一種半導(dǎo)體材料粉碎裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于硅單晶生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，涉及到一種半導(dǎo)體材料粉碎裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]拉制一定型號(hào)和一定電阻率的單晶，選擇適當(dāng)?shù)膿诫s劑是很重要的。五族元素常用作硅單晶的N型摻雜劑，主要有磷、砷、銻，三族元素常用作硅單晶的P型摻雜劑，主要有硼、鋁、鎵。拉制硅單晶的電阻率范圍不同，摻雜劑的形態(tài)也不一樣，拉制電阻率低的硅單晶(10_2?10 _3歐姆.厘米)，一般摻三族或五族純?cè)?；拉制電阻率較高硅單晶(I?10 2歐姆?厘米)，采用母合金作摻雜劑，所謂“母合金”，就是雜質(zhì)單質(zhì)元素與硅的合金。多晶硅熔化后放入較多摻雜元素，拉制成晶，然后切片、分級(jí)、破碎、清潔處理，制成母合金。常用的母合金有硅磷母合金和硅硼母合金。雜質(zhì)濃度一般大于117個(gè)原子/厘米3(電阻率為12?10_3歐姆.厘米)。采用母合金作為摻雜劑是為了 “稀釋雜質(zhì)”使摻雜量更容易控制，更準(zhǔn)確。
[0003]傳統(tǒng)的母合金的破碎方式是人工采用特制錘子砸碎，這種破碎方式不能達(dá)到完全粉末狀，難以達(dá)到使用要求，且操作人員易受傷，產(chǎn)出率低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實(shí)用新型為了克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，設(shè)計(jì)了一種半導(dǎo)體材料粉碎裝置，可以避免破碎的不均勻性，并大大提高了產(chǎn)能，既減少了人工費(fèi)用又減少了母合金的浪費(fèi)，降低了生產(chǎn)成本和能源消耗。
[0005]本實(shí)用新型所采取的具體技術(shù)方案是:一種半導(dǎo)體材料粉碎裝置，包括粉碎裝置和粉碎槽，關(guān)鍵是:所述的粉碎裝置還包括驅(qū)動(dòng)裝置、支架和升降裝置，粉碎裝置為水平設(shè)置的粉碎板，支架包括底座和支撐架，支撐架的下端與底座的上端固定連接，支撐架的上端設(shè)置有水平設(shè)置的橫梁，升降裝置豎直設(shè)置，升降裝置位于上方的固定端與橫梁固定連接，升降裝置位于下方的活動(dòng)端與粉碎板的上端面固定連接，升降裝置與驅(qū)動(dòng)裝置連接，升降裝置借助驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)粉碎板上升或下降，粉碎槽設(shè)置在底座上且位于粉碎板的正下方。
[0006]所述的粉碎板的上端面設(shè)置有一圈向上凸出的防油沿。
[0007]增設(shè)第一連接套和第二連接套，位于上方的第一連接套上設(shè)置有與升降裝置活動(dòng)端相匹配的固定套，固定套套裝在升降裝置的活動(dòng)端上并借助頂絲與升降裝置固定連接，位于下方的第二連接套與粉碎板固定連接，第一連接套和第二連接套借助螺栓鎖緊固定。
[0008]所述的底座上設(shè)置有滑軌，粉碎槽的底部設(shè)置有與滑軌相匹配的滑槽，粉碎槽與底座形成滑動(dòng)配合。
[0009]所述的驅(qū)動(dòng)裝置為液壓泵，升降裝置包括液壓套和液壓柱，液壓套與橫梁固定連接，液壓柱與液壓套形成升降配合。
[0010]所述的升降裝置上設(shè)置有壓力表和壓力限位開關(guān)。
[0011]增設(shè)液壓限位桿，液壓限位桿的下端與粉碎板固定連接，液壓限位桿的上端位于壓力限位開關(guān)的下方。
[0012]本實(shí)用新型的有益效果是:利用升降裝置來(lái)帶動(dòng)粉碎板重復(fù)進(jìn)行上升或下降的過(guò)程，使粉碎板對(duì)粉碎槽內(nèi)的母合金進(jìn)行破碎處理，機(jī)械化操作，可以避免破碎的不均勻性，產(chǎn)能可提高一倍以上，既減少了人工費(fèi)用又減少了母合金的浪費(fèi)，降低了生產(chǎn)成本和能源消耗。同時(shí)可以解決人工破碎時(shí)操作人員容易受傷的難題。
【附圖說(shuō)明】
[0013]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖2為本實(shí)用新型中升降裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]附圖中，1代表粉碎槽，2代表粉碎板，3代表底座，4代表支撐架，5代表防油沿，6代表第一連接套，7代表第二連接套，8代表頂絲，9代表液壓套，10代表液壓柱，11代表壓力表，12代表壓力限位開關(guān)，13代表液壓限位桿。
【具體實(shí)施方式】
[0016]下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型做詳細(xì)說(shuō)明:
[0017]具體實(shí)施例，如圖1、圖2所示，一種半導(dǎo)體材料粉碎裝置，包括粉碎裝置和粉碎槽1，還包括驅(qū)動(dòng)裝置、支架和升降裝置，驅(qū)動(dòng)裝置為液壓泵，粉碎裝置為水平設(shè)置的粉碎板2，支架包括底座3和支撐架4，支撐架4的下端與底座3的上端固定連接，支撐架4的上端設(shè)置有水平設(shè)置的橫梁，升降裝置豎直設(shè)置，升降裝置包括液壓套9和液壓柱10，液壓套9與橫梁固定連接，液壓柱10與液壓套9形成升降配合，液壓柱10與粉碎板2的上端面固定連接，升降裝置與驅(qū)動(dòng)裝置連接，升降裝置借助驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)粉碎板2上升或下降，粉碎槽1設(shè)置在底座3上且位于粉碎板2的正下方。
[0018]所述的粉碎板2的上端面設(shè)置有一圈向上凸出的防油沿5。可以防止液壓柱10漏油污染粉碎槽1內(nèi)的母合金。
[0019]增設(shè)第一連接套6和第二連接套7，位于上方的第一連接套6上設(shè)置有與升降裝置活動(dòng)端相匹配的固定套，固定套套裝在升降裝置的活動(dòng)端上并借助頂絲8與升降裝置固定連接，位于下方的第二連接套7與粉碎板2固定連接，第一連接套6和第二連接套7借助螺栓鎖緊固定。利用頂絲8可以防止第一連接套6脫落下滑，利用第二連接套7將第一連接套6和粉碎板2固定連接，便于粉碎板2的拆卸清理或更換。
[0020]所述的底座3上設(shè)置有滑軌，粉碎槽1的底部設(shè)置有與滑軌相匹配的滑槽，粉碎槽1與底座3形成滑動(dòng)配合。使得移動(dòng)粉碎槽1時(shí)更加方便省力。
[0021]所述的升降裝置上設(shè)置有壓力表11和壓力限位開關(guān)12。
[0022]增設(shè)液壓限位桿13，液壓限位桿13的下端與粉碎板2固定連接，液壓限位桿13的上端位于壓力限位開關(guān)12的下方。液壓限位桿13可以控制液壓柱10的行程，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化連續(xù)作業(yè)。
[0023]本實(shí)用新型在具體實(shí)施時(shí):首先將裝有待粉碎母合金的粉碎槽1放到底座3上，然后利用液壓泵使液壓柱10向下移動(dòng)，帶動(dòng)粉碎板2向下移動(dòng)進(jìn)行破碎過(guò)程，當(dāng)壓力表11上所顯示的數(shù)值到達(dá)設(shè)定值時(shí)，液壓柱10停止向下運(yùn)動(dòng)，使粉碎板2停止破碎過(guò)程，然后液壓柱10向上運(yùn)動(dòng)，帶動(dòng)粉碎板2和液壓限位桿13上升，當(dāng)液壓限位桿13的上端面與壓力限位開關(guān)12接觸時(shí)，液壓柱10停止向上運(yùn)動(dòng)，此時(shí)粉碎板2回到初始位置，然后液壓柱10再次帶動(dòng)粉碎板2向下運(yùn)動(dòng)，再次進(jìn)行破碎過(guò)程，如此重復(fù)，直至達(dá)到所需的破碎效果后，粉碎板2回到初始位置，等待下一次的破碎過(guò)程。機(jī)械化連續(xù)操作，可以避免破碎的不均勻性，破碎效果均勻，可以完全達(dá)到粉末狀，產(chǎn)能可提高一倍以上，既減少了人工費(fèi)用又減少了母合金的浪費(fèi)，降低了生產(chǎn)成本和能源消耗。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種半導(dǎo)體材料粉碎裝置，包括粉碎裝置和粉碎槽(I)，其特征在于:所述的粉碎裝置還包括驅(qū)動(dòng)裝置、支架和升降裝置，粉碎裝置為水平設(shè)置的粉碎板(2)，支架包括底座(3)和支撐架(4)，支撐架(4)的下端與底座(3)的上端固定連接，支撐架(4)的上端設(shè)置有水平設(shè)置的橫梁，升降裝置豎直設(shè)置，升降裝置位于上方的固定端與橫梁固定連接，升降裝置位于下方的活動(dòng)端與粉碎板(2)的上端面固定連接，升降裝置與驅(qū)動(dòng)裝置連接，升降裝置借助驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)粉碎板(2)上升或下降，粉碎槽(I)設(shè)置在底座(3)上且位于粉碎板⑵的正下方。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體材料粉碎裝置，其特征在于:所述的粉碎板(2)的上端面設(shè)置有一圈向上凸出的防油沿(5)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體材料粉碎裝置，其特征在于:增設(shè)第一連接套(6)和第二連接套(7)，位于上方的第一連接套(6)上設(shè)置有與升降裝置活動(dòng)端相匹配的固定套，固定套套裝在升降裝置的活動(dòng)端上并借助頂絲(8)與升降裝置固定連接，位于下方的第二連接套(7)與粉碎板(2)固定連接，第一連接套(6)和第二連接套(7)借助螺栓鎖緊固定。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體材料粉碎裝置，其特征在于:所述的底座(3)上設(shè)置有滑軌，粉碎槽(I)的底部設(shè)置有與滑軌相匹配的滑槽，粉碎槽(I)與底座(3)形成滑動(dòng)配合。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體材料粉碎裝置，其特征在于:所述的驅(qū)動(dòng)裝置為液壓泵，升降裝置包括液壓套(9)和液壓柱(10)，液壓套(9)與橫梁固定連接，液壓柱(10)與液壓套(9)形成升降配合。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體材料粉碎裝置，其特征在于:所述的升降裝置上設(shè)置有壓力表(11)和壓力限位開關(guān)(12)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種半導(dǎo)體材料粉碎裝置，其特征在于:增設(shè)液壓限位桿(13)，液壓限位桿(13)的下端與粉碎板(2)固定連接，液壓限位桿(13)的上端位于壓力限位開關(guān)(12)的下方。
【專利摘要】一種半導(dǎo)體材料粉碎裝置，包括粉碎裝置和粉碎槽，關(guān)鍵是：所述的粉碎裝置還包括驅(qū)動(dòng)裝置、支架和升降裝置，粉碎裝置為水平設(shè)置的粉碎板，支架包括底座和支撐架，支撐架的下端與底座的上端固定連接，支撐架的上端設(shè)置有水平設(shè)置的橫梁，升降裝置豎直設(shè)置，升降裝置位于上方的固定端與橫梁固定連接，升降裝置位于下方的活動(dòng)端與粉碎板的上端面固定連接，升降裝置與驅(qū)動(dòng)裝置連接，升降裝置借助驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)粉碎板上升或下降，粉碎槽設(shè)置在底座上且位于粉碎板的正下方。機(jī)械化操作，可以避免破碎的不均勻性，產(chǎn)能可提高一倍以上，既減少了人工費(fèi)用又減少了母合金的浪費(fèi)，降低了生產(chǎn)成本和能源消耗。
【IPC分類】B02C1-00
【公開號(hào)】CN204564206
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520171566
【發(fā)明人】趙學(xué)良, 李世杰, 劉景釗, 李坤, 梁勇, 程虎
【申請(qǐng)人】寧晉賽美港龍電子材料有限公司
【公開日】2015年8月19日
【申請(qǐng)日】2015年3月25日