一種分離式芯片甩膠機的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及功率半導(dǎo)體器件生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種分離式芯片甩膠機。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體芯片制作過程中，光刻是最復(fù)雜、最昂貴和最關(guān)鍵的工藝，光刻成本約占硅片制造成本的三分之一，消耗時間約占整個硅片生產(chǎn)時間的40% — 60%。對于光刻工藝來說，硅片上的光致抗蝕劑(俗稱光刻膠)的厚度和均勻性是非常關(guān)鍵的參數(shù)，它直接影響著后續(xù)光刻工藝的質(zhì)量，從而影響著成品芯片的性能和可靠性。大多數(shù)光刻膠的涂膠工藝普遍采用旋轉(zhuǎn)式涂膠的方法即甩膠法，把光刻膠滴在芯片上，然后讓芯片旋轉(zhuǎn)，利用離心力將膠甩勻。目前一般芯片生產(chǎn)廠家使用的甩膠機的結(jié)構(gòu)是用無級變速電機實現(xiàn)芯片的旋轉(zhuǎn)，這種電機的軸是空心的，下端與抽氣管連接，工作時抽氣機通過抽氣管，在電機空心軸產(chǎn)生吸力，將放在軸上端的芯片吸住，吸力的大小可通過調(diào)節(jié)抽氣機的功率調(diào)節(jié);并且，電機一般采取無刷電機，離心力的大小可通過調(diào)節(jié)電機轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)。
[0003]但是，現(xiàn)有的甩膠機，都是采用霍爾元件代替電刷，而霍爾元件類似于電磁開關(guān)，高頻率的開、關(guān)動作使霍爾元件極易損壞，往往導(dǎo)致甩膠機頻繁修理，嚴重影響芯片加工生產(chǎn)效率;并且，空心電機的輸出軸和機殼是一體的，與抽氣管的連接空間小，拆卸不方便。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]為解決現(xiàn)有技術(shù)中的不足，本實用新型提供一種分離式芯片甩膠機，它將電機與空心軸、抽氣管分開設(shè)置，只需通過調(diào)節(jié)電機轉(zhuǎn)速來調(diào)節(jié)吸力即可，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、使用壽命長，并且整體尺寸可隨意制作，不受電機的限制。
[0005]本實用新型為實現(xiàn)上述目的，通過以下技術(shù)方案實現(xiàn):一種分離式芯片甩膠機，包括固定架，所述固定架上安裝電機和用于控制電機轉(zhuǎn)速的調(diào)節(jié)開關(guān)，所述固定架頂部設(shè)置工作臺板，所述工作臺板上設(shè)置空心軸，所述空心軸與電機之間通過傳動裝置連接，所述空心軸下方設(shè)置萬向接頭，所述萬向接頭底端設(shè)置抽氣管，所述抽氣管一端設(shè)置抽氣機。
[0006]所述傳動裝置包括安裝在電機輸出軸上的主動帶輪、安裝在空心軸上的從動帶輪，所述主動帶輪和從動帶輪之間安裝傳動帶。
[0007]所述空心軸一端位于工作臺板上方，另一端位于固定架下方，所述空心軸與工作臺和固定架連接處均設(shè)置軸承座。
[0008]對比現(xiàn)有技術(shù)，本實用新型的有益效果在于:
[0009]1、本實用新型中電機與空心軸和抽氣管分離設(shè)置，只需通過調(diào)節(jié)電機轉(zhuǎn)速來調(diào)節(jié)吸力即可，結(jié)構(gòu)簡單，并且相對于現(xiàn)有的帶有霍爾霍爾元件的甩膠機使用壽命長，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、使用壽命長，提高生產(chǎn)效率;同時，整個裝置整體尺寸可隨意制作，不受電機的限制。
[0010]2、傳動裝置為帶傳動，結(jié)構(gòu)簡單，傳動過程中平穩(wěn)、無噪聲，并且緩沖吸震效果好，可使空心軸轉(zhuǎn)動平穩(wěn)，從而甩膠均勻，甩膠效果好。
[0011]3、空心軸一端位于工作臺上方，另一端位于固定架下方，空心軸與工作臺和固定架連接處均設(shè)置軸承座，空心軸通過軸承座固定，結(jié)構(gòu)簡單、穩(wěn)定。
【附圖說明】
[0012]附圖1是本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]附圖中所示標號:1、固定架;2、電機;3、調(diào)節(jié)開關(guān);4、工作臺板;5、空心軸;6、萬向接頭;7、抽氣管;8、主動帶輪;9、從動帶輪;1、傳動帶；11軸承座;12;抽氣機。
【具體實施方式】
[0014]結(jié)合附圖和具體實施例，對本實用新型作進一步說明。應(yīng)理解，這些實施例僅用于說明本實用新型而不用于限制本實用新型的范圍。此外應(yīng)理解，在閱讀了本實用新型講授的內(nèi)容之后，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以對本實用新型作各種改動或修改，這些等價形式同樣落于本申請所附權(quán)利要求書所限定的范圍。
[0015]—種分離式芯片甩膠機，包括固定架I，固定架為U型固定架。所述固定架I上安裝電機2和用于控制電機2轉(zhuǎn)速的調(diào)節(jié)開關(guān)3。所述固定架I頂部設(shè)置工作臺板4，所述工作臺板4上設(shè)置空心軸5，所述空心軸5與電機2之間通過傳動裝置連接，電機通過傳動裝置帶動空心軸轉(zhuǎn)動。所述空心軸5下方設(shè)置萬向接頭6，所述萬向接頭6底端設(shè)置抽氣管7，所述抽氣管7—端設(shè)置抽氣機12，通過設(shè)置的萬向接頭，當空心軸轉(zhuǎn)動時，抽氣管不會帶動抽氣機跟隨空心軸的轉(zhuǎn)動而轉(zhuǎn)動。本實用新型在使用時，調(diào)節(jié)抽氣機使芯片吸附在空心軸頂端并不會脫落，通過調(diào)節(jié)開關(guān)調(diào)節(jié)電機的轉(zhuǎn)速，使其可以將光膠甩勻，調(diào)節(jié)完畢后，將芯片放在空心軸的頂端，抽氣機產(chǎn)生吸力將芯片吸住，將光刻膠滴在芯片中央，電機通過傳動裝置帶動空心軸轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)動過程中產(chǎn)生的離心力使光刻膠均勻的覆蓋在芯片上，甩膠完畢后，關(guān)閉電機和抽氣機，將芯片放置在規(guī)定位置。
[0016]進一步的，所述傳動裝置包括安裝在電機2輸出軸上的主動帶輪8、安裝在空心軸5上的從動帶輪9，所述主動帶輪8和從動帶輪9之間安裝傳動帶10，帶傳動，結(jié)構(gòu)簡單，傳動過程中平穩(wěn)、無噪聲，并且緩沖吸震效果好，可使空心軸轉(zhuǎn)動平穩(wěn)，從而甩膠均勻，甩膠效果好。
[0017]作為優(yōu)化，所述空心軸5—端位于工作臺板4上方，另一端位于固定架I下方，所述空心軸5與工作臺板4和固定架I連接處均設(shè)置軸承座11，空心軸通過軸承座固定，結(jié)構(gòu)簡單、穩(wěn)定。
[0018]實施例1:
[0019]—種分離式芯片甩膠機，包括固定架I，固定架為U型固定架。所述固定架I上安裝電機2和用于控制電機2轉(zhuǎn)速的調(diào)節(jié)開關(guān)3。所述固定架I頂部設(shè)置工作臺板4，所述工作臺板4上設(shè)置空心軸5，所述空心軸5—端位于工作臺板4上方，另一端位于固定架I下方，所述空心軸5與工作臺板4和固定架I連接處均設(shè)置軸承座11，空心軸通過軸承座固定，結(jié)構(gòu)簡單、穩(wěn)定。所述空心軸5與電機2之間通過傳動裝置連接，電機通過傳動裝置帶動空心軸轉(zhuǎn)動。在本實施例中，所述傳動裝置包括安裝在電機2輸出軸上的主動帶輪8、安裝在空心軸5上的從動帶輪9，所述主動帶輪8和從動帶輪9之間安裝傳動帶10，帶傳動，結(jié)構(gòu)簡單，傳動過程中平穩(wěn)、無噪聲，并且緩沖吸震效果好，可使空心軸轉(zhuǎn)動平穩(wěn)，從而甩膠均勻，甩膠效果好。所述空心軸5下方設(shè)置萬向接頭6，所述萬向接頭6底端設(shè)置抽氣管7，所述抽氣管7—端設(shè)置抽氣機12，通過設(shè)置的萬向接頭，當空心軸轉(zhuǎn)動時，抽氣管不會帶動抽氣機跟隨空心軸的轉(zhuǎn)動而轉(zhuǎn)動。本實施例的有益效果在于:通過電機通過傳動帶帶動空心軸轉(zhuǎn)動，結(jié)構(gòu)簡單，傳動過程中平穩(wěn)、無噪聲，并且緩沖吸震效果好，可使空心軸轉(zhuǎn)動平穩(wěn)，從而甩膠均勻，甩膠效果好。
【主權(quán)項】
1.一種分離式芯片甩膠機，其特征在于:包括固定架(I)，所述固定架(I)上安裝電機(2)和用于控制電機(2)轉(zhuǎn)速的調(diào)節(jié)開關(guān)(3)，所述固定架(I)頂部設(shè)置工作臺板(4)，所述工作臺板(4)上設(shè)置空心軸(5)，所述空心軸(5)與電機(2)之間通過傳動裝置連接，所述空心軸(5)下方設(shè)置萬向接頭(6)，所述萬向接頭(6)底端設(shè)置抽氣管(7)，所述抽氣管(7)—端設(shè)置抽氣機(12) ο2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種分離式芯片甩膠機，其特征在于:所述傳動裝置包括安裝在電機(2)輸出軸上的主動帶輪(8)、安裝在空心軸(5)上的從動帶輪(9)，所述主動帶輪(8)和從動帶輪(9)之間安裝傳動帶(10)。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種分離式芯片甩膠機，其特征在于:所述空心軸(5)—端位于工作臺板(4)上方，另一端位于固定架(I)下方，所述空心軸(5)與工作臺板(4)和固定架(I)連接處均設(shè)置軸承座(11)。
【專利摘要】本實用新型公開了一種分離式芯片甩膠機，涉及功率半導(dǎo)體器件生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。一種分離式芯片甩膠機，包括固定架，所述固定架上安裝電機和用于控制電機轉(zhuǎn)速的調(diào)節(jié)開關(guān)，所述固定架頂部設(shè)置工作臺板，所述工作臺板上設(shè)置空心軸，所述空心軸與電機之間通過傳動裝置連接，所述空心軸下方設(shè)置萬向接頭，所述萬向接頭底端設(shè)置抽氣管，所述抽氣管一端設(shè)置抽氣機。對比現(xiàn)有技術(shù)，本實用新型的有益效果在于：它將電機與空心軸、抽氣管分開設(shè)置，只需通過調(diào)節(jié)電機轉(zhuǎn)速來調(diào)節(jié)吸力即可，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、使用壽命長，并且整體尺寸可隨意制作，不受電機的限制。
【IPC分類】B05C11/08
【公開號】CN205361861
【申請?zhí)枴緾N201620077307
【發(fā)明人】于如遠, 高培成
【申請人】濟南金銳電子有限公司
【公開日】2016年7月6日
【申請日】2016年1月26日