鍺烷生產中回收乙鍺烷和丙鍺烷的吸收塔的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及稀有氣體回收裝置領域，特別是一種鍺烷生產中回收乙鍺烷和丙鍺烷的吸收塔。
【背景技術】
[0002]鍺烷是重要的電子工業(yè)用原料氣體，是制造高純鍺和各種硅鍺合金的重要原材料，隨著半導體工業(yè)的快速發(fā)展，對鍺烷的要求日益增多。目前，鍺烷氣體的生產方法主要有:化學還原法、電化學反應法、等離子合成法等等，但是上述合成方法均不能避免生產過程中副產物的產生，如何提高生產鍺烷氣體的純度，已成為制約半導體產業(yè)發(fā)展的瓶頸。
[0003]在鍺烷氣體的生產過程中會伴隨產生少量的乙鍺烷和丙鍺烷等稀有氣體，然而缺少相應的回收分離技術，使得這些珍貴的稀有氣體被直接廢棄處理掉，造成了重要稀有材料的損失。高效的回收分離乙鍺烷和丙鍺烷不僅可以提高生產的鍺烷氣體純度，有利于半導體的制備，而且可以回收具有高經濟收益的稀有氣體，對半導體制備產業(yè)的發(fā)展和企業(yè)自身經濟收益均有明顯益處。

【發(fā)明內容】

[0004]本實用新型的目的在于提供一種鍺烷生產中回收乙鍺烷和丙鍺烷的吸收塔，解決了鍺烷生產氣體中乙鍺烷和丙鍺烷的回收利用問題。
[0005]為實現(xiàn)上述技術目的，達到上述技術效果，本實用新型公開了一種鍺烷生產中回收乙鍺烷和丙鍺烷的吸收塔，包括了冷卻塔組件、前輸氣管道、吸收塔組件、后輸氣管道、收集塔組件、溫度壓力控制中心，冷卻塔組件通過前輸氣管道與吸收塔組件相連，吸收塔組件通過后輸氣管道與收集塔組件相連，溫度壓力控制中心通過輸配線路與吸收塔組件連接。
[0006]其中，冷卻塔組件包括了冷卻塔塔體、冷卻塔進氣管道，冷卻塔進氣管道設置于冷卻塔塔體底部，吸收塔組件包括了吸收塔塔體、填料室、加熱管和過濾網(wǎng)，吸收塔塔體內設置有填料室、填料室的上下兩端均設置有過濾網(wǎng)、加熱管安裝于填料室內；收集塔組件包括了收集塔塔體、余熱回收裝置、氣體收集管道和余熱回收管道，收集塔塔體內安裝有余熱回收裝置，收集塔塔體上安裝有氣體收集管道和余熱回收管道。
[0007]優(yōu)選的，還包括了進氣閥門和出氣閥門，進氣閥門和出氣閥門分別安裝在前輸氣管道和后輸氣管道上。
[0008]其中，加熱管為多組直行加熱管或單組螺旋型加熱管。
[0009]其中，余熱回收裝置為氣-氣式熱管換熱器或氣-液式熱管換熱器。
[0010]本實用新型具有以下有益效果:
[0011]1.本實用新型通過合理的篩選氣體吸收劑實現(xiàn)通過溫度控制將鍺烷生產氣體中混有的乙鍺烷和丙鍺烷三種氣體進行分離收集。
[0012]2.通過對吸收塔及其配件進行合理優(yōu)化，增加了冷卻塔和余熱回收裝置，經過合理分布的吸收塔不僅可以進行多種組分氣體的回收而且可以對分離過程中使用的余熱和潛熱進行回收，提高了能量的利用效率。
【附圖說明】
[0013]圖1為本實用新型的結構示意圖。
[0014]主要組件符號說明:
[0015]1:冷卻塔進氣管道，2:冷卻塔塔體，3:前輸氣管道，4:進氣閥門，5:吸收塔塔體，6:填料室，7:加熱管，8:過濾網(wǎng)，9:溫度壓力控制中心，10:后輸氣管道，11:出氣閥門，12:收集塔塔體，13:氣體收集管道，14:余熱回收管道。
【具體實施方式】
[0016]為了使本實用新型的目的、技術方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。
[0017]如圖1所示，本實用新型公開了一種鍺烷生產中回收乙鍺烷和丙鍺烷的吸收塔，包括冷卻塔進氣管道1、冷卻塔塔體2、前輸氣管道3、進氣閥門4、吸收塔組件、溫度壓力控制中心9、后輸氣管道10、出氣閥門11、收集塔組件、氣體收集管道13、余熱回收管道14。吸收塔組件包括了吸收塔塔體5、填料室6、加熱管7、過濾網(wǎng)8。收集塔組件包括收集塔塔體12和余熱回收裝置(未示出)。
[0018]安裝過程:
[0019]冷卻塔塔體2上連接有冷卻塔進氣管道1和前輸氣管道3、前輸氣管道3上安裝有進氣閥門4并與吸收塔塔體5相連，吸收塔塔體5內設置有填料室6、填料室6的上下兩端均設置有過濾網(wǎng)8、加熱管7安裝于填料室6內、后輸氣管道10安裝于吸收塔塔體5頂部、后輸氣管道10上安裝有出氣閥門11并與收集塔塔體12相連，收集塔塔體12上設置有氣體收集管道13和余熱回收管道14，收集塔塔體12內安裝有余熱回收裝置，溫度壓力控制中心9通過輸配線路與加熱管7和余熱回收裝置相連。
[0020]工作原理:
[0021]所需處理的鍺烷混合氣體通過冷卻塔進氣管道1進入冷卻塔塔體2內冷卻，冷卻的鍺烷混合氣體通過前輸氣管道3進入吸收塔塔體5，鍺烷混合氣體中的乙鍺烷和丙鍺烷經過填料室內6的填料充分吸收后可以優(yōu)先分離出純凈的鍺烷氣體，當鍺烷氣體收集完畢后，通過溫度壓力控制中心9控制填料室6內的加熱管7進行升溫，溫度上升到乙鍺烷分離溫度時乙鍺烷從填料中分離出來進入收集塔塔體12進行收集，當溫度超過丙鍺烷分離溫度時丙鍺烷從填料中分離出來收集塔塔體12進行收集，加熱過的乙鍺烷和丙鍺烷氣體通過余熱回收裝置冷卻將余熱回收，回收的余熱以熱液或熱氣的形式通過余熱回收管道14回收利用，冷卻后的乙鍺烷和丙鍺烷氣體通過氣體收集管道13收集裝瓶。
[0022]以上所述，僅為本實用新型較佳的【具體實施方式】，但本實用新型的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術領域的技術人員在本實用新型揭露的技術范圍內，可輕易想到的變化或替換，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內。
【主權項】
1.鍺烷生產中回收乙鍺烷和丙鍺烷的吸收塔，其特征在于，包括了冷卻塔組件、前輸氣管道、吸收塔組件、后輸氣管道、收集塔組件、溫度壓力控制中心，所述的冷卻塔組件通過前輸氣管道與吸收塔組件相連，所述的吸收塔組件通過后輸氣管道與收集塔組件相連，所述的溫度壓力控制中心通過輸配線路與吸收塔組件連接。2.如權利要求1所述的鍺烷生產中回收乙鍺烷和丙鍺烷的吸收塔，其特征在于:所述的冷卻塔組件包括了冷卻塔塔體、冷卻塔進氣管道，所述的冷卻塔進氣管道設置于冷卻塔塔體底部，所述的吸收塔組件包括了吸收塔塔體、填料室、加熱管和過濾網(wǎng)，所述的吸收塔塔體內設置有填料室、填料室的上下兩端均設置有過濾網(wǎng)、加熱管安裝于填料室內；所述的收集塔組件包括了收集塔塔體、余熱回收裝置、氣體收集管道和余熱回收管道，所述的收集塔塔體內安裝有余熱回收裝置，收集塔塔體上安裝有氣體收集管道和余熱回收管道。3.如權利要求1或2所述的鍺烷生產中回收乙鍺烷和丙鍺烷的吸收塔，其特征在于，還包括了進氣閥門和出氣閥門，所述的進氣閥門和出氣閥門分別安裝在前輸氣管道和后輸氣管道上。4.如權利要求2所述的鍺烷生產中回收乙鍺烷和丙鍺烷的吸收塔，其特征在于，所述的加熱管為多組直行加熱管或單組螺旋型加熱管。5.如權利要求2所述的鍺烷生產中回收乙鍺烷和丙鍺烷的吸收塔，其特征在于:所述的余熱回收裝置為氣-氣式熱管換熱器或氣-液式熱管換熱器。
【專利摘要】本實用新型涉及稀有氣體回收裝置領域，公開了一種鍺烷生產中回收乙鍺烷和丙鍺烷的吸收塔，包括了冷卻塔組件、前輸氣管道、吸收塔組件、后輸氣管道、收集塔組件、溫度壓力控制中心，通過合理的篩選氣體吸收劑，可以實現(xiàn)通過溫度控制對鍺烷生產氣體進行分離收集，并且增加了冷卻塔和余熱回收裝置，實現(xiàn)了對分離過程中使用的余熱進行回收，提高了能量的利用效率，解決了傳統(tǒng)生產中稀有氣體的廢棄處理以及過度的能源浪費。
【IPC分類】C01B6/06, F27D17/00, B01D35/02, B01D53/18
【公開號】CN205127677
【申請?zhí)枴緾N201520780370
【發(fā)明人】陳國富, 龔施健, 陳金彬, 于勝
【申請人】福建博純材料有限公司
【公開日】2016年4月6日
【申請日】2015年10月10日