一種標(biāo)氣配氣裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種氣體加工裝置，更具體地說，它涉及一種標(biāo)氣配氣裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有的標(biāo)氣配氣裝置中配氣管未設(shè)置加熱裝置，在配置高壓容易液化的氣體時(shí)，由于溫度不夠，配成的氣體難以保持完全的氣態(tài)，另外現(xiàn)有的標(biāo)氣配氣裝置中管路直接與外部空氣接觸，易沾水汽，因而易污染，而且一般直接用分子泵抽真空，如果前次所配的標(biāo)氣中存在腐蝕性組分，在配氣完成后這些腐蝕性組分必然會(huì)在配氣管中有所殘留，即使抽真空前進(jìn)行放空，這些殘留仍難徹底清除，這樣分子泵抽真空時(shí)難免會(huì)受到腐蝕性組分的侵蝕，長(zhǎng)此以往，分子泵的工作性能勢(shì)必會(huì)有所降低，不僅影響抽空效率，自身使用壽命也會(huì)受損。公開號(hào)為CN203379816U的實(shí)用新型專利于2014年I月8日公開了一種氣體配比柜，特別涉及一種可切換式氣體配比柜。該可切換式氣體配比柜包括配比柜A、配比柜B，配比柜A與配比柜B通過PLC可編程控制器連接。該實(shí)用新型的有益效果是:該可切換式氣體配比柜，通過PLC可編程控制器實(shí)現(xiàn)配比柜A、配比柜B相互替換，使用方便、操作簡(jiǎn)單，而且節(jié)省了占地空間，有效減低了購買設(shè)備的成本。但該實(shí)用新型對(duì)于解決配氣管和分子泵的抗蝕延壽問題并無借鑒意義。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]現(xiàn)有的標(biāo)氣配氣裝置由于缺乏必要的溫控和保護(hù)結(jié)構(gòu)，配成的標(biāo)氣中容易存在未氣化的液體，而且管路易被污染或腐蝕，導(dǎo)致工作性能降低，為克服這一缺陷，本實(shí)用新型提供了一種可為配氣提供必要溫度條件，并對(duì)重要部件進(jìn)行保護(hù)，提高抗污染抗腐蝕性能，保證使用壽命的標(biāo)氣配氣裝置。
[0004]本實(shí)用新型的技術(shù)方案是:一種標(biāo)氣配氣裝置，包括配氣管、抽氣管和放空管，抽氣管和放空管均與配氣管連通，配氣管兩端分別設(shè)有進(jìn)氣閥和出氣閥，配氣管外套設(shè)有加熱套，抽氣管上連有并聯(lián)的粗抽管和精抽管，粗抽管和精抽管上分別設(shè)有抽空閥，粗抽管末端設(shè)有腐蝕泵，精抽管末端設(shè)有分子泵。加熱套不僅對(duì)配氣管形成加熱充分使管路內(nèi)介質(zhì)都為氣態(tài)，并對(duì)配氣管外表形成保護(hù)，保持配氣管外表的干燥，避免水污染引起的腐蝕。腐蝕泵也用于抽真空，使用本標(biāo)氣配氣裝置配氣時(shí)，腐蝕泵先于分子泵工作，對(duì)配氣管進(jìn)行粗抽，達(dá)到一定真空度后再用分子泵進(jìn)行精抽，這樣分子泵工作前管道內(nèi)即使還有殘留的腐蝕性組分也是很微小，對(duì)分子泵的腐蝕程度大大降低，避免影響分子泵使用壽命。
[0005]作為優(yōu)選，本裝置還包括溫度感測(cè)器和溫度顯示器，溫度感測(cè)器固設(shè)于加熱套上，溫度感測(cè)器與溫度顯示器電連接。通過溫度感測(cè)器和溫度顯示器，使用者可以直觀了解配氣管加熱的程度，便于掌控加熱的分寸。
[0006]作為優(yōu)選，本裝置還包括電子秤，電子秤設(shè)于配氣管的出氣端。一般配氣完成后通過接收容器上的氣壓表來讀取配氣取出量，并進(jìn)行相應(yīng)的操作，控制取出量，但氣壓大小會(huì)受溫度、相態(tài)的影響，有時(shí)并不準(zhǔn)確，設(shè)置電子秤可通過重量的變化反應(yīng)配氣取出量的多少，與氣壓表配合使用，可提高配氣精度。
[0007]本實(shí)用新型的有益效果是:
[0008]加強(qiáng)對(duì)標(biāo)氣配氣裝置中重要部件的保護(hù)并確保管內(nèi)介質(zhì)為氣態(tài)，從而確保工作性能。本實(shí)用新型可為配氣提供理想的溫度條件，確保配氣組分及產(chǎn)物充分氣化，還有效控制配氣管的水污染，并大大減輕分子泵的腐蝕受損程度，確保本標(biāo)氣配氣裝置能維持必要的使用壽命。
【附圖說明】
[0009]圖1為本實(shí)用新型的一種結(jié)構(gòu)示意圖。
[0010]圖中，1-配氣管，2-抽氣管，3-放空管，4-進(jìn)氣閥，5-出氣閥，6-加熱套，7-粗抽管，8-精抽管，9-抽空閥，10-腐蝕泵，11-分子泵，12-放空閥，13-溫度顯示器。
【具體實(shí)施方式】
[0011]下面結(jié)合附圖具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。
[0012]實(shí)施例:
[0013]如圖1所示，一種標(biāo)氣配氣裝置，包括配氣管1、抽氣管2和放空管3，抽氣管2和放空管3均與配氣管I連通，配氣管I兩端分別設(shè)有進(jìn)氣閥4和出氣閥5，放空管3上設(shè)有放空閥12，配氣管I外套設(shè)有加熱套6，抽氣管2上連有并聯(lián)的粗抽管7和精抽管8，粗抽管7和精抽管8上分別設(shè)有抽空閥9，粗抽管7末端設(shè)有腐蝕泵10，精抽管8末端設(shè)有分子泵11。本還包括溫度感測(cè)器和溫度顯示器11，溫度感測(cè)器固設(shè)于加熱套6上，溫度感測(cè)器與溫度顯示器13電連接。本裝置還包括電子秤，電子秤設(shè)于配氣管I的出氣端。
[0014]使用本標(biāo)氣配氣裝置配氣時(shí)，先將所有抽空閥9、進(jìn)氣閥4和出氣閥5關(guān)閉，放空閥12打開，將前次配氣后殘留在配氣管I中的氣體放空，然后關(guān)閉放空閥12，打開粗抽管7上的抽空閥9，用腐蝕泵10粗抽真空，達(dá)到一定真空度后再停止腐蝕泵10，關(guān)閉粗抽管7上的抽空閥9，而打開精抽管8上的抽空閥9，用分子泵11精抽，達(dá)到要求的真空度后關(guān)閉所有抽空閥9，從進(jìn)氣閥4導(dǎo)入配氣組分，配氣完成后從出氣閥5導(dǎo)出。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種標(biāo)氣配氣裝置，包括配氣管(I )、抽氣管(2)和放空管(3)，抽氣管(2)和放空管(3)均與配氣管(I)連通，配氣管(I)兩端分別設(shè)有進(jìn)氣閥(4)和出氣閥(5)，其特征是配氣管(I)外套設(shè)有加熱套(6)，抽氣管(2)上連有并聯(lián)的粗抽管(7)和精抽管(8)，粗抽管(7)和精抽管(8)上分別設(shè)有抽空閥(9)，粗抽管(7)末端設(shè)有腐蝕泵(10)，精抽管(8)末端設(shè)有分子泵(11)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的標(biāo)氣配氣裝置，其特征是還包括溫度感測(cè)器和溫度顯示器，溫度感測(cè)器固設(shè)于加熱套(6)上，溫度感測(cè)器與溫度顯示器電連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的標(biāo)氣配氣裝置，其特征是還包括電子秤，電子秤設(shè)于配氣管(I)的出氣端。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種標(biāo)氣配氣裝置，包括配氣管、抽氣管和放空管，抽氣管和放空管均與配氣管連通，配氣管兩端分別設(shè)有進(jìn)氣閥和出氣閥，配氣管外套設(shè)有加熱套，抽氣管上連有并聯(lián)的粗抽管和精抽管，粗抽管和精抽管上分別設(shè)有抽空閥，粗抽管末端設(shè)有腐蝕泵，精抽管末端設(shè)有分子泵。本實(shí)用新型可為配氣提供理想的溫度條件，確保配氣組分及產(chǎn)物充分氣化，有效控制配氣管的水污染，并大大減輕分子泵的腐蝕受損程度，確保本標(biāo)氣配氣裝置能維持必要的使用壽命。
【IPC分類】B01F15-02, B01F3-02, B01F13-06
【公開號(hào)】CN204522784
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520134826
【發(fā)明人】沈建林, 張金波
【申請(qǐng)人】杭州新世紀(jì)混合氣體有限公司
【公開日】2015年8月5日
【申請(qǐng)日】2015年3月10日