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      一種硅片切削液回收系統(tǒng)中的油氣分離裝置的制造方法

      文檔序號:10925762閱讀:327來源:國知局
      一種硅片切削液回收系統(tǒng)中的油氣分離裝置的制造方法
      【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種硅片切削液回收系統(tǒng)中的油氣分離裝置,包括上腔體和下腔體,所述上腔體的底部和下腔體之間通過出油口連通,所述上腔體的頂部設(shè)置有出氣口,所述上腔體的側(cè)壁上設(shè)置有進(jìn)氣口,所述上腔體內(nèi)設(shè)置有處于溢油口和出氣口之間的濾油彈性體,所述上腔體內(nèi)滑動安裝有對濾油彈性體進(jìn)行擠壓的擠壓裝置,所述下腔體的底部設(shè)置有放油口。該油氣分離裝置結(jié)構(gòu)簡單,可對從攪拌釜中抽出的含油空氣進(jìn)行油氣分離,使切削油回收,減少污染和原料浪費(fèi)。
      【專利說明】
      一種硅片切削液回收系統(tǒng)中的油氣分離裝置
      技術(shù)領(lǐng)域
      [0001]本實(shí)用新型涉及一種油氣分離裝置,特別是指一種硅片切削液回收系統(tǒng)中的油氣分離裝置。
      【背景技術(shù)】
      [0002]硅棒切割成硅片時(shí)需要用到切削液,而切削液在使用一定時(shí)間后需要更換,而更換的切削液可以回收再利用,而切削液中包括固體顆粒和切削油,通過壓濾離心后將固體顆粒和切削油分別回收,而回收后的切削油需要和固體顆粒再次在攪拌釜中進(jìn)行混合配比,混合時(shí)一般利用抽風(fēng)機(jī)對攪拌釜進(jìn)行抽風(fēng),而抽出的風(fēng)直接排放到大氣中,然經(jīng)過研究發(fā)現(xiàn),切削油本身具有揮發(fā)性,同時(shí)在攪拌時(shí)切削油也具有一定的溫度,攪拌過程中加速揮發(fā),因此,抽出的空氣含有一定的氣態(tài)的切削油,造成了原料的浪費(fèi),同時(shí)一定程度污染了環(huán)境。
      【實(shí)用新型內(nèi)容】
      [0003]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是:提供一種硅片切削液回收系統(tǒng)中的油氣分離裝置,該油氣分離裝置結(jié)構(gòu)簡單,可對從攪拌釜中抽出的含油空氣進(jìn)行油氣分離,使切削油回收,減少污染和原料浪費(fèi)。
      [0004]為解決上述技術(shù)問題,本實(shí)用新型的技術(shù)方案是:一種硅片切削液回收系統(tǒng)中的油氣分離裝置,包括上腔體和下腔體,所述上腔體的底部和下腔體之間通過出油口連通,所述上腔體的頂部設(shè)置有出氣口,所述上腔體的側(cè)壁上設(shè)置有進(jìn)氣口,所述上腔體內(nèi)設(shè)置有處于溢油口和出氣口之間的濾油彈性體,所述上腔體內(nèi)滑動安裝有對濾油彈性體進(jìn)行擠壓的擠壓裝置,所述下腔體的底部設(shè)置有放油口。
      [0005]作為一種優(yōu)選的方案,所述上腔體包括處于上部的濾油腔室和處于下部的進(jìn)氣腔室,所述濾油腔室和進(jìn)氣腔室之間通過分隔底板分隔,所述分隔底板上設(shè)置有透氣孔,所述出油口設(shè)置于進(jìn)氣腔室的底部,所述進(jìn)氣腔室與進(jìn)氣口連通。
      [0006]作為一種優(yōu)選的方案,所述擠壓裝置包括上下滑動安裝于濾油腔室內(nèi)的擠壓板,該擠壓板上設(shè)置有透氣孔,所述擠壓板上連接有貫穿濾油腔室頂部的施力桿。
      [0007]作為一種優(yōu)選的方案,所述上腔體上安裝有與施力桿連接的氣缸。
      [0008]作為一種優(yōu)選的方案,所述進(jìn)氣口處連接有進(jìn)氣管口,該進(jìn)氣管口具有一段向上傾斜的傾斜段,進(jìn)氣管口上設(shè)置有連接法蘭。
      [0009]作為一種優(yōu)選的方案,所述擠壓板的上部和下部均設(shè)置了所述濾油彈性體。
      [0010]作為一種優(yōu)選的方案,所述下腔體內(nèi)設(shè)置有液位計(jì)。
      [0011]作為一種優(yōu)選的方案,所述上腔體的頂部為一塊可拆卸的蓋板,該蓋板通過螺栓可拆卸安裝于濾油腔室的頂部。
      [0012]采用了上述技術(shù)方案后,本實(shí)用新型的效果是:由于油氣分離裝置,包括上腔體和下腔體,所述上腔體的底部和下腔體之間通過出油口連通,所述上腔體的頂部設(shè)置有出氣口,所述上腔體的側(cè)壁上設(shè)置有進(jìn)氣口,所述上腔體內(nèi)設(shè)置有處于溢油口和出氣口之間的濾油彈性體,所述上腔體內(nèi)滑動安裝有對濾油彈性體進(jìn)行擠壓的擠壓裝置,所述下腔體的底部設(shè)置有放油口,將該油氣分離裝置連接在攪拌釜的抽氣管路中,氣體從進(jìn)氣管進(jìn)入然后經(jīng)過濾油彈性體濾油,切削油被吸附在濾油彈性體中,而空氣則穿過濾油彈性體并從出氣口排出,當(dāng)濾油彈性體吸附飽和后,利用擠壓裝置可以對其進(jìn)行擠壓,切削油被擠出并從出油口流入下腔體內(nèi),這樣就實(shí)現(xiàn)了油氣分離,該油氣分離裝置結(jié)構(gòu)簡單,易安裝,成本低廉,分離效果理想。
      [0013]又由于所述上腔體包括處于上部的濾油腔室和處于下部的進(jìn)氣腔室,所述濾油腔室和進(jìn)氣腔室之間通過分隔底板分隔,所述分隔底板上設(shè)置有透氣孔,所述出油口設(shè)置于進(jìn)氣腔室的底部,所述進(jìn)氣腔室與進(jìn)氣口連通,這種結(jié)構(gòu)的上腔體可以保證氣流通暢。
      [0014]又由于所述擠壓裝置包括上下滑動安裝于濾油腔室內(nèi)的擠壓板,該擠壓板上設(shè)置有透氣孔,所述擠壓板上連接有貫穿濾油腔室頂部的施力桿,該擠壓裝置結(jié)構(gòu)簡單有效,擠壓操作也方便。
      [0015]又由于所述進(jìn)氣口處連接有進(jìn)氣管口,該進(jìn)氣管口具有一段向上傾斜的傾斜段,進(jìn)氣管口上設(shè)置有連接法蘭,這樣,該進(jìn)氣管口的傾斜段可有效的避免切削油倒流。
      [0016]又由于所述擠壓板的上部和下部均設(shè)置了所述濾油彈性體,這樣,擠壓板向下運(yùn)動和向上運(yùn)動均可擠壓濾油彈性體,而設(shè)置了兩塊濾油彈性體可提高濾油效果。
      [0017]又由于所述下腔體內(nèi)設(shè)置有液位計(jì),該液位計(jì)實(shí)時(shí)檢測下腔體內(nèi)切削油的高度,避免油量過多。
      【附圖說明】
      [0018]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。
      [0019]圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例的結(jié)構(gòu)剖視圖;
      [0020]附圖中:1.上腔體;2.下腔體;3.出油口;4.施力桿;5.擠壓板;6.出氣口;7.氣缸;
      8.蓋板;9.透氣孔;10.進(jìn)氣管口; 11.放油口; 12.液位計(jì)。
      【具體實(shí)施方式】
      [0021 ]下面通過具體實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。
      [0022]如圖1所示,一種硅片切削液回收系統(tǒng)中的油氣分離裝置,包括上腔體I和下腔體2,本實(shí)用新型中描述的上和下是以圖1中擺放的位置確定的,所述上腔體I的底部和下腔體2之間通過出油口 3連通,所述上腔體I的頂部設(shè)置有出氣口 6,所述上腔體I的側(cè)壁上設(shè)置有進(jìn)氣口,所述上腔體I內(nèi)設(shè)置有處于溢油口和出氣口6之間的濾油彈性體,所述上腔體I內(nèi)滑動安裝有對濾油彈性體進(jìn)行擠壓的擠壓裝置,所述下腔體2的底部設(shè)置有放油口 11,所述放油口 11連接放油管路用于收集回收利用。
      [0023]所述上腔體I包括處于上部的濾油腔室和處于下部的進(jìn)氣腔室,所述上腔體I的頂部為一塊可拆卸的蓋板8,該蓋板8通過螺栓可拆卸安裝于濾油腔室的頂部。這樣可通過拆卸蓋板8方便更換濾油彈性體,濾油彈性體一般可以為彈性海綿、彈性乳膠等制成,具有一定的吸附性。
      [0024]所述濾油腔室和進(jìn)氣腔室之間通過分隔底板分隔,所述分隔底板上設(shè)置有透氣孔,所述出油口 3設(shè)置于進(jìn)氣腔室的底部,所述進(jìn)氣腔室與進(jìn)氣口連通。所述進(jìn)氣腔室的底部設(shè)置成向出油口 3傾斜的導(dǎo)流斜面,方便切削油流動
      [0025]所述擠壓裝置包括上下滑動安裝于濾油腔室內(nèi)的擠壓板5,該擠壓板5上設(shè)置有透氣孔9,所述擠壓板5上連接有貫穿濾油腔室頂部的施力桿4。本實(shí)施例中,所述擠壓板5的上部和下部均設(shè)置了所述濾油彈性體。
      [0026]所述上腔體I上安裝有與施力桿4連接的氣缸7。該擠壓裝置可以采用手動擠壓或者氣動的方式擠壓。所述進(jìn)氣口處連接有進(jìn)氣管口 10,該進(jìn)氣管口 10具有一段向上傾斜的傾斜段,進(jìn)氣管口 10上設(shè)置有連接法蘭。所述下腔體2內(nèi)設(shè)置有液位計(jì)12。在放油管路上可設(shè)置電磁閥,從而實(shí)現(xiàn)智能控制。
      [0027]以上所述實(shí)施例僅是對本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式的描述,不作為對本發(fā)明范圍的限定,在不脫離本發(fā)明設(shè)計(jì)精神的基礎(chǔ)上,對本發(fā)明技術(shù)方案作出的各種變形和改造,均應(yīng)落入本發(fā)明的權(quán)利要求書確定的保護(hù)范圍內(nèi)。
      【主權(quán)項(xiàng)】
      1.一種硅片切削液回收系統(tǒng)中的油氣分離裝置,其特征在于:包括上腔體和下腔體,所述上腔體的底部和下腔體之間通過出油口連通,所述上腔體的頂部設(shè)置有出氣口,所述上腔體的側(cè)壁上設(shè)置有進(jìn)氣口,所述上腔體內(nèi)設(shè)置有處于溢油口和出氣口之間的濾油彈性體,所述上腔體內(nèi)滑動安裝有對濾油彈性體進(jìn)行擠壓的擠壓裝置,所述下腔體的底部設(shè)置有放油口。2.如權(quán)利要求1所述的一種硅片切削液回收系統(tǒng)中的油氣分離裝置,其特征在于:所述上腔體包括處于上部的濾油腔室和處于下部的進(jìn)氣腔室,所述濾油腔室和進(jìn)氣腔室之間通過分隔底板分隔,所述分隔底板上設(shè)置有透氣孔,所述出油口設(shè)置于進(jìn)氣腔室的底部,所述進(jìn)氣腔室與進(jìn)氣口連通。3.如權(quán)利要求2所述的一種硅片切削液回收系統(tǒng)中的油氣分離裝置,其特征在于:所述擠壓裝置包括上下滑動安裝于濾油腔室內(nèi)的擠壓板,該擠壓板上設(shè)置有透氣孔,所述擠壓板上連接有貫穿濾油腔室頂部的施力桿。4.如權(quán)利要求3所述的一種硅片切削液回收系統(tǒng)中的油氣分離裝置,其特征在于:所述上腔體上安裝有與施力桿連接的氣缸。5.如權(quán)利要求4所述的一種硅片切削液回收系統(tǒng)中的油氣分離裝置,其特征在于:所述進(jìn)氣口處連接有進(jìn)氣管口,該進(jìn)氣管口具有一段向上傾斜的傾斜段,進(jìn)氣管口上設(shè)置有連接法蘭。6.如權(quán)利要求5所述的一種硅片切削液回收系統(tǒng)中的油氣分離裝置,其特征在于:所述擠壓板的上部和下部均設(shè)置了所述濾油彈性體。7.如權(quán)利要求6所述的一種硅片切削液回收系統(tǒng)中的油氣分離裝置,其特征在于:所述下腔體內(nèi)設(shè)置有液位計(jì)。8.如權(quán)利要求7所述的一種硅片切削液回收系統(tǒng)中的油氣分離裝置,其特征在于:所述上腔體的頂部為一塊可拆卸的蓋板,該蓋板通過螺栓可拆卸安裝于濾油腔室的頂部。
      【文檔編號】B01D19/00GK205613090SQ201620433934
      【公開日】2016年10月5日
      【申請日】2016年5月13日
      【發(fā)明人】周曉明, 許建松, 鄒文龍, 李卡, 白青松, 蔣娜娜
      【申請人】蘇州晶櫻光電科技有限公司
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