一種用于led制造中的尾氣排放氨氣回收系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于氣體回收領(lǐng)域，具體涉及一種尾氣排放中的氨氣回收系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]在LED行業(yè)，上游企業(yè)最關(guān)鍵的LED外延芯片制造領(lǐng)域中，超純氨是最主要的物料之一。然而在其LED藍綠光外延芯片制造中只消耗很小一部分氨，大部分氨將隨著H2排放，造成了很大的浪費。
[0003]而且隨著人們環(huán)保意識的增強，國家對環(huán)境排放的要求逐漸提升，LED制造過程中氨氣的排放也必須得到控制。
[0004]然而現(xiàn)有的氣體回收系統(tǒng)都非常的復雜，難以實施來滿足LED生產(chǎn)制造過程中的氨氣回收需求。因此急需一種結(jié)構(gòu)合理、行之有效的針對LED制造過程中的氨氣回收系統(tǒng)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]發(fā)明目的:為了克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，本實用新型提供一種用于LED制造中的尾氣排放氨氣回收系統(tǒng)，以解決LED制造過程中的氣體排放造成的氨氣浪費和環(huán)境污染問題。
[0006]技術(shù)方案:為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供的用于LED制造中的尾氣排放氨氣回收系統(tǒng)，包括水泵、三個以上的凈化罐、鼓風機、氨水池；
[0007]所述各凈化罐內(nèi)部設(shè)有空腔，上部設(shè)有進水口和出氣口，下部設(shè)有出水口和進氣P ；
[0008]所述三個以上的凈化罐依次連接，依氣體流動處理方向，第一個凈化罐的進氣口為與廢氣管連通的進氣口，位于中間的凈化罐的進氣口與前一個凈化罐出氣口連通，最后一個凈化罐的出氣口與所述鼓風機連通；
[0009]所述各凈化罐的進水口均與水泵連通；
[0010]所述各凈化罐的空腔頂部設(shè)有與進水口連接的噴淋器；
[0011 ] 所述各凈化罐的出水口均與氨水池連通。
[0012]優(yōu)選的，所述第一個凈化罐的進氣口通過第二閥門與廢氣管連通；所述水泵入口設(shè)有第一閥門；所述各凈化罐上的出水口的垂直高度低于進氣口的垂直高度。
[0013]優(yōu)選的，所述噴淋器為霧化噴頭。在該方案中，霧化噴頭可以獲得更好的氨氣吸收效果。
[0014]優(yōu)選的，所述第一閥門與第二閥門為旋擰閥。
[0015]優(yōu)選的，還包括止回閥，所述止回閥設(shè)于最后一個凈化罐的出氣口與鼓風機之間。該結(jié)構(gòu)可以進一步防止氣體倒流，提高系統(tǒng)整體的有效性。
[0016]優(yōu)選的，所述凈化罐的出水口通過金屬管或PVC塑料管與氨水池密封連通。因為金屬管、PVC塑料管具有耐酸堿性，可延長本系統(tǒng)的使用壽命，且施用靈活，可以根據(jù)實際情況靈活調(diào)整凈化罐與氨水池之間的通路。
[0017]有益效果:本實用新型提供的用于LED制造中的尾氣排放氨氣回收系統(tǒng)，結(jié)合凈化罐上噴淋器噴灑出的水霧，通過多個串聯(lián)而成的凈化罐形成多級迂回的氣體流動通路，形成多級遞進的氨氣回收系統(tǒng)，用于LED制造所排放尾氣中的氨氣回收，結(jié)構(gòu)合理，回收率高，行之有效，易于實施。不但解決了 LED制造過程中大量氨氣隨著廢氣排放帶來的浪費問題和環(huán)境污染問題，還保護了工作人員的人身安全，節(jié)約成本，節(jié)能環(huán)保。
【附圖說明】
[0018]圖1是實施例1的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖2是實施例2的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0020]下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型作更進一步的說明。
[0021]實施例1:如圖1所示，本實施例1提供的用于LED制造中的尾氣排放氨氣回收系統(tǒng)，包括水泵1、四個凈化罐、鼓風機8、氨水池；
[0022]所述各凈化罐內(nèi)部設(shè)有空腔，上部設(shè)有進水口 3和出氣口 6，下部設(shè)有出水口 4和進氣口 5 ；
[0023]所述四個凈化罐依次連接，依氣體流動處理方向，廢氣管通過第二閥門9與第一個凈化罐的進氣口 5連通，位于中間的凈化罐的進氣口與前一個凈化罐出氣口連通，最后一個凈化罐的出氣口與所述鼓風機8連通，所述鼓風機8出口與排放口連通；
[0024]所述各凈化罐的進水口 3均與水泵I連通；
[0025]所述各凈化罐的空腔頂部設(shè)有與進水口 3連接的噴淋器7 ；
[0026]所述各凈化罐的出水口 4均與氨水池連通。
[0027]所述水泵入口設(shè)有第一閥門10 ;所述各凈化罐上的出水口 4的垂直高度低于進氣口 5的垂直高度。
[0028]所述第一閥門10與第二閥門9為旋擰閥。
[0029]所述凈化罐的出水口 4通過PVC塑料管與氨水池密封連通。
[0030]實施例2:與實施例1結(jié)構(gòu)基本相同，相同之處不再累述，所不同的是:
[0031]如圖2所示，實施例2提供的用于LED制造中的尾氣排放氨氣回收系統(tǒng)包括五個依次連接的凈化罐，依氣體流動處理方向，廢氣管通過第二閥門9與第一個凈化罐的進氣口 5連通，位于中間的凈化罐的進氣口與前一個凈化罐出氣口連通，最后一個凈化罐的出氣口與所述鼓風機8連通，所述鼓風機8出口與排放口連通；
[0032]所述噴淋器7為霧化噴頭。
[0033]還包括止回閥11，所述止回閥設(shè)于最后一個凈化罐的出氣口與鼓風機之間。
[0034]所述凈化罐的出水口 4通過金屬管與氨水池密封連通。
[0035]當然上述凈化罐的體積、個數(shù)、進/出水口和進/出氣口的高度等可以根據(jù)實際生產(chǎn)需求進行靈活設(shè)置。
[0036]實施例2為較優(yōu)實施例，以實施例2的應用來闡述本實用新型的工作原理和流程如下:
[0037]實施例2中依次連接的五個凈化罐中，第一個凈化罐的進氣口通過第二閥門與含氨、氫、氮的氮化鎵生產(chǎn)爐的廢氣口(廢氣管)連通，含氨廢氣在前端壓力的推送下和/或后端鼓風機8的抽送下，依次通過各凈化罐的進氣口和出氣口，形成多級迂回的氣體流動通路。
[0038]水泵I輸送的水通過各凈化罐上的噴淋器向下噴灑，噴灑出的水霧下落的過程中吸收了凈化罐中上行廢氣中的部分氨氣，在罐底形成氨水。隨著廢氣依次經(jīng)過五個凈化罐形成的多級迂回的氣體流動通路，廢氣中的氨氣含量逐級遞減，直至最終通過鼓風機對外排放時，氨氣的含量已符合排放需求。
[0039]沉積在各凈化罐罐底的氨水水位上升至出水口 4的高度后，自行通過金屬管流向氨水池，完成了氨水的收集，從而實現(xiàn)了 LED芯片制造領(lǐng)域中含氨、氫、氮的氮化鎵生產(chǎn)爐產(chǎn)生的廢氣中的氨的有效回收，結(jié)構(gòu)合理，行之有效，易于實施。
[0040]以上實施列對本實用新型不構(gòu)成限定，相關(guān)工作人員在不偏離本實用新型技術(shù)思想的范圍內(nèi)，所進行的多樣變化和修改，均落在本實用新型的保護范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種用于LED制造中的尾氣排放氨氣回收系統(tǒng)，其特征在于:包括水泵、三個以上的凈化罐、鼓風機、氨水池； 所述各凈化罐內(nèi)部設(shè)有空腔，上部設(shè)有進水口和出氣口，下部設(shè)有出水口和進氣口 ； 所述三個以上的凈化罐依次連接，依氣體流動處理方向，第一個凈化罐的進氣口為與廢氣管連通的進氣口，位于中間的凈化罐的進氣口與前一個凈化罐出氣口連通，最后一個凈化罐的出氣口與所述鼓風機連通； 所述各凈化罐的進水口均與水泵連通； 所述各凈化罐的空腔頂部設(shè)有與進水口連接的噴淋器； 所述各凈化罐的出水口均與氨水池連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于LED制造中的尾氣排放氨氣回收系統(tǒng)，其特征在于:所述第一個凈化罐的進氣口通過第二閥門與廢氣管連通；所述水泵入口設(shè)有第一閥門；所述各凈化罐上的出水口的垂直高度低于進氣口的垂直高度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于LED制造中的尾氣排放氨氣回收系統(tǒng)，其特征在于:所述噴淋器為霧化噴頭。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于LED制造中的尾氣排放氨氣回收系統(tǒng)，其特征在于:所述第一閥門與第二閥門為旋擰閥。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于LED制造中的尾氣排放氨氣回收系統(tǒng)，其特征在于:還包括止回閥，所述止回閥設(shè)于最后一個凈化罐的出氣口與鼓風機之間。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于LED制造中的尾氣排放氨氣回收系統(tǒng)，其特征在于:所述凈化罐的出水口通過金屬管與氨水池密封連通。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于LED制造中的尾氣排放氨氣回收系統(tǒng)，其特征在于:所述凈化罐的出水口通過PVC塑料管與氨水池密封連通。
【專利摘要】本實用新型公開了一種用于LED制造中的尾氣排放氨氣回收系統(tǒng)，包括水泵、鼓風機、氨水池；所述各凈化罐內(nèi)部設(shè)有空腔，上部設(shè)有進水口和出氣口，下部設(shè)有出水口和進氣口；包括三個以上依次連接的凈化罐，依氣體流動處理方向，第一個凈化罐的進氣口與廢氣管連通，位于中間的凈化罐的進氣口與前一個凈化罐出氣口連通，最后一個凈化罐的出氣口與所述鼓風機連通；各凈化罐進水口均與水泵連通；各凈化罐空腔頂部設(shè)有與進水口連接的噴淋器；各凈化罐的出水口均與氨水池連通。本實用新型結(jié)合凈化罐上噴淋器噴灑出的水霧，通過多個串聯(lián)而成的凈化罐形成多級迂回的氣體流動通路，形成多級遞進的氨氣回收系統(tǒng)，結(jié)構(gòu)合理，回收率高，行之有效，易于實施。
【IPC分類】B01D53-18
【公開號】CN204447680
【申請?zhí)枴緾N201520006955
【發(fā)明人】林培川
【申請人】南京特種氣體廠有限公司
【公開日】2015年7月8日
【申請日】2015年1月6日