小型氣體純化裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種小型氣體純化裝置，其技術(shù)方案要點(diǎn)是所述支架包括向罐體的兩側(cè)滑移連接的左支架和右支架，罐體包括與左支架連接的左罐體和與右支架連接的右罐體，左罐體和右罐體之間設(shè)有用于固定二者的鎖緊組件，達(dá)到了便于清理維護(hù)的效果。
【專利說明】
小型氣體純化裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及一種化學(xué)純化技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種小型氣體純化裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體工業(yè)中，經(jīng)常需要?dú)錃狻⒌獨(dú)?、惰性氣體(氦、氖、氬、氪、氙)、還原性氣體(砷化氫、磷化氫、氨氣、硅化氫等)，并且需要這些氣體具有“超高純度”，尤其是需要具有極低級(jí)含量的氧氣、水、二氧化碳、一氧化碳等雜質(zhì)。
[0003]傳統(tǒng)的氣體純化裝置，包括用于進(jìn)行純化的罐體和支撐罐體的支架，氣體的純化通常是用鋁、鎂、鋯等“活潑金屬”擔(dān)當(dāng)吸氣劑。為了便于設(shè)備的運(yùn)輸和使用，市場(chǎng)上出現(xiàn)了比傳統(tǒng)的氣體純化裝置體型更小的氣體純化裝置，稱之為小型氣體純化裝置。
[0004]當(dāng)氫氣、氮?dú)狻⒍栊詺怏w(氦、氖、氬、氪、氙)、還原性氣體(砷化氫、磷化氫、氨氣、硅化氫等)通過這些活潑金屬時(shí)，其中的氧氣、水、二氧化碳、一氧化碳被這些活潑金屬吸收，氣體得到純化。然而這些活潑金屬都是固體，當(dāng)固體的表面吸收含氧元素后，變成金屬氧化物，在金屬表面結(jié)成一層“殼”，這一層“殼”阻礙了固體內(nèi)部的金屬進(jìn)一步吸收。現(xiàn)有的罐體都是密閉的，不方便工人對(duì)其內(nèi)部進(jìn)行清理，若不及時(shí)對(duì)其進(jìn)行清理，將嚴(yán)重影響小型氣體純化裝置的氣體純化效果與使用壽命。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型的目的是提供一種便于清理維護(hù)的小型氣體純化裝置。
[0006]本實(shí)用新型的上述技術(shù)目的是通過以下技術(shù)方案得以實(shí)現(xiàn)的:一種小型氣體純化裝置，包括支架和罐體，其特征在于:所述支架包括向罐體的兩側(cè)滑移連接的左支架和右支架，罐體包括與左支架連接的左罐體和與右支架連接的右罐體，左罐體和右罐體之間設(shè)有用于固定二者的鎖緊組件。
[0007]通過上述技術(shù)方案，罐體設(shè)置為左罐體和右罐體分置的方式，解決了罐體內(nèi)部無法進(jìn)行清理的問題，左罐體和右罐體通過鎖緊組件固定連接，達(dá)到密封罐體的效果。工人通過操作鎖緊組件來控制左罐體和右罐體的閉合，以便對(duì)罐體內(nèi)部結(jié)構(gòu)進(jìn)行清理和維修。
[0008]較佳的，所述做左支架和右支架之間設(shè)有用于調(diào)節(jié)二者之間距離的調(diào)節(jié)組件。
[0009]通過上述技術(shù)方案，工人打開固定組件后，左罐體和右罐體雖然已經(jīng)沒有固定連接，但是左罐體和右罐體還是處于貼合在一起的狀態(tài)，若要將左罐體和右罐體分開，工人還需施加體力將二者連通機(jī)架進(jìn)行搬運(yùn)，調(diào)節(jié)組件按照設(shè)定將左罐體和右罐體分開定量的距離，減輕了工人的體力負(fù)擔(dān)。
[0010]較佳的，所述調(diào)節(jié)組件包括電動(dòng)推桿，電動(dòng)推桿一端與左支架固定連接，另一端與右支架固定連接并固接有用于驅(qū)動(dòng)電動(dòng)推桿伸縮的驅(qū)動(dòng)件。
[0011]通過上述技術(shù)方案，電動(dòng)推桿可以在一定范圍行程內(nèi)做往返運(yùn)動(dòng)，用電動(dòng)推桿作為調(diào)節(jié)組件的執(zhí)行機(jī)構(gòu)不僅可以減少采用氣動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)所需的氣源裝置和輔助設(shè)備，也可以減少小型氣體純化裝置整個(gè)設(shè)備的重量，使得小型氣體純化裝置更加小巧輕便。
[0012]較佳的，所述左支架與右支架設(shè)有用于引導(dǎo)二者滑移滑移方向的引導(dǎo)機(jī)構(gòu)。
[0013]通過上述技術(shù)方案，引導(dǎo)機(jī)構(gòu)的設(shè)置使得左罐體和右罐體相對(duì)滑移時(shí)滑移方向不發(fā)生偏離，保證滑移的穩(wěn)定性。
[0014]較佳的，所述左罐體邊緣設(shè)有第一凸臺(tái)，右罐體邊緣設(shè)有第二凸臺(tái)，第一凸臺(tái)和第二凸臺(tái)上相對(duì)設(shè)置螺紋孔，所述鎖緊組件為螺紋孔和螺紋孔內(nèi)螺紋連接有的螺栓。
[0015]通過上述技術(shù)方案，左罐體和右罐體合并在一起時(shí)沒有漏在外面的可連接處，第一凸臺(tái)和第二凸臺(tái)均與殼體一體成型，加工成型方便且成本較低，為鎖緊組件提供了安裝位置，且便于拆卸安裝;通過螺紋連接將左罐體和右罐體鎖緊，螺栓的制造、使用簡(jiǎn)單，聯(lián)接可靠、使用方便、通用性好，且螺紋連接可以獲得很大的連接力，拆裝方便可靠，可以將第一凸臺(tái)和第二凸臺(tái)緊密貼合連接，并能夠承受一定的動(dòng)載荷，使二者具備足夠的壓緊力，確保左殼體和右殼體被可靠的連接，設(shè)備可以正常的工作。
[0016]較佳的，所述鎖緊組件包括固設(shè)在左罐體上的鎖鉤、轉(zhuǎn)動(dòng)連接在右罐體上的鎖把，鎖把上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有鎖環(huán)，鎖環(huán)與鎖鉤配合實(shí)現(xiàn)左罐體和右罐體的固定連接。
[0017]通過上述技術(shù)方案，使得左罐體和右罐體的拆卸會(huì)更加快速方便，相比通過螺栓連接時(shí)需要把螺栓完全旋處螺紋孔，鎖鉤、鎖把和鎖環(huán)不會(huì)因?yàn)椴鹦抖撾x殼體，僅僅需要撥動(dòng)鎖環(huán)即可，不會(huì)因?yàn)椴鹦抖鴣G失零件，也進(jìn)一步加快了工人的工作效率。
[0018]較佳的，所述左罐體和右罐體之間設(shè)有密封墊。
[0019]通過上述技術(shù)方案，密封墊可以進(jìn)一步加強(qiáng)罐體的密封性，填補(bǔ)左罐體和右罐體之間的空隙，保證小型氣體純化裝置在工作時(shí)，純化的氣體不會(huì)通過罐體泄露。
[0020]較佳的，所述左支架底部滾動(dòng)連接有滾輪，右支架底部固接有支撐腳。
[0021 ]通過上述技術(shù)方案，左罐體與右罐體的分離是通過對(duì)二者施加相反方向的力實(shí)現(xiàn)的，給左支架底部設(shè)有滾輪，減輕了左支架底部與地面的摩擦力，可以用更小的力達(dá)到分離罐體的效果;右支架底部的支撐腳讓左罐體輕松的相對(duì)固定的右罐體產(chǎn)生定量的滑移，保證整個(gè)設(shè)備保持相對(duì)的穩(wěn)定。
[0022]較佳的所述罐體外壁上設(shè)有薄膜，薄膜的邊緣與左罐體固定連接，與右罐體可拆卸固定連接
[0023]通過上述技術(shù)方案，薄膜貼合在左罐體和右罐體上，即覆蓋了連接處的縫隙，相當(dāng)于在罐體外部加設(shè)了一層密封，進(jìn)一步的提高了罐體的整體密封性；當(dāng)左罐體和右罐體分離時(shí)，薄膜固定在左罐體上，隨著左罐體離開右罐體，不會(huì)因罐體的分離而丟失。
[0024]較佳的，所述薄膜上設(shè)有皺褶。
[0025]通過上述技術(shù)方案，皺褶起到了警示和緩沖的作用，若罐體產(chǎn)生泄露，泄露出的氣體不會(huì)馬上排到工廠室內(nèi)，而是充滿皺褶，這個(gè)充滿皺褶的時(shí)間就給泄露一個(gè)緩沖的時(shí)間，給工人留有處理泄露事件的余地，另一方面，當(dāng)皺褶被充盈會(huì)凸出薄膜水平的表面，對(duì)工人起到非常明顯的警示作用，當(dāng)工人看到皺褶略微鼓起時(shí)，可以馬上采取相應(yīng)的救急措施，保證了生產(chǎn)的及時(shí)且正常的進(jìn)行，便于日常維護(hù)。
[0026]綜上所述，本實(shí)用新型具有以下有益效果:調(diào)節(jié)組件不僅起到了分離左罐體和右罐體的作用，調(diào)節(jié)組件在左罐體和右罐體密封配合時(shí)，還起到了連接作用，保證支架和罐體的整體性，也起到了鎖緊的作用。
【附圖說明】
[0027]圖1是實(shí)施例1中小型氣體純化裝置的外形結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]圖2是實(shí)施例1中為了體現(xiàn)薄膜結(jié)構(gòu)的局部放大示意圖；
[0029]圖3是實(shí)施例1中罐體分離狀態(tài)下的爆炸示意圖；
[0030]圖4是實(shí)施例1中為了體現(xiàn)支架及其內(nèi)部結(jié)構(gòu)調(diào)節(jié)組件的爆炸示意圖；
[0031 ]圖5是實(shí)施例2中小型氣體純化裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0032]圖6是實(shí)施例2中為了體現(xiàn)鎖緊組件結(jié)構(gòu)的局部放大示意圖。
[0033]圖中，1、支架；11、左支架；12、右支架；13、隔板;2、罐體;21、左罐體;211、第一凸臺(tái)；212、進(jìn)氣管；213、臺(tái)階;22、右罐體;221、第二凸臺(tái)；222、出氣管；3、鎖緊組件;31、螺紋孔;32、螺栓;33、鎖鉤;34、鎖把;35、鎖環(huán);4、調(diào)節(jié)組件;41、電動(dòng)推桿;42、驅(qū)動(dòng)件;5、引導(dǎo)機(jī)構(gòu);51、引導(dǎo)桿;52、引導(dǎo)套;6、密封墊;7、滾輪;8、支撐腳;9、薄膜;91、皺褶。
【具體實(shí)施方式】
[0034]以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明。其中相同的零部件用相同的附圖標(biāo)記表示。需要說明的是，下面描述中使用的詞語“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附圖中的方向，詞語“底面”和“頂面”、“內(nèi)”和“外”分別指的是朝向或遠(yuǎn)離特定部件幾何中心的方向。
[0035]實(shí)施例1:一種小型氣體純化裝置，如圖1所示，包括一個(gè)與地面相連的正方體的框型支架I，支架I被一個(gè)水平固定放置的隔板13分為上層和下層，隔板13的放置的高度為支架I整體高度的三分一處，隔板13上表面固定放置一個(gè)圓柱形的罐體2，罐體2的直徑與支架I相適配，罐體2側(cè)壁與支架I邊緣相切，罐體2不會(huì)在上層內(nèi)產(chǎn)生晃動(dòng)。罐體2的頂面連接有進(jìn)氣管212和出氣管222。
[0036]以罐體2的中心軸為中心，將罐體2分為左罐體21和右罐體22，將支架I分為左支架11和右支架12，左罐體21和右罐體22的俯視圖均為半圓形，二者相接處為相適應(yīng)的階梯狀的臺(tái)階213。左罐體21在邊緣處設(shè)有第一凸臺(tái)211，相應(yīng)的在右罐體22邊緣處設(shè)有第二凸臺(tái)221，第一凸臺(tái)211和第二凸臺(tái)221上有若干螺紋孔31。在左罐體21和右罐體22中間設(shè)有框型的密封墊6(參考圖2)，左罐體21、密封墊6和右罐體22三者通過螺紋孔31內(nèi)的螺栓32螺紋連接在一起，實(shí)現(xiàn)罐體2的密封連接。
[0037]如圖2所示，為了加強(qiáng)密封效果，在第一凸臺(tái)211和第二凸臺(tái)221相接處貼合有一個(gè)長(zhǎng)方形的薄膜9，薄膜9的邊緣與左罐體21固接、與右罐體22通過密封膠帶粘合的方式實(shí)現(xiàn)可拆卸的固定連接，當(dāng)左罐體21和右罐體22分離時(shí)，薄膜9隨著左罐體21離開右罐體22上的第二凸臺(tái)221。
[0038]如圖3和圖4所示，薄膜9四周的邊緣均與罐體2固定連接，薄膜9中部與罐體2形成空隙，空隙處的薄膜9有皺褶91，當(dāng)小型氣體純化裝置處于正常生產(chǎn)工作狀態(tài)時(shí)，若罐體2產(chǎn)生泄露，薄膜9會(huì)從罐體2的外部起二次密封的作用，同時(shí)皺褶91被氣體充滿，會(huì)產(chǎn)生鼓包，工人平時(shí)通過觀察鼓包可以判斷罐體2的密封性，若皺褶91變?yōu)楣陌?，警示工人罐體2產(chǎn)生泄露，工人應(yīng)及時(shí)停止小型氣體純化裝置的生產(chǎn)工作，對(duì)設(shè)備進(jìn)行及時(shí)的檢修。
[0039]如圖4所示，在隔板13的下方即支架I的下層設(shè)置調(diào)節(jié)組件4，此實(shí)施例中的調(diào)節(jié)組件4為電動(dòng)推桿41，電動(dòng)推桿41的一端與左支架11內(nèi)壁固定連接，另一端與右支架12內(nèi)壁固定連接。
[0040]與電動(dòng)推桿41平行且處于同一水平面上設(shè)置引導(dǎo)機(jī)構(gòu)5，引導(dǎo)機(jī)構(gòu)5包括引導(dǎo)桿51和引導(dǎo)套52，引導(dǎo)桿51—端與右支架12內(nèi)壁固定連接，引導(dǎo)套52—端與左支架11內(nèi)壁固定連接，引導(dǎo)套52套在引導(dǎo)桿51上，隨著左支架11和右支架12的分離，引導(dǎo)套52在引導(dǎo)桿51上做滑移運(yùn)動(dòng)。
[0041]如圖1所示，左支架11的底部有滾輪7，右支架12的底部有支撐架8，支撐架8的高度與滾輪7相配合使得左支架11和右支架12合并相連時(shí)支架I平穩(wěn)放置。
[0042]其中，如圖3所示，當(dāng)工人需要清理罐體2內(nèi)部時(shí)，將薄膜9與右罐體22的密封膠帶拆下，再將螺栓32擰松卸下，啟動(dòng)電動(dòng)推桿41，電動(dòng)推桿41伸長(zhǎng)，右支架12固定不動(dòng)，左支架11在滾輪7的滾動(dòng)作用下向左滑移，此時(shí)引導(dǎo)套52也在引導(dǎo)桿51上做滑移運(yùn)動(dòng)個(gè)，同時(shí)左罐體21隨左支架11離開右罐體22，實(shí)現(xiàn)左罐體21與右罐體22的分離，工人可輕松的對(duì)罐體2內(nèi)部進(jìn)行清理。當(dāng)清理完畢后，再次啟動(dòng)電動(dòng)推桿41，電動(dòng)推桿41縮短，左支架11向在右支架12靠近直至于右支架12抵接，同時(shí)左罐體21與右罐體22抵接，將薄膜9用密封膠帶貼好，將螺栓32擰緊即可。此過程快捷省力，便于工人對(duì)小型純化裝置的清理和維護(hù)。
[0043]實(shí)施例2:與實(shí)施例1的不同之處在于，如圖5和圖6所示，左罐體21和右罐體22不是通過螺紋孔31和螺栓32的螺紋配合固定連接，而且通過固定設(shè)置在第一凸臺(tái)211側(cè)壁上的鎖鉤33、轉(zhuǎn)動(dòng)連接在第二凸臺(tái)221側(cè)壁上的鎖把34和轉(zhuǎn)動(dòng)連接在鎖把34上的鎖環(huán)35實(shí)現(xiàn)固定連接。
[0044]鎖環(huán)35與鎖把34連接的位置處設(shè)置有彈性件使得鎖環(huán)35可以朝向鎖鉤33的方向伸長(zhǎng)，保證鎖環(huán)35可以套在鎖鉤33上。當(dāng)鎖環(huán)35套在鎖鉤33上時(shí)，左罐體21與右罐體22可以實(shí)現(xiàn)固定連接。
[0045]其中，當(dāng)工人需要打開罐體2進(jìn)行清理時(shí)，只需撥動(dòng)鎖環(huán)35，使鎖環(huán)35離開鎖鉤33即可。其他操作過程與實(shí)施例1相同，此處不再贅述。
[0046]本具體實(shí)施例僅僅是對(duì)本實(shí)用新型的解釋，其并不是對(duì)本實(shí)用新型的限制，本領(lǐng)域技術(shù)人員在閱讀完本說明書后可以根據(jù)需要對(duì)本實(shí)施例做出沒有創(chuàng)造性貢獻(xiàn)的修改，但只要在本實(shí)用新型的權(quán)利要求范圍內(nèi)都受到專利法的保護(hù)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種小型氣體純化裝置，包括支架(I)和罐體(2)，其特征在于:所述支架(I)包括向罐體(2)的兩側(cè)滑移連接的左支架(11)和右支架(12)，罐體(2)包括與左支架(11)連接的左罐體(21)和與右支架(12)連接的右罐體(22)，左罐體(21)和右罐體(22)之間設(shè)有用于固定二者的鎖緊組件(3)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的小型氣體純化裝置，其特征在于:所述左支架(11)和右支架(12)之間設(shè)有用于調(diào)節(jié)二者之間距離的調(diào)節(jié)組件(4)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的小型氣體純化裝置，其特征在于;所述調(diào)節(jié)組件(4)包括電動(dòng)推桿(41)，電動(dòng)推桿(41)一端與左支架(II)固定連接，另一端與右支架(12)固定連接并固接有用于驅(qū)動(dòng)電動(dòng)推桿(41)伸縮的驅(qū)動(dòng)件(42)。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的小型氣體純化裝置，其特征在于:所述左支架(11)與右支架(12)設(shè)有用于引導(dǎo)二者滑移滑移方向的引導(dǎo)機(jī)構(gòu)(5)。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的小型氣體純化裝置，其特征在于:所述左罐體(21)邊緣設(shè)有第一凸臺(tái)(211)，右罐體(22)邊緣設(shè)有第二凸臺(tái)(221)，第一凸臺(tái)(211)和第二凸臺(tái)(221)上相對(duì)設(shè)置螺紋孔(31)，所述鎖緊組件(3)為螺紋孔(31)和螺紋孔(31)內(nèi)螺紋連接有的螺栓(32)。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的小型氣體純化裝置，其特征在于:所述鎖緊組件(3)包括固設(shè)在左罐體(21)上的鎖鉤(33)、轉(zhuǎn)動(dòng)連接在右罐體(22)上的鎖把(34)，鎖把(34)上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有鎖環(huán)(35)，鎖環(huán)(35)與鎖鉤(33)配合實(shí)現(xiàn)左罐體(21)和右罐體(22)的固定連接。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的小型氣體純化裝置，其特征在于:所述左罐體(21)和右罐體(22)之間設(shè)有密封墊(6)。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的小型氣體純化裝置，其特征在于:所述左支架(11)底部滾動(dòng)連接有滾輪(7)，右支架(12)底部固接有支撐架(8)。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的小型氣體純化裝置，其特征在于:所述罐體(2)外壁上設(shè)有薄膜(9)，薄膜(9)的邊緣與左罐體(21)固定連接，與右罐體(22)可拆卸固定連接。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的小型氣體純化裝置，其特征在于:所述薄膜(9)上設(shè)有皺褶(91)。
【文檔編號(hào)】B01D53/18GK205650038SQ201620454345
【公開日】2016年10月19日
【申請(qǐng)日】2016年5月18日 公開號(hào)201620454345.9, CN 201620454345, CN 205650038 U, CN 205650038U, CN-U-205650038, CN201620454345, CN201620454345.9, CN205650038 U, CN205650038U
【發(fā)明人】湯萍, 王新鵬, 趙沙沙, 邸士強(qiáng)
【申請(qǐng)人】綠菱電子材料（天津）有限公司