超聲霧化熱解噴涂反應(yīng)室的熱屏蔽結(jié)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于超聲霧化熱解噴涂反應(yīng)室領(lǐng)域，尤其涉及一種超聲霧化熱解噴涂反應(yīng)室的熱屏蔽結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]超聲霧化熱解噴涂(簡稱USP)是一種常見的薄膜材料制備工藝，在科研和生產(chǎn)中有廣泛的用途，這種方法擅長氧化物、硫化物、氯化物等化合物薄膜的制備。合理的工藝參數(shù)下，USP薄膜的質(zhì)量可以與濺射法、CVD方法制備的薄膜材料相當(dāng)，但成本卻大幅度降低。
[0003]超聲霧化熱解噴涂反應(yīng)室上部設(shè)有一個(gè)用于固定襯底的載臺，該載臺上方設(shè)有碘鎢燈，從而通過該碘鎢燈在載臺附近的區(qū)域形成一個(gè)高溫?zé)岱磻?yīng)區(qū)域。霧化后的霧滴從霧化源噴出，由下往上射向載臺，從而在此處發(fā)生熱解反應(yīng)。載臺為轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)臺，該載臺通過一根轉(zhuǎn)動(dòng)桿與電機(jī)的輸出軸下端同軸連接，而電機(jī)通過支架固定在上蓋的上表面，且上蓋與反應(yīng)室的頂面密封連接，更換已經(jīng)噴涂好的產(chǎn)品時(shí)可以將上蓋打開。
[0004]載臺附近的區(qū)域?yàn)楦邷責(zé)岱磻?yīng)區(qū)域，現(xiàn)有結(jié)構(gòu)不具有熱屏蔽功能，大量熱能會傳導(dǎo)到反應(yīng)室頂部，這樣就會造成能源浪費(fèi)。同時(shí)，霧化后的霧滴也會充滿反應(yīng)室頂部的內(nèi)腔，而霧滴為強(qiáng)酸或強(qiáng)堿性液滴，具有很強(qiáng)的腐蝕性，這樣就會腐蝕非反應(yīng)區(qū)域，為此急需解決上述技術(shù)難題。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題在于提供一種超聲霧化熱解噴涂反應(yīng)室的熱屏蔽結(jié)構(gòu)，欲防止熱和霧化的霧滴過多地轉(zhuǎn)移到反應(yīng)室的頂部。
[0006]本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下:一種超聲霧化熱解噴涂反應(yīng)室的熱屏蔽結(jié)構(gòu)，包括反應(yīng)室(1)和上蓋(8)，其中反應(yīng)室(1)內(nèi)的上部水平設(shè)有一個(gè)用于固定襯底的載臺(2)，該載臺的上方設(shè)有一個(gè)加熱體外殼(3)，在加熱體外殼(3)內(nèi)設(shè)有加熱體(4)，通過該加熱體在載臺(2)附近形成高溫?zé)岱磻?yīng)區(qū)域；所述載臺(2)通過一根轉(zhuǎn)動(dòng)桿(5)與電機(jī)(6)的輸出軸下端同軸連接，該電機(jī)通過電機(jī)支架(7)支撐在所述上蓋(8)的上表面，而上蓋(8)與所述反應(yīng)室(1)上端面之間設(shè)有0型密封圈，且上蓋(8)在需要時(shí)可以打開，其特征在于:所述加熱體外殼(3)外固定有一個(gè)抽氣罩(9)，該抽氣罩頂部通過一個(gè)固定架(10)固定在圓環(huán)形的熱反射罩(11)底面上，這個(gè)熱反射罩的外邊緣緊靠所述反應(yīng)室(1)的內(nèi)壁，其間隙量小于0.3mm;所述熱反射罩(11)頂面通過一組下固定柱(12)吊裝在一塊水冷熱屏蔽板(13)的底面上，該水冷熱屏蔽板為圓環(huán)形結(jié)構(gòu)，其外邊緣緊靠反應(yīng)室(1)的內(nèi)壁，其間隙量小于0.3mm，且水冷熱屏蔽板(13)頂面通過一組上固定柱(14)吊裝在所述上蓋(8)的下表面上；所述水冷熱屏蔽板(13)上開有冷卻水道，并在水冷熱屏蔽板頂面豎直設(shè)有一根進(jìn)水管(15)和一根出水管(16)，這兩根水管的下端均與水冷熱屏蔽板(13)上的冷卻水道連通，且這兩根水管的上端均從所述上蓋(8)處伸到反應(yīng)室(1)外面。
[0007]采用以上技術(shù)方案，本實(shí)用新型能通過熱反射罩實(shí)現(xiàn)熱反射，并通過水冷熱屏蔽板進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)冷卻，防止熱量傳導(dǎo)地反應(yīng)室頂部，進(jìn)而節(jié)能；同時(shí)，熱反射罩和水冷熱屏蔽板的外邊緣緊靠反應(yīng)室的內(nèi)壁，這樣又能避免誤會后的霧滴大量轉(zhuǎn)移到反應(yīng)室內(nèi)壁的非反應(yīng)區(qū)域，從而防止腐蝕非反應(yīng)區(qū)域的部件，進(jìn)而很好地克服了現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，具有很好的實(shí)用性。
[0008]在本案中，所述進(jìn)水管(15)和出水管(16)設(shè)在電機(jī)(6)的兩側(cè)。
[0009]采用以上結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，本實(shí)用新型就能夠改善熱屏蔽效果。
[0010]作為優(yōu)選，所述熱反射罩(11)和水冷熱屏蔽板(13)均為鍋蓋狀結(jié)構(gòu)，其外邊緣與所述反應(yīng)室(1)內(nèi)壁之間的間隙量均為0.2mm。
[0011]采用以上結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，就能進(jìn)一步改善本實(shí)用新型的熱屏蔽效果，并防止霧化后的霧滴轉(zhuǎn)移到反應(yīng)室(1)頂部的非反應(yīng)區(qū)域。
[0012]為了便于就地取材，所述加熱體(4)選用碘鎢燈。
[0013]有益效果:本實(shí)用新型能通過熱反射罩實(shí)現(xiàn)熱反射，并通過水冷熱屏蔽板進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)冷卻，防止熱量傳導(dǎo)地反應(yīng)室頂部，進(jìn)而節(jié)能；同時(shí)，熱反射罩和水冷熱屏蔽板的外邊緣緊靠反應(yīng)室的內(nèi)壁，這樣又能避免誤會后的霧滴大量轉(zhuǎn)移到反應(yīng)室內(nèi)壁的非反應(yīng)區(qū)域，從而防止腐蝕非反應(yīng)區(qū)域的部件，進(jìn)而很好地克服了現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，具有很好的實(shí)用性。
【附圖說明】
[0014]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0015]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明:
[0016]如圖1所示，一種超聲霧化熱解噴涂反應(yīng)室的熱屏蔽結(jié)構(gòu)，主要由反應(yīng)室1、載臺
2、加熱體外殼3、加熱體4、轉(zhuǎn)動(dòng)桿5、電機(jī)6、電機(jī)支架7、上蓋8、抽氣罩9、固定架10、熱反射罩11、下固定柱12、水冷熱屏蔽板13、上固定柱14、進(jìn)水管15和出水管16構(gòu)成。其中，反應(yīng)室1為雙層結(jié)構(gòu)，其內(nèi)、外層之間的空腔用于容納冷卻水。反應(yīng)室1內(nèi)的上部水平設(shè)有一個(gè)用于固定襯底的載臺2，該載臺2的結(jié)構(gòu)為現(xiàn)有結(jié)構(gòu)，在此不做贅述。
[0017]載臺2的上方設(shè)有一個(gè)加熱體外殼3，在加熱體外殼3內(nèi)設(shè)有加熱體4，通過該加熱體4在載臺2附近形成高溫?zé)岱磻?yīng)區(qū)域。在本案中，加熱體4選用碘鎢燈。載臺2通過一根轉(zhuǎn)動(dòng)桿5與電機(jī)6的輸出軸下端同軸連接，該電機(jī)6通過電機(jī)支架7支撐在上蓋8的上表面，而上蓋8與反應(yīng)室1上端面之間設(shè)有0型密封圈，且上蓋8在需要取出產(chǎn)品或加入襯底時(shí)可以打開。
[0018]如圖1所不，加熱體外殼3外固定有一個(gè)抽氣罩9，該抽氣罩9頂部通過一個(gè)固定架10固定在圓環(huán)形的熱反射罩11底面上，這個(gè)熱反射罩11的外邊緣緊靠反應(yīng)室1的內(nèi)壁，其間隙量小于0.3_。熱反射罩11頂面通過一組下固定柱12吊裝在一塊水冷熱屏蔽板13的底面上，該水冷熱屏蔽板13為圓環(huán)形結(jié)構(gòu)，其外邊緣緊靠反應(yīng)室1的內(nèi)壁，其間隙量小于
0.3mm，且水冷熱屏蔽板13頂面通過一組上固定柱14吊裝在上蓋8的下表面上。作為優(yōu)選，熱反射罩11和水冷熱屏蔽板13均為鍋蓋狀結(jié)構(gòu)，其外邊緣與反應(yīng)室1內(nèi)壁之間的間隙量均為0.2或0.1_。
[0019]水冷熱屏蔽板13上開有冷卻水道，并在水冷熱屏蔽板13頂面豎直設(shè)有一根進(jìn)水管15和一根出水管16，這兩根水管的下端均與水冷熱屏蔽板13上的冷卻水道連通，且這兩根水管的上端均從所述上蓋8處伸到反應(yīng)室1外面。另外，進(jìn)水管15和出水管16設(shè)在電機(jī)6的兩側(cè)。
[0020]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不以本實(shí)用新型為限制，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種超聲霧化熱解噴涂反應(yīng)室的熱屏蔽結(jié)構(gòu)，包括反應(yīng)室(1)和上蓋(8)，其中反應(yīng)室(1)內(nèi)的上部水平設(shè)有一個(gè)用于固定襯底的載臺(2)，該載臺的上方設(shè)有一個(gè)加熱體外殼(3)，在加熱體外殼(3)內(nèi)設(shè)有加熱體(4)，通過該加熱體在載臺(2)附近形成高溫?zé)岱磻?yīng)區(qū)域；所述載臺⑵通過一根轉(zhuǎn)動(dòng)桿(5)與電機(jī)(6)的輸出軸下端同軸連接，該電機(jī)通過電機(jī)支架(7)支撐在所述上蓋(8)的上表面，而上蓋(8)與所述反應(yīng)室(1)上端面之間設(shè)有0型密封圈，且上蓋(8)在需要時(shí)可以打開，其特征在于:所述加熱體外殼(3)外固定有一個(gè)抽氣罩(9)，該抽氣罩頂部通過一個(gè)固定架(10)固定在圓環(huán)形的熱反射罩(11)底面上，這個(gè)熱反射罩的外邊緣緊靠所述反應(yīng)室(1)的內(nèi)壁，其間隙量小于0.3_;所述熱反射罩(11)頂面通過一組下固定柱(12)吊裝在一塊水冷熱屏蔽板(13)的底面上，該水冷熱屏蔽板為圓環(huán)形結(jié)構(gòu)，其外邊緣緊靠反應(yīng)室(1)的內(nèi)壁，其間隙量小于0.3_，且水冷熱屏蔽板(13)頂面通過一組上固定柱(14)吊裝在所述上蓋(8)的下表面上；所述水冷熱屏蔽板(13)上開有冷卻水道，并在水冷熱屏蔽板頂面豎直設(shè)有一根進(jìn)水管(15)和一根出水管(16)，這兩根水管的下端均與水冷熱屏蔽板(13)上的冷卻水道連通，且這兩根水管的上端均從所述上蓋⑶處伸到反應(yīng)室⑴外面。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超聲霧化熱解噴涂反應(yīng)室的熱屏蔽結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述進(jìn)水管(15)和出水管(16)設(shè)在電機(jī)(6)的兩側(cè)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超聲霧化熱解噴涂反應(yīng)室的熱屏蔽結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述熱反射罩(11)和水冷熱屏蔽板(13)均為鍋蓋狀結(jié)構(gòu)，其外邊緣與所述反應(yīng)室(1)內(nèi)壁之間的間隙量均為0.2mm。4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一所述的超聲霧化熱解噴涂反應(yīng)室的熱屏蔽結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述加熱體(4)選用碘鎢燈。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開一種超聲霧化熱解噴涂反應(yīng)室的熱屏蔽結(jié)構(gòu)，反應(yīng)室內(nèi)上部設(shè)有載臺，載臺上方設(shè)置裝有加熱體的加熱體外殼；載臺通過轉(zhuǎn)動(dòng)桿與電機(jī)輸出軸下端連接，加熱體外殼外固定有抽氣罩，抽氣罩頂部通過固定架固定在圓環(huán)形的熱反射罩上；熱反射罩頂面通過下固定柱吊裝在水冷熱屏蔽板，水冷熱屏蔽板通過上固定柱吊裝在上蓋下表面；水冷熱屏蔽板上有冷卻水道，水冷熱屏蔽板頂面設(shè)有進(jìn)水管和出水管，兩根水管與水冷熱屏蔽板上的冷卻水道連通。本實(shí)用新型能通過熱反射罩實(shí)現(xiàn)熱反射，并通過水冷熱屏蔽板實(shí)現(xiàn)冷卻，防止熱量傳導(dǎo)地反應(yīng)室頂部；熱反射罩和水冷熱屏蔽板外邊緣緊靠反應(yīng)室內(nèi)壁，這樣又能避免誤會后的霧滴大量轉(zhuǎn)移到反應(yīng)室內(nèi)壁的非反應(yīng)區(qū)域。
【IPC分類】B05B15/12, B05B15/00
【公開號】CN205008163
【申請?zhí)枴緾N201520614967
【發(fā)明人】龔恒翔, 廖杰
【申請人】重慶理工大學(xué)
【公開日】2016年2月3日
【申請日】2015年8月14日