一種表壓壓力傳感器多通道并行自動檢測設(shè)備組的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種表壓壓力傳感器多通道并行自動檢測設(shè)備組，包括依次連接的電器柜、送料機構(gòu)、料管夾舉及進料計數(shù)機構(gòu)、進料分料機構(gòu)、測試機構(gòu)、出料分料機構(gòu)、出料機構(gòu)、收料機構(gòu)。本發(fā)明的上述機構(gòu)是一種多通道并行、完全自動化的設(shè)備組，每個單獨的機構(gòu)都具有動力源，能夠獨立的送料，本設(shè)備組能夠自動進行施壓，完成測試過程，達到完全自動化。
【專利說明】—種表壓壓力傳感器多通道并行自動檢測設(shè)備組
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種表壓壓力傳感器多通道并行自動檢測設(shè)備組，壓力傳感器檢測裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]1C測試是對集成電路的測試，主要是測試那些在制造過程中由于物理缺陷而引起的不符合要求的樣品。由于集成電路是根據(jù)使用的功能不同而編程的集成芯片，所以其形狀和結(jié)構(gòu)比較分散，很好有統(tǒng)一的規(guī)格。在對其進行1C測試時，需要將其放入料管進行封裝，以防止在測試過程中的損壞。
[0003]目前，普通1C測試分選裝備種類較多，針對于生產(chǎn)規(guī)模較小，對測試結(jié)果要求精細的工業(yè)生產(chǎn)，一般會選擇人工入料、自動測試、人工出料的測試分選裝置，這種裝置避免了集成電路芯片可能的損壞，保證高質(zhì)量完成測試。但是，這種方法的工作效率較低，通用性也較低。
[0004]對于生產(chǎn)規(guī)模較大的集成電路工業(yè)生產(chǎn)，實現(xiàn)自動化測試是一種必然的選擇。目前的自動化設(shè)備已經(jīng)完全可以達到自動進料與自動出料這一基本功能，但是測試的種類較少，一些測試過程只是一個純粹的電學測試，工作原理和測試過程相對來說比較簡單；在這種設(shè)備上進行改進后，例如增加施壓裝置，則可以進行壓力測試，但是整個壓力測試的送檢過程仍未手動入料，無專門施壓裝置。
[0005]從上述各類裝置可以看出，對于1C測試設(shè)備的工作效率，完全還有提高的空間，那么能夠?qū)⒄麄€入料、多種類測試與出料完全結(jié)合的全自動設(shè)備，將會是市場的主力產(chǎn)品。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明提供一種表壓壓力傳感器多通道并行自動檢測設(shè)備組，設(shè)備組的各個部件均能夠通過軌道進行待測芯片的傳輸，全自動化完成進料、分料、測試、出料與收料的全過程，工作效率高，測試精確。
[0007]本發(fā)明是通過以下的技術(shù)方案實現(xiàn)的:
[0008]一種表壓壓力傳感器多通道并行自動檢測設(shè)備組，包括依次連接的電器柜、送料機構(gòu)、料管夾舉及進料計數(shù)機構(gòu)、進料分料機構(gòu)、測試機構(gòu)、出料分料機構(gòu)、出料機構(gòu)、收料機構(gòu):
[0009]所述送料機構(gòu)包括一個送料平板，所述送料平板的一面上安裝連接有氣缸的滑動雙軌，其上具有一個可以沿滑動雙軌滑動的推板；所述送料平板的另一面安裝入料管道和推塊，所述入料管道和推塊均具有凹槽；
[0010]所述料管夾舉及進料計數(shù)機構(gòu)包括主軌道和軌道座，所述主軌道頭部連接可彎折的機械手和具有氣缸的光感推塊，所述光感推塊上安裝夾舉光感傳感器，所述主軌道上安裝光電傳感器；
[0011]所述進料分料機構(gòu)包括帶輪軌道，所述帶輪軌道由電機驅(qū)動，帶輪軌道上承載分料軌道，所述分料軌道連接分料氣缸，所述分料軌道具有多條分料軌道槽；
[0012]所述測試機構(gòu)具有若干個測試通道，每一個測試通道底部具有氣嘴，每一個氣嘴連接一個加壓氣缸，所述第一個測試通道的一側(cè)具有光電傳感器；
[0013]所述出料分料機構(gòu)包括同步帶輪軌道，所述同步帶輪軌道一端安裝電機，另一端安裝光電開關(guān)，所述同步帶輪軌道上安裝可滑動的出料分料滑動座；
[0014]所述出料機構(gòu)具有若干個出料軌道，每一條出料軌道具有軌道槽，在軌道槽的頭部具有光電傳感器，底部具有管夾；
[0015]所述收料機構(gòu)包括一個儲料盒，儲料盒連接一個支架，支架上安裝一個出料帶輪軌道，在儲料盒和出料帶輪軌道之間具有一個傳遞機械手。
[0016]所述送料機構(gòu)的滑動雙軌頭部具有限位塊。
[0017]所述料管夾舉及進料計數(shù)機構(gòu)的軌道座上安裝計數(shù)氣缸，軌道座底部安裝主軌道限位板。
[0018]所述測試機構(gòu)的氣嘴包括互相垂直的入氣管和流氣管，所述流氣管的頭部安裝一個橡膠管頭。這種氣嘴是三個零件組成，加壓簡便可以避免漏氣。
[0019]本發(fā)明的有益效果為:
[0020]1.從進料到出料完全達到全自動化，進一步提高了 1C檢測的工作效率。
[0021 ] 2.本設(shè)備組各個部件均具有自身的動力源，并通過軌道與機械手傳遞待測芯片，待測芯片承載在料管當中，保證了芯片的完整性和測試的準確性。
[0022]3.本發(fā)明壓力測試步驟中，能夠自身進行施壓，同時壓力穩(wěn)定，不會漏氣，達到智能分選，智能檢測的目的。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0023]圖1是本發(fā)明設(shè)備組的連接示意圖
[0024]圖2是送料機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖
[0025]101-氣缸，102-推板，103-連接±夾，104-滑動雙軌，105-滑±夾，106-限位塊，107-推塊，108-入料管道，109-送料平板
[0026]圖3是料管夾舉及進料計數(shù)機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖
[0027]201-機械手，202-夾舉光感傳感器，203-光感推塊，204-支撐架，205-推塊氣缸，206-主軌道，207-擋板，208-傳感器，209-軌道座，210-主軌道限位板，211-計數(shù)光電開關(guān)，212-氣缸安裝板
[0028]圖4是進料分料機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖
[0029]301-分料氣缸，302-軌道限位板，303-分料軌道座，304-分料軌道，305-帶輪軌道，307-同步帶輪組，308-電機，309-帶輪支架
[0030]圖5是測試機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖
[0031 ] 401-測試軌道計數(shù)機構(gòu)，402-光電傳感器，403-加壓氣缸，404-氣嘴，405-測試軌道
[0032]圖6是出料分料機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖
[0033]501-光電開關(guān)，503-出料分料滑動座，504-同步帶輪軌道，505-步進電機
[0034]圖7是出料機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖[0035]601-光電傳感器，602-出料軌道，603-軌道槽，604-軌道座，605-管夾
[0036]圖8是收料機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖
[0037]701-支架橫梁，702-支架臂，704-出料帶輪軌道，706-傳遞機械手，708-空料管推送機構(gòu)，709-儲料盒
[0038]圖9是測試機構(gòu)中氣嘴的結(jié)構(gòu)示意圖【具體實施方式】
[0039]以下結(jié)合附圖，對本發(fā)明做進一步說明。
[0040]如圖1，是本發(fā)明設(shè)備組的連接示意圖，是一種表壓壓力傳感器多通道并行自動檢測設(shè)備組，包括依次連接的電器柜、送料機構(gòu)、料管夾舉及進料計數(shù)機構(gòu)、進料分料機構(gòu)、測試機構(gòu)、出料分料機構(gòu)、出料機構(gòu)、收料機構(gòu)。
[0041]如圖2，是送料機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖，首相將集成電路芯片裝入料管中，料管進入了入料通道108的凹槽中，氣缸101首先開始運動，為送料機構(gòu)提供動力，推板102在滑塊105的帶動下，在滑動雙軌104上運動，與推板相連接的推塊107也隨之運動。當推塊運動到如料管道108正下方時，最下面的一根料管正好卡入推塊上的凹槽中，料管跟隨推塊運動到限位塊106的位置。
[0042]如圖3，是料管夾舉及進料計數(shù)機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖，推塊帶有料管傳送至本機構(gòu)中，推塊氣缸205向下運動，所連接的光感推塊203也向下旋轉(zhuǎn)，帶動機械手201向水平位直旋轉(zhuǎn)。機械手夾緊料管，夾舉光感傳感器202感應(yīng)后，推塊氣缸向上運動帶動機械手向上旋轉(zhuǎn)45°?55°，料管對準主軌道206。料管中的芯片在重力的作用下，沿著主軌道向下滑。傳感器208 —個檢測料管中是否有料，另一個檢測軌道中是否有料。若料管中沒料，推塊氣缸205開始運動，帶動機械手201轉(zhuǎn)到水平位置，送料機構(gòu)重復(fù)上述的動作送來新料管，舊料管被光感推塊推到收納盒中。機械手夾緊新料管后在推塊氣缸的帶動下向上旋轉(zhuǎn)。
[0043]如圖4，是進料分料機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖，當芯片料管從圖3中的主軌道滑到分料軌道304時，傳感器感應(yīng)到。電機308和分料氣缸301同時工作，電機帶動同步帶輪組307，使分料軌道304在帶輪軌道305上運動。在本步驟中，分料氣缸使芯片料管不再下滑，暫時處在分料軌道內(nèi)。等第一分料軌道與下一步驟的第一測試軌道對準時，分料氣缸工作，芯片料管由于重力的作用滑入第一測試軌道。此時，第二分料軌道與第二測試軌道對準，第二個芯片料管滑入第二測試軌道，傳感器感應(yīng)到，電機和分料氣缸重復(fù)上面的動作。最終每個測試軌道都有芯片料管滑入。當分料軌道回到最初位置，又開始循環(huán)前面的動作。
[0044]如圖5，是測試機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖，當芯片料管按照上述步驟下滑至測試軌道405時，光電傳感器402檢測到測試軌道里有料，此時電器柜8指示加壓氣缸403進行加壓，夾住芯片料管引腳。同時測試一個芯片前在測試軌道上有個擋塊，把上游的芯片擋住，不再下滑。這時，接氣機械手動作，把氣壓接到壓力傳感器。壓力傳感器開始測試，輸出電壓。
[0045]如圖9，是測試機構(gòu)中氣嘴的結(jié)構(gòu)示意圖，測試機構(gòu)的氣嘴包括互相垂直的入氣管901和流氣管902，流氣管902的頭部安裝一個橡膠管頭903。
[0046]如圖6，是出料分料機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖，上面步驟的測試完成后，芯片料管向下滑，傳感器感應(yīng)到。步進電機505開始工作，帶動出料分料滑動座503移動。出料分料滑動座503根據(jù)測出的電壓所在的檔位，將芯片料管送入不同的出料軌道中。[0047]如圖7，是出料機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖，芯片料管滑入出料軌道602中，光電傳感器601感應(yīng)到。傳感器可以檢測出料軌道中是否有料。
[0048]如圖8，是收料機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖，在上述步驟的光電傳感器601檢測后，傳遞機械手706夾住由空料管推送機構(gòu)送來的料管，將料管插入有料的管夾中。芯片滑入料管中，達到設(shè)定的數(shù)目時，傳遞機械手706將料管夾出管夾，放入儲料盒709中。從而完成測試。
【權(quán)利要求】
1.一種表壓壓力傳感器多通道并行自動檢測設(shè)備組，其特征在于包括依次連接的電器柜、送料機構(gòu)、料管夾舉及進料計數(shù)機構(gòu)、進料分料機構(gòu)、測試機構(gòu)、出料分料機構(gòu)、出料機構(gòu)、收料機構(gòu):所述送料機構(gòu)包括一個送料平板，所述送料平板的一面上安裝連接有氣缸的滑動雙軌，其上具有一個可以沿滑動雙軌滑動的推板；所述送料平板的另一面安裝入料管道和推塊，所述入料管道和推塊均具有凹槽；所述料管夾舉及進料計數(shù)機構(gòu)包括主軌道和軌道座，所述主軌道頭部連接可彎折的機械手和具有氣缸的光感推塊，所述光感推塊上安裝夾舉光感傳感器，所述主軌道上安裝光電傳感器；所述進料分料機構(gòu)包括帶輪軌道，所述帶輪軌道由電機驅(qū)動，帶輪軌道上承載分料軌道，所述分料軌道連接分料氣缸，所述分料軌道具有多條分料軌道槽；所述測試機構(gòu)具有若干個測試通道，每一個測試通道底部具有氣嘴，每一個氣嘴連接一個加壓氣缸，所述第一個測試通道的一側(cè)具有光電傳感器；所述出料分料機構(gòu)包括同步帶輪軌道，所述同步帶輪軌道一端安裝電機，另一端安裝光電開關(guān)，所述同步帶輪軌道上安裝可滑動的出料分料滑動座；所述出料機構(gòu)具有若干個出料軌道，每一條出料軌道具有軌道槽，在軌道槽的頭部具有光電傳感器，底部具有管夾；所述收料機構(gòu)包括一個儲料盒，儲料盒連接一個支架，支架上安裝一個出料帶輪軌道，在儲料盒和出料帶輪軌道之間具有一個傳遞機械手。
2.如權(quán)利要求1所述的表壓壓力傳感器多通道并行自動檢測設(shè)備組，其特征在于所述送料機構(gòu)的滑動雙軌頭部具有限位塊。
3.如權(quán)利要求1所述的表壓壓力傳感器多通道并行自動檢測設(shè)備組，其特征在于所述料管夾舉及進料計數(shù)機構(gòu)的軌道座上安裝計數(shù)氣缸，軌道座底部安裝主軌道限位板。
4.如權(quán)利要求1所述的表壓壓力傳感器多通道并行自動檢測設(shè)備組，其特征在于所述測試機構(gòu)的氣嘴包括互相垂直的入氣管和流氣管，所述流氣管的頭部安裝一個橡膠管頭。
【文檔編號】B07C5/02GK103624011SQ201310151110
【公開日】2014年3月12日 申請日期:2013年4月27日 優(yōu)先權(quán)日:2013年4月27日
【發(fā)明者】劉吉柱, 陳立國, 王陽俊, 潘明強, 陳濤 申請人:蘇州迪納精密設(shè)備有限公司