一種廢膠過濾裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種廢膠過濾裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]當今半導(dǎo)體晶片在GPP生產(chǎn)過程中因其特性需要用到大量光刻膠進行掩膜作業(yè)，使用方式為旋轉(zhuǎn)涂覆，涂覆在晶片表面的有效光刻膠量為滴膠總量的1/3，其余2/3光刻膠在旋轉(zhuǎn)過程中被甩出流入廢膠收集瓶內(nèi)，因廢膠內(nèi)含有碎片，固化膠塊等顆粒狀雜物及其粘性發(fā)生變化，所以不再使用進行報廢處理。廢膠沒有過濾重復(fù)使用的方法，直接排掉造成成本浪費；廢膠為有機化學(xué)物質(zhì)其分解過程漫長，處理存在較大困難，直接排掉造成環(huán)境污染。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型為了解決上述技術(shù)問題，提供一種廢膠過濾裝置，它具有緩解環(huán)保壓力和降低生產(chǎn)成本等優(yōu)點。
[0004]為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用如下技術(shù)方案。
[0005]一種廢膠過濾裝置，包括:進膠漏斗、不銹鋼過濾器、過濾網(wǎng)芯、壓力表、進膠管、出膠管、進氣管及出氣管；所述不銹鋼過濾器上部設(shè)有進膠管，上部左側(cè)設(shè)有出氣管，下部設(shè)有出膠管，進膠管、出氣管、出膠管分別與不銹鋼過濾器連通；所述進膠管上部設(shè)有進膠漏斗，進膠管右側(cè)設(shè)有進氣管，進膠漏斗和進氣管分別與進膠管相連通，進氣管上設(shè)有壓力表；所述不銹鋼過濾器底部設(shè)有過濾網(wǎng)芯。
[0006]作為本實用新型的進一步改進，所述進氣管、出氣管上分別設(shè)有進氣閥門、出氣閥門，進氣閥門設(shè)在壓力表的右側(cè)，通過進氣閥門、出氣閥門與壓力表控制不銹鋼過濾器內(nèi)壓力，便于黏性的膠液在氮氣壓力作用下順利通過過濾網(wǎng)芯。
[0007]所述進膠管上設(shè)有進膠閥門，進膠閥門設(shè)在進氣管上方，出膠管上設(shè)有出膠閥門。
[0008]所述過濾裝置還包括收集瓶，用于儲蓄過濾后的膠液。
[0009]本實用新型所達到的有益效果:本發(fā)明解決了廢膠過濾后重復(fù)使用的技術(shù)難題，廢膠過濾重復(fù)使用可節(jié)約光刻膠近2/3成本，降低生產(chǎn)成本。廢膠過濾裝置實現(xiàn)了生產(chǎn)材料的循環(huán)使用，減少有機物質(zhì)的排放，有利于緩解環(huán)保壓力，保護環(huán)境。
【附圖說明】
[0010]圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]其中附圖標記為:1、進膠漏斗；2、不銹鋼過濾器；3、過濾網(wǎng)芯；4、壓力表；5、進膠管；6、出膠管；7、進氣管；8、出氣管；9、進膠閥門；10、出膠閥門；11、進氣閥門；12、出氣閥門。
【具體實施方式】
[0012]下面結(jié)合附圖與實施例對本實用新型作進一步說明。
[0013]如圖1所示，一種廢膠過濾裝置，包括:進膠漏斗1、不銹鋼過濾器2、過濾網(wǎng)芯3、壓力表4、進膠管5、出膠管6、進氣管7及出氣管8。
[0014]所述不銹鋼過濾器2上部設(shè)有進膠管5，上部左側(cè)設(shè)有出氣管8，下部設(shè)有出膠管6，進膠管5、出氣管8、出膠管6分別與不銹鋼過濾器2內(nèi)部連通；所述進膠管5上部設(shè)有進膠漏斗1，進膠管5右側(cè)設(shè)有進氣管7，進膠漏斗I和進氣管7分別與進膠管(5)相連通，進氣管7上設(shè)有壓力表4 ;所述不銹鋼過濾器2底部設(shè)有過濾網(wǎng)芯3。所述進膠管5上設(shè)有進膠閥門9，進膠閥門9設(shè)在進氣管7的上方，出膠管6上設(shè)有出膠閥門10。
[0015]所述進氣管7、出氣管8上分別設(shè)有進氣閥門11、出氣閥門12，進氣閥門11設(shè)在壓力表4的右側(cè)，通過進氣閥門11、出氣閥門12與壓力表4控制不銹鋼過濾器2內(nèi)部的壓力，便于黏性的膠液在氮氣壓力作用下順利通過過濾網(wǎng)芯3 ;所述過濾裝置還包括收集瓶，用于儲蓄過濾后的膠液。
[0016]本實施例的具體操作程序如下。
[0017]關(guān)閉出膠閥門10，打開進膠閥門9，將一定量廢膠倒入進膠漏斗I內(nèi)，膠液流經(jīng)進膠管5到達不銹鋼過濾器2內(nèi)，然后關(guān)閉進膠閥門9，打開進氣閥門11，氮氣經(jīng)過進氣管7到達不銹鋼過濾器2內(nèi)，調(diào)節(jié)壓力表4至一定壓力范圍，同時緩慢打開出氣閥門12，避免不銹鋼過濾器2內(nèi)壓力過高，通過增強不銹鋼過濾器2壓力將廢膠壓向不銹鋼過濾器2底部的過濾網(wǎng)芯3，然后緩慢打開出膠閥門10，過濾后的膠液流入收集瓶內(nèi)。
[0018]上述雖然結(jié)合附圖對本實用新型的【具體實施方式】進行了描述，但并非對本實用新型保護范圍的限制，所屬領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該明白，在本實用新型的技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本領(lǐng)域技術(shù)人員不需要付出創(chuàng)造性勞動即可做出的各種修改或變形仍在本實用新型的保護范圍以內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種廢膠過濾裝置，其特征是，包括:進膠漏斗(I)、不銹鋼過濾器(2)、過濾網(wǎng)芯(3)、壓力表(4)、進膠管(5)、出膠管(6)、進氣管(7)及出氣管⑶；所述不銹鋼過濾器(2)上部設(shè)有進膠管(5)，上部左側(cè)設(shè)有出氣管(8)，下部設(shè)有出膠管￠)，進膠管(5)、出氣管(8)、出膠管(6)分別與不銹鋼過濾器(2)連通；所述進膠管(5)上部設(shè)有進膠漏斗(1)，進膠管(5)右側(cè)設(shè)有進氣管(7)，進膠漏斗(I)和進氣管(7)分別與進膠管(5)相連通，進氣管(7)上設(shè)有壓力表(4);所述不銹鋼過濾器(2)底部設(shè)有過濾網(wǎng)芯(3)。2.如權(quán)利要求1所述的廢膠過濾裝置，其特征是，所述進氣管(7)、出氣管(8)上分別設(shè)有進氣閥門(11)、出氣閥門(12)，進氣閥門(11)設(shè)在壓力表(4)的右側(cè)。3.如權(quán)利要求1所述的廢膠過濾裝置，其特征是，所述進膠管(5)上設(shè)有進膠閥門(9)，進膠閥門(9 )設(shè)在進氣管(7 )上方，出膠管(6 )上設(shè)有出膠閥門(10 )。4.如權(quán)利要求1所述的廢膠過濾裝置，其特征是，所述廢膠過濾裝置還包括儲蓄過濾后膠液的收集瓶。
【專利摘要】本實用新型公開了一種廢膠過濾裝置，包括：進膠漏斗（1）、不銹鋼過濾器（2）、過濾網(wǎng)芯（3）、壓力表（4）、進膠管（5）、出膠管（6）、進氣管（7）及出氣管（8）；所述不銹鋼過濾器（2）上部設(shè)有進膠管（5），上部左側(cè)設(shè)有出氣管（8），下部設(shè)有出膠管（6），進膠管（5）、出氣管（8）、出膠管（6）分別與不銹鋼過濾器（2）內(nèi)部連通；所述進膠管（5）上部設(shè)有進膠漏斗（1），進膠管（5）右側(cè)設(shè)有進氣管（7），進膠漏斗（1）和進氣管（7）分別與進膠管（5）相連通，進氣管(7)上設(shè)有壓力表(4)；所述不銹鋼過濾器(2)底部設(shè)有過濾網(wǎng)芯(3)。本實用新型具有緩解環(huán)保壓力和降低生產(chǎn)成本等優(yōu)點。
【IPC分類】B01D29/58
【公開號】CN204841122
【申請?zhí)枴緾N201520616883
【發(fā)明人】郭城, 呂明, 趙海玲, 郭英云, 盧國香
【申請人】山東科芯電子有限公司
【公開日】2015年12月9日
【申請日】2015年8月17日