一種均勻混合氧化鈰泥漿的裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種制備超細(xì)氧化鈰的系統(tǒng)，包括草酸鈰生成裝置以及與其連接的高溫氧化裝置，高溫氧化裝置包括爐體，爐體側(cè)面設(shè)有燃燒器；草酸鈰生成裝置包括反應(yīng)器，反應(yīng)器內(nèi)的頂部設(shè)有直線型導(dǎo)軌以及沿導(dǎo)軌往返的至少兩個(gè)活動(dòng)式分散劑噴灑器。本實(shí)用新型的草酸鈰生成裝置內(nèi)設(shè)有至少兩個(gè)活動(dòng)式分散劑噴灑器，這些分散劑噴灑器能夠沿直線型導(dǎo)軌往返運(yùn)動(dòng)，從而充分噴灑分散劑，在分散劑的作用下保證了草酸鈰的小粒徑，進(jìn)而在高溫氧化階段保證獲得氧化鈰產(chǎn)品的小粒徑，獲得超細(xì)氧化鈰產(chǎn)品。
【專利說明】
一種均勻混合氧化鈰泥漿的裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及一種混合裝置，具體涉及一種均勻混合氧化鈰泥漿的裝置。屬于稀土材料技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]拋光粒子是拋光漿料最重要的組成部分，鈰基拋光粉作為一種優(yōu)良的拋光材料，以其獨(dú)特的拋光性能及質(zhì)量，在玻璃、集成電路芯片以及互連材料等高科技領(lǐng)域都獲得了廣泛的應(yīng)用。氧化鈰作為拋光材料在精密玻璃和ULSI 二氧化硅介質(zhì)層的CMP中表現(xiàn)出色，不僅拋光能力強(qiáng)，而且可以降低工件表面損傷，提高拋光選擇性。由于拋光粒子的組成、純度、硬度、粒度等物化性能都會(huì)導(dǎo)致拋光性能的顯著改變，因此，拋光粉體的性能對(duì)拋光性能改善尤為重要。其中，拋光粒子的均勻度是保證拋光性能的最基本要求，拋光漿料的調(diào)配均勻度直接決定了最終的拋光性能。
[0003]因此，在使用氧化鈰泥漿對(duì)工件進(jìn)行拋光前，應(yīng)當(dāng)使氧化鈰泥漿混合均勻。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型的目的是為克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種均勻混合氧化鈰泥漿的裝置。
[0005]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用下述技術(shù)方案:
[0006]—種均勻混合氧化鈰泥漿的裝置，包括罐體以及伸入其內(nèi)部的攪拌機(jī)構(gòu)，攪拌機(jī)構(gòu)包括攪拌桿，所述攪拌桿上固定連接有多層葉片，并且，葉片上布設(shè)有多個(gè)分散劑噴灑機(jī)構(gòu)。
[0007]優(yōu)選的，所述攪拌機(jī)構(gòu)由罐體外部的驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)。
[0008]優(yōu)選的，所述的多層葉片為三至四層，每層三個(gè)葉片間隔120°均勻設(shè)置在攪拌桿上。
[0009]優(yōu)選的，每層三個(gè)葉片一致向上或向下傾斜，葉片與攪拌桿中心軸的夾角為85?90。。
[0010]進(jìn)一步優(yōu)選的，葉片與攪拌桿中心軸的夾角為85°。
[0011]優(yōu)選的，所述的每層三個(gè)葉片不在一個(gè)平面的，其上下間隔10?20mm。
[0012]優(yōu)選的，所述分散劑噴灑機(jī)構(gòu)由罐體外部的控制裝置控制。
[0013]優(yōu)選的，所述分散劑噴灑機(jī)構(gòu)均勻分布在葉片底部。
[0014]優(yōu)選的，所述的分散劑噴灑機(jī)構(gòu)為羧甲基纖維素噴灑機(jī)構(gòu)。
[0015]本實(shí)用新型的有益效果:
[0016]本實(shí)用新型的混合裝置采用了多層葉片，并且葉片傾斜設(shè)置，增加了罐體內(nèi)氧化鈰泥漿各個(gè)部分的攪拌和切割次數(shù)，同時(shí)，葉片上還設(shè)有分散劑噴灑孔，多點(diǎn)噴灑分散劑從而有效改善氧化鈰的分散性，使得氧化鈰泥漿混合均勻，進(jìn)而提高其拋光性能。
【附圖說明】
[0017]圖1是本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)不意圖；
[0018]圖2為攪拌桿與葉片的夾角示意圖；
[0019]圖3為圖1的俯視圖；
[0020]其中，I為攪拌桿，2為罐體，3為葉片，4為分散劑噴灑機(jī)構(gòu)，5為驅(qū)動(dòng)裝置，α為葉片與攪拌桿中心軸的夾角。
【具體實(shí)施方式】
[0021]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步的闡述，應(yīng)該說明的是，下述說明僅是為了解釋本實(shí)用新型，并不對(duì)其內(nèi)容進(jìn)行限定。
[0022]實(shí)施例1:
[0023]如圖1?3所示，本實(shí)用新型的一種均勻混合氧化鈰泥漿的裝置，包括罐體以及伸入其內(nèi)部的攪拌機(jī)構(gòu)，攪拌機(jī)構(gòu)由罐體外部的驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)。
[0024]攪拌機(jī)構(gòu)包括攪拌桿，攪拌桿上固定連接有三層葉片，每層三個(gè)葉片間隔120°均勻設(shè)置在攪拌桿上，每層三個(gè)葉片一致向上傾斜，葉片與攪拌桿中心軸的夾角為85°。每層三個(gè)葉片不在一個(gè)平面的，其上下間隔10mm。
[0025]葉片上布設(shè)有多個(gè)分散劑噴灑機(jī)構(gòu)，分散劑噴灑機(jī)構(gòu)由罐體外部的控制裝置控制，分散劑(羧甲基纖維素)噴灑機(jī)構(gòu)均勻分布在葉片底部。
[0026]實(shí)施例2:
[0027]如圖1?3所示，本實(shí)用新型的一種均勻混合氧化鈰泥漿的裝置，包括罐體以及伸入其內(nèi)部的攪拌機(jī)構(gòu)，攪拌機(jī)構(gòu)由罐體外部的驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)。
[0028]攪拌機(jī)構(gòu)包括攪拌桿，攪拌桿上固定連接有四層葉片，每層三個(gè)葉片間隔120°均勻設(shè)置在攪拌桿上，每層三個(gè)葉片一致向下傾斜，葉片與攪拌桿中心軸的夾角為90°。每層三個(gè)葉片不在一個(gè)平面的，其上下間隔20mm。
[0029]葉片上布設(shè)有多個(gè)分散劑噴灑機(jī)構(gòu)，分散劑噴灑機(jī)構(gòu)由罐體外部的控制裝置控制，分散劑(羧甲基纖維素)噴灑機(jī)構(gòu)均勻分布在葉片底部。
[0030]實(shí)施例3:
[0031]如圖1?3所示，本實(shí)用新型的一種均勻混合氧化鈰泥漿的裝置，包括罐體以及伸入其內(nèi)部的攪拌機(jī)構(gòu)，攪拌機(jī)構(gòu)由罐體外部的驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)。
[0032]攪拌機(jī)構(gòu)包括攪拌桿，攪拌桿上固定連接有三層葉片，每層三個(gè)葉片間隔120°均勻設(shè)置在攪拌桿上，每層三個(gè)葉片一致向上傾斜，葉片與攪拌桿中心軸的夾角為85°。每層三個(gè)葉片不在一個(gè)平面的，其上下間隔15mm。
[0033]葉片上布設(shè)有多個(gè)分散劑噴灑機(jī)構(gòu)，分散劑噴灑機(jī)構(gòu)由罐體外部的控制裝置控制，分散劑(羧甲基纖維素)噴灑機(jī)構(gòu)均勻分布在葉片底部。
[0034]上述雖然結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行了描述，但并非對(duì)本實(shí)用新型保護(hù)范圍的限制，在本實(shí)用新型的技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本領(lǐng)域技術(shù)人員不需要付出創(chuàng)造性勞動(dòng)即可做出的各種修改或變形仍在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍以內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種均勻混合氧化鈰泥漿的裝置，包括罐體以及伸入其內(nèi)部的攪拌機(jī)構(gòu)，攪拌機(jī)構(gòu)包括攪拌桿，其特征在于，所述攪拌桿上固定連接有多層葉片，并且，葉片上布設(shè)有多個(gè)分散劑噴灑機(jī)構(gòu)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種均勻混合氧化鈰泥漿的裝置，其特征在于，所述攪拌機(jī)構(gòu)由罐體外部的驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種均勻混合氧化鈰泥漿的裝置，其特征在于，所述的多層葉片為三至四層，每層三個(gè)葉片間隔120°均勻設(shè)置在攪拌桿上。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種均勻混合氧化鈰泥漿的裝置，其特征在于，每層三個(gè)葉片一致向上或向下傾斜，葉片與攪拌桿中心軸的夾角為85?90°。5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種均勻混合氧化鈰泥漿的裝置，其特征在于，葉片與攪拌桿中心軸的夾角為85°。6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種均勻混合氧化鈰泥漿的裝置，其特征在于，所述的每層三個(gè)葉片不在一個(gè)平面的，其上下間隔10?20mm。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種均勻混合氧化鈰泥漿的裝置，其特征在于，所述分散劑噴灑機(jī)構(gòu)由罐體外部的控制裝置控制。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種均勻混合氧化鈰泥漿的裝置，其特征在于，所述分散劑噴灑機(jī)構(gòu)均勻分布在葉片底部。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種均勻混合氧化鈰泥漿的裝置，其特征在于，所述的分散劑噴灑機(jī)構(gòu)為羧甲基纖維素噴灑機(jī)構(gòu)。
【文檔編號(hào)】B01F7/18GK205517435SQ201620187870
【公開日】2016年8月31日
【申請(qǐng)日】2016年3月13日
【發(fā)明人】潘夢(mèng)蝶
【申請(qǐng)人】潘夢(mèng)蝶