專(zhuān)利名稱(chēng)：全自動(dòng)進(jìn)出料裝置及其方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種全自動(dòng)進(jìn)出料裝置，尤其涉及一種具有晶粒分選功能的全 自動(dòng)進(jìn)出料裝置。
背景技術(shù)：
發(fā)光二極管(Light emitting diode, LED)及半導(dǎo)體晶圓在切割成晶粒后， 會(huì)使用晶粒分選功能的裝置，例如晶粒分選機(jī)，進(jìn)行晶粒測(cè)試與分選(bin)的動(dòng) 作。以LED而言，通常針對(duì)主波長(zhǎng)(peak length)、發(fā)光強(qiáng)度(MCD)、光通量 (L腦ns)、色溫(color temperature)、工作電壓(V》、反向擊穿電壓(ImA)等幾 個(gè)關(guān)鍵參數(shù)來(lái)進(jìn)行測(cè)試與分選，此步驟在LED的芯片生產(chǎn)和封裝成本方面有重 要的影響。而半導(dǎo)體晶粒也可依照產(chǎn)品的需求進(jìn)行晶粒測(cè)試與分選的動(dòng)作。
在使用晶粒分選機(jī)處理置放于晶圓環(huán)中LED晶粒的分選過(guò)程中，晶粒分選 機(jī)會(huì)自動(dòng)地根據(jù)設(shè)定的測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)把LED晶粒分裝在不同的分料盒(bin frame) 內(nèi)。而在分選過(guò)程中，需要更換分料盒或晶圓環(huán)以繼續(xù)晶粒分選的步驟?，F(xiàn)今 電子產(chǎn)業(yè)對(duì)于LED旋光性質(zhì)一致性的要求越來(lái)越高，早期能分32 bin的分選機(jī) 已不能滿(mǎn)足使用，目前市面上的商用分選機(jī)已有支持分72 bin甚至到150 bin 的能力，以滿(mǎn)足業(yè)界對(duì)于LED晶粒波長(zhǎng)與亮度一致性的嚴(yán)才各要求。以一臺(tái)晶粒 分選機(jī)而言，在實(shí)現(xiàn)上述分選的過(guò)程中，發(fā)明人發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)中至少存在如下 問(wèn)題晶粒分選機(jī)除了需具備優(yōu)良的視覺(jué)檢測(cè)與挑選排列系統(tǒng)之外，因?yàn)槠渌?分選的bin種類(lèi)數(shù)目多，分選過(guò)程中所使用的分料盒數(shù)目以及需進(jìn)行的傳送動(dòng) 作也很多，故機(jī)臺(tái)內(nèi)部的存放機(jī)構(gòu)容量、進(jìn)出料機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)以及傳送機(jī)構(gòu)的傳 送速度已經(jīng)影響到機(jī)臺(tái)的整體效能，存在效率不高的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的在于提供一種全自動(dòng)進(jìn)出料裝置，其具有晶粒分選功能的工作臺(tái)，以在晶粒分選的步驟中自動(dòng)更換晶粒分選所需的分料盒或晶圓環(huán)。
本發(fā)明的又一 目的在于提供一種全自動(dòng)進(jìn)出料裝置和方法，用以節(jié)省晶粒
分選所需的分料盒或晶圓環(huán)的置換時(shí)間。
本發(fā)明的再一目的在于提供一種全自動(dòng)進(jìn)出料裝置和方法，用以加快晶粒
分選的時(shí)間。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明公開(kāi)了一種異步式全自動(dòng)進(jìn)出料裝置，通過(guò)一工 作臺(tái)承載一第一工作對(duì)象，并進(jìn)行晶粒分選的步驟，而通過(guò)一載入器存放一第 二工作對(duì)象，并以一取片機(jī)構(gòu)載出第二工作對(duì)象至一取放位置，在工作臺(tái)及載 入器之間，通過(guò)一機(jī)械手臂進(jìn)行第一工作對(duì)象及第二工作對(duì)象位置的交換。其 中，第一工作對(duì)象及第二工作對(duì)象為分料盒，晶圓環(huán)，與分料盒及晶圓環(huán)以上 三者其中之一。
如上所述，本發(fā)明的架構(gòu)中設(shè)置一緩沖臺(tái)，以提供機(jī)械手臂進(jìn)行第一工作對(duì)
象或第二工作對(duì)象傳送時(shí)的一緩沖及待機(jī)的空間，降低第一工作對(duì)象及第二工 作對(duì)象位置的交換的時(shí)間，進(jìn)而加快晶粒分選的時(shí)間。
為達(dá)到上述目的，本發(fā)明公開(kāi)了一種同步式自動(dòng)化進(jìn)出料裝置，通過(guò)一工作
臺(tái)承載一第一工作對(duì)象，并進(jìn)行晶粒分選的步驟，而通過(guò)一載入器存放一第二 工作對(duì)象，并以一取片機(jī)構(gòu)載出第二工作對(duì)象至一取放位置，在工作臺(tái)及載入 器之間，通過(guò)一同步傳送機(jī)構(gòu)同時(shí)進(jìn)行第一工作對(duì)象及第二工作對(duì)象位置的交 換。而同步傳送機(jī)構(gòu)具有兩種實(shí)施方式， 一為包含一第一機(jī)械手臂、 一第二機(jī) 械手臂及一樞軸，通過(guò)該樞軸置于該第一機(jī)械手臂及該第二機(jī)械手臂中心，并
軸向水平轉(zhuǎn)動(dòng)，以分別取起第一及第二工作對(duì)象使之進(jìn)行位置的置換；二為具 有兩機(jī)械手臂，分別連結(jié)在兩相對(duì)的機(jī)件軌道上，該兩機(jī)械手臂分別耳又起第一 及第二工作對(duì)象，通過(guò)該機(jī)件軌道進(jìn)行水平方向的交錯(cuò)移動(dòng)。通過(guò)同步傳送機(jī) 構(gòu)降低第一工作對(duì)象及第二工作對(duì)象位置的交換的時(shí)間，進(jìn)而加快晶粒分選的 時(shí)間。為達(dá)到上述目的，本發(fā)明公開(kāi)了下述方法
一種異步式全自動(dòng)進(jìn)出料的方法，包含下列步驟利用一機(jī)械手臂取起置 于一工作臺(tái)上的第一工作對(duì)象；所述的機(jī)械手臂將該第一工作對(duì)象傳送至一取 放位置； 一取片機(jī)構(gòu)將該取放位置上的該第一工作對(duì)象載入至復(fù)數(shù)個(gè)槽位之一 中存放；所述的取片機(jī)構(gòu)從該些槽位中載出 一第二工作對(duì)象至該取放位置處； 以及所述的機(jī)械手臂取起該取放位置上的第二工作對(duì)象并將其傳送至該工作臺(tái) 上置放。
一種異步式全自動(dòng)進(jìn)出料的方法，包含下列步驟 一取片機(jī)構(gòu)從復(fù)數(shù)個(gè)槽 位中載出一第二工作對(duì)象至一取放位置處；利用一機(jī)械手臂取起置于該取放位 置上的第二工作對(duì)象；所述的機(jī)械手臂將該第二工作對(duì)象傳送至一緩沖臺(tái)上； 所述的機(jī)械手臂移動(dòng)至一工作臺(tái)位置處并取起置于其上的第一工作對(duì)象并將其 傳送至該取放位置上放置；以及所述的機(jī)械手臂轉(zhuǎn)動(dòng)至該緩沖臺(tái)處并取起置于 其上的第二工作對(duì)象并將其傳送至該工作臺(tái)上。
一種異步式全自動(dòng)進(jìn)出料的方法，包含下列步驟 一取片機(jī)構(gòu)從復(fù)數(shù)個(gè)槽 位中載出一第二工作對(duì)象至一取放位置；利用一機(jī)械手臂取起置一工作臺(tái)上的 第一工作對(duì)象；所述的機(jī)械手臂將該第一工作對(duì)象傳送至一緩沖臺(tái)上；所述的
機(jī)械手臂移動(dòng)至該取放位置處并取起置于其上的第二工作對(duì)象并將其傳送至該 工作臺(tái)上放置；以及所述的機(jī)械手臂轉(zhuǎn)動(dòng)至該緩沖臺(tái)處并取起置于其上的第一 工作對(duì)象并將其傳送至該取放位置上放置。
一種同步式全自動(dòng)進(jìn)出料的方法，包含下列步驟 一取片機(jī)構(gòu)從一送料機(jī) 構(gòu)的復(fù)數(shù)個(gè)槽位之一 中載出 一第二工作對(duì)象至一取放位置；通過(guò)一 同步傳送機(jī) 構(gòu)同時(shí)取起置于該取放位置上的一第二工作對(duì)象與置于一工作臺(tái)上的一第一工 作對(duì)象；所述的同步傳送機(jī)構(gòu)進(jìn)行該第一工作對(duì)象與第二工作對(duì)象之位置交換； 所述的同步傳送機(jī)構(gòu)將該第一工作對(duì)象與該第二工作對(duì)象分別放置在該取放位 置與該工作臺(tái)上；以及所述的取片機(jī)構(gòu)載入該第一工作對(duì)象至該送料機(jī)構(gòu)的復(fù)
10數(shù)個(gè)槽位之一。
本發(fā)明實(shí)施例提供的全自動(dòng)進(jìn)出料裝置及方法，能夠節(jié)省晶粒分選所需的 分料盒或晶圓環(huán)的置換時(shí)間，加快晶粒分選的時(shí)間，從而提高效率。
本發(fā)明前述的形式、目的、觀點(diǎn)、特征及優(yōu)點(diǎn)將隨著以下較佳實(shí)施例中詳 細(xì)的描述及其伴隨的圖式而愈見(jiàn)明顯，其細(xì)節(jié)描述與圖式僅用以述明本發(fā)明。 而本發(fā)明的范疇將由專(zhuān)利權(quán)利要求書(shū)來(lái)確定。


圖1為本發(fā)明一實(shí)施例中一異步式全自動(dòng)進(jìn)出料裝置的內(nèi)部機(jī)構(gòu)俯視圖； 圖2為本發(fā)明實(shí)施例中一送料才幾構(gòu)的結(jié)構(gòu)圖3為本發(fā)明一實(shí)施例中進(jìn)行第一工作對(duì)象與第二工作對(duì)象置換的步驟流 程圖4為本發(fā)明使用緩沖臺(tái)進(jìn)行第一工作對(duì)象與第二工作對(duì)象置換的一實(shí)施 例的步驟流程圖5為為本發(fā)明使用緩沖臺(tái)進(jìn)行第一工作對(duì)象與第二工作對(duì)象置換的另一 實(shí)施例的步驟流程圖6為為本發(fā)明實(shí)施例中同步式全自動(dòng)進(jìn)出料裝置的結(jié)構(gòu)方塊圖7為圖6中同步傳送機(jī)構(gòu)一實(shí)施例的機(jī)構(gòu)俯視圖8為圖6中同步傳送機(jī)構(gòu)另一實(shí)施例的機(jī)構(gòu)俯視圖9為本發(fā)明一實(shí)施例中利用同步式全自動(dòng)進(jìn)出料裝置來(lái)進(jìn)行工作對(duì)象更 換的步驟流程圖。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明實(shí)施例全自動(dòng)進(jìn)出料裝置及方法進(jìn)行詳細(xì)描述。 本發(fā)明將針對(duì)較佳實(shí)施例及其觀點(diǎn)加以詳細(xì)敘述，而此類(lèi)敘述為解釋本發(fā) 明的結(jié)構(gòu)及程序，系用以說(shuō)明而非用以限制本發(fā)明的申請(qǐng)專(zhuān)利范圍。因此，除 說(shuō)明書(shū)中的較佳實(shí)施例之外，本發(fā)明也可廣泛實(shí)行于其它實(shí)施例。請(qǐng)參閱圖1，其為本發(fā)明實(shí)施例中一異步式全自動(dòng)進(jìn)出料裝置的內(nèi)部機(jī)構(gòu)俯
視圖。如圖所示，本發(fā)明全自動(dòng)進(jìn)出料裝置100具有一架構(gòu)平臺(tái)103及一外殼 105，在外殼105與架構(gòu)平臺(tái)103之間建構(gòu)一內(nèi)部容置空間，以提供一密閉隔絕 的工作空間，避免內(nèi)部機(jī)構(gòu)受到外界環(huán)境的影響。外殼105上可具有數(shù)個(gè)活動(dòng) 門(mén)107以方便操作人員進(jìn)行部件替換或機(jī)臺(tái)保養(yǎng)。
本發(fā)明實(shí)施例中全自動(dòng)進(jìn)出料裝置100內(nèi)部包含一載入器(loader) 109、 一 機(jī)械手臂lll以及一工作臺(tái)113。其中，工作臺(tái)113用于存放第一工作對(duì)象，工 作臺(tái)113包含了一耳又置機(jī)具(pick and place machine) 119，以進(jìn)行晶粒分選 (binning),取置機(jī)具119通過(guò)吸嘴以真空吸附晶粒的方式，進(jìn)行晶粒分選。載 入器109系用于存放第二工作對(duì)象101,其具有復(fù)數(shù)個(gè)槽位、 一取片機(jī)構(gòu)125及 一取放位置127，該些槽位用于存》文第二工作對(duì)象101，通過(guò)取片機(jī)構(gòu)125從槽 位載出第二工作對(duì)象101至取》文位置127,而取力文位置127設(shè)置于取片機(jī)構(gòu)125 上。其中，取片機(jī)構(gòu)125為夾取或托取方式的取片機(jī)構(gòu)。須注意，根據(jù)設(shè)計(jì)的 方式不同，取放位置127可與取片機(jī)構(gòu)125分離。而機(jī)械手臂111用于將工作 臺(tái)113上的第一工作對(duì)象傳送至載入器109，或?qū)⑤d入器109的第二工作對(duì)象 101傳至工作臺(tái)113。根據(jù)前文所述，以達(dá)到自動(dòng)更換工作臺(tái)113上的第一工作 對(duì)象成第二工作對(duì)象101，以利于工作臺(tái)113進(jìn)行晶粒分選的步驟。
工作臺(tái)113包含了一分料臺(tái)115、 一晶圓臺(tái)117，分料臺(tái)115為》文置分料盒 131的位置，而晶圓臺(tái)117為放置晶圓環(huán)133的位置，而取置機(jī)具119對(duì)晶圓環(huán) 133進(jìn)行晶粒分選至分料盒131上。須注意，前文所述的第一工作對(duì)象，依照操 作人員的不同需求，可作為晶圓環(huán)133，分料盒131,與晶圓環(huán)133及分料盒131 以上三者其中之一。一般而言，晶圓環(huán)133通常是由一擴(kuò)張環(huán)與一托盤(pán)(adapter) 所組成。擴(kuò)張環(huán)的功能系在LED制程中的擴(kuò)晶步驟，將一膠膜固定并擴(kuò)展，使 膠膜上黏著的晶粒與晶粒之間的間距會(huì)變大，以方便晶粒分選步驟的進(jìn)行。托 盤(pán)可承裝晶圓環(huán)133以安放于晶圓臺(tái)117上。本發(fā)明中，晶粒分選的動(dòng)作系由 取置機(jī)具119來(lái)執(zhí)行，取置機(jī)具119會(huì)測(cè)量并挑選晶圓臺(tái)117上晶圓環(huán)133中特定種類(lèi)的晶粒并將其移動(dòng)放置在分料臺(tái)U5上分料盒131中設(shè)定好的位置處， 此步驟即為晶粒分選的流程。
載入器109除了具有復(fù)數(shù)個(gè)槽位、取片機(jī)構(gòu)125及取放位置127夕卜，更包 含升降機(jī)構(gòu)121及送料機(jī)構(gòu)123。送料機(jī)構(gòu)123以水平移動(dòng)方式使該復(fù)數(shù)槽位之 一對(duì)齊取片機(jī)構(gòu)125，以方便取片機(jī)構(gòu)125載出第二工作對(duì)象101。先參照至圖 2,其為本發(fā)明實(shí)施例中送料機(jī)構(gòu)123的結(jié)構(gòu)圖。在圖1中的載入器109的復(fù)數(shù) 個(gè)槽位設(shè)置在送料機(jī)構(gòu)123上，本發(fā)明實(shí)施例中的送料機(jī)構(gòu)123的復(fù)數(shù)個(gè)槽位 用以存放第二工作對(duì)象101,并依操作人員所設(shè)定的位置將其進(jìn)行排序與存取。 須注意，依照梯:作人員的不同需求，第二工作對(duì)象101可作為晶圓環(huán)，分料盒， 與晶圓環(huán)及分料盒以上三者其中之一。如圖2所示，送料機(jī)構(gòu)123由數(shù)個(gè)片匣 201所組成。每個(gè)片匣201中都具有一定數(shù)目的槽位203以容納第二工作對(duì)象 101。如本發(fā)明實(shí)施例中所述，其中的參數(shù)僅作為一說(shuō)明，而非用以限定本發(fā)明。 在本發(fā)明實(shí)施例中，送料機(jī)構(gòu)123共含有六組片匣201，每組片匣201設(shè)置有二 十五個(gè)槽位，故總共可存放一百五十個(gè)工作對(duì)象。在實(shí)際的操作中，片匣201 與其內(nèi)部的槽位203并不限定在特定的數(shù)目。就LED晶粒的分選而言，由于分 選的種類(lèi)數(shù)目眾多，所需的各種第二工作對(duì)象101也多，故需設(shè)置多組片匣201 與槽位203才能滿(mǎn)足晶粒分選步驟的需求。在圖1中，升降機(jī)構(gòu)121用于對(duì)整 個(gè)取片機(jī)構(gòu)125作垂直方向的升降，以讓取片機(jī)構(gòu)125處于適當(dāng)?shù)母叨葋?lái)進(jìn)行 第二工作對(duì)象IOI的載入或載出。
須注意，復(fù)數(shù)個(gè)槽位并不一定要設(shè)置在送料機(jī)構(gòu)123上，該些槽位可以固 定方式存在，而將取片機(jī)構(gòu)125設(shè)置在送料機(jī)構(gòu)上，使取片機(jī)構(gòu)l25可以 水平移動(dòng)方式移動(dòng)并對(duì)齊該復(fù)數(shù)槽位之一 。
請(qǐng)參照?qǐng)D1，機(jī)械手臂lll的功能在于傳送第一或第二工作對(duì)象，以在送料 機(jī)構(gòu)123上的第二工作對(duì)象101而言，需通過(guò)取片機(jī)構(gòu)125載出至取放位置127, 機(jī)械手臂111才能將取放位置127的第二工作對(duì)象傳送至工作臺(tái)113，而工作臺(tái) 113上的第一工作對(duì)象需通過(guò)機(jī)械手臂111傳送至取放位置127之后，再通過(guò)取片機(jī)構(gòu)125載入取放位置127上的第一工作對(duì)象至送料機(jī)構(gòu)123上的復(fù)數(shù)個(gè)槽 位之一。須注意，取片機(jī)構(gòu)125上另有配置一條碼機(jī)(barcode reader) 129，可 在第一工作物載入或第二工作對(duì)象101載出的時(shí)候讀取其上的條碼以作識(shí)別。 機(jī)械手臂111為樞軸轉(zhuǎn)動(dòng)的機(jī)械手臂(如圖中的弧形箭頭所示)，以在數(shù)個(gè)位置 移動(dòng)，并對(duì)第一工作對(duì)象及第二工作對(duì)象進(jìn)行傳送。其中，機(jī)械手臂111為夾 取機(jī)制的機(jī)械手臂或是利用真空吸取方式的機(jī)械手臂。
依照前文所述，圖1的第一工作對(duì)象及第二工作對(duì)象101依照操作人員的 不同需求而作為不同的對(duì)象。在一實(shí)施例中，第一工作對(duì)象代表分料臺(tái)115的 分料盒131時(shí)，第二工作對(duì)象101只作為分料盒。簡(jiǎn)言之，當(dāng)工作臺(tái)113進(jìn)行 晶粒分選時(shí)，全自動(dòng)進(jìn)出料裝置100針對(duì)分料臺(tái)115的分料盒131進(jìn)行更換。 而晶圓臺(tái)117上的晶圓環(huán)133以手動(dòng)方式進(jìn)行替換。在本實(shí)施例，在工作臺(tái)113 中，某一分類(lèi)的晶粒分選已經(jīng)完成，例如第一分類(lèi)(bin 1)，機(jī)械手臂lll需移 動(dòng)至分料臺(tái)115,以將第一工作對(duì)象(分料盒131)傳送至取放位置127，再由取 片機(jī)構(gòu)125將取放位置127上的第一工作對(duì)象(分料盒131)傳送至送料機(jī)構(gòu)123 的復(fù)數(shù)個(gè)槽位之一中。送料機(jī)構(gòu)123透過(guò)機(jī)構(gòu)方式帶動(dòng)來(lái)進(jìn)行Y軸水平方向的 移動(dòng)，即圖1所示的雙箭頭方向，使送料機(jī)構(gòu)123左右兩排的片匣對(duì)齊取片機(jī) 構(gòu)125,以利于第一工作對(duì)象(分料盒131)的載入或第二工作對(duì)象101(分料盒) 載出。當(dāng)?shù)诙ぷ鲗?duì)象101(分料盒)自復(fù)數(shù)個(gè)槽位之一中載出時(shí)，取片機(jī)構(gòu)l" 系將第二工作對(duì)象101 (分料盒)移動(dòng)至取放位置127,置于該處的第二工作對(duì)象 101(分料盒)會(huì)通過(guò)機(jī)械手臂111傳送至分料臺(tái)115，以讓工作臺(tái)113進(jìn)行第二 分類(lèi)(bin 2)的晶粒分選。依照前文所述，通過(guò)對(duì)第一工作對(duì)象(分料盒131)及 第二工作對(duì)象101(分料盒)的更換，工作臺(tái)113即可進(jìn)行其它分類(lèi)的晶粒分選。 就此實(shí)施例而言，機(jī)械手臂111共有二個(gè)的傳送定點(diǎn)，分別為取放位置與 分料臺(tái)115。
另一實(shí)施例中，第一工作對(duì)象代表晶圓臺(tái)117上的晶圓環(huán)133時(shí)，第二工 作對(duì)象101只作為晶圓環(huán)。而分料臺(tái)115的分料盒131以手動(dòng)方式進(jìn)行替換。
14在工作臺(tái)113中，第一工作對(duì)象(晶圓環(huán)133)上的晶粒已分選完成，機(jī)械手臂 lll需移動(dòng)至晶圓臺(tái)117，以將第一工作對(duì)象(晶圓環(huán)133)傳送至取j文位置127, 再由取片機(jī)構(gòu)125將取放位置127上的第 一工作對(duì)象(晶圓環(huán)133)傳送至送料機(jī) 構(gòu)123的復(fù)數(shù)個(gè)槽位之一中。當(dāng)?shù)诙ぷ鲗?duì)象101 (晶圓環(huán))自送料機(jī)構(gòu)123中載 出時(shí)，取片機(jī)構(gòu)125將第二工作對(duì)象101(晶圓環(huán))移動(dòng)至取放位置127，置于該 處的第二工作對(duì)象101(晶圓環(huán))會(huì)通過(guò)機(jī)械手臂111傳送至晶圓臺(tái)117,以讓工 作臺(tái)113進(jìn)行晶粒分選的步驟。就此實(shí)施例而言，機(jī)械手臂111共有二個(gè)的傳 送定點(diǎn)，分別為耳又^:位置127與晶圓臺(tái)117。
另一實(shí)施例中，第一工作對(duì)象代表晶圓臺(tái)117上的晶圓環(huán)133及分料臺(tái)115 的分料盒131時(shí)，第二工作對(duì)象101作為晶圓環(huán)及分料盒。而在進(jìn)行第一工作 對(duì)象(晶圓環(huán)133或分料盒131)與第二工作對(duì)象101 (晶圓環(huán)或分料盒)的傳送方 式，與前文相同，在此不再贅述。此時(shí)機(jī)械手臂111會(huì)有三個(gè)的傳送定點(diǎn)，分 別為取放位置127與分料臺(tái)115以及晶圓臺(tái)117。
圖3為本發(fā)明一實(shí)施例中進(jìn)行第一工作對(duì)象與第二工作對(duì)象置換的步驟流 程圖，即異步式全自動(dòng)進(jìn)出料的方法的步驟流程圖。請(qǐng)參照?qǐng)D3及圖1。在此流 程中，首先于步驟S1，機(jī)械手臂111會(huì)作樞軸轉(zhuǎn)動(dòng)移動(dòng)至工作臺(tái)113位置處取 起第一工作對(duì)象。于步驟S2，機(jī)械手臂112會(huì)將該第一工作對(duì)象傳送至取片機(jī) 構(gòu)125上的取放位置127處放置。接下來(lái)的步驟S3中，取片機(jī)構(gòu)125會(huì)將取放 位置127上的第一工作對(duì)象載入送料機(jī)構(gòu)123的復(fù)數(shù)槽位之一中。第一工作對(duì) 象載入后，于步驟S4,取片機(jī)構(gòu)125會(huì)接著從送料機(jī)構(gòu)123的復(fù)數(shù)個(gè)槽位之一 中載出一第二工作對(duì)象至其上的取放位置127處放置。最后，于步驟S5中，取 放位置127上的第二工作對(duì)象會(huì)由機(jī)械手臂111取起并傳送至工作臺(tái)113放置， 以續(xù)行步驟S6中定位、揀:f又與置晶等工作臺(tái)113上的晶粒分選的程序。須注意， 本實(shí)施例中的所謂的第一工作對(duì)象與第二工作對(duì)象，即如前文所述，第一工作 對(duì)象為分料臺(tái)115上的分料盒131時(shí)，第二工作對(duì)象需為分料盒；第一工作對(duì) 象為晶圓臺(tái)117上的晶圓環(huán)133時(shí)，第二工作對(duì)象需為晶圓環(huán)；第一工作對(duì)象為分料臺(tái)115上的分料盒131及晶圓臺(tái)117上的晶圓環(huán)133時(shí)，第二工作對(duì)象 需為分料盒及晶圓環(huán)。
請(qǐng)參閱圖1，在本發(fā)明另一實(shí)施例中，全自動(dòng)進(jìn)出料裝置100中包含一緩沖 臺(tái)(buffer) 135結(jié)構(gòu)。在此實(shí)施例中，緩沖臺(tái)135提供第一工作對(duì)象或第二工作 對(duì)象101 —待機(jī)位置，以加速第一工作對(duì)象及第二工作對(duì)象101的置換與傳送， 加快工作臺(tái)113晶粒分選的動(dòng)作。假使全自動(dòng)進(jìn)出料裝置100中并未設(shè)置有緩 沖臺(tái)135部位，當(dāng)工作臺(tái)113進(jìn)行晶粒分選動(dòng)作的完成后，全自動(dòng)進(jìn)出料裝置 100必須先將工作臺(tái)113上的第 一工作對(duì)象載入送料機(jī)構(gòu)12 3的復(fù)數(shù)個(gè)槽位之一 中，再?gòu)乃土蠙C(jī)構(gòu)123的復(fù)數(shù)個(gè)槽位之一中載出一第二工作對(duì)象101至工作臺(tái) 113來(lái)進(jìn)行下一次的晶粒分選，上述之傳送流程將耗費(fèi)不少的傳送時(shí)間，使工作 臺(tái)113在進(jìn)行晶粒分選的動(dòng)作時(shí)，要花費(fèi)冗長(zhǎng)的等待時(shí)間，等候第一工作對(duì)象 及第二工作對(duì)象101的置換，若設(shè)置緩沖臺(tái)135結(jié)構(gòu)，將縮短工作臺(tái)113在進(jìn) 行晶粒分選時(shí)，第一工作對(duì)象及第二工作對(duì)象101置換的等待時(shí)間。
在圖1中，緩沖臺(tái)135配合全自動(dòng)進(jìn)出料裝置100的其它結(jié)構(gòu)，有兩種實(shí) 施方式。圖4為使用緩沖臺(tái)進(jìn)行第一工作對(duì)象與第二工作對(duì)象置換的一實(shí)施例 的步驟流程圖，即異步式全自動(dòng)進(jìn)出料的方法的步驟流程圖。請(qǐng)參閱圖4并同 時(shí)對(duì)照?qǐng)D1。首先，于圖4的步驟S11,機(jī)械手臂111會(huì)作樞軸轉(zhuǎn)動(dòng)至取放位置 127處取起第二工作對(duì)象，在此之前，取放位置127將復(fù)數(shù)個(gè)槽位之一中的第二 工作對(duì)象101傳送至取放位置127。于步驟S12中，機(jī)械手臂111會(huì)將第二工作 對(duì)象101傳送至緩沖臺(tái)135上放置。接著，于步驟S13中，機(jī)械手臂111轉(zhuǎn)動(dòng) 至工作臺(tái)113上方將其上的第一工作對(duì)象取起，并于其后的步驟S14中將工作 臺(tái)113上的第一工作對(duì)象傳送至取放位置127上放置。之后，于步驟S15，取片 機(jī)構(gòu)125會(huì)將取放位置127的第一工作對(duì)象載入送料機(jī)構(gòu)123中特定的槽位中 放置。在步驟S15進(jìn)行的同時(shí)，機(jī)械手臂111會(huì)繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)至緩沖臺(tái)135處取起 其上的第二工作對(duì)象(步驟S16)并于步驟S17中將其傳送至工作臺(tái)113。最后， 于步驟S18中，工作臺(tái)113會(huì)進(jìn)行定位、揀取與置晶等程序以繼續(xù)晶粒分選動(dòng)作。上述步驟流程結(jié)束后，即進(jìn)行完某一分類(lèi)的晶粒分選后，再通過(guò)前文所述 圖4的步驟，以進(jìn)行另一分類(lèi)的晶粒分選及其先前的第一工作對(duì)象與第二工作 對(duì)象置換等動(dòng)作。
圖5為使用緩沖臺(tái)進(jìn)行第一工作對(duì)象與第二工作對(duì)象置換的另一實(shí)施例的
步驟流程圖。請(qǐng)參閱圖5并同時(shí)對(duì)照?qǐng)D1。首先，于圖5的步驟S21，機(jī)械手臂 lll會(huì)作樞軸轉(zhuǎn)動(dòng)至工作臺(tái)113位置處取起其上的第一工作對(duì)象。于步驟S22中， 機(jī)械手臂111會(huì)將第一工作對(duì)象傳送至緩沖臺(tái)135上放置。接著，于步驟S23 中，機(jī)械手臂lll將第一工作對(duì)象置放于緩沖臺(tái)135后，會(huì)移動(dòng)至取放位置127 處將其上的第二工作對(duì)象101耳又起，并于其后的步驟S24中將第二工作對(duì)象傳 送至工作臺(tái)113上放置。在此之前，取放位置127系將復(fù)數(shù)個(gè)槽位之一中的第 二工作對(duì)象101傳送至取放位置127。之后，于步驟S25，工作臺(tái)113會(huì)進(jìn)行定 位、揀取與置晶等程序以繼續(xù)晶粒的分選動(dòng)作。在步驟S25進(jìn)行的同時(shí)，機(jī)械 手臂111會(huì)繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)至緩沖臺(tái)135處取起其上的第一工作對(duì)象(步驟S26)并于步 驟S27中將其傳送至取片機(jī)構(gòu)125上的取放位置127。最后，于步驟S28中，取 片機(jī)構(gòu)125會(huì)將第一工作對(duì)象載入送料機(jī)構(gòu)123中特定的槽位中放置。即進(jìn)行 完某一分類(lèi)的晶粒分選后，再通過(guò)前文所述圖5的步驟，以進(jìn)行另一分類(lèi)的晶 粒分選及其先前的第一工作對(duì)象與第二工作對(duì)象置換等動(dòng)作。
如前文所述，圖1中使用緩沖臺(tái)135進(jìn)行第一工作對(duì)象與第二工作對(duì)象置 換的兩種實(shí)施方式，即在圖4的步驟Sll之前，與在圖5的步驟S23之前，均 需通過(guò)取片機(jī)構(gòu)125將在復(fù)數(shù)個(gè)槽位之一中的第二工作對(duì)象101傳送至取放位 置127,而此一步驟，可以在工作臺(tái)113進(jìn)行晶粒分選期間進(jìn)行，也可以在工作 臺(tái)113完成某一分類(lèi)的晶粒分選時(shí)進(jìn)行。第一工作對(duì)象及第二工作對(duì)象101的 種類(lèi)與前文所述相同。當(dāng)?shù)谝还ぷ鲗?duì)象為分料臺(tái)115上的分料盒131時(shí)，第二 工作對(duì)象101為分料盒，而晶圓臺(tái)117上的晶圓環(huán)133以手動(dòng)方式進(jìn)行替換， 當(dāng)工作臺(tái)113完成某一分類(lèi)的晶粒分選，第一工作對(duì)象(分料盒131)及第二工作 對(duì)象101(分料盒)，將依照前文所述方式實(shí)施，而機(jī)械手臂lll共有三個(gè)的傳送定點(diǎn)，分別為取》丈位置127、分料臺(tái)115及緩沖臺(tái)135;同樣地，當(dāng)?shù)谝还ぷ鲗?duì) 象為晶圓臺(tái)117上的晶圓環(huán)133時(shí)，第二工作對(duì)象101為晶圓環(huán)，而分^F臺(tái)115 上的分料盒131以手動(dòng)方式進(jìn)行替換，當(dāng)工作臺(tái)113完成某一分類(lèi)的晶粒分選， 第 一工作對(duì)象(晶圓環(huán)133)及第二工作對(duì)象101 (晶圓環(huán))，將依照前文所述方式 實(shí)施，而機(jī)械手臂111共有三個(gè)的傳送定點(diǎn)，分別為取放位置127、晶圓臺(tái)117 及緩沖臺(tái)135;在第一工作對(duì)象為分料臺(tái)115上的分料盒131及晶圓臺(tái)117上的 晶圓環(huán)133時(shí)，第二工作對(duì)象101為分料盒及晶圓環(huán)，當(dāng)工作臺(tái)113完成某一 分類(lèi)的晶粒分選，第一工作對(duì)象(分料盒131或晶圓環(huán)133)及第二工作對(duì)象 101(分料盒或晶圓環(huán))，將依照前文所述方式實(shí)施，而^L械手臂111共有四個(gè)的 傳送定點(diǎn)，分別為取放位置127、分料臺(tái)115、晶圓臺(tái)117及緩沖臺(tái)135。
以上所述的實(shí)施例，為本發(fā)明中以異步方式進(jìn)行第 一工作對(duì)象及第二工作
對(duì)象傳送或置換的全自動(dòng)進(jìn)出料架構(gòu)與方法。異步者，系指第一工作對(duì)象及第 二工作對(duì)象在不同時(shí)間內(nèi)分別進(jìn)行移動(dòng)以完成位置的置換。然而，本發(fā)明亦提
出了以同步傳送方式來(lái)進(jìn)行第一工作對(duì)象及第二工作對(duì)象的移動(dòng)置換的全自動(dòng) 進(jìn)出料架構(gòu)與方法。同步傳送的優(yōu)點(diǎn)為兩欲置換位置的第 一工作對(duì)象及第二工 作對(duì)象可同時(shí)以一同步傳送機(jī)構(gòu)進(jìn)行傳送及位置的置換，大幅減少第一工作對(duì) 象及第二工作對(duì)象移動(dòng)所需的時(shí)間。
請(qǐng)參閱圖6，其為本發(fā)明實(shí)施例中同步式全自動(dòng)進(jìn)出料裝置的結(jié)構(gòu)方塊圖。 如圖所示，同步式全自動(dòng)進(jìn)出料裝置主要由一載入器109、 一工作臺(tái)113及同步 傳送機(jī)構(gòu)615所構(gòu)成。由于本實(shí)施例中，載入器及工作臺(tái)的作用與功能與圖1 的載入器109及工作臺(tái)113相同，故在此沿用相同的圖號(hào)。再者，載入器109 及工作臺(tái)113的功用已于前文中名又明，故不再贅述。而同步傳送才幾構(gòu)615系對(duì) 載入器109的取放位置上的第二工作對(duì)象及工作臺(tái)113的第一工作對(duì)象進(jìn)行同 步式的傳送及位置的置換，即同步傳送機(jī)構(gòu)615同時(shí)進(jìn)行下列兩動(dòng)作， 一為將 載入器109的取j文位置上的第二工作對(duì)象傳送至工作臺(tái)113， 二為將工作臺(tái)113 的第一工作對(duì)象傳送至載入器109的取放位置。要達(dá)此目的，同步傳送機(jī)構(gòu)615
18通常需要同時(shí)取放第一及第二工作對(duì)象。其中，同步傳送機(jī)構(gòu)615為夾取機(jī)制 的同步傳送機(jī)構(gòu)或真空吸附方式的同步傳送機(jī)構(gòu)。須注意，在此的第一及第二 工作對(duì)象與圖1中所述的第一及第二工作對(duì)象的種類(lèi)相同，即第一工作對(duì)象為
分料臺(tái)115上的分料盒時(shí)，第二工作對(duì)象為分料盒，而晶圓臺(tái)117上的晶圓環(huán) 以手動(dòng)方式進(jìn)行替換；當(dāng)?shù)谝还ぷ鲗?duì)象為晶圓臺(tái)117上的晶圓環(huán)時(shí)，第二工作 對(duì)象為晶圓環(huán)，而分料臺(tái)115上的分料盒系以手動(dòng)方式進(jìn)行替換；當(dāng)?shù)谝还ぷ?對(duì)象為分料臺(tái)115上的分料盒及晶圓臺(tái)117上的晶圓環(huán)時(shí)，第二工作對(duì)象為分 料盒及晶圓環(huán)。以下將以詳細(xì)的結(jié)構(gòu)圖來(lái)描述同步傳送機(jī)構(gòu)不同的實(shí)施方式。
圖7為圖6中同步傳送機(jī)構(gòu)615的一實(shí)施例的機(jī)構(gòu)俯視圖。如圖7所示， 同步傳送機(jī)構(gòu)包含第一機(jī)械手臂701、第二機(jī)械手臂705及一樞軸703,第一機(jī) 械手臂701及第二機(jī)械手臂705以樞軸703為中心作水平轉(zhuǎn)動(dòng)。請(qǐng)同時(shí)參照?qǐng)D6、 圖1及圖7，第一機(jī)械手臂701置于載入器109的取放位置127上，而第二機(jī)械 手臂705置于工作臺(tái)113上，通過(guò)樞軸703轉(zhuǎn)動(dòng)第一機(jī)械手臂701及第二機(jī)械 手臂705，即如圖7中的弧形箭頭的方式作180度水平轉(zhuǎn)動(dòng)，以分別取起工作臺(tái) 113的第一工作對(duì)象及取放位置127的第二工作對(duì)象，使之進(jìn)行位置的置換。
圖8為圖6中同步傳送機(jī)構(gòu)615的另一實(shí)施例的機(jī)構(gòu)俯視圖。在圖7的實(shí) 施例中，同步傳送機(jī)構(gòu)需要以樞軸703為中心作水平轉(zhuǎn)動(dòng)第一機(jī)械手臂701及 第二機(jī)械手臂705，若使用于圖l的全自動(dòng)進(jìn)出料裝置，必須有足夠的X-Y軸平 面空間，才能4吏同步傳送機(jī)構(gòu)動(dòng)作。而圖8的實(shí)施例中，同步傳送機(jī)構(gòu)系以X-Z 軸平面空間動(dòng)作于圖1的全自動(dòng)進(jìn)出料裝置，在同步式全自動(dòng)進(jìn)出料裝置設(shè)計(jì) 時(shí)，較大程度上不會(huì)影響空間的擺放。
如圖8所示，同步傳送機(jī)構(gòu)包含兩機(jī)械手臂807、 809，分別通過(guò)樞軸部811 及813連結(jié)在相對(duì)而設(shè)的機(jī)件軌道815及817。請(qǐng)同時(shí)參照?qǐng)D6、圖l及圖8， 兩機(jī)械手臂807及809分別配置在載入器109的取放位置127及工作臺(tái)113上 方。在機(jī)件軌道815上，通過(guò)移動(dòng)樞軸部811可以水平方向帶動(dòng)機(jī)械手臂807, 即如圖8中箭頭方向；同樣地，在機(jī)件軌道817上，移動(dòng)樞軸部813也可以水平方向帶動(dòng)機(jī)械手臂809。在移動(dòng)兩機(jī)械手臂807、 809時(shí)，分別取起工作臺(tái)113 的第一工作對(duì)象及取放位置127的第二工作對(duì)象，使之進(jìn)行位置的置換。須注 意，兩機(jī)械手臂807及809在設(shè)計(jì)時(shí)，需要使用一 Z軸方向的位移裝置，以在 兩機(jī)械手臂807及809進(jìn)行水平方向的交錯(cuò)移動(dòng)時(shí)，不會(huì)彼此阻礙。
圖9為圖6中同步式全自動(dòng)進(jìn)出料裝置的傳送步驟流程圖。請(qǐng)參閱圖9并 同時(shí)對(duì)照?qǐng)D6，在第一工作對(duì)象及第二工作對(duì)象進(jìn)行位置的置換流程中，首先在 步驟S31中，取片機(jī)構(gòu)125會(huì)載出送料機(jī)構(gòu)123的復(fù)數(shù)個(gè)槽位之一的第二工作 對(duì)象至一取放位置，以圖l為例，將傳送第二工作對(duì)象傳送至取放位置127。接 著于步驟S32中，同步傳送機(jī)構(gòu)615會(huì)分別取起置放于取放位置上的第二工作 對(duì)象與在工作臺(tái)113上的第一工作對(duì)象，并進(jìn)行移動(dòng)使兩者位置的交換。再來(lái)， 于步驟S33中，同步傳送機(jī)構(gòu)615將放置第一工作對(duì)象與第二工作對(duì)象，即第 一工作對(duì)象將置于取放位置上，第二工作對(duì)象將置于工作臺(tái)113上。之后，在 步驟S34中，工作臺(tái)113會(huì)進(jìn)行定位、揀取與置晶等程序以繼續(xù)晶粒的分選動(dòng) 作。在此同時(shí)，于步驟S35中，取片機(jī)構(gòu)125會(huì)將第一工作對(duì)象載入送料機(jī)構(gòu) 123中特定的槽位中放置。上述步驟流程結(jié)束后，即進(jìn)行完某一分類(lèi)的晶粒分選 后，再通過(guò)前文所述圖9的步驟，以進(jìn)行另一分類(lèi)的晶粒分選及其先前的第一 工作對(duì)象與第二工作對(duì)象置換等動(dòng)作。須注意，步驟S31可以在工作臺(tái)進(jìn) 行晶粒分選期間進(jìn)行，也可以在工作臺(tái)113完成某一分類(lèi)的晶粒分選時(shí)進(jìn)行。
本發(fā)明的全自動(dòng)進(jìn)出料裝置通過(guò)提供晶圓環(huán)或分料盒的置換，達(dá)到全自動(dòng) 進(jìn)出料的目的。
以上所述，僅為本發(fā)明的具體實(shí)施方式
，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于 此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到 變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng) 所述以權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種異步式全自動(dòng)進(jìn)出料裝置，其特征在于，所述的異步全自動(dòng)進(jìn)出料裝置包括一工作臺(tái)，用以承載一第一工作對(duì)象，所述的工作臺(tái)具有一取置機(jī)具以進(jìn)行晶粒分選；一載入器，具有復(fù)數(shù)個(gè)槽位、一取片機(jī)構(gòu)及一取放位置，所述的槽位用來(lái)存放第二工作對(duì)象，通過(guò)該取片機(jī)構(gòu)載出該槽位的第二工作對(duì)象至該取放位置；以及一機(jī)械手臂，用以將該取放位置上的第二工作對(duì)象傳至該工作臺(tái)，或?qū)⒃摴ぷ髋_(tái)上的第一工作對(duì)象傳送至該取放位置，再通過(guò)該取片機(jī)構(gòu)載入該取放位置上的第一工作對(duì)象至該些槽位。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的異步式全自動(dòng)進(jìn)出料裝置，其特征在于，包含一 緩沖臺(tái)，以提供該機(jī)械手臂傳送該第一工作對(duì)象或第二工作對(duì)象至該緩沖臺(tái)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的異步式全自動(dòng)進(jìn)出料裝置，其特征在于，當(dāng)所述 的機(jī)械手臂將該工作臺(tái)的第一工作對(duì)象傳送至該緩沖臺(tái)上時(shí)，通過(guò)該機(jī)械手臂 將該緩沖臺(tái)的第 一工作對(duì)象傳送至該取放位置，當(dāng)該機(jī)械手臂將該取放位置上 的第二工作對(duì)象傳送至該緩沖臺(tái)上時(shí)，通過(guò)該機(jī)械手臂將該緩沖臺(tái)的第二工作對(duì)象傳送至該工作臺(tái)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的異步式全自動(dòng)進(jìn)出料裝置，其特征在于，所述的 載入器包含一送料機(jī)構(gòu)，所述的槽位置于該送料機(jī)構(gòu)上，以進(jìn)行水平移動(dòng)使該 復(fù)數(shù)槽位之一對(duì)齊該取片機(jī)構(gòu)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的異步式全自動(dòng)進(jìn)出料裝置，其特征在于，其中該 載入器包含一升降機(jī)構(gòu)，以對(duì)該取片枳4勾進(jìn)行垂直升降動(dòng)作。
6. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的異步式全自動(dòng)進(jìn)出料裝置，其特征在于，所述的 工作臺(tái)包含一分料臺(tái)與一晶圓臺(tái)，該第一工作對(duì)象為該分料臺(tái)上的分料盒，該晶圓臺(tái)上的晶圓環(huán)，該分料臺(tái)上的分料盒及該晶圓臺(tái)上的晶圓環(huán)以上三者其中 之一，當(dāng)?shù)谝还ぷ鲗?duì)象為該分料臺(tái)上的分料盒時(shí)，該晶圓臺(tái)上具有一晶圓環(huán)， 該取置機(jī)具對(duì)該晶圓臺(tái)上的晶圓環(huán)進(jìn)行晶粒分選至該分料臺(tái)上的分料盒，當(dāng)該 第一工作對(duì)象為該晶圓臺(tái)上的晶圓環(huán)，而該分料臺(tái)上具有一分料盒，該取置機(jī) 具對(duì)該晶圓臺(tái)上的晶圓環(huán)進(jìn)行晶粒分選至該分料臺(tái)上的分料盒，當(dāng)該第 一工作 對(duì)象為該分料臺(tái)上的分料盒及該晶圓臺(tái)上的晶圓環(huán)，該取置機(jī)具對(duì)該晶圓臺(tái)上 的晶圓環(huán)進(jìn)行晶粒分選至該分料臺(tái)上的分料盒。
7. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的異步式全自動(dòng)進(jìn)出料裝置，其特征在于，所述的第二工作對(duì)象為存放于該槽位中的分料盒，晶圓環(huán)，分料盒及晶圓環(huán)以上三者 其中之一。
8. —種同步式全自動(dòng)進(jìn)出料裝置，其特征在于，所述的同步式全自動(dòng)進(jìn)出 料裝置包括一工作臺(tái)，用以承載一第一工作對(duì)象，該工作臺(tái)具有一取置機(jī)具以進(jìn)行晶 粒分選；一載入器，具有復(fù)數(shù)個(gè)槽位、 一取片機(jī)構(gòu)及一取放位置，所述的槽位系存 放第二工作對(duì)象，通過(guò)該取片機(jī)構(gòu)載出該槽位的第二工作對(duì)象至該取放位置； 以及一同步傳送機(jī)構(gòu)，用以同時(shí)將該取放位置上的第二工作對(duì)象傳至該工作臺(tái)， 并將該工作臺(tái)上的第一工作對(duì)象傳送至該取放位置，再通過(guò)該取片機(jī)構(gòu)載入該 取放位置上的第 一工作對(duì)象至該些槽位。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的同步式全自動(dòng)進(jìn)出料裝置，其特征在于，所述的 載入器包含一送料機(jī)構(gòu)，所述的槽位置于該送料機(jī)構(gòu)上，以進(jìn)行水平移動(dòng)使該 復(fù)數(shù)槽位之一對(duì)齊該取片機(jī)構(gòu)。
10. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的同步式全自動(dòng)進(jìn)出料裝置，其特征在于，所述的載入器包含一升降機(jī)構(gòu)，以對(duì)該取片機(jī)構(gòu)進(jìn)行垂直升降動(dòng)作。
11. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的同步式全自動(dòng)進(jìn)出料裝置，其特征在于，所述 的工作臺(tái)包含一分料臺(tái)與一晶圓臺(tái)，該第一工作對(duì)象為該分料臺(tái)上的分料盒， 該晶圓臺(tái)上的晶圓環(huán)，該分料臺(tái)上的分料盒及該晶圓臺(tái)上的晶圓環(huán)以上三者其 中之一，當(dāng)?shù)谝还ぷ鲗?duì)象為該分料臺(tái)上的分料盒時(shí)，該晶圓臺(tái)上具有一晶圓環(huán)， 所述的取置機(jī)具對(duì)該晶圓臺(tái)上的晶圓環(huán)進(jìn)行晶粒分選至該分料臺(tái)上的分料盒， 當(dāng)該第一工作對(duì)象為該晶圓臺(tái)上的晶圓環(huán)，而該分料臺(tái)上具有一分料盒，該取 置機(jī)具對(duì)該晶圓臺(tái)上的晶圓環(huán)進(jìn)行晶粒分選至該分料臺(tái)上的分料盒，當(dāng)該第一 工作對(duì)象為該分料臺(tái)上的分料盒及該晶圓臺(tái)上的晶圓環(huán)，該取置機(jī)具對(duì)該晶圓 臺(tái)上的晶圓環(huán)進(jìn)行晶粒分選至該分料臺(tái)上的分料盒。
12. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的同步式全自動(dòng)進(jìn)出料裝置，其特征在于，所述 的第二工作對(duì)象為存放于該槽位中的分料盒，晶圓環(huán)，分料盒及晶圓環(huán)以上三 者其中之一。
13. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的同步式全自動(dòng)進(jìn)出料裝置，其特征在于，所述 的同步傳送機(jī)構(gòu)包含一第一機(jī)械手臂、 一第二機(jī)械手臂及一樞軸，通過(guò)該樞軸 置于該第一機(jī)械手臂及該第二機(jī)械手臂中心，并軸向水平轉(zhuǎn)動(dòng)，以分別取起第 一及第二工作對(duì)象使之進(jìn)行位置的置換。
14. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的同步式全自動(dòng)進(jìn)出料裝置，其特征在于，所述 的同步傳送機(jī)構(gòu)具有兩機(jī)械手臂，分別連結(jié)在兩相對(duì)的機(jī)件軌道上，所述的兩 機(jī)械手臂分別取起第 一及第二工作對(duì)象，通過(guò)該機(jī)件軌道進(jìn)行水平方向的交錯(cuò) 移動(dòng)。
15. —種異步式全自動(dòng)進(jìn)出料的方法，其特征在于，包含下列步驟 利用 一機(jī)械手臂取起置于一工作臺(tái)上的第 一工作對(duì)象； 所述的機(jī)械手臂將該第一工作對(duì)象傳送至一取放位置；一取片機(jī)構(gòu)將該取放位置上的該第一工作對(duì)象載入至復(fù)數(shù)個(gè)槽位之一中存放；所述的取片機(jī)構(gòu)從該些槽位中載出一第二工作對(duì)象至該取放位置處；以及所述的機(jī)械手臂取起該取放位置上的第二工作對(duì)象并將其傳送至該工作臺(tái) 上置放。
16. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的異步式全自動(dòng)進(jìn)出料的方法，其特征在于，其 中所述的利用該機(jī)械手臂取起置于工作臺(tái)上的第 一工作對(duì)象的步驟包含取起置 于 一分料臺(tái)上的分料盒、 一 晶圓臺(tái)上的晶圓環(huán)及取起置于一分料臺(tái)上的分料盒 或一晶圓臺(tái)上的晶圓環(huán)以上三者其中之一。
17. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的異步式全自動(dòng)進(jìn)出料的方法，其特征在于，其 中所述的取片機(jī)構(gòu)從該些槽位中載出該第二工作對(duì)象至該取放位置處的步驟包 含載出 一分料盒、 一晶圓環(huán)及載出 一分料盒或一晶圓環(huán)以上三者其中之一。
18. —種異步式全自動(dòng)進(jìn)出料的方法，其特征在于，包含下列步驟 一取片機(jī)構(gòu)從復(fù)數(shù)個(gè)槽位中載出 一第二工作對(duì)象至一取放位置處； 利用 一機(jī)械手臂取起置于該取放位置上的第二工作對(duì)象； 所述的機(jī)械手臂將該第二工作對(duì)象傳送至一緩沖臺(tái)上； 所述的機(jī)械手臂移動(dòng)至一工作臺(tái)位置處并取起置于其上的第一工作對(duì)象并將其傳送至該取放位置上放置；以及所述的機(jī)械手臂轉(zhuǎn)動(dòng)至該緩沖臺(tái)處并耳又起置于其上的第二工作對(duì)象并將其 傳送至該工作臺(tái)上。
19. 根據(jù)權(quán)利要求18所述的異步式全自動(dòng)進(jìn)出料的方法，其特征在于，其 中所述的機(jī)械手臂移動(dòng)至該工作臺(tái)位置處并取起置于其上的第一工作對(duì)象并將 其傳送至該取放位置上放置的步驟包含該取片機(jī)構(gòu)將該取放位置上的第一工作 對(duì)象載入該些槽位之一 中存放。
20. 根據(jù)權(quán)利要求18所述的異步式全自動(dòng)進(jìn)出料的方法，其特征在于，其中所述的機(jī)械手臂移動(dòng)至該工作臺(tái)位置處并取起置于其上的第一工作對(duì)象的步驟包含移動(dòng)至一分料臺(tái)位置處并取起置于其上的分料盒、移動(dòng)至一晶圓臺(tái)位置處并取起置于其上的晶圓環(huán)及移動(dòng)至一分料臺(tái)位置處并耳又起置于其上的分料盒或移動(dòng)至一晶圓臺(tái)位置處并取起置于其上的晶圓環(huán)以上三者其中之一。
21. 根據(jù)權(quán)利要求18所述的異步式全自動(dòng)進(jìn)出料的方法，其特征在于，其中所述的取片機(jī)構(gòu)從該些槽位中載出該第二工作對(duì)象至該取放位置處的步驟包含載出 一分料盒、 一晶圓環(huán)及載出 一分料盒或一晶圓環(huán)以上三者其中之一。
22. —種異步式全自動(dòng)進(jìn)出料的方法，其特征在于，包含下列步驟一取片機(jī)構(gòu)從復(fù)數(shù)個(gè)槽位中載出 一第二工作對(duì)象至一取放位置；利用 一機(jī)械手臂取起置 一 工作臺(tái)上的第 一 工作對(duì)象；所述的機(jī)械手臂將該第 一工作對(duì)象傳送至一緩沖臺(tái)上；所述的機(jī)械手臂移動(dòng)至該取放位置處并取起置于其上的第二工作對(duì)象并將其傳送至該工作臺(tái)上放置；以及所述的機(jī)械手臂轉(zhuǎn)動(dòng)至該緩沖臺(tái)處并取起置于其上的第一工作對(duì)象并將其傳送至該取放位置上放置。
23. 根據(jù)權(quán)利要求22所述的異步式全自動(dòng)進(jìn)出料的方法，其特征在于，其中所述的機(jī)械手臂轉(zhuǎn)動(dòng)至該緩沖臺(tái)處并取起置于其上的第一工作對(duì)象并將其傳送至該取放位置上放置的步驟包含該取片機(jī)構(gòu)將該取放位置上的第一工作對(duì)象載入該些槽位之一 中存放。
24. 根據(jù)權(quán)利要求22所述的異步式全自動(dòng)進(jìn)出料的方法，其特征在于，其中所述的機(jī)械手臂移動(dòng)至該緩沖臺(tái)位置處并取起置于其上的第一工作對(duì)象的步驟包含移動(dòng)至一分料臺(tái)位置處并取起置于其上的分料盒、移動(dòng)至一晶圓臺(tái)位置處并取起置于其上的晶圓環(huán)及移動(dòng)至一分料臺(tái)位置處并取起置于其上的分料盒或移動(dòng)至一晶圓臺(tái)位置處并取起置于其上的晶圓環(huán)以上三者其中之一。
25. 根據(jù)權(quán)利要求22所述的異步式全自動(dòng)進(jìn)出料的方法，其特征在于，其中所述的取片機(jī)構(gòu)從該些槽位中載出該第二工作對(duì)象至該取放位置處的步驟包含載出 一分料盒、 一晶圓環(huán)及載出 一分料盒或一晶圓環(huán)以上三者其中之一。
26. —種同步式全自動(dòng)進(jìn)出料的方法，其特征在于，包含下列步驟一取片機(jī)構(gòu)從一送料機(jī)構(gòu)的復(fù)數(shù)個(gè)槽位之一 中載出 一第二工作對(duì)象至一取放位置；通過(guò)一同步傳送^U勾同時(shí)耳又起置于該取J故位置上的一第二工作對(duì)象與置于一工作臺(tái)上的一第一工作對(duì)象；所述的同步傳送機(jī)構(gòu)進(jìn)行該第一工作對(duì)象與第二工作對(duì)象的位置交換；所述的同步傳送機(jī)構(gòu)將該第一工作對(duì)象與該第二工作對(duì)象分別放置在該取放位置與該工作臺(tái)上；以及所述的取片機(jī)構(gòu)載入該第 一工作對(duì)象至該送料機(jī)構(gòu)的復(fù)數(shù)個(gè)槽位之一 。
27. 根據(jù)權(quán)利要求26所述的同步式全自動(dòng)進(jìn)出料的方法，其特征在于，其中所述的取片機(jī)構(gòu)從該送料機(jī)構(gòu)的復(fù)數(shù)個(gè)槽位之一 中載出該第二工作對(duì)象至該取放位置的步驟包含載出 一分料盒、 一 晶圓環(huán)及載出 一分料盒或一 晶圓環(huán)以上三者其中之一。
28. 根據(jù)權(quán)利要求26所述的同步式全自動(dòng)進(jìn)出料的方法，其特征在于，其中所述的取片機(jī)構(gòu)載入該第 一工作對(duì)象至該送料機(jī)構(gòu)的復(fù)數(shù)個(gè)槽位之一的步驟包含載入一分料盒、 一晶圓環(huán)及載入一分料盒或一晶圓環(huán)以上三者其中之一。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種全自動(dòng)進(jìn)出料裝置及其方法，通過(guò)一工作臺(tái)承載一第一工作對(duì)象，并進(jìn)行晶粒分選的步驟，通過(guò)一載入器存放一第二工作對(duì)象，并以一取片機(jī)構(gòu)載出第二工作對(duì)象至一取放位置，在工作臺(tái)及加載器之間，通過(guò)同步傳送機(jī)構(gòu)或一機(jī)械手臂進(jìn)行第一工作對(duì)象及第二工作對(duì)象位置的交換。其中，第一工作對(duì)象及第二工作對(duì)象為分料盒、晶圓環(huán)、與分料盒及晶圓環(huán)以上三者其中之一。
文檔編號(hào)B07C5/36GK101593715SQ200810111349
公開(kāi)日2009年12月2日 申請(qǐng)日期2008年5月27日 優(yōu)先權(quán)日2008年5月27日
發(fā)明者劉景男, 呂世建, 徐嘉彬, 洪嘉宏, 蔡振揚(yáng) 申請(qǐng)人:旺硅科技股份有限公司