一種高精度氣體配氣裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種高精度氣體配氣裝置，由閥控選擇模塊和流量控制模塊組成。閥控選擇模塊包括三路分別帶有連體常閉進(jìn)氣電磁閥的進(jìn)氣管路、二路分別帶有連體常閉出氣電磁閥的出氣管路、配氣選擇開關(guān)、出氣接口選擇開關(guān)和開關(guān)電源。流量控制模塊包括二個(gè)分別帶有出氣調(diào)節(jié)閥的質(zhì)量流量器、一個(gè)閥控選擇旋轉(zhuǎn)開關(guān)和兩個(gè)電壓表頭。本實(shí)用新型通過巧妙設(shè)置時(shí)間延時(shí)電路，通過調(diào)節(jié)多個(gè)電磁閥，實(shí)現(xiàn)多源源氣組合在一起的精確配氣，整個(gè)設(shè)備結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，利于推廣。
【專利說明】
一種高精度氣體配氣裝置
技術(shù)領(lǐng)域
:
[0001]本實(shí)用新型涉及化工處理裝置，特別涉及一種用于稀釋不同濃度六氟化硫及不同含量氧氣的高精度氣體配氣裝置。
【背景技術(shù)】
:
[0002]當(dāng)前，對(duì)于多種源氣的組合配氣裝置在業(yè)內(nèi)并不多見，尤其是用于稀釋不同濃度，不同物理特性的氣體的組合配氣裝置。更別說對(duì)這種組合配氣的精度控制。一直以來對(duì)不同源氣的高精度組合配氣一直是業(yè)內(nèi)的技術(shù)難題。
【實(shí)用新型內(nèi)容】:
[0003]鑒于上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了一種高精度氣體配氣裝置。該裝置用于稀釋不同濃度六氟化硫及不同含量氧氣。
[0004]本實(shí)用新型的具體技術(shù)方案如下:
[0005]一種高精度氣體配氣裝置，由閥控選擇模塊和流量控制模塊組成;其特征在于，所述閥控選擇模塊包括三路分別帶有連體常閉進(jìn)氣電磁閥的進(jìn)氣管路、二路分別帶有連體常閉出氣電磁閥的出氣管路、配氣選擇開關(guān)、出氣接口選擇開關(guān)和開關(guān)電源;所述配氣選擇開關(guān)分別連接控制三路進(jìn)氣管路上的連體常閉進(jìn)氣電磁閥;所述出氣接口選擇開關(guān)分別連接控制二路出氣管路上的連體常閉出氣電磁閥;所述配氣選擇開關(guān)和出氣接口選擇開關(guān)分別連接開關(guān)電源;所述流量控制模塊包括二個(gè)分別帶有出氣調(diào)節(jié)閥的質(zhì)量流量器、一個(gè)閥控選擇旋轉(zhuǎn)開關(guān)和兩個(gè)電壓表頭;所述閥控選擇旋轉(zhuǎn)開關(guān)分別連接控制兩個(gè)出氣調(diào)節(jié)閥；所述每個(gè)電壓表頭各自連接一質(zhì)量流量器;所述三路進(jìn)氣管路中兩路作為第一進(jìn)氣管路連接質(zhì)量流量器，剩下一路進(jìn)氣管路作為第二進(jìn)氣管路連接另一質(zhì)量流量器。
[0006]上述方案中，所述三個(gè)連體常閉進(jìn)氣電磁閥、兩個(gè)連體常閉出氣電磁閥、配氣選擇開關(guān)、出氣接口選擇開關(guān)這四者之間通過五路電磁閥驅(qū)動(dòng)電路實(shí)現(xiàn)控制連接。
[0007]上述方案中，所述第一進(jìn)氣管路中的兩路進(jìn)氣管路分別接SF6源氣和O2源氣，第二進(jìn)氣管路中的一路進(jìn)氣管路接他源氣。
[0008]上述方案中，所述二路出氣管路一路輸出SF6目標(biāo)氣，另一路輸出O2目標(biāo)氣。
[0009]上述方案中，所述配氣選擇開關(guān)采用三刀三擲配氣選擇旋轉(zhuǎn)開關(guān)。
[0010]上述方案中，所述出氣接口選擇開關(guān)采用二刀二位出氣接口選擇撥動(dòng)關(guān)開。
[0011]上述方案中，所述閥控選擇旋轉(zhuǎn)開關(guān)采用帶延時(shí)電路的三刀三擲旋轉(zhuǎn)開關(guān)。
[0012]上述方案中，所述電壓表頭采用三位半數(shù)顯電壓表頭。
[0013]本實(shí)用新型通過巧妙設(shè)置時(shí)間延時(shí)電路，通過調(diào)節(jié)多個(gè)電磁閥，實(shí)現(xiàn)多源源氣組合在一起的精確配氣，整個(gè)設(shè)備結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，利于推廣。
【附圖說明】
:
[0014]以下結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】來進(jìn)一步說明本實(shí)用新型。
[0015]圖1為本實(shí)用新型的整體結(jié)構(gòu)圖。
[0016]圖2為閥控選擇模塊電路原理圖。
[0017]圖3a為氣體傳輸管路示意圖1。
[0018]圖3b為氣體傳輸管路示意圖2。
[0019]圖4為流量控制模塊原理接線圖。
【具體實(shí)施方式】
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[0020]為了使本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解，下面結(jié)合具體圖示，進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型。
[0021]如圖1所示，本實(shí)用新型所述的高精度氣體配氣裝置，由閥控選擇模塊100和流量控制模塊200組成。其中，閥控選擇模塊100包括三路分別帶有連體常閉進(jìn)氣電磁閥(I OI;102; 103)的進(jìn)氣管路、二路分別帶有連體常閉出氣電磁閥(104; 105)的出氣管路(二路出氣管路一路輸出SF6目標(biāo)氣，另一路輸出O2目標(biāo)氣)、配氣選擇開關(guān)106(三刀三擲配氣選擇旋轉(zhuǎn)開關(guān))、出氣接口選擇開關(guān)107(二刀二位出氣接口選擇撥動(dòng)關(guān)開)和開關(guān)電源。配氣選擇開關(guān)106分別連接控制三路進(jìn)氣管路上的連體常閉進(jìn)氣電磁閥(101; 102; 103)。出氣接口選擇開關(guān)107分別連接控制二路出氣管路上的連體常閉出氣電磁閥(104; 105)。配氣選擇開關(guān)106和出氣接口選擇開關(guān)107分別連接開關(guān)電源。流量控制模塊200包括二個(gè)分別帶有出氣調(diào)節(jié)閥(203; 204)的質(zhì)量流量器(201; 202)、一個(gè)閥控選擇旋轉(zhuǎn)開關(guān)205(帶延時(shí)電路206的三刀三擲旋轉(zhuǎn)開關(guān))和兩個(gè)電壓表頭(207；208)(三位半數(shù)顯電壓表頭)ο閥控選擇旋轉(zhuǎn)開關(guān)205分別連接控制兩個(gè)出氣調(diào)節(jié)閥(203; 204)。每個(gè)電壓表頭(207; 208)各自連接一質(zhì)量流量器(201; 202)。三路進(jìn)氣管路中兩路(分別接SF6源氣和O2源氣)作為第一進(jìn)氣管路連接質(zhì)量流量器，剩下一路進(jìn)氣管路(接N2源氣)作為第二進(jìn)氣管路連接另一質(zhì)量流量器。
[0022 ] 如圖2所示，三個(gè)連體常閉進(jìn)氣電磁閥、兩個(gè)連體常閉出氣電磁閥、配氣選擇開關(guān)、出氣接口選擇開關(guān)這四者之間通過五路電磁閥驅(qū)動(dòng)電路實(shí)現(xiàn)控制連接。具體運(yùn)行過程如下:
[0023]①閥控選擇開關(guān)在‘零位’檔，切換到‘SF6’配氣檔時(shí)，由零電平變換為高電平(5V)啟動(dòng)光隔離驅(qū)動(dòng)電路，光隔離驅(qū)動(dòng)電路由截止?fàn)顟B(tài)變?yōu)閷?dǎo)通狀態(tài)，電磁閥的線圈受電，啟動(dòng)對(duì)應(yīng)的‘ SF6、N2，進(jìn)氣電磁閥和‘ SF6 ’出氣電磁閥由關(guān)閉狀態(tài)變?yōu)殚_通狀態(tài)，進(jìn)入‘ SF6，配氣工作狀態(tài)。
[0024]②閥控選擇開關(guān)由‘SF6’配氣檔切換到‘02’配氣檔時(shí)，先切換到‘零位’檔，再進(jìn)入‘02’配氣檔，此時(shí)由高電平變?yōu)榱汶娖?，關(guān)閉所有的進(jìn)氣閥和出氣閥，再由零電平變?yōu)楦唠娖?，開啟‘02、N2’進(jìn)氣電磁閥及‘02’出氣電磁閥，進(jìn)入‘02’配氣工作狀態(tài)。
[0025]③出氣接口選擇開關(guān)在“下位檔”時(shí)，SF6、O2出氣電磁閥由配氣選擇開關(guān)控制，SF6、O2進(jìn)氣電磁閥工作狀態(tài)不變，二路出氣接口為各自對(duì)應(yīng)出氣接口輸氣。
[0026]④出氣接口選擇開關(guān)在“上位檔”時(shí)，O2出氣電磁閥的電源被斷開，此時(shí)的‘O2 ’出氣電磁閥為關(guān)閉狀態(tài)，但SF6出氣電磁閥的電源切換到N2進(jìn)氣電磁閥供電端，由配氣選擇開關(guān)控制，實(shí)現(xiàn)二路出氣接口為一路由SF6出氣接口輸氣。
[0027]如圖3a和圖3b所示，整個(gè)裝置中涉及的氣體傳輸管路主要由進(jìn)氣管路和出氣管路連接成氣體傳輸管路。氣體傳輸管路主要由一只三進(jìn)二出管路組合器、一只2000毫升質(zhì)量流量控制器、一只500毫升質(zhì)量流量控制器、一只二進(jìn)一出三通雙卡套接頭、一只一進(jìn)二出管路組合器等組成。進(jìn)氣由三進(jìn)二出管路組合器的三路進(jìn)氣快擰接頭分別對(duì)接6毫米PU管，
6毫米PU管另一頭分別連接經(jīng)減壓后三種氣源(SF6、02、N2)輸出接口。三進(jìn)二出管路組合器的二路出氣雙卡套接頭分別對(duì)接6毫米PU管，6毫米PU管的另一頭分別對(duì)接對(duì)應(yīng)二只質(zhì)量流量控制器進(jìn)氣雙卡套接頭，質(zhì)量流量控制器的另一端出氣雙卡套接頭分別對(duì)接6毫米PU管，6毫米PU管另一頭分別對(duì)接對(duì)應(yīng)二進(jìn)一出三通進(jìn)氣雙卡套接頭，二進(jìn)一出三通出氣雙卡套接頭對(duì)接6毫米PU管，6毫米PU管另一頭對(duì)接一進(jìn)二出管路組合器的進(jìn)氣雙卡套接頭，一進(jìn)二出管路組合器的二路出氣快擰接頭連接6毫米乳膠軟管，6毫米乳膠軟管另一頭分別連接被試品。一進(jìn)二出管路組合器的二只出氣快抒接頭為目標(biāo)氣的傳輸接口。
[0028]如圖4所示，閥控選擇旋轉(zhuǎn)開關(guān)是一只具有延時(shí)功能的三刀三擲配氣選擇旋轉(zhuǎn)開關(guān)，選擇二路質(zhì)量流量器的自控、關(guān)閉、洗管工作狀態(tài)。根據(jù)流量控制器的控制端功能，定義控制端連接+15V為關(guān)閉狀態(tài)，控制端連接-15V為洗管狀態(tài)，控制端懸空為自控狀態(tài)。
[0029]閥控選擇旋轉(zhuǎn)開關(guān)在“關(guān)閉位”時(shí)，質(zhì)量流量器的調(diào)節(jié)閥控制端連接+15V為關(guān)閉狀態(tài)，閥控選擇開關(guān)由“關(guān)閉位”旋向“自控位”時(shí)，質(zhì)量流量器的調(diào)節(jié)閥控制端連接延時(shí)電路的常合接點(diǎn)連接-15V，質(zhì)量流量器進(jìn)入洗管狀態(tài)，同時(shí)延時(shí)電路接上+5V電源，等待5秒，延時(shí)電路的常合接點(diǎn)自動(dòng)切換到斷開狀態(tài)，質(zhì)量流量器的調(diào)節(jié)閥控制端懸空，質(zhì)量流量器的調(diào)節(jié)閥進(jìn)入受設(shè)置值控制狀態(tài)。
[0030]閥控選擇旋轉(zhuǎn)開關(guān)由“自控位”旋向“關(guān)閉位”，質(zhì)量流量器的調(diào)節(jié)閥控制端由懸空切換到+15V電源端，質(zhì)量流量器的調(diào)節(jié)閥為關(guān)閉狀態(tài)。
[0031]以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理和主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說明書中描述的只是說明本實(shí)用新型的原理，在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下，本實(shí)用新型還會(huì)有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。本實(shí)用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種高精度氣體配氣裝置，由閥控選擇模塊和流量控制模塊組成;其特征在于，所述閥控選擇模塊包括三路分別帶有連體常閉進(jìn)氣電磁閥的進(jìn)氣管路、二路分別帶有連體常閉出氣電磁閥的出氣管路、配氣選擇開關(guān)、出氣接口選擇開關(guān)和開關(guān)電源;所述配氣選擇開關(guān)分別連接控制三路進(jìn)氣管路上的連體常閉進(jìn)氣電磁閥;所述出氣接口選擇開關(guān)分別連接控制二路出氣管路上的連體常閉出氣電磁閥;所述配氣選擇開關(guān)和出氣接口選擇開關(guān)分別連接開關(guān)電源;所述流量控制模塊包括二個(gè)分別帶有出氣調(diào)節(jié)閥的質(zhì)量流量器、一個(gè)閥控選擇旋轉(zhuǎn)開關(guān)和兩個(gè)電壓表頭;所述閥控選擇旋轉(zhuǎn)開關(guān)分別連接控制兩個(gè)出氣調(diào)節(jié)閥；所述每個(gè)電壓表頭各自連接一質(zhì)量流量器;所述三路進(jìn)氣管路中兩路作為第一進(jìn)氣管路連接質(zhì)量流量器，剩下一路進(jìn)氣管路作為第二進(jìn)氣管路連接另一質(zhì)量流量器。2.根據(jù)權(quán)利要求1的高精度氣體配氣裝置，其特征在于，所述三個(gè)連體常閉進(jìn)氣電磁閥、兩個(gè)連體常閉出氣電磁閥、配氣選擇開關(guān)、出氣接口選擇開關(guān)這四者之間通過五路電磁閥驅(qū)動(dòng)電路實(shí)現(xiàn)控制連接。3.根據(jù)權(quán)利要求1的高精度氣體配氣裝置，其特征在于，所述第一進(jìn)氣管路中的兩路進(jìn)氣管路分別接SF6源氣和O2源氣，第二進(jìn)氣管路中的一路進(jìn)氣管路接他源氣。4.根據(jù)權(quán)利要求1的高精度氣體配氣裝置，其特征在于，所述二路出氣管路一路輸出SF6目標(biāo)氣，另一路輸出02目標(biāo)氣。5.根據(jù)權(quán)利要求1的高精度氣體配氣裝置，其特征在于，所述配氣選擇開關(guān)采用三刀三擲配氣選擇旋轉(zhuǎn)開關(guān)。6.根據(jù)權(quán)利要求1的高精度氣體配氣裝置，其特征在于，所述出氣接口選擇開關(guān)采用二刀二位出氣接口選擇撥動(dòng)關(guān)開。7.根據(jù)權(quán)利要求1的高精度氣體配氣裝置，其特征在于，所述閥控選擇旋轉(zhuǎn)開關(guān)采用帶延時(shí)電路的三刀三擲旋轉(zhuǎn)開關(guān)。8.根據(jù)權(quán)利要求1的高精度氣體配氣裝置，其特征在于，所述電壓表頭采用三位半數(shù)顯電壓表頭。
【文檔編號(hào)】G05D16/20GK205412912SQ201620160123
【公開日】2016年8月3日
【申請(qǐng)日】2016年3月2日
【發(fā)明人】王旭敏
【申請(qǐng)人】常州順創(chuàng)電氣科技有限公司