一種應(yīng)用于氣液雙流體霧化的閥門及使用其的半導(dǎo)體覆膜噴涂系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于噴涂設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種應(yīng)用于氣液雙流體霧化的閥門。
【背景技術(shù)】
[0002]通常的氣液雙流體霧化的閥門設(shè)計(jì)，具有進(jìn)氣口、進(jìn)液口、氣體和液體的混合腔體以及混合后的氣液二流體從小孔噴出，形成霧。此種設(shè)計(jì)能夠比較高效的將液體霧化，但是對(duì)霧化顆粒要求不高的場(chǎng)合，例如農(nóng)業(yè)噴灑，噴灌，工業(yè)油漆的噴涂等場(chǎng)合。在半導(dǎo)體產(chǎn)品表面覆膜的應(yīng)用上，由于要求高，通常在幾個(gè)到上百個(gè)微米的應(yīng)用場(chǎng)合，這樣的噴涂設(shè)備就不能夠滿足它精細(xì)作業(yè)對(duì)噴霧顆粒，均勻度的要求。而在半導(dǎo)體覆膜噴涂的工藝中，使用得比較多的是氣動(dòng)微噴涂和超聲微噴涂工藝，這樣的工藝生產(chǎn)需要使用微噴涂頭來(lái)對(duì)噴涂的區(qū)域逐個(gè)掃描的進(jìn)行覆蓋，來(lái)保證其對(duì)精度的高要求，但是逐行掃描的方式生產(chǎn)效率低，設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜，傳送部件和運(yùn)動(dòng)部件多。在這些噴涂的工藝中，以美國(guó)的PVA公司為代表，他們多使用氣動(dòng)的針式霧化閥門，液體在噴口被霧化，能夠加工工件的寬度最大為12mm，通過(guò)伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng)閥門做x-y的運(yùn)動(dòng)，在需要噴涂的工件上逐行的掃描，最后來(lái)完成對(duì)一個(gè)較大面積工件的全覆蓋噴涂，噴涂成本高。
[0003]在日常工業(yè)中用到的霧化閥門，通常應(yīng)用于大流量，大范圍的噴涂中，閥門的設(shè)計(jì)上結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，通常由4到5個(gè)部件組成，噴涂不精細(xì)，微小流量不能控制，噴涂出來(lái)的顆粒比較粗大，不能使用在半導(dǎo)體的覆膜噴涂中。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實(shí)用新型的目的在于提供一種應(yīng)用于氣液雙流體霧化的閥門，旨在解決現(xiàn)有的霧化閥門設(shè)計(jì)上結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，噴涂不精細(xì)，微小流量不能控制，噴涂出來(lái)的顆粒比較粗大，不能用于半導(dǎo)體的覆膜噴涂的問(wèn)題。
[0005]本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的，一種應(yīng)用于氣液雙流體霧化的閥門，包括:微調(diào)節(jié)頭、連接管、進(jìn)氣口、閥體、閥芯、閥芯套、分散片、過(guò)濾檔片、分散管、出霧口、連接片、儲(chǔ)液腔、端蓋；
[0006]所述閥體的內(nèi)部設(shè)置有儲(chǔ)液腔，閥體的下端設(shè)置有連接管，連接管的下端安裝有微調(diào)節(jié)頭，連接管的左端安裝有進(jìn)氣口，連接管的內(nèi)部安裝有閥芯；閥芯的下端與進(jìn)氣口相連通，閥芯上的閥芯套上端通過(guò)彈簧和分散片與分散管相連通，分散片上部設(shè)有過(guò)濾擋板，分散管設(shè)置在儲(chǔ)液腔內(nèi)部；閥體的頂部安裝有厚度可調(diào)的端蓋，分散管和閥體形成的通道一側(cè)安裝有出霧口，出霧口安裝在閥體右端，出霧口安裝有連接片。
[0007]進(jìn)一步，所述閥體一側(cè)安裝有進(jìn)液口，所述進(jìn)液口與儲(chǔ)液腔相連通。
[0008]進(jìn)一步，所述閥芯和閥芯套相配合，閥芯和閥芯套的間隙可調(diào)節(jié)。
[0009]進(jìn)一步，所述閥芯和進(jìn)氣相連通。
[0010]進(jìn)一步，所述分散管的上部安裝有可調(diào)端蓋，霧化口和分散片的距離可以調(diào)節(jié)。
[0011]進(jìn)一步，所述閥芯套和分散片通過(guò)彈簧連接，閥芯套浮動(dòng)貼合在儲(chǔ)液腔底部或閥芯上。
[0012]進(jìn)一步，所述閥芯的氣體在閥口和閥芯及閥芯套實(shí)現(xiàn)雙流體高速混合。
[0013]進(jìn)一步，所述分散片，分散管，過(guò)濾擋片實(shí)現(xiàn)氣液混合體的物理分散和霧化。
[0014]本實(shí)用新型另一目的在于提供一種使用上述應(yīng)用于氣液雙流體霧化閥門的半導(dǎo)體覆膜噴涂系統(tǒng)的霧化發(fā)生器。
[0015]本實(shí)用新型具有的優(yōu)點(diǎn)和積極效果是:該應(yīng)用于氣液雙流體霧化的閥門可適用于微小流量的噴涂，噴出的液體顆粒大小可以調(diào)節(jié)，噴出的二流體的混合比例可以調(diào)節(jié)，大顆粒液體的回流再利用，閥門的浮動(dòng)配合，保證控制的穩(wěn)定性。
【附圖說(shuō)明】
[0016]圖I是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的應(yīng)用于氣液雙流體霧化的閥門的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖中：1、微調(diào)節(jié)頭;2、連接管;3、進(jìn)氣口；4、閥體;5、進(jìn)液口；6、分散管;7、端蓋;8、出霧口； 9、連接片；IO、過(guò)濾檔片；11、分散片；12、儲(chǔ)液腔;13、閥芯套;14、閥芯。
【具體實(shí)施方式】
[0018]為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。
[0019]下面結(jié)合附圖I及具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型的應(yīng)用原理作進(jìn)一步描述。如圖I所示一種應(yīng)用于氣液雙流體霧化的閥門，包括:微調(diào)節(jié)頭I、連接管2、進(jìn)氣口 3、閥體4、進(jìn)液口 5、閥芯14、閥芯套13、分散片11、過(guò)濾檔片IO、分散管6、出霧口 8、連接片9、儲(chǔ)液腔12、端蓋7;
[0020]所述閥體4的內(nèi)部設(shè)置有儲(chǔ)液腔12，閥體4的下端設(shè)置有連接管2，連接管2的下端安裝有微調(diào)節(jié)頭I，連接管2的左端安裝有進(jìn)氣口 3，連接管2的內(nèi)部安裝有閥芯14;閥芯14的下端與進(jìn)氣口 3相連通，閥芯14上的閥芯套13上端通過(guò)彈簧和分散片11與分散管相連通，分散片11上部設(shè)有過(guò)濾擋板10，分散管6設(shè)置在儲(chǔ)液腔12內(nèi)部;分散管6同時(shí)也是過(guò)濾器，閥體4的頂部安裝有厚度可調(diào)的端蓋7，分散管6和閥體4形成的通道一側(cè)安裝有出霧口 8，出霧口8安裝在閥體4右端，出霧口 8安裝有連接片9。
[0021 ]所述閥體4 一側(cè)安裝有進(jìn)液口 5，所述進(jìn)液口與儲(chǔ)液腔相連通。
[0022]所述閥芯14和閥芯套13相配合，閥芯和閥芯套的間隙可調(diào)節(jié)。
[0023]所述閥芯14和進(jìn)氣相連通。
[0024]所述分散管6的上部安裝有可調(diào)的端蓋7，霧化口8和分散片11的距離可以調(diào)節(jié)。
[0025]所述閥芯套13和分散片11通過(guò)彈簧連接，閥芯套13浮動(dòng)貼合在儲(chǔ)液腔12底部或閥芯14上。
[0026]本實(shí)用新型還提供一種應(yīng)用于氣液雙流體霧化閥門的半導(dǎo)體覆膜噴涂系統(tǒng)。
[0027]將應(yīng)用于氣液雙流體霧化的閥門安裝在出霧單元上，可以穩(wěn)定的提供所需的霧化顆粒。液體由進(jìn)液口 5進(jìn)入到儲(chǔ)液腔12內(nèi)部，氣體由進(jìn)氣口 3進(jìn)入，氣體的流動(dòng)形成負(fù)壓驅(qū)動(dòng)儲(chǔ)液器內(nèi)的液體經(jīng)由閥芯和閥芯套之間的間隙被提升到閥芯的出氣口與氣體混合，液體的流動(dòng)量通過(guò)微調(diào)節(jié)頭調(diào)整其流動(dòng)的空間而控制流動(dòng)的量，在閥芯的頭部位置，二者混合，此時(shí)氣體的流速突然加快，將液體撕開(kāi)成為碎片，經(jīng)過(guò)分散片的二次撞擊形成微米級(jí)的顆粒，符合尺寸要求的液滴顆粒經(jīng)過(guò)分散管在湍流氣體的作用下上升進(jìn)入出霧管。較大尺寸的液體則下降聚合回到儲(chǔ)液器。利用文丘里原理將氣體和液體混合在閥芯出口處混合，混合體以音速?zèng)_擊分散片達(dá)到分散霧化，經(jīng)過(guò)霧化區(qū)后霧滴經(jīng)分散管、過(guò)濾檔片10過(guò)濾，再由霧化湍流口進(jìn)入出口管道，被過(guò)濾下來(lái)的液體返回到儲(chǔ)液腔12內(nèi)參與下一輪的霧化?？梢赃_(dá)到霧化速度O?2ml/min可調(diào)，霧化的顆粒O?20um可調(diào)。
[0028]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種應(yīng)用于氣液雙流體霧化的閥門，其特征在于，該應(yīng)用于氣液雙流體霧化的閥門包括:微調(diào)節(jié)頭、連接管、進(jìn)氣口、閥體、閥芯、閥芯套、分散片、過(guò)濾擋板、分散管、出霧口、連接片、儲(chǔ)液fe、?而蓋； 所述閥體的內(nèi)部設(shè)置有儲(chǔ)液腔，閥體的下端設(shè)置有連接管，連接管的下端安裝有微調(diào)節(jié)頭，連接管的左端安裝有進(jìn)氣口，連接管的內(nèi)部安裝有閥芯；閥芯的下端與進(jìn)氣口相連通，閥芯上的閥芯套上端通過(guò)彈簧和分散片與分散管相連通，分散片上部設(shè)有過(guò)濾擋板，分散管設(shè)置在儲(chǔ)液腔內(nèi)部；閥體的頂部安裝有厚度可調(diào)的端蓋，分散管和閥體形成的通道一側(cè)安裝有出霧口，出霧口安裝在閥體右端，出霧口安裝有連接片。2.如權(quán)利要求I所述應(yīng)用于氣液雙流體霧化的閥門，其特征在于，所述閥體一側(cè)安裝有進(jìn)液口，所述進(jìn)液口與儲(chǔ)液腔相連通。3.如權(quán)利要求I所述應(yīng)用于氣液雙流體霧化的閥門，其特征在于，所述閥芯和閥芯套相配合，閥芯和閥芯套的間隙可調(diào)節(jié)。4.如權(quán)利要求I所述應(yīng)用于氣液雙流體霧化的閥門，其特征在于，所述閥芯和進(jìn)氣相連通。5.如權(quán)利要求I所述應(yīng)用于氣液雙流體霧化的閥門，其特征在于，所述分散管的上部安裝有可調(diào)端蓋，霧化口和分散片的距離可調(diào)節(jié)。6.如權(quán)利要求I所述應(yīng)用于氣液雙流體霧化的閥門，其特征在于，所述閥芯套和分散片通過(guò)彈簧連接，閥芯套浮動(dòng)貼合在儲(chǔ)液腔底部或閥芯上。7.如權(quán)利要求I所述應(yīng)用于氣液雙流體霧化的閥門，其特征在于，所述閥芯的氣體在閥口和閥芯及閥芯套實(shí)現(xiàn)雙流體高速混合。8.一種使用權(quán)利要求1-4任意一項(xiàng)所述應(yīng)用于氣液雙流體霧化的閥門的半導(dǎo)體覆膜噴涂系統(tǒng)。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種應(yīng)用于氣液雙流體霧化的閥門，閥體的上端安裝進(jìn)液口，閥體的內(nèi)部設(shè)置儲(chǔ)液腔，進(jìn)液口與儲(chǔ)液腔連通；儲(chǔ)液腔下端設(shè)置連接管，連接管左端有驅(qū)動(dòng)氣體入口，連接管內(nèi)有閥芯，閥芯的下端和進(jìn)氣連通，閥芯中空，閥芯頂端中心有開(kāi)口，驅(qū)動(dòng)氣體從中心開(kāi)口處噴射出來(lái)，閥芯在儲(chǔ)液腔內(nèi)有閥芯套，閥芯和閥芯套之間有間隙，間隙的大小通過(guò)和連接管相連接的螺旋微調(diào)頭來(lái)調(diào)節(jié)，閥芯套和閥芯之間的配合實(shí)現(xiàn)了浮動(dòng)配合。本實(shí)用新型還公開(kāi)了一種使用該應(yīng)用于氣液雙流體霧化的閥門的半導(dǎo)體覆膜噴涂系統(tǒng)。
【IPC分類】B05B7/04
【公開(kāi)號(hào)】CN205146495
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520813568
【發(fā)明人】陳惠斌
【申請(qǐng)人】蘇州紐圣特電子有限公司
【公開(kāi)日】2016年4月13日
【申請(qǐng)日】2015年10月21日