噴淋區(qū)，所述進(jìn)氣口與進(jìn)氣線路連接，并通過進(jìn)氣法蘭對接，所述出氣口設(shè)置在干燥區(qū)，所述出氣口與排氣線路連接，并通過出氣法蘭對接。
[0022]借由上述方案，本發(fā)明至少具有以下優(yōu)點:鑒于氨氣極易溶于水的特性，本發(fā)明的廢棄處理系統(tǒng)將噴淋裝置朝向噴淋區(qū)，氨氣從進(jìn)氣線路中進(jìn)入后，通過水淋方式以去除氨氣，從而不會產(chǎn)生氮氧化物等光污染氣體，且成本低廉。
[0023]上述說明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段，并可依照說明書的內(nèi)容予以實施，以下以本發(fā)明的較佳實施例并配合附圖詳細(xì)說明如后。
【附圖說明】
[0024]圖1是本發(fā)明廢氣處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0025]下面結(jié)合附圖和實施例，對本發(fā)明的【具體實施方式】作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實施例用于說明本發(fā)明，但不用來限制本發(fā)明的范圍。
[0026]參見圖1，本發(fā)明一較佳實施例所述的一種廢棄處理系統(tǒng)用于處理微機(jī)電晶片清洗工藝中所產(chǎn)生的廢氣，該廢氣主要含有氨氣。所述廢氣處理系統(tǒng)包括盛放液體(未圖示)的水槽1、設(shè)置在水槽I 一側(cè)的噴淋裝置2、及與所述水槽I連接的進(jìn)氣線路3和排氣線路4。該水槽I內(nèi)的液體為水，所述水槽I具有形成在水槽I的左右兩端的進(jìn)氣口 11和出氣口 12，所述水槽I分為噴淋區(qū)13和干燥區(qū)14，其噴淋區(qū)13位于干燥區(qū)14的左側(cè)，所述噴淋區(qū)13的左側(cè)與進(jìn)氣口 11連接，右側(cè)與干燥區(qū)14的左側(cè)連接，所述干燥區(qū)14的右側(cè)與出氣口 12連接。所述進(jìn)氣口 11與進(jìn)氣線路3連接，該進(jìn)氣口 11與進(jìn)氣線路3之間通過進(jìn)氣法蘭15對接，所述出氣口 12與排氣線路4連接，該出氣口 12與排氣線路4之間通過出氣法蘭16對接，在本實施例中，進(jìn)氣法蘭15和出氣法蘭16為Φ200?500FRP，誠然，在具體使用時，可根據(jù)實際需求選擇合適的口徑。所述噴淋裝置2朝向噴淋區(qū)13，噴淋區(qū)13的上側(cè)和左側(cè)分別設(shè)置有噴淋裝置2，其處理量44標(biāo)方每分鐘。所述廢氣經(jīng)進(jìn)氣線路3進(jìn)入至噴淋區(qū)13遇水，廢氣中氨氣溶于水中別并隨水沉入水槽1，其他氣體(不溶于水的氣體)經(jīng)干燥區(qū)14進(jìn)入排氣線路4。使用時，含有大量氨氣的廢氣從進(jìn)氣線路3內(nèi)進(jìn)入至進(jìn)氣口 11，然后進(jìn)入至噴淋區(qū)13，此時，由于位于噴淋區(qū)13上側(cè)和左側(cè)的噴淋裝置2不斷的朝噴淋區(qū)13內(nèi)噴射液體，從而該廢氣在經(jīng)過噴淋區(qū)13的時需要穿過液體，廢氣與液體之間發(fā)生碰撞交叉，而由于廢氣內(nèi)含有大量的氨氣，氨氣易溶于水中，所以，廢氣在經(jīng)過該噴淋區(qū)13時，廢氣內(nèi)的氨氣溶于水中被帶走，而廢氣內(nèi)不能溶于水的其他氣體，則進(jìn)入至干燥區(qū)14，該部分進(jìn)入至干燥區(qū)14后，再從出氣口 12進(jìn)入至排氣線路4內(nèi)，最后由排氣線路4排出，通過此種方式，不會產(chǎn)生氮氧化物等光