噴灑裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種噴灑裝置，且特別是涉及一種應(yīng)用于濕式制作工藝的噴灑裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在印刷電路板的制作工藝中，噴灑藥水至板面的方法包括水平式噴灑法以及垂直式噴灑法。以垂直式噴灑法為例來(lái)說(shuō)，藥水因?yàn)橹亓Φ年P(guān)系會(huì)由板面的上方往中間及下方的方向流動(dòng)。然而，在板面中間或下方所噴灑的藥水濃度則會(huì)因?yàn)樯戏搅飨聛?lái)的藥水而被稀釋，此即為所謂的水流效應(yīng)(waterfall effect)。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型的目的在于提供一種噴灑裝置，可有效消除水流效應(yīng)。
[0004]為達(dá)上述目的，本實(shí)用新型的噴灑裝置，包括多個(gè)液體輸送管及多個(gè)可旋轉(zhuǎn)噴嘴。液體輸送管彼此間隔排列?？尚D(zhuǎn)噴嘴配置于液體輸送管上，其中每一液體輸送管適于輸送一液體至所對(duì)應(yīng)的可旋轉(zhuǎn)噴嘴，且通過(guò)對(duì)應(yīng)的可旋轉(zhuǎn)噴嘴將液體噴灑至一物件上。物件位于液體輸送管之間且適于沿著一橫軸方向移動(dòng)。每一可旋轉(zhuǎn)噴嘴的一噴灑方向相對(duì)于物件傾斜一傾斜角度。
[0005]在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，上述的每一液體輸送管的一配置方向垂直于橫軸方向。
[0006]在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，上述的每一液體輸送管的一配置方向平行于橫軸方向。
[0007]在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，上述的可旋轉(zhuǎn)噴嘴的噴灑方向與物件的移動(dòng)方向一致。
[0008]在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，上述的可旋轉(zhuǎn)噴嘴的噴灑方向與物件的移動(dòng)方向相反。
[0009]在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，上述的配置于相鄰的兩液體輸送管上的可旋轉(zhuǎn)噴嘴的噴灑方向不同。
[0010]在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，上述的傾斜角度介于15度至165度之間。
[0011 ] 在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，上述的液體包括一顯影液、一蝕刻液、一去膜液、一水、一除膠液或一化銅液。
[0012]在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，上述的每一可旋轉(zhuǎn)噴嘴的噴壓介于0.5kg/cm2至3.0kg/cm2之間。
[0013]在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，上述的可旋轉(zhuǎn)噴嘴與物件相隔至少一間距，且間距介于2cm至20cm之間。
[0014]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于，基于上述，由于本實(shí)用新型的噴灑裝置具有可旋轉(zhuǎn)噴嘴，其中可旋轉(zhuǎn)噴嘴的噴灑方向可相對(duì)于物件傾斜一傾斜角度，因此可有效防止可旋轉(zhuǎn)噴嘴所噴出的液體產(chǎn)生垂流。如此一來(lái)，本實(shí)用新型的噴灑裝置可有效消除水流效應(yīng)。
[0015]為讓本實(shí)用新型的上述特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉實(shí)施例，并配合所附的附圖作詳細(xì)說(shuō)明如下。
【附圖說(shuō)明】
[0016]圖1為本實(shí)用新型的一實(shí)施例的一種噴灑裝置的示意圖；
[0017]圖2為本實(shí)用新型的另一實(shí)施例的一種噴灑裝置的示意圖；
[0018]圖3為本實(shí)用新型的另一實(shí)施例的一種嗔灑裝置的不意圖；
[0019]圖4為本實(shí)用新型的另一實(shí)施例的一種噴灑裝置的示意圖。
[0020]符號(hào)說(shuō)明
[0021]10:物件
[0022]100a、100b、100c、100d:噴灑裝置
[0023]110al、l 10a2、110b、110c、I 1d:液體輸送管
[0024]120al、120a2、120b 1、120b2、120c、120d:可旋轉(zhuǎn)噴嘴
[0025]A1、A2、A1，、A2，、Α3、Α4:傾斜角度
[0026]D1、D2、D1，、D2，、D3、D4:噴灑方向
[0027]G:間距
[0028]L:液體
[0029]V:橫軸方向
[0030]V1、V2:配置方向
【具體實(shí)施方式】
[0031]圖1繪示為本實(shí)用新型的一實(shí)施例的一種噴灑裝置的示意圖。請(qǐng)先參考圖1，在本實(shí)施例中，噴灑裝置10a包括多個(gè)液體輸送管110al、l 10a2及多個(gè)可旋轉(zhuǎn)噴嘴120al、120a2。液體輸送管IlOal、110a2彼此間隔排列?？尚D(zhuǎn)噴嘴120al、120a2配置于液體輸送管I 1al、110a2上，其中每一液體輸送管11OaI (或110a2)適于輸送一液體L至所對(duì)應(yīng)的可旋轉(zhuǎn)噴嘴120al (或120a2)，且通過(guò)對(duì)應(yīng)的可旋轉(zhuǎn)噴嘴120al (或120a2)將液體L噴灑至一物件10上。物件10位于液體輸送管IlOal、110a2之間且適于沿著一橫軸方向V移動(dòng)。每一可旋轉(zhuǎn)噴嘴120al (或120a2)的一噴灑方向Dl (或D2)相對(duì)于物件10傾斜一傾斜角度A。
[0032]詳細(xì)來(lái)說(shuō)，本實(shí)施例的噴灑裝置10a具體化為一垂直式噴灑裝置。液體輸送管I 1al、110a2位于物件10的相對(duì)兩側(cè)表面上，其中每一液體輸送管I 1al (或110a2)的一配置方向Vl垂直于橫軸方向V。也就是說(shuō)，液體輸送管IlOal、110a2的配置方向Vl垂直于物件1的移動(dòng)方向，但并不以此為限。液體輸送管11 Oa I上的可旋轉(zhuǎn)噴嘴120a I的噴灑方向DI與液體輸送管110a2上的可旋轉(zhuǎn)噴嘴120a2的噴灑方向D2不同，意即配置于相鄰兩液體輸送管110&1、110&2上的可旋轉(zhuǎn)噴嘴120&1、120&2的噴灑方向01、02不同。如圖1所示，可旋轉(zhuǎn)噴嘴120al的噴灑方向Dl與可旋轉(zhuǎn)噴嘴120a2的噴灑方向D2是朝著一交點(diǎn)而噴灑。上述的配置方式可應(yīng)用于蝕刻程序中的后蝕刻，其有利于提高蝕刻因子來(lái)減少線路層的毛邊。
[0033]優(yōu)選地，可旋轉(zhuǎn)噴嘴120al的噴灑方向Dl相對(duì)于物件10傾斜的傾斜角度Al例如是介于15度至75度之間，而可旋轉(zhuǎn)噴嘴120a2的噴灑方向D2相對(duì)于物件10傾斜的傾斜角度A2例如是介于15度至75度之間。此處，物件10例如為電路板、載板或芯片，而液體L例如是一顯影液、一蝕刻液、一去膜液、一水、一除膠液或一化銅液。換言之，本實(shí)施例的噴灑裝置10a是應(yīng)用于濕式制作工藝中，如蝕刻制作工藝、顯影、去膜、除膠、化銅。
[0034]此外，本實(shí)施例的可旋轉(zhuǎn)噴嘴120al、120a2與物件10相隔一間距G，且間距G例如是介于2cm至20cm之間。當(dāng)然，在其他未繪示的實(shí)施例中，可旋轉(zhuǎn)噴嘴與物件之間也可相隔二個(gè)或二個(gè)以上間距，也就是說(shuō)，每一個(gè)可旋轉(zhuǎn)噴嘴與物件之間可相隔一間距，而這些間距可相同或不同。另外，由于本實(shí)施例的可旋轉(zhuǎn)噴嘴120al、120a2與物件10之間的間距G都相同，因此每一可旋轉(zhuǎn)噴嘴120al(或120a2)的噴壓都相同，例如是介于0.51^/(:1112至3.01^/(31112之間。當(dāng)然，在其他未繪示的實(shí)施例中，每一可旋轉(zhuǎn)噴嘴的噴壓也可因?yàn)樗鶉姙⒌奈锛奈恢貌煌煌?，于此并不加以限制。換言之，本實(shí)施例的可旋轉(zhuǎn)噴嘴120al、120a2除了具有可調(diào)整噴灑角度的優(yōu)勢(shì)外，也具有可調(diào)整噴壓的優(yōu)勢(shì)。
[0035]由于本實(shí)施例的噴灑裝置10a具有可旋轉(zhuǎn)噴嘴120al、120a2，其中可旋轉(zhuǎn)噴嘴120al、120a2的噴灑方向D1、D2可相對(duì)于物件10傾斜，因此噴灑到物件10上的液體L可反彈到別處，而不會(huì)直接垂流至物件10的下方，故可有效防止可旋轉(zhuǎn)噴嘴120al、120a2所噴出的液體L產(chǎn)生垂流。如此一來(lái)，本實(shí)施例的噴灑裝置10a可有效消除水流效應(yīng)。
[0036]在此必須說(shuō)明的是，下述實(shí)施例沿用前述實(shí)施例的元件標(biāo)號(hào)與部分內(nèi)容，其中采用相同的標(biāo)號(hào)來(lái)表示相同或近似的元件，關(guān)于省略了相同技術(shù)內(nèi)容的部分說(shuō)明可參考前述實(shí)施例，下述實(shí)施例中不再重復(fù)贅述。
[0037]圖2繪示為本實(shí)用新型的另一實(shí)施例的一種噴灑裝置的示意圖。請(qǐng)參考圖2，本實(shí)施例的噴灑裝置10b與圖1的噴灑裝置10a相似，惟二者主要差異之處在于:每一液體輸送管IlOb的一配置方向V2平行于橫軸方向V，且配置于每一液體輸送管IlOb上的相鄰二可旋轉(zhuǎn)噴嘴120b 1、120b2的噴灑方向D I’、D2 ’不同。優(yōu)選地，可旋轉(zhuǎn)噴嘴120b I的噴灑方向D I’相對(duì)于物件10傾斜的傾斜角度Al’例如是介于15度至75度之間，而可旋轉(zhuǎn)噴嘴120b2的噴灑方向D2 ’相對(duì)于物件10傾斜的傾斜角度A2 ’例如是介于15度至75度之間。
[0038]圖3繪示為本實(shí)用新型的另一實(shí)施例的一種噴灑裝置的示意圖。請(qǐng)參考圖3，本實(shí)施例的噴灑裝置10c與圖1的噴灑裝置10a相似，惟二者主要差異之處在于:本實(shí)施例的配置于液體輸送管11Oc上的可旋轉(zhuǎn)噴嘴120c的噴灑方向與物件10的移動(dòng)方向一致。優(yōu)選地，可旋轉(zhuǎn)噴嘴120c的噴灑方向D3相對(duì)于物件10傾斜的傾斜角度A3例如是介于15度至75度之間。上述的配置方式適于應(yīng)用在除膠與化銅的制作工藝中，可有利于減少水流效應(yīng)。
[0039]圖4繪示為本實(shí)用新型的另一實(shí)施例的一種噴灑裝置的示意圖。請(qǐng)參考圖4，本實(shí)施例的噴灑裝置10d與圖1的噴灑裝置10a相似，惟二者主要差異之處在于:本實(shí)施例的配置于液體輸送管11Od上的可旋轉(zhuǎn)噴嘴120d的噴灑方向與物件10的移動(dòng)方向相反。優(yōu)選地，可旋轉(zhuǎn)噴嘴120d的噴灑方向D4相對(duì)于物件10傾斜的傾斜角度A4例如是介于15度至75度之間。上述的配置方式適于應(yīng)用在顯影、蝕刻、去膜的制作工藝中，可有利于去除細(xì)線路上的光致抗蝕劑層。
[0040]綜上所述，由于本實(shí)用新型的噴灑裝置具有可旋轉(zhuǎn)噴嘴，其中可旋轉(zhuǎn)噴嘴的噴灑方向可相對(duì)于物件傾斜一傾斜角度，因此可有效防止可旋轉(zhuǎn)噴嘴所噴出的液體產(chǎn)生垂流。如此一來(lái)，本實(shí)用新型的噴灑裝置可有效消除水流效應(yīng)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種噴灑裝置，其特征在于，該噴灑裝置包括: 多個(gè)液體輸送管，彼此間隔排列；以及 多個(gè)可旋轉(zhuǎn)噴嘴，配置于該些液體輸送管上，其中各該液體輸送管適于輸送一液體至所對(duì)應(yīng)的該些可旋轉(zhuǎn)噴嘴，且通過(guò)對(duì)應(yīng)的該些可旋轉(zhuǎn)噴嘴將該液體噴灑至一物件上，該物件位于該些液體輸送管之間且適于沿著一橫軸方向移動(dòng)，而各該可旋轉(zhuǎn)噴嘴的一噴灑方向相對(duì)于該物件傾斜一傾斜角度。2.如權(quán)利要求1所述的噴灑裝置，其特征在于，各該液體輸送管的一配置方向垂直于該橫軸方向。3.如權(quán)利要求1所述的噴灑裝置，其特征在于，各該液體輸送管的一配置方向平行于該橫軸方向。4.如權(quán)利要求1所述的噴灑裝置，其特征在于，該些可旋轉(zhuǎn)噴嘴的該些噴灑方向與該物件的移動(dòng)方向一致。5.如權(quán)利要求1所述的噴灑裝置，其特征在于，該些可旋轉(zhuǎn)噴嘴的該些噴灑方向與該物件的移動(dòng)方向相反。6.如權(quán)利要求1所述的噴灑裝置，其特征在于，配置于相鄰的兩該些液體輸送管上的該些可旋轉(zhuǎn)噴嘴的該些噴灑方向不同。7.如權(quán)利要求1所述的噴灑裝置，其特征在于，該傾斜角度介于15度至165度之間。8.如權(quán)利要求1所述的噴灑裝置，其特征在于，該液體包括一顯影液、一蝕刻液、一去膜液、一水、一除膠液或一化銅液。9.如權(quán)利要求1所述的噴灑裝置，其特征在于，各該可旋轉(zhuǎn)噴嘴的噴壓介于0.5kg/cm2至3.0kg/cm2 之間 ο10.如權(quán)利要求1所述的噴灑裝置，其特征在于，該些可旋轉(zhuǎn)噴嘴與該物件相隔至少一間距，且該間距介于2cm至20cm之間。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)一種噴灑裝置，其包括多個(gè)液體輸送管及多個(gè)可旋轉(zhuǎn)噴嘴。液體輸送管彼此間隔排列。可旋轉(zhuǎn)噴嘴配置于液體輸送管上。每一液體輸送管適于輸送一液體至所對(duì)應(yīng)的可旋轉(zhuǎn)噴嘴，且通過(guò)對(duì)應(yīng)的可旋轉(zhuǎn)噴嘴將液體噴灑至一物件上。物件位于液體輸送管之間且適于沿著一橫軸方向移動(dòng)。每一可旋轉(zhuǎn)噴嘴的一噴灑方向相對(duì)于物件傾斜一傾斜角度。
【IPC分類】B05B13/02
【公開(kāi)號(hào)】CN205253432
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201521135474
【發(fā)明人】藤川治, 孫奇, 楊中賢, 楊偉雄
【申請(qǐng)人】健鼎（湖北）電子有限公司
【公開(kāi)日】2016年5月25日
【申請(qǐng)日】2015年12月31日