自動硅片勻膠機用涂膠裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種自動硅片勻膠機，特別涉及一種自動硅片勻膠機用涂膠裝置。
【背景技術】
[0002]隨著半導體行業(yè)的生產和技術發(fā)展，對生產設備的自動化要求越來越高。硅片的涂膠處理是半導體行業(yè)必不可少的環(huán)節(jié)。以往硅片的涂膠多是靠人工手動完成，工作效率低，且難以保證最終的膠膜厚度和均勻程度。近年來，隨著技術人員的不斷研究，自動涂膠機在半導體行業(yè)得到了廣泛應用。
[0003]目前，半導體行業(yè)中硅片的涂膠處理一般采用的設備工藝流程為經手動放置片籃、自動送片至上料工位、硅片搬運至涂膠工位涂膠、硅片搬運至烘干工位烘干、硅片搬運至下料工位、自動插片、片籃裝滿后手動下料，費工、費時，且涂膠不均勻，勞動效率低、成品率不高，亟待通過自動化提高勞動效率和成品率、解放勞動力。

【發(fā)明內容】

[0004]鑒于現有技術存在的不足，本發(fā)明提供一種自動硅片勻膠機用涂膠裝置，以解決自動硅片勻膠機中涂膠用裝置，具體技術方案是，一種自動硅片勻膠機用涂膠裝置，包括膠管、點膠機、真空吸盤、調速電機、升降氣缸、主軸套管、升降板、導軌和滑塊，其特征在于:導軌固定在自動硅片勻膠機下側機板上，升降氣缸通過滑塊固定于導軌上并頂住升降板控制升降板上下運動，升降板通過主軸套管與真空吸盤連接，控制真空吸盤的上下運動，調速電機與真空吸盤主軸相連，控制真空吸盤的轉速，真空吸盤置于自動硅片勻膠機的工作臺的點膠工位上，膠管固定于點膠機上，點膠機固定于自動硅片勻膠機的工作臺上，使膠管正對準真空吸盤中心點。
[0005]本發(fā)明的技術效果是，結構簡單、最終的膠膜厚度和均勻程度可控，縮短了涂膠時間，提高了勞動效率和成品率。
【附圖說明】
[0006]圖1是本發(fā)明的結構正視圖。
[0007]圖2是本發(fā)明的結構側視圖。
[0008]圖3是本發(fā)明的結構俯視圖。
【具體實施方式】
[0009]如圖1、2、3所示，一種自動硅片勻膠機用涂膠裝置，包括膠管1、點膠機2、真空吸盤3、調速電機4、升降氣缸5、主軸套管6、升降板7、導軌8和滑塊9，真空吸盤起吸附作用，硅片放置后，通過氣道抽真空，從而起到真空吸附作用，調速電機可以使涂膠工位高速旋轉硅片，從而使膠液均勻覆蓋整個硅片，控制調速電機4速度即可控制涂膠厚度和均勻度，升降氣缸控制涂膠工位的升降從而完成取片任務。導軌8固定在自動硅片勻膠機下側機板上，升降氣缸5通過滑塊9固定于導軌8上并頂住升降板7控制升降板7上下運動，升降板7通過主軸套管6與真空吸盤3連接，控制真空吸盤3的上下運動，調速電機4與真空吸盤3主軸相連，控制真空吸盤3的轉速，真空吸盤3置于自動硅片勻膠機的工作臺的點膠工位上，膠管1固定于點膠機2上，點膠機2固定于自動硅片勻膠機的工作臺上，使膠管1正對準真空吸盤3中心點。
【主權項】
1.一種自動硅片勻膠機用涂膠裝置，包括膠管(1)、點膠機(2)、真空吸盤(3)、調速電機(4)、升降氣缸(5)、主軸套管(6)、升降板(7)、導軌(8)和滑塊(9)，其特征在于:導軌(8)固定在自動硅片勻膠機下側機板上，升降氣缸(5)通過滑塊(9)固定于導軌(8)上并頂住升降板(7)控制升降板(7)上下運動，升降板(7)通過主軸套管(6)與真空吸盤(3)連接，控制真空吸盤(3)的上下運動，調速電機(4)與真空吸盤(3)主軸相連，控制真空吸盤(3)的轉速，真空吸盤(3)置于自動硅片勻膠機的工作臺的點膠工位上，膠管(1)固定于點膠機(2)上，點膠機(2)固定于自動硅片勻膠機的工作臺上，使膠管(1)正對準真空吸盤(3)中心點。
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種自動硅片勻膠機用涂膠裝置，包括膠管、點膠機、真空吸盤、調速電機、升降氣缸、主軸套管、升降板、導軌和滑塊，硅片放置后，通過氣道抽真空，從而起到真空吸附作用，調速電機可以使涂膠工位高速旋轉硅片，從而使膠液均勻覆蓋整個硅片，控制調速電機速度即可控制涂膠厚度和均勻度，升降氣缸控制涂膠工位的升降從而完成取片任務，技術效果是，結構簡單、最終的膠膜厚度和均勻程度可控，縮短了涂膠時間，提高了勞動效率和成品率。
【IPC分類】B05C13/02, B05C5/02, B05C11/08
【公開號】CN105396754
【申請?zhí)枴緾N201510885973
【發(fā)明人】靳立輝, 張學強, 白聰軒, 崔振強, 高樹良, 周曉英
【申請人】天津中環(huán)半導體股份有限公司
【公開日】2016年3月16日
【申請日】2015年12月7日