專利名稱：半導(dǎo)體晶粒篩選設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及電子元器件技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，是涉及一種半導(dǎo)體晶粒篩選設(shè)備。
背景技術(shù)：
眾所周知，以半導(dǎo)體材料制作而成的晶粒在集成電路、半導(dǎo)體制冷芯片上廣泛應(yīng)用，通常情況下，集成電路是以大批方式，經(jīng)光刻等多項(xiàng)步驟，制作在大片的半導(dǎo)體晶圓上，然后再分割成方型小粒，這一小粒就稱為晶粒，每個(gè)晶粒就是一個(gè)集成電路的復(fù)制品。類似地，半導(dǎo)體制冷芯片的半導(dǎo)體晶粒的制作是由長條狀的晶棒經(jīng)線切割加工為晶圓片、再從晶片切割為幼小的方型小粒而成。一般，一塊晶圓片上需分割出上百甚至上千個(gè)小型的晶粒。需要分割出的晶粒一般為微型的正方體或長方體，在切割后，往往會(huì)有破碎的、缺角的等不完全的晶?；虺叽缙〉木Я＃糠智懈钇扑榈木Я?、尺寸偏小的晶粒往往難以篩選?，F(xiàn)有技術(shù)中，晶粒的篩選多采用人工挑選的方法，借助金屬材質(zhì)的篩網(wǎng)或者是以目測進(jìn)行，不僅耗費(fèi)人力和工時(shí)，勞動(dòng)強(qiáng)度大且篩選效率極其低下，不宜在規(guī)模化生產(chǎn)中應(yīng)用。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的問題是提供一種高效自動(dòng)的半導(dǎo)體晶粒篩選設(shè)備，可將小于規(guī)定尺寸或破碎的晶粒從合格晶粒中篩選出來，提高規(guī)?；ЯＩa(chǎn)的效率和自動(dòng)化程度。本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是一種半導(dǎo)體晶粒篩選設(shè)備，包括機(jī)座，晶粒輸送裝置，滾軸對(duì)，滾軸驅(qū)動(dòng)裝置，所述滾軸對(duì)包括第一滾軸和第二滾軸，所述第一滾軸和第二滾軸安裝在機(jī)座上且相隔有間隙，所述振動(dòng)盤導(dǎo)軌將所述振動(dòng)盤內(nèi)的半導(dǎo)體晶粒輸送到滾軸對(duì)的間隙上，所述第一滾軸和第二滾軸由滾軸驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)且相向同步轉(zhuǎn)動(dòng)，所述滾軸對(duì)的間隙大小在逐漸遠(yuǎn)離振動(dòng)盤的軸向方向上由小至大呈線性變化，所述滾軸對(duì)傾斜向下設(shè)置。所述機(jī)座上設(shè)有用于調(diào)整滾軸對(duì)間隙的間隙調(diào)節(jié)裝置。所述晶粒輸送裝置包括振動(dòng)盤和振動(dòng)盤導(dǎo)軌。所述間隙調(diào)節(jié)裝置包括分別設(shè)置在滾軸對(duì)兩端的千分尺。所述振動(dòng)盤導(dǎo)軌的末端設(shè)有導(dǎo)口，所述導(dǎo)口正對(duì)滾軸對(duì)的間隙。所述第一滾軸或第二滾軸上設(shè)有滾軸槽。所述滾軸對(duì)驅(qū)動(dòng)裝置包括電機(jī)，皮帶，第一從動(dòng)軸，第二從動(dòng)軸，電機(jī)輸出軸，所述皮帶套接在電機(jī)輸出軸上并帶動(dòng)第一從動(dòng)軸、第二從動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，所述第一從動(dòng)軸連接第一滾軸，所述第二從動(dòng)軸連接第二滾軸。所述第一滾軸或第二滾軸的低端設(shè)有闊口部，所述闊口部的軸徑小于第一滾軸或第二滾軸的軸徑。本實(shí)用新型的有益效果是[0013]1、本實(shí)用新型晶粒篩選機(jī)設(shè)有兩條相對(duì)滾動(dòng)的滾軸，利用滾軸的高低落差和滾軸槽道使晶粒通過滾軸的間隙，隨著滾軸的滾動(dòng)，在兩條滾軸之間進(jìn)行篩選。不符合規(guī)格的小尺寸晶粒在滾軸對(duì)的前段間隔下落，符合要求的晶粒在滾軸對(duì)的后段間隔下落。滾軸槽對(duì)晶粒起到翻滾的作用，讓晶粒在篩選過程中不會(huì)單向并機(jī)械地滾動(dòng)，進(jìn)一步提高對(duì)晶粒大小篩選的準(zhǔn)確性。本發(fā)明解決了現(xiàn)有技術(shù)上晶粒篩選的問題，與人工篩選相比，效率更高，且適合大規(guī)?；纳a(chǎn)。2、本實(shí)用新型的滾軸兩端設(shè)有千分尺。千分尺具有精密測距功能。使用者可以根據(jù)工藝所需，通過本實(shí)用新型的千分尺確認(rèn)篩選后晶粒的大小。3、本實(shí)用新型的滾軸低端設(shè)有闊口部，可使粗大晶粒從闊口部落下，實(shí)現(xiàn)晶粒不同尺寸的篩選和區(qū)分。

圖1是本實(shí)用新型的半導(dǎo)體晶粒篩選設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖(俯視方向)。圖2是本實(shí)用新型的半導(dǎo)體晶粒篩選設(shè)備振動(dòng)盤與滾軸對(duì)連接示意圖。圖3是本實(shí)用新型的半導(dǎo)體晶粒篩選設(shè)備的滾軸對(duì)驅(qū)動(dòng)裝置結(jié)構(gòu)示意圖。圖4是本實(shí)用新型的半導(dǎo)體晶粒篩選設(shè)備的滾軸槽結(jié)構(gòu)示意圖。附圖中，振動(dòng)盤1、第一滾軸2、第二滾軸3、機(jī)座4、滾軸對(duì)驅(qū)動(dòng)裝置5、電機(jī)6、千分尺7、皮帶8、滾軸槽11、振動(dòng)盤導(dǎo)軌12、導(dǎo)口 13、第一從動(dòng)軸16、第二從動(dòng)軸15、電機(jī)輸出軸17。
具體實(shí)施方式
參見圖1-4，圖1是本實(shí)用新型半導(dǎo)體晶粒篩選設(shè)備的俯視圖。如圖中所示，本實(shí)用新型半導(dǎo)體晶粒篩選設(shè)備包括機(jī)座4，晶粒輸送裝置，滾軸對(duì)，滾軸驅(qū)動(dòng)裝置5，晶粒輸送裝置包括振動(dòng)盤I，振動(dòng)盤導(dǎo)軌12，所述滾軸對(duì)包括第一滾軸2和第二滾軸3，第一滾軸和第二滾軸安裝在機(jī)座4上且相隔有間隙，振動(dòng)盤導(dǎo)軌12將所述振動(dòng)盤I內(nèi)的半導(dǎo)體晶粒輸送到滾軸對(duì)的間隙上。第一滾軸2和第二滾軸3由滾軸驅(qū)動(dòng)裝置5驅(qū)動(dòng)且相向同步轉(zhuǎn)動(dòng)，且滾軸對(duì)傾斜向下設(shè)置，使晶粒具有向下和向右移動(dòng)的趨勢。其中，滾軸對(duì)的間隙大小在逐漸遠(yuǎn)離振動(dòng)盤的軸向方向上(如圖1所示，自左至右)由小至大呈線性變化，滾軸對(duì)的高端在左邊，低端在右邊，從而對(duì)從滾軸對(duì)間隙中落下的晶粒進(jìn)行篩選，換句話來說，即是不同尺寸的晶粒在各自合適的位置落下。如圖1所示，振動(dòng)盤I設(shè)置在機(jī)座4的左端，振動(dòng)盤I上裝有未經(jīng)過篩選處理的晶粒。振動(dòng)盤I通過振動(dòng)，讓振動(dòng)盤I上的晶粒抖動(dòng)到振動(dòng)盤導(dǎo)軌12上，振動(dòng)盤采用螺旋形振動(dòng)盤，振動(dòng)盤的工作原理是在振動(dòng)盤的料斗下面設(shè)置一個(gè)脈沖電磁鐵，可以使料斗垂直方向振動(dòng)，并設(shè)置有傾斜的彈簧片，使料斗繞其垂直軸做扭擺振動(dòng)。料斗內(nèi)的晶粒，由于受到這種振動(dòng)，而沿振動(dòng)盤邊緣的螺旋軌道上升直到送到出料口，經(jīng)振動(dòng)盤導(dǎo)軌送至導(dǎo)口位置。振動(dòng)盤可解決晶粒排序的問題，通過振動(dòng)盤I的振動(dòng)，晶粒會(huì)被鋪平并按順序進(jìn)入導(dǎo)軌的軌道內(nèi)，讓晶粒在第一滾軸2和第二滾軸3之間的滾動(dòng)更均勻。振動(dòng)盤I與振動(dòng)盤導(dǎo)軌12連接，振動(dòng)盤導(dǎo)軌12與導(dǎo)口 13連接。振動(dòng)盤導(dǎo)軌12令振動(dòng)盤I的晶?？梢耘c導(dǎo)口 13和第一滾軸2和第二滾軸3之間的長縫狀的間隙配合，防止晶粒飛濺離開晶粒篩選機(jī)。第一滾軸2和第二滾軸3在同一平面并排，中間留有一條細(xì)長縫間隙。在本發(fā)明的俯視圖中，縫的高端比低端較窄。第一滾軸2和第二滾軸3均傾斜向下設(shè)置，并且兩軸相向轉(zhuǎn)動(dòng)，讓需要篩選的晶粒在重力和兩軸的轉(zhuǎn)動(dòng)作用下準(zhǔn)確地滾進(jìn)縫中進(jìn)行篩選。因?yàn)榍懈钇扑槎w積較小的晶粒、小尺寸的晶粒會(huì)在第一滾軸2和第二滾軸3之間的細(xì)長縫的高端先掉下，其余較大的晶粒，即符合規(guī)格尺寸的晶粒則會(huì)繼續(xù)隨滾軸滾動(dòng)。在滾軸對(duì)相對(duì)較低的位置落下，落入成品盒中。第一滾軸2和第二滾軸3的左右兩端各設(shè)有一把千分尺7。千分尺7也可以是一把螺旋測微儀。千分尺7是一種精密的長度測量工具，可以準(zhǔn)確測量出第一滾軸2和第二滾軸3之間的縫兩端的距離，不僅可以讓使用者自由調(diào)節(jié)滾軸間隙距離，準(zhǔn)確把握篩選的晶粒大小，而且也可以讓使用者對(duì)篩選后的晶粒的大小進(jìn)行監(jiān)測和判斷。滾動(dòng)軸對(duì)驅(qū)動(dòng)裝置5的結(jié)構(gòu)如圖3所示，包括電機(jī)6，皮帶8，第一從動(dòng)軸16，第二從動(dòng)軸15，電機(jī)輸出軸17，皮帶8套接在電機(jī)輸出軸上并帶動(dòng)第一從動(dòng)軸、第二從動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，第一從動(dòng)軸16連接第一滾軸2，第二從動(dòng)軸15連接第二滾軸3。第一從動(dòng)軸16和第二從動(dòng)軸15處于同一水平面上,負(fù)責(zé)帶動(dòng)滾軸對(duì)的相向轉(zhuǎn)動(dòng)。電機(jī)6驅(qū)動(dòng)電機(jī)輸出軸17轉(zhuǎn)動(dòng)。皮帶8套在第二從動(dòng)軸15上，而第一從動(dòng)軸16的上方接觸到皮帶8并壓緊皮帶8。當(dāng)滾軸對(duì)驅(qū)動(dòng)裝置5工作時(shí)，電機(jī)6啟動(dòng)工作，電機(jī)輸出軸17在圖3的視圖方向上沿順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)。電機(jī)輸出軸17沿順時(shí)針方向轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)皮帶8也沿順時(shí)針方向轉(zhuǎn)動(dòng)。第二從動(dòng)軸15在順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)的皮帶的摩擦力作用下，沿順時(shí)針方向轉(zhuǎn)動(dòng)。因此，第二從動(dòng)軸15帶動(dòng)第二滾軸3向內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)。由于第一從動(dòng)軸16壓緊皮帶8，皮帶8受到第一從動(dòng)軸16的壓力，并給予第一從動(dòng)軸16摩擦力，讓第一從動(dòng)軸16沿逆時(shí)針方向轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)第一從動(dòng)軸16帶動(dòng)第一滾軸2向內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)，晶粒在兩滾軸轉(zhuǎn)動(dòng)的縫上進(jìn)行篩選。此外，如圖4所示，本實(shí)用新型的滾軸上還具有滾軸槽11。滾軸槽11是一條細(xì)長的縫槽，當(dāng)滾軸對(duì)相向滾動(dòng)至滾軸槽11到達(dá)間隙位置附近時(shí)，其上的晶粒跌落滾軸槽11內(nèi)翻滾，使晶粒改變滾動(dòng)方式，晶粒與滾軸之間的接觸更加充分，確保晶粒篩選的準(zhǔn)確性。此外，參見圖1，在第二滾軸3的低端還包括一個(gè)軸徑明顯小于滾軸軸徑的闊口部14，形成一個(gè)軸頸，使該部分與第一滾軸之間形成一個(gè)較闊的空間，一些尺寸大于常規(guī)產(chǎn)品的晶粒將從闊口部14落下，使本發(fā)明的半導(dǎo)體晶粒篩選設(shè)備可將晶粒從小、合適、超大尺寸中分類篩選出來。上述說明并非是對(duì)本實(shí)用新型的限制，本實(shí)用新型也并不限于上述實(shí)施例。本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不經(jīng)過創(chuàng)造性勞動(dòng)的情況下，作出的簡單變化、改型、添加或等同替換，都應(yīng)屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種半導(dǎo)體晶粒篩選設(shè)備，其特征在于，包括機(jī)座，晶粒輸送裝置，滾軸對(duì)，滾軸驅(qū)動(dòng)裝置，所述滾軸對(duì)包括第一滾軸和第二滾軸，所述第一滾軸和第二滾軸安裝在機(jī)座上且相隔有間隙，所述振動(dòng)盤導(dǎo)軌將所述振動(dòng)盤內(nèi)的半導(dǎo)體晶粒輸送到滾軸對(duì)的間隙上，所述第一滾軸和第二滾軸由滾軸驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)且相向同步轉(zhuǎn)動(dòng)，所述滾軸對(duì)的間隙大小在逐漸遠(yuǎn)離振動(dòng)盤的軸向方向上由小至大呈線性變化，所述滾軸對(duì)傾斜向下設(shè)置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體晶粒篩選設(shè)備，其特征在于所述機(jī)座上設(shè)有用于調(diào)整滾軸對(duì)間隙的間隙調(diào)節(jié)裝置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體晶粒篩選設(shè)備，其特征在于所述晶粒輸送裝置包括振動(dòng)盤和振動(dòng)盤導(dǎo)軌。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體晶粒篩選設(shè)備，其特征在于所述間隙調(diào)節(jié)裝置包括分別設(shè)置在滾軸對(duì)兩端的千分尺。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體晶粒篩選設(shè)備，其特征在于所述振動(dòng)盤導(dǎo)軌的末端設(shè)有導(dǎo)口，所述導(dǎo)口正對(duì)滾軸對(duì)的間隙。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體晶粒篩選設(shè)備，其特征在于所述第一滾軸或第二滾軸上設(shè)有滾軸槽。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體晶粒篩選設(shè)備，其特征在于所述滾軸對(duì)驅(qū)動(dòng)裝置包括電機(jī)，皮帶，第一從動(dòng)軸，第二從動(dòng)軸，電機(jī)輸出軸，所述皮帶套接在電機(jī)輸出軸上并帶動(dòng)第一從動(dòng)軸、第二從動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，所述第一從動(dòng)軸連接第一滾軸，所述第二從動(dòng)軸連接第二滾軸。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體晶粒篩選設(shè)備，其特征在于所述第一滾軸或第二滾軸的低端設(shè)有闊口部，所述闊口部的軸徑小于第一滾軸或第二滾軸的軸徑。
專利摘要本實(shí)用新型是一種半導(dǎo)體晶粒篩選設(shè)備，包括機(jī)座，晶粒輸送裝置，滾軸對(duì)，滾軸驅(qū)動(dòng)裝置，所述滾軸對(duì)包括第一滾軸和第二滾軸，所述第一滾軸和第二滾軸安裝在機(jī)座上且相隔有間隙，所述振動(dòng)盤導(dǎo)軌將所述振動(dòng)盤內(nèi)的半導(dǎo)體晶粒輸送到滾軸對(duì)的間隙上，所述第一滾軸和第二滾軸由滾軸驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)且相向同步轉(zhuǎn)動(dòng)，所述滾軸對(duì)的間隙大小在逐漸遠(yuǎn)離振動(dòng)盤的軸向方向上由小至大呈線性變化，所述滾軸對(duì)傾斜向下設(shè)置。本實(shí)用新型解決了現(xiàn)有技術(shù)上晶粒篩選的問題，與人工篩選相比，效率更高，且適合大規(guī)模化的生產(chǎn)。
文檔編號(hào)B07B1/14GK202877089SQ20122046618
公開日2013年4月17日 申請(qǐng)日期2012年9月14日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月14日
發(fā)明者朱明坤, 許兆風(fēng) 申請(qǐng)人:廣東富信電子科技有限公司