一種氨氣和硅烷混合廢氣綜合處理裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種氨氣和硅烷混合廢氣綜合處理裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]太陽(yáng)能光伏電池片是一種將太陽(yáng)能轉(zhuǎn)換為電能的半導(dǎo)體器件，其原理為光電效應(yīng)。在生產(chǎn)太陽(yáng)能光伏電池片的過(guò)程中，需要在太陽(yáng)能電池表面利用PECVD技術(shù)沉積一層氮化硅減反射膜，以達(dá)到減少光線在電池片表面反射作用，提高太陽(yáng)能電池的光電轉(zhuǎn)換效率。PECVD鍍膜反應(yīng)采用氨氣(NH3)和硅烷(SiH4)作為等離子氣源，在太陽(yáng)能電池表面制備氮化硅膜，氮化硅膜主要含N、S1、Η元素(SiNx:H)。制備氮化硅膜過(guò)程中，通過(guò)控制真空栗將腔體內(nèi)過(guò)量的氨氣和硅烷抽出來(lái)保證爐管腔體壓力恒定。被抽出的氨氣和硅烷作為廢氣通過(guò)廢氣處理裝置處理后排放。
[0003]目前氨氣廢氣處理普遍采用的吸收法。對(duì)于大量氨氣廢氣，采用硫酸吸收生成硫酸銨鹽，利用硫酸銨制成化肥，對(duì)于少量氨氣廢氣，采用四氯化碳加水吸收。而PECVD鍍膜工藝產(chǎn)生的氨氣廢氣量并不大，用硫酸吸收無(wú)實(shí)用價(jià)值，用四氯化碳等化學(xué)藥劑吸收則成本較高。同時(shí)由于硅烷極易在空氣中燃燒，所以處理硅烷主要采用燃燒法，在硅烷燃燒塔內(nèi)同時(shí)通入過(guò)量氮?dú)夂蛪嚎s空氣，使娃燒安全燃燒。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的是提供一種成本低的氨氣和硅烷混合廢氣綜合處理裝置，能夠有效、安全的處理氨氣和硅烷混合廢氣。
[0005]—種氨氣和硅烷混合廢氣綜合處理裝置，其特別之處在于:包括硅烷燃燒塔，該硅烷燃燒塔的進(jìn)風(fēng)口通過(guò)管道與PECVD真空栗出風(fēng)口連通，該硅烷燃燒塔的出風(fēng)口通過(guò)管道與氨氣噴淋吸收塔進(jìn)風(fēng)口連通，該氨氣噴淋吸收塔的出風(fēng)口通過(guò)管道與風(fēng)機(jī)連通。
[0006]其中硅烷燃燒塔還通過(guò)管道分別與液氮汽化器和壓縮空氣儲(chǔ)氣罐連通，并且在硅烷燃燒塔上與該液氮汽化器和壓縮空氣儲(chǔ)氣罐的接口處分別安裝有流量計(jì)。
[0007]其中氨氣噴淋吸收塔包括水箱，在該水箱內(nèi)安裝有pH計(jì)；其中該水箱底部通過(guò)排水管與廢水管道連通，在該排水管上安裝有常閉電磁閥，并且該常閉電磁閥與前述的pH計(jì)連接；其中該水箱頂部通過(guò)給水管與自來(lái)水管道連通，在該給水管上也安裝有常閉電磁閥，并且該常閉電磁閥與前述的pH計(jì)連接；其中該水箱頂部還通過(guò)溢水管與廢水管道連通。
[0008]其中在氨氣噴淋吸收塔的水箱旁安裝有水栗，該水栗進(jìn)口接水箱而其出口接氨氣噴淋吸收塔塔頂?shù)膰娮臁?br>[0009]其中在氨氣噴淋吸收塔的中間安裝有至少一層網(wǎng)格架，在該網(wǎng)格架上鋪放有聚丙烯材質(zhì)的圓球作為填充物。
[0010]本發(fā)明提供了一種太陽(yáng)能光伏電池片生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的氨氣和硅烷混合廢氣綜合處理裝置，通過(guò)該氨氣和硅烷廢氣綜合處理裝置，其優(yōu)點(diǎn)是:(1)有效處理氨氣廢氣，廢氣排放達(dá)到國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)；(2)安全處理硅烷廢氣，廢氣排放達(dá)到國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)；(3)整個(gè)處理過(guò)程無(wú)需人員操作，安全無(wú)害，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，壓損小；(4)不使用其他化學(xué)藥劑，降低廢氣處理成本；(5)裝置占地面積小，制造成本低，維護(hù)周期長(zhǎng)，無(wú)需經(jīng)常保養(yǎng)。
【附圖說(shuō)明】
[0011]附圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0012]如圖1所示，本發(fā)明提供了一種氨氣和硅烷混合廢氣綜合處理裝置，包括硅烷燃燒塔，該硅烷燃燒塔的進(jìn)風(fēng)口通過(guò)管道與PECVD真空栗出風(fēng)口連通，該硅烷燃燒塔的出風(fēng)口通過(guò)管道與氨氣噴淋吸收塔進(jìn)風(fēng)口連通，該氨氣噴淋吸收塔的出風(fēng)口通過(guò)管道與風(fēng)機(jī)連通。
[0013]其中硅烷燃燒塔還通過(guò)管道分別與液氮汽化器和壓縮空氣儲(chǔ)氣罐連通，并且在硅烷燃燒塔上與該液氮汽化器和壓縮空氣儲(chǔ)氣罐的接口處分別安裝有流量計(jì)。其中在氨氣噴淋吸收塔包括水箱，在該水箱內(nèi)安裝有pH計(jì)(pH檢測(cè)器)。該水箱底部通過(guò)排水管與廢水管道連通，在該排水管上安裝有常閉電磁閥，并且該常閉電磁閥與前述的pH計(jì)連接；其中該水箱頂部通過(guò)給水管與自來(lái)水管道連通，在該給水管上也安裝有常閉電磁閥，并且該常閉電磁閥與前述的pH計(jì)連接；其中該水箱頂部還通過(guò)溢水管與廢水管道連通。
[0014]其中在氨氣噴淋吸收塔的水箱旁安裝有水栗，該水栗進(jìn)口接水箱而其出口接氨氣噴淋吸收塔塔頂?shù)膰娮?。在氨氣噴淋吸收塔的中間安裝有至少一層網(wǎng)格架，在該網(wǎng)格架上鋪放有有PP材質(zhì)小圓球做填充物。
[0015]實(shí)施例1:
[0016]為了安全有效處理太陽(yáng)能光伏行業(yè)PECVD工藝產(chǎn)生的氨氣和硅烷混合廢氣，本發(fā)明提供了一套氨氣和硅烷混合廢氣綜合處理裝置。其中，氨氣和硅烷混合廢氣綜合處理裝置包括:
[0017](1)硅烷燃燒塔:PECVD真空栗出風(fēng)口與硅烷燃燒塔進(jìn)風(fēng)口由DN50 (2寸)不銹鋼管相連。液氮汽化器和壓縮空氣儲(chǔ)氣罐與硅烷燃燒塔用DN15 (4分)不銹鋼管相連，硅烷燃燒塔接口處安裝流量計(jì)，流量計(jì)常開(kāi)，控制氮?dú)夂蛪嚎s空氣流量。硅烷燃燒塔出風(fēng)口與氨氣洗滌塔進(jìn)風(fēng)口用DN150 (6寸)不銹鋼管相連。所述混合廢氣由真空栗抽出，并由裝置末端風(fēng)機(jī)抽至硅烷燃燒塔，同時(shí)燃燒塔中通入過(guò)量氮?dú)夂蛪嚎s空氣，使混合氣體安全充分燃燒；
[0018](2)氨氣噴淋吸收塔:氨氣噴淋吸收塔進(jìn)風(fēng)口與硅烷燃燒塔出風(fēng)口用DN150 (6寸)不銹鋼管相連；氨氣噴淋吸收塔水箱內(nèi)置pH計(jì)；氨氣噴淋吸收塔水箱底部接一 DN50 (2寸)UPVC材質(zhì)排水管至廢水管道，電磁閥常閉，排水管電磁閥由pH計(jì)控制；距氨氣噴淋吸收塔水箱頂部10cm處接一 DN50(2寸)UPVC材質(zhì)自溢水管至廢水管道，自溢水管不設(shè)閥門(mén)。
[0019]氨氣噴淋吸收塔水箱頂部接一 DN25(1寸)UPVC給水管至自來(lái)水管道，給水管電磁閥常閉，給水管電磁閥由pH計(jì)控制；氨氣噴淋吸收塔水箱兩側(cè)各安裝一臺(tái)離心式水栗，一臺(tái)常開(kāi)，一臺(tái)備用，水栗出口接塔頂噴嘴，水栗選用揚(yáng)程20m的離心水栗；氨氣噴淋吸收塔中間安裝一層PP材質(zhì)網(wǎng)格架，網(wǎng)格架上鋪放有PP材質(zhì)小圓球做填充物，用以增加氨氣和噴淋水滴接觸面積。
[0020]所述廢氣經(jīng)由燃燒塔燃燒后被抽入氨氣噴淋吸收塔，利用噴淋下來(lái)的水滴吸收氨氣和硅烷燃燒產(chǎn)生的粉塵，氨氣極易溶于水形成氨水。當(dāng)pH計(jì)檢測(cè)到水箱內(nèi)氨水pH > 11后，控制給水管電磁閥和排水管電磁閥同時(shí)打開(kāi)，當(dāng)檢測(cè)到水箱氨水pH < 9以后，控制給水管電磁閥和排水管電磁閥同時(shí)關(guān)閉。
[0021]所述廢氣經(jīng)過(guò)氨氣噴淋吸收后，由抽風(fēng)機(jī)抽出達(dá)標(biāo)高空排放，抽風(fēng)機(jī)選用兩臺(tái)10KW風(fēng)機(jī)，一臺(tái)常開(kāi)，一臺(tái)備用。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種氨氣和硅烷混合廢氣綜合處理裝置，其特征在于:包括硅烷燃燒塔，該硅烷燃燒塔的進(jìn)風(fēng)口通過(guò)管道與PECVD真空栗出風(fēng)口連通，該硅烷燃燒塔的出風(fēng)口通過(guò)管道與氨氣噴淋吸收塔進(jìn)風(fēng)口連通，該氨氣噴淋吸收塔的出風(fēng)口通過(guò)管道與風(fēng)機(jī)連通。2.如權(quán)利要求1所述的一種氨氣和硅烷混合廢氣綜合處理裝置，其特征在于:其中硅烷燃燒塔還通過(guò)管道分別與液氮汽化器和壓縮空氣儲(chǔ)氣罐連通，并且在硅烷燃燒塔上與該液氮汽化器和壓縮空氣儲(chǔ)氣罐的接口處分別安裝有流量計(jì)。3.如權(quán)利要求1所述的一種氨氣和硅烷混合廢氣綜合處理裝置，其特征在于:其中氨氣噴淋吸收塔包括水箱，在該水箱內(nèi)安裝有pH計(jì)；其中該水箱底部通過(guò)排水管與廢水管道連通，在該排水管上安裝有常閉電磁閥，并且該常閉電磁閥與前述的pH計(jì)連接；其中該水箱頂部通過(guò)給水管與自來(lái)水管道連通，在該給水管上也安裝有常閉電磁閥，并且該常閉電磁閥與前述的pH計(jì)連接；其中該水箱頂部還通過(guò)溢水管與廢水管道連通。4.如權(quán)利要求3所述的一種氨氣和硅烷混合廢氣綜合處理裝置，其特征在于:其中在氨氣噴淋吸收塔的水箱旁安裝有水栗，該水栗進(jìn)口接水箱而其出口接氨氣噴淋吸收塔塔頂?shù)膰娮臁?.如權(quán)利要求1至4中任意一項(xiàng)所述的一種氨氣和硅烷混合廢氣綜合處理裝置，其特征在于:其中在氨氣噴淋吸收塔的中間安裝有至少一層網(wǎng)格架，在該網(wǎng)格架上鋪放有聚丙烯材質(zhì)的圓球作為填充物。
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種氨氣和硅烷混合廢氣綜合處理裝置。其特點(diǎn)是：包括硅烷燃燒塔，該硅烷燃燒塔的進(jìn)風(fēng)口通過(guò)管道與PECVD真空泵出風(fēng)口連通，該硅烷燃燒塔的出風(fēng)口通過(guò)管道與氨氣噴淋吸收塔進(jìn)風(fēng)口連通，該氨氣噴淋吸收塔的出風(fēng)口通過(guò)管道與風(fēng)機(jī)連通。本發(fā)明提供了一種太陽(yáng)能光伏電池片生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的氨氣和硅烷混合廢氣綜合處理裝置，通過(guò)該氨氣和硅烷廢氣綜合處理裝置，其優(yōu)點(diǎn)是：(1)有效處理氨氣廢氣，廢氣排放達(dá)到國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)；(2)安全處理硅烷廢氣，廢氣排放達(dá)到國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)；(3)整個(gè)處理過(guò)程無(wú)需人員操作，安全無(wú)害，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，壓損小；(4)不使用其他化學(xué)藥劑，降低廢氣處理成本。
【IPC分類】F23G7/06, B01D53/14, B01D47/00
【公開(kāi)號(hào)】CN105289214
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510800893
【發(fā)明人】丁繼業(yè), 陳剛剛, 王雄, 謝余才, 安百俊, 袁佳新
【申請(qǐng)人】寧夏銀星能源光伏發(fā)電設(shè)備制造有限公司
【公開(kāi)日】2016年2月3日
【申請(qǐng)日】2015年11月19日