一種mems甲烷傳感器的催化劑載體的制備裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種傳感器的催化劑載體的制備裝置，特別是一種MEMS甲烷傳感器的催化劑載體的制備裝置。
【背景技術】
[0002]催化燃燒式瓦斯傳感器是當前煤礦中使用最廣泛、最普遍的瓦斯檢測儀器。隨著技術的發(fā)展和完善，這種類型的傳感器近年來發(fā)展迅速，現(xiàn)已占據(jù)了煤礦瓦斯檢測儀器的主導地位，對煤礦安全生產(chǎn)起到了重要的作用?，F(xiàn)有技術采用的制備MEMS催化燃燒式甲烷傳感器催化劑載體的方法為用液態(tài)或膠態(tài)催化劑載體在每個加熱器上逐個進行催化劑載體的制備;這種催化劑載體制備方法不具備批量制備的能力，效率低，且制備的催化劑載體涂層不均勻，一致性不好，生產(chǎn)成本高。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型的目的是要克服現(xiàn)有技術中的問題，提供一種結構簡單、效果好的MEMS甲烷傳感器的催化劑載體的制備裝置。
[0004]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型的MEMS甲烷傳感器的催化劑載體的制備裝置，包括磁力攪拌器，磁力攪拌器上設有內(nèi)裝有納米氧化鋁溶膠的容器，容器內(nèi)的設有磁力攪拌子、高純鋁片和硅圓片，所述的高純鋁片和硅圓片分別經(jīng)導線與直流電壓源相連，高純鋁片連接直流電壓源的正級，硅圓片連接直流電壓源的負極。
[0005]所述的硅圓片上布有成排或者成列設置的多個劃線槽，多個劃線槽內(nèi)分別布有經(jīng)總金屬連接端連在一起的金屬線，成排設置的多個劃線槽下方均設有與金屬線相連的多個金屬極板。
[0006]所述成排或者成列設置的多個劃線槽為四個。
[0007]所述的多個與金屬線相連的金屬極板成對排列，成對的金屬極板均被劃線槽包圍。
[0008]有益效果，由于采用上述方案，本實用新型能在同一條件下對整個硅圓片上所有MEMS甲烷傳感器加熱元件的加熱器制備催化劑載體，在大的設備中可對批量硅圓片采用所述方法同時進行催化劑載體的制備，可實現(xiàn)MEMS甲烷傳感器催化劑載體的制備裝置的批量制備、使生產(chǎn)的MEMS甲烷傳感器具備一致性好的特點；有利于增強加熱器與催化劑載體的制備裝置之間的結合力。其設備簡單，容易操作，可批量制備催化劑載體，制備的催化劑載體涂層均勻、穩(wěn)定、一致性好。
【附圖說明】
:
[0009]圖1為本實用新型中的硅圓片俯視示意圖。
[0010]圖2為本實用新型的結構示意圖。
[0011]圖中:01-金屬線，02-劃線槽，03-總金屬連接端，04-金屬極板，05-硅圓片，10-導線一，11-直流電壓源，12-導線二，13-高純鋁片，15-磁力攪拌子，16-磁力攪拌器，17-納米氧化鋁溶膠，18-容器。
【具體實施方式】
[0012]下面結合附圖中的實施例對本實用新型的一個實施例作進一步的描述:
[0013]本實用新型的MEMS甲烷傳感器的催化劑載體的制備裝置，包括磁力攪拌器16，磁力攪拌器16上設有內(nèi)裝有納米氧化鋁溶膠17的容器18，容器18內(nèi)的設有磁力攪拌子15、高純鋁片13和硅圓片05，所述的高純鋁片13和硅圓片05分別經(jīng)導線與直流電壓源11相連，高純鋁片13經(jīng)導線一 10連接直流電壓源11的正級，硅圓片05經(jīng)導線二 12連接直流電壓源11的負極。
[0014]所述的硅圓片05上布有成排或者成列設置的多個劃線槽02，多個劃線槽02內(nèi)分別布有經(jīng)總金屬連接端03連在一起的金屬線01。
[0015]所述成排設置的多個劃線槽02為四個，成列設置的多個劃線槽02為四個，所述的多個與金屬線01相連的金屬極板04成對排列，成對的金屬極板04均被劃線槽包圍，硅圓片05上下兩排的金屬極板04分別為兩對，中部兩排分別為3對。
[0016]在硅圓片05上制備有眾多MEMS甲烷傳感器加熱元件;所述MEMS甲烷傳感器加熱元件包括兩個金屬極板及與之相連的加熱器;硅圓片邊緣設有總金屬連接端，所述總金屬連接端與硅圓片上劃線槽內(nèi)的金屬線相連，MEMS甲烷傳感器加熱元件的金屬極板均與劃線槽內(nèi)的金屬線連接;MEMS甲烷傳感器加熱元件的加熱器材料為金屬或者為硅;所用納米氧化鋁溶膠粒子平均粒徑為10-50nm。
【主權項】
1.一種MEMS甲烷傳感器的催化劑載體的制備裝置，其特征在于:它包括磁力攪拌器(16)，磁力攪拌器(16)上設有內(nèi)裝有納米氧化鋁溶膠(17)的容器(18)，容器(18)內(nèi)設有磁力攪拌子(15)、高純鋁片(13)和硅圓片(05)，所述的高純鋁片(13)和硅圓片(05)分別經(jīng)導線與直流電壓源(11)相連，高純鋁片(13)連接直流電壓源(11)的正級，硅圓片(05)連接直流電壓源(11)的負極。2.根據(jù)權利要求1所述的一種MEMS甲烷傳感器的催化劑載體的制備裝置，其特征在于:所述的硅圓片(05)上布有成排或者成列設置的多個劃線槽(02)，多個劃線槽(02)內(nèi)分別布有經(jīng)總金屬連接端(03)連在一起的金屬線(01)，成排設置的多個劃線槽(02)下方均設有與金屬線(01)相連的多個金屬極板(04)。3.根據(jù)權利要求2所述的一種MEMS甲烷傳感器的催化劑載體的制備裝置，其特征在于:所述成排或者成列設置的多個劃線槽(02)為四個。4.根據(jù)權利要求2所述的一種MEMS甲烷傳感器的催化劑載體的制備裝置，其特征在于:所述的多個與金屬線(01)相連的金屬極板(04)成對排列，成對的金屬極板(04)均被劃線槽(02)包圍。
【專利摘要】一種MEMS甲烷傳感器的催化劑載體的制備裝置，包括磁力攪拌器，磁力攪拌器上設有內(nèi)裝有納米氧化鋁溶膠的容器，容器內(nèi)的設有磁力攪拌子、高純鋁片和硅圓片，高純鋁片和硅圓片分別經(jīng)導線與直流電壓源相連，高純鋁片連接直流電壓源的正級，硅圓片連接直流電壓源的負極。硅圓片上制備有眾多的MEMS甲烷傳感器加熱元件，每個MEMS甲烷傳感器加熱元件包括兩個金屬極板及與之相連的加熱器；硅圓片邊緣的總金屬連接端通過硅圓片上的金屬線與所有MEMS甲烷傳感器加熱元件的金屬極板相連；其設備簡單，容易操作，可批量制備催化劑載體的制備裝置，制備的催化劑載體涂層均勻、穩(wěn)定、一致性好。
【IPC分類】B01J32/00, G01N33/22, B01J21/04
【公開號】CN205216857
【申請?zhí)枴緾N201521064032
【發(fā)明人】秦順利, 馬洪宇, 王麗影, 丁恩杰
【申請人】中國礦業(yè)大學
【公開日】2016年5月11日
【申請日】2015年12月17日