用于測(cè)試分選機(jī)的拾取與放置裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了用于測(cè)試分選機(jī)的拾取與放置裝置。該裝置包括主體；X軸向?qū)к?；設(shè)置在X軸方向上的拾取器模塊，每個(gè)拾取器模塊具有在Y軸方向上彼此間隔開的拾取器；調(diào)節(jié)拾取器模塊之間的距離的X軸向距離調(diào)節(jié)設(shè)備；以及調(diào)節(jié)設(shè)置在每個(gè)拾取器模塊中位于Y軸方向上的拾取器之間的距離的Y軸向距離調(diào)節(jié)設(shè)備。每個(gè)拾取器模塊包括能夠沿X軸向?qū)к壱苿?dòng)的第一導(dǎo)引件；設(shè)置在第一導(dǎo)引件處的Y軸向?qū)к?；以及能夠沿Y軸向?qū)к壱苿?dòng)并連接至Y軸向距離調(diào)節(jié)設(shè)備的Y軸向移動(dòng)導(dǎo)引件的第二導(dǎo)引件，以使得Y軸向移動(dòng)導(dǎo)引件可與第二導(dǎo)引件一起移動(dòng)。
【專利說明】用于測(cè)試分選機(jī)的拾取與放置裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及用于測(cè)試分選機(jī)的拾取與放置裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]為了測(cè)試電子器件(特別是半導(dǎo)體器件)，需要一種用于測(cè)試電子零件的測(cè)試器和包括用于電連接電子器件至該測(cè)試器的設(shè)備的測(cè)試分選機(jī)。
[0003]測(cè)試分選機(jī)包括測(cè)試托盤，其上裝載有矩陣形式的多個(gè)半導(dǎo)體器件并同時(shí)傳送所有這些半導(dǎo)體器件。
[0004]在半導(dǎo)體器件裝載到測(cè)試托盤(也被稱為“承載板”)上之后，半導(dǎo)體器件電連接至測(cè)試器的測(cè)試插座。因此，裝載在測(cè)試托盤上的半導(dǎo)體器件之間的距離必須對(duì)應(yīng)于測(cè)試器的測(cè)試插座之間的距離。
[0005]另一方面，在提供給測(cè)試分選機(jī)之前，待測(cè)試的半導(dǎo)體器件被裝載在用戶托盤上。用戶托盤的預(yù)期目的是裝載和存儲(chǔ)半導(dǎo)體器件。因此，為了增大用戶托盤的裝載能力，裝載在用戶托盤上的半導(dǎo)體器件之間的距離可小于裝載在測(cè)試托盤上的半導(dǎo)體器件之間的距離。
[0006]測(cè)試分選機(jī)設(shè)有拾取與放置裝置，其將待測(cè)試的半導(dǎo)體器件從用戶托盤傳輸至測(cè)試托盤，或?qū)⒁言跍y(cè)試托盤上測(cè)試的半導(dǎo)體器件傳輸至用戶托盤。另外，因?yàn)檠b載在用戶托盤上的半導(dǎo)體器件之間的距離不同于裝載在測(cè)試托盤上的半導(dǎo)體器件之間的距離，所以測(cè)試分選機(jī)必須設(shè)有當(dāng)在用戶托盤與測(cè)試托盤之間傳輸半導(dǎo)體器件時(shí)可調(diào)節(jié)半導(dǎo)體器件之間的距離的結(jié)構(gòu)。
[0007]圖1是示出根據(jù)傳統(tǒng)技術(shù)的測(cè)試分選機(jī)的結(jié)構(gòu)的示意性平面圖。
[0008]參照?qǐng)D1，根據(jù)傳統(tǒng)技術(shù)的測(cè)試分選機(jī)TH包括測(cè)試托盤TT、裝載拾取與放置裝置LH、兩個(gè)分類臺(tái)STa和STb、分類拾取與放置裝置SH、以及卸載拾取與放置裝置UH。
[0009]測(cè)試托盤TT在循環(huán)路徑C中循環(huán)，該循環(huán)路徑C始于裝載位置LP并經(jīng)過測(cè)試位置TP和卸載位置UP延伸至裝載位置LP。
[0010]裝載拾取與放置裝置LH (也被稱為裝載器)用于將已裝載在用戶托盤CTl上的半導(dǎo)體器件裝載至設(shè)置在裝載位置LP處的承載板CB。為了增大處理速度，可設(shè)有多個(gè)裝載拾取與放置裝置LH。在附圖中，示出了設(shè)有兩個(gè)裝載拾取與放置裝置LH。
[0011]每個(gè)分類臺(tái)STa和STb可相對(duì)于前向-后向方向(Y軸方向，其他與上述相同)進(jìn)行步驟往復(fù)操作，并以矩陣形式將多個(gè)半導(dǎo)體器件裝載在其上。
[0012]被稱為分類機(jī)的分類拾取與放置裝置SH將半導(dǎo)體器件傳輸?shù)椒诸惻_(tái)STa和STb上，其中該半導(dǎo)體器件已在卸載位置UP處裝載在測(cè)試托盤TT上并已被測(cè)試。分類拾取與放置裝置SH通常配置成僅能夠在X軸方向上移動(dòng)，以使得其可減小重量以提高其移動(dòng)性或可防止與卸載拾取與放置裝置UH的操作干涉。為了更有效地實(shí)現(xiàn)上述目的，分類臺(tái)STa和STb可配置成可相對(duì)于前向-后向方向進(jìn)行步驟往復(fù)操作。
[0013]卸載拾取與放置裝置UH也被稱為卸載機(jī)，并且用于將已裝載在分類臺(tái)STa和STb上的半導(dǎo)體器件傳送至具體的用戶托盤CT2。
[0014]在上述測(cè)試分選機(jī)TH中，為了保證卸載操作的速度，卸載側(cè)部分被再分成分類拾取與放置裝置SH、分類臺(tái)STa和STb以及卸載拾取與放置裝置UH。卸載側(cè)部分的元件可更快速地通過分工進(jìn)行卸載操作。
[0015]另一方面，裝載在測(cè)試托盤上的半導(dǎo)體器件之間的間隔由測(cè)試器的測(cè)試插座之間的距離確定。例如，如圖2所示,半導(dǎo)體器件可以a, b, a, b, a, b...(b>a)的圖案的恒定的X軸向間隔t和Y軸向間隔設(shè)置在測(cè)試托盤TT上。另一方面，如圖3所示，半導(dǎo)體器件可以恒定的X軸向間隔s (s〈t)和恒定的Y軸向間隔u (2u=a)設(shè)置在分類臺(tái)STa或STb上。
[0016]因此，因?yàn)檠b載在測(cè)試托盤TT上的半導(dǎo)體器件的間隔不同于位于分類臺(tái)STa或STb上的半導(dǎo)體器件的間隔，所以優(yōu)選的是將半導(dǎo)體器件從測(cè)試托盤TT傳輸至分類臺(tái)STa或STb的分類拾取與放置裝置SH配置成使得拾取器之間的距離(每個(gè)拾取器可抓取一個(gè)半導(dǎo)體器件)可相對(duì)于X軸方向和Y軸方向進(jìn)行調(diào)節(jié)。
[0017]關(guān)于此，在第10-2010-0079945號(hào)韓國(guó)待審專利公開(專利文件I)中提出了配置成可在X軸方向和Y軸方向上調(diào)節(jié)拾取器之間的距離的拾取與放置裝置。
[0018]在專利文件I中介紹的拾取與放置裝置使用凸輪板在X軸方向和Y軸方向上移動(dòng)拾取器。在這種情況下，存在裝置的整體尺寸增大并且裝置的機(jī)械構(gòu)造復(fù)雜的問題。
[0019]此外，因?yàn)椴荒軉为?dú)控制X軸向移動(dòng)和Y軸向移動(dòng)，所以難以將該裝置使用在各種情況中。
[0020]另一方面，在第10-2011-0059086號(hào)韓國(guó)待審專利公開(專利文件2)中提出了配置成可在X軸方向和Y軸方向上調(diào)節(jié)拾取器之間的距離的另一拾取與放置裝置。
[0021]在專利文件2中介紹的拾取與放置裝置可單獨(dú)控制拾取器的X軸向移動(dòng)和Y軸向移動(dòng)。然而，因?yàn)橐惨耘c專利文件I相同的方式使用凸輪板，所以仍然存在裝置的整體尺寸相對(duì)較大和機(jī)械構(gòu)造復(fù)雜的問題。
[0022]此外，雖然可單獨(dú)控制拾取器的X軸向移動(dòng)和Y軸向移動(dòng)，但位移不可調(diào)節(jié)。因此，專利文件2的拾取與放置裝置以與專利文件I的拾取與放置裝置相同的方式不可使用在各種情況中。
[0023][現(xiàn)有技術(shù)文件]
[0024][專利文件]
[0025](專利文件I)--第10-2010-0079945號(hào)韓國(guó)待審專利公開(
【公開日】:2010年7月8
曰)
[0026](專利文件2):第10-2011-0059086號(hào)韓國(guó)待審專利公開(
【公開日】:2011年6月2
曰)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0027]因此，本發(fā)明的一個(gè)目的在于提供一種用于測(cè)試分選機(jī)并具有較小尺寸和簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)的拾取與放置裝置。
[0028]本發(fā)明的另一目的在于提供一種用于測(cè)試分選機(jī)的拾取與放置裝置，其配置成不但可調(diào)節(jié)拾取器之間的X軸向距離和Y軸向距離，并且可調(diào)節(jié)拾取器的X軸向位移和Y軸向位移。[0029]根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，提供了一種用于測(cè)試分選機(jī)的拾取與放置裝置，其將半導(dǎo)體器件從第一位置提供至第二位置，設(shè)有設(shè)置在X軸方向上的多個(gè)拾取器模塊并包括:主體；設(shè)置在主體處的X軸向?qū)к墸辉O(shè)置在主體處并設(shè)置在X軸方向上的多個(gè)拾取器模塊，每個(gè)拾取器模塊包括相對(duì)于Y軸方向彼此間隔開的多個(gè)拾取器；調(diào)節(jié)該多個(gè)拾取器模塊之間的距離的X軸向距離調(diào)節(jié)設(shè)備；調(diào)節(jié)設(shè)置在每個(gè)所述拾取器模塊中并位于Y軸方向上的所述拾取器之間的距離的Y軸向距離調(diào)節(jié)設(shè)備，其中每個(gè)拾取器模塊包括設(shè)置成能夠沿所述X軸向?qū)к壱苿?dòng)的第一導(dǎo)引件；設(shè)置在第一導(dǎo)引件處并在Y軸方向上延伸預(yù)定長(zhǎng)度的Y軸向?qū)к?；設(shè)置成能夠沿所述Y軸向?qū)к壱苿?dòng)的第二導(dǎo)引件，其連接至所述Y軸向距離調(diào)節(jié)設(shè)備的Y軸向移動(dòng)導(dǎo)引件，以使得所述Y軸向移動(dòng)導(dǎo)引件可與所述第二導(dǎo)引件一起移動(dòng)。
[0030]Y軸向移動(dòng)導(dǎo)引件處可設(shè)有輔助導(dǎo)軌，該輔助導(dǎo)軌在X軸方向上延伸，并且第二導(dǎo)引件上可設(shè)有輔助導(dǎo)軌連接件，該輔助導(dǎo)軌連接件連接至輔助導(dǎo)軌。
[0031]X軸向距離調(diào)節(jié)設(shè)備可包括:從第一馬達(dá)接收能量的至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)輪；連接至至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)輪的至少一個(gè)帶；以及通過至少一個(gè)帶與驅(qū)動(dòng)輪互鎖的至少一個(gè)從動(dòng)輪。Y軸向距離調(diào)節(jié)設(shè)備可包括:通過從第二馬達(dá)傳輸?shù)墓β市D(zhuǎn)并在Y軸方向上延伸的滾珠絲杠；聯(lián)接至滾珠絲杠并在Y軸方向上進(jìn)行移動(dòng)的滾珠螺母。Y軸向移動(dòng)導(dǎo)引件可聯(lián)接至滾珠螺母。Y軸向移動(dòng)導(dǎo)引件可與滾珠螺母一起在Y軸方向上移動(dòng)。所有拾取器模塊或除拾取器模塊中任一個(gè)之外的剩余拾取器模塊可分別連接至至少一個(gè)帶中對(duì)應(yīng)的一個(gè)帶并與X軸向?qū)к壴赬軸方向上一起移動(dòng)。設(shè)置在每個(gè)拾取器模塊中拾取器中至少之一可連接至Y軸向移動(dòng)導(dǎo)引件并與滾珠螺母在Y軸方向上一起移動(dòng)。
[0032]驅(qū)動(dòng)輪可包括多個(gè)驅(qū)動(dòng)動(dòng)輪，并且該多個(gè)驅(qū)動(dòng)輪可具有彼此不同的直徑。
[0033]不連接至帶的拾取器模塊可緊固至主體。
[0034]驅(qū)動(dòng)輪可包括兩個(gè)驅(qū)動(dòng)輪，帶可包括兩個(gè)帶，并且從動(dòng)輪可包括兩個(gè)從動(dòng)輪。兩個(gè)驅(qū)動(dòng)輪的直徑的比率可以是1:2。拾取器模塊可包括:緊固至主體并被防止在X軸方向上移動(dòng)的第二拾取器模塊；第一拾取器模塊，設(shè)置在所述第二拾取器模塊的一側(cè)并連接至連接有具有較小直徑的驅(qū)動(dòng)輪的帶的一側(cè)；第三拾取器模塊，設(shè)置在第二拾取器模塊的另一側(cè)并連接至連接有具有較小直徑的驅(qū)動(dòng)輪的帶的另一側(cè)；第四拾取器模塊，設(shè)置在第二拾取器模塊的另一側(cè)并連接至連接有具有較大直徑的驅(qū)動(dòng)輪的帶的一側(cè)；
[0035]如上所述，本發(fā)明可提供用于測(cè)試分選機(jī)的拾取與放置裝置，其具有較小且簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)并配置成可調(diào)節(jié)拾取器之間的X軸向距離和Y軸向距離。
[0036]此外，在本發(fā)明中，可容易地調(diào)節(jié)拾取器的X軸向位移和Y軸向位移，因此使該拾取與放置裝置可用于各種工作。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0037]通過結(jié)合附圖參照優(yōu)選實(shí)施方式的以下描述，本發(fā)明的以上及其他目的和特征將是顯而易見的，在附圖中:
[0038]圖1是示出根據(jù)傳統(tǒng)技術(shù)的測(cè)試分選機(jī)的構(gòu)造的平面示意圖；
[0039]圖2和圖3是示出圖1的測(cè)試分選機(jī)的操作的參考圖；
[0040]圖4是示出根據(jù)本發(fā)明的測(cè)試分選機(jī)的拾取與放置裝置的立體圖；[0041]圖5是已經(jīng)移除馬達(dá)和側(cè)壁的圖4的拾取與放置裝置的立體圖；
[0042]圖6是圖4的拾取與放置裝置的主體的立體圖；
[0043]圖7是圖6的拾取與放置裝置的主體的仰視立體圖；
[0044]圖8示出了連接至導(dǎo)軌的圖4的拾取器模塊；
[0045]圖9是圖8的分解立體圖；
[0046]圖10是圖9的第一拾取器模塊的分解立體圖；
[0047]圖11是圖9的Y軸向距離調(diào)節(jié)設(shè)備的分解立體圖；
[0048]圖12示出了圖4的拾取與放置裝置的X軸向距離調(diào)節(jié)操作；以及
[0049]圖13和圖14示出了圖4的拾取與放置裝置的Y軸向距離調(diào)節(jié)操作。
【具體實(shí)施方式】
[0050]下文中，將參照附圖詳細(xì)描述本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，以使其可由本領(lǐng)域技術(shù)人員容易地實(shí)施。
[0051]如果在說明書中已知功能或配置的詳細(xì)描述不必要地模糊本發(fā)明的主旨，則將省略該詳細(xì)描述。
[0052]圖4是根據(jù)本發(fā)明的測(cè)試分選機(jī)的拾取與放置裝置10的立體圖。圖5是已經(jīng)移除馬達(dá)和側(cè)面的圖4的拾取與放置裝置10的立體圖。圖6是圖4的拾取與放置裝置10的主體100的立體圖。圖7是圖6的主體100的仰視立體圖。
[0053]參照?qǐng)D4至圖7，根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的測(cè)試分選機(jī)的拾取與放置裝置10包括多個(gè)拾取器模塊PM，該多個(gè)拾取器模塊PM設(shè)置在X軸方向上且設(shè)置成彼此平行。拾取器模塊將半導(dǎo)體器件保持在第一位置處，將半導(dǎo)體器件傳輸至第二位置，以及在第二位置釋放這些半導(dǎo)體器件。詳細(xì)地，拾取與放置裝置10包括主體100、拾取器模塊PM、X軸向距離調(diào)節(jié)設(shè)備200、以及Y軸向距離調(diào)節(jié)設(shè)備300。拾取器模塊PM設(shè)置在主體100處以便能夠在X軸方向上移動(dòng)，并且拾取器模塊PM具有多個(gè)拾取器Pl至P8。X軸向距離調(diào)節(jié)設(shè)備200調(diào)節(jié)拾取器模塊PM之間的距離。Y軸向距離調(diào)節(jié)設(shè)備300調(diào)節(jié)分別設(shè)置在拾取器模塊600、700、800和900中的多個(gè)拾取器之間的距離。
[0054]拾取與放置裝置10安裝在測(cè)試分選機(jī)(未示出)中。根據(jù)使用目的，拾取與放置裝置10設(shè)置成可在預(yù)定方向上移動(dòng)。如附圖所示，拾取與放置裝置10可配置成僅具有一個(gè)主體100，或者可替代地，其可以配置成多個(gè)主體100彼此集成并一起移動(dòng)。
[0055]主體100包括基部110、第一側(cè)壁120和第二側(cè)壁130、前板140、以及X軸向?qū)к?12和114。第一側(cè)壁120和第二側(cè)壁130安裝在基部110上。前板140安裝在基部110的前端和第一側(cè)壁120及第二側(cè)壁130的前端上。X軸向?qū)к?12和114安裝在基部110上以引導(dǎo)拾取器模塊PM的移動(dòng)。
[0056]基部110為中央部分具有孔116的板。X軸向?qū)к?12和114安裝在基部110的下表面下方并在X軸方向上延伸預(yù)定長(zhǎng)度。在本發(fā)明中，基部110設(shè)有至少一個(gè)X軸向?qū)к?12或114。在該實(shí)施方式中，雖然兩個(gè)X軸向?qū)к壥緸樵O(shè)置成彼此平行并設(shè)置位于基部110相對(duì)側(cè)的以預(yù)定距離彼此隔開的位置處，但是本發(fā)明的精神并不限于此。
[0057]基部110具有拾取器模塊緊固部115，其位于X軸向?qū)к?12和114周圍，并且第二拾取器模塊700通過拾取器模塊緊固部115緊固至基部110。[0058]拾取器模塊PM中的一些拾取器模塊600、800及900設(shè)置成能夠沿主體100的X軸向?qū)к?12和114在X軸方向上移動(dòng)，而另一拾取器模塊700牢固地緊固至主體100。例如，第二拾取器模塊700可緊固至基部110。但是，該結(jié)構(gòu)僅是示例性的，所有拾取器模塊PM都可設(shè)置成能夠在X軸方向上移動(dòng)。
[0059]此外，在該實(shí)施方式中，雖然四個(gè)拾取器模塊600，700,800和900被示為安裝在主體100中，但是本發(fā)明并不限于該實(shí)施方式。這里，沿X軸方向，拾取器模塊分別被稱為第一拾取器模塊600，第二拾取器模塊700，第三拾取器模塊800以及第四拾取器模塊900。
[0060]這些拾取器模塊PM分別包括一對(duì)拾取器Pl和P5、一對(duì)拾取器P2和P6、一對(duì)拾取器P3和P7、以及一對(duì)拾取器P4和P8。通過Y軸向距離調(diào)節(jié)設(shè)備300可調(diào)節(jié)每對(duì)拾取器之間的距離。詳細(xì)地，第一拾取器Pl和第五拾取器P5連接至第一拾取器模塊600。第二拾取器P2和第六拾取器P6連接至第二拾取器模塊700。第三拾取器P3和第七拾取器P7連接至第三拾取器模塊800。第四拾取器P4和第八拾取器P8連接至第四拾取器模塊900。拾取器P1、P2、P3、P4與拾取器P5、P6、P7、P8之間的距離可通過Y軸向距離調(diào)節(jié)設(shè)備300進(jìn)行調(diào)節(jié)，其中，拾取器P1、P2、P3、P4設(shè)置在第一拾取器Pl的一側(cè)，拾取器P5、P6、P7、P8設(shè)置在第五拾取器P5的一側(cè)。
[0061]在該實(shí)施方式中，雖然拾取與放置裝置已示為配置成使得相對(duì)于Y軸方向彼此間隔開的兩個(gè)拾取器安裝在拾取器模塊PM中，但本發(fā)明的精神并不限于該實(shí)施方式。例如，可設(shè)置三個(gè)或更多個(gè)拾取器。
[0062]通過與外部功率源(未示出)相連，拾取器Pl至P8使用吸力來保持半導(dǎo)體器件或排氣以釋放半導(dǎo)體器件。例如，每個(gè)拾取器的上端連接至功率源。在該實(shí)施方式中，雖然拾取與放置裝置10已示為通過每個(gè)拾取器模塊中安裝有兩個(gè)拾取器的方式來設(shè)有總共八個(gè)拾取器，但是安裝在每個(gè)拾取器模塊中的拾取器的數(shù)目或總數(shù)可以進(jìn)行多種改變。本發(fā)明的精神不應(yīng)由拾取器的數(shù)目所限制。
[0063]X軸向距離調(diào)節(jié)設(shè)備200包括產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)力的第一馬達(dá)Ml、連接至第一馬達(dá)Ml的第一驅(qū)動(dòng)輪211、通過第一帶BI從第一驅(qū)動(dòng)輪211接收能量的第一從動(dòng)輪212、以及連接至第一從動(dòng)輪212的第一軸SI。X軸向距離調(diào)節(jié)設(shè)備200還包括聯(lián)接至第一軸SI并通過第一軸SI旋轉(zhuǎn)的第二驅(qū)動(dòng)輪213和第三驅(qū)動(dòng)輪214、通過第二帶B2從第二驅(qū)動(dòng)輪213接收能量的第二從動(dòng)輪215、通過第三帶B3從第三驅(qū)動(dòng)輪214接收能量的第三從動(dòng)輪216、以及聯(lián)接至第二從動(dòng)輪215和第三從動(dòng)輪216的第二軸S2。
[0064]第一馬達(dá)Ml通過第一支承架122緊固至主體100。詳細(xì)地，第一支承架122聯(lián)接至第一側(cè)壁120的大體中央部分，以使得第一馬達(dá)Ml設(shè)置在主體100之上。
[0065]第一馬達(dá)Ml提供能量以調(diào)節(jié)拾取器模塊PM之間的距離。為此，第一馬達(dá)Ml使用第一驅(qū)動(dòng)輪211、第一帶BI和第一從動(dòng)輪212來旋轉(zhuǎn)第一軸SI。第一驅(qū)動(dòng)輪211、第一帶BI和第一從動(dòng)輪212設(shè)置在主體100的外側(cè)。
[0066]第二驅(qū)動(dòng)輪213和第三驅(qū)動(dòng)輪214通過第一軸SI的旋轉(zhuǎn)而一起旋轉(zhuǎn)。第二驅(qū)動(dòng)輪213和第三驅(qū)動(dòng)輪214具有不同的直徑。例如，第二驅(qū)動(dòng)輪213的直徑可以是第三驅(qū)動(dòng)輪214的直徑的兩倍。因此，通過第二驅(qū)動(dòng)輪213和第三驅(qū)動(dòng)輪214的旋轉(zhuǎn)而改變的拾取器模塊PM之間距離可彼此相等。
[0067]第二從動(dòng)輪215和第三從動(dòng)輪216與對(duì)應(yīng)的第二驅(qū)動(dòng)輪213和第三驅(qū)動(dòng)輪214具有相同的直徑，因此第二帶B2和第三帶B3的懸在輪之間的部分可平行于基部110(更詳細(xì)地，導(dǎo)軌112和114)進(jìn)行移動(dòng)。
[0068]當(dāng)旋轉(zhuǎn)第二驅(qū)動(dòng)輪213和第三驅(qū)動(dòng)輪214時(shí)，第二帶B2和第三帶B3通過第二驅(qū)動(dòng)輪213和第三驅(qū)動(dòng)輪214在第二驅(qū)動(dòng)輪213和第三驅(qū)動(dòng)輪214旋轉(zhuǎn)的方向上移動(dòng)。從而，聯(lián)接至第二帶B2和第三帶B3的帶連接件650、850和950可在X軸方向上與第二 B2和第三帶B3 —起移動(dòng)。第一拾取器模塊600的帶連接件650和第三拾取器模塊800的帶連接件850連接至第三帶B3，并與第三帶B3 —起移動(dòng)。第四拾取器模塊900的帶連接件950連接至第二帶B2，并與第二帶B2 —起移動(dòng)。下文將參照附圖描述相關(guān)細(xì)節(jié)。
[0069]第一軸SI穿過第一側(cè)壁120并延伸到主體100的內(nèi)部空間中。第二驅(qū)動(dòng)輪213、第三驅(qū)動(dòng)輪214、第二帶B2、第三帶B3、第二從動(dòng)輪215及第三從動(dòng)輪216設(shè)置在主體100的內(nèi)部空間中，也就是設(shè)置在第一側(cè)壁120與第二側(cè)壁130之間的空間中。軸承217和218分別設(shè)置在第一軸SI上和第二軸S2上，以使第一軸SI和第二軸S2通過軸承217和218可旋轉(zhuǎn)地聯(lián)接至第一側(cè)壁120和第二側(cè)壁130。
[0070]雖然該實(shí)施方式示為配置成使第二驅(qū)動(dòng)輪213和第三驅(qū)動(dòng)輪214獨(dú)立地聯(lián)接至第一軸SI，并且第二從動(dòng)輪215和第三從動(dòng)輪216獨(dú)立地聯(lián)接至第二軸S2，但本發(fā)明的精神并不限于這種結(jié)構(gòu)。例如，第二驅(qū)動(dòng)輪213和第三驅(qū)動(dòng)輪214可設(shè)置成彼此集成以具有單輪結(jié)構(gòu)，該單輪結(jié)構(gòu)具有兩個(gè)帶座?？商娲?，第二驅(qū)動(dòng)輪213和第三驅(qū)動(dòng)輪214可具有不同的旋轉(zhuǎn)軸，該不同的旋轉(zhuǎn)軸通過功率傳輸部件(如齒輪等)彼此互連并因此同時(shí)旋轉(zhuǎn)。
[0071]Y軸向距離調(diào)節(jié)設(shè)備300包括產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)力的第二馬達(dá)M2、連接至第二馬達(dá)M2的第四驅(qū)動(dòng)輪311、以及通過第四帶B4從第四驅(qū)動(dòng)輪311接收能量的第四從動(dòng)輪312。該Y軸向距離調(diào)節(jié)設(shè)備300還包括連接至第四從動(dòng)輪312的滾珠絲杠320、設(shè)置在滾珠絲杠320周圍并通過滾珠絲杠320移動(dòng)的滾珠螺母330、以及在主體100上支承滾珠絲杠320的滾珠絲杠支承件340。另外，該Y軸向距離調(diào)節(jié)設(shè)備300還包括聯(lián)接至滾珠螺母330并與滾珠螺母300 —起移動(dòng)的托架350、連接至托架350的Y軸向移動(dòng)導(dǎo)引件360、以及連接至Y軸向移動(dòng)導(dǎo)引件360的輔助導(dǎo)軌370。
[0072]通過與第一馬達(dá)Ml相同的方式，將第二馬達(dá)M2通過第二支承架124緊固至第一側(cè)壁120。第二馬達(dá)M2設(shè)置成平行于第一馬達(dá)Ml。
[0073]第二馬達(dá)M2提供能量以調(diào)節(jié)拾取器之間的Y軸向距離。第二馬達(dá)M2利用第四驅(qū)動(dòng)輪311、第四帶B4以及第四從動(dòng)輪312使?jié)L珠絲杠320旋轉(zhuǎn)。第四驅(qū)動(dòng)輪311、第四帶B4以及第四從動(dòng)輪312設(shè)置在主體100的外側(cè)。
[0074]滾珠絲杠320和滾珠螺母330將第四從動(dòng)輪312的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為線性運(yùn)動(dòng)。滾珠絲杠320在Y軸方向上延伸預(yù)定長(zhǎng)度，以使Y軸向移動(dòng)導(dǎo)引件360可在Y軸方向上移動(dòng)。
[0075]在該實(shí)施方式中，雖然滾珠絲杠支承件340示為聯(lián)接至基部110以支承滾珠絲杠320，但是本發(fā)明的精神并不限于這種結(jié)構(gòu)。例如，滾珠絲杠支承件340可緊固至前板140。
[0076]Y軸向移動(dòng)導(dǎo)引件360通過滾珠螺母330的移動(dòng)而線性地移動(dòng)，其中通過滾珠絲杠320的旋轉(zhuǎn)導(dǎo)致了滾珠螺母330的移動(dòng)。Y軸向移動(dòng)導(dǎo)引件360聯(lián)接至拾取器模塊PM的第二導(dǎo)引件620。通過Y軸向移動(dòng)導(dǎo)引件360，第二導(dǎo)引件620在Y軸方向上移動(dòng)，以便可以調(diào)節(jié)拾取器之間的Y軸向距離。下文將參照附圖描述相關(guān)細(xì)節(jié)。
[0077]圖8示出了連接至導(dǎo)軌112和114的圖4的拾取器模塊PM。圖9是圖8的分解立體圖。圖10是圖9的拾取器模塊600的分解立體圖。圖11是圖9的Y軸向距離調(diào)節(jié)設(shè)備的分解立體圖。
[0078]參照?qǐng)D8至圖11，拾取器模塊PM裝配在安裝在基部110上的X軸向?qū)к?12和114之上。為了便于解釋，圖8示出了在基部110之上設(shè)置的結(jié)構(gòu)及基部110已被移除的圖4的拾取與放置裝置。
[0079]第一拾取器模塊600、第三拾取器模塊800和第四拾取器模塊900可移動(dòng)地連接至X軸向?qū)к?12和114。第二拾取器模塊700也連接至X軸向?qū)к?12和114但是固定至基部110，因此其不能在X軸方向上移動(dòng)。
[0080]第一拾取器模塊600包括在Y軸方向上延伸并在X軸方向上沿X軸向?qū)к?12和114移動(dòng)的第一導(dǎo)引件610、將第一導(dǎo)引件610連接至X軸向?qū)к?12和114的一對(duì)X軸向?qū)к夁B接件612和614、固定至第一導(dǎo)引件610并設(shè)有第一拾取器Pl的第一臂642、以及安裝在第一導(dǎo)引件610上并在Y軸方向上延伸的Y軸向?qū)к?30。第一拾取器模塊600還包括設(shè)置成能夠在Y軸方向上沿Y軸向?qū)к?30移動(dòng)的第二導(dǎo)引件620、固定至第二導(dǎo)引件620并設(shè)有第五拾取器P5的第二臂644、將第二導(dǎo)引件620連接至Y軸向?qū)к?30的Y軸向?qū)к夁B接件622、以及將第二導(dǎo)引件620連接至輔助導(dǎo)軌370的輔助導(dǎo)軌連接件624。
[0081]第一導(dǎo)引件610的一端向下彎曲并向下延伸。第一臂642聯(lián)接至第一導(dǎo)引件610的向下延伸的部分。第一臂642和第二臂644設(shè)置成彼此面對(duì)。第一臂642和第二臂644分別將第一拾取器Pl和第五拾取器P5接納在其內(nèi)部。
[0082]X軸向?qū)к夁B接件612和614聯(lián)接至第一導(dǎo)引件610，并且根據(jù)需要其可與第一導(dǎo)引件610—體地設(shè)置。X軸向?qū)к夁B接件612和614用于導(dǎo)引第一導(dǎo)引件610的X軸向移動(dòng)并使第一導(dǎo)引件610可以從X軸向?qū)к?12和114懸置。為此，彼此對(duì)應(yīng)的凸起和凹槽分別形成在X軸向?qū)к?12、114與X軸向?qū)к夁B接件612、614中。以這種方法，第一導(dǎo)引件610通過X軸向?qū)к夁B接件612、614可移動(dòng)地安裝在主體100上。從而，第一拾取器模塊600可連接至主體100。
[0083]Y軸向?qū)к?30聯(lián)接至第一導(dǎo)引件610的下表面并導(dǎo)引第二導(dǎo)引件620的Y軸向移動(dòng)?？紤]到Y(jié)軸向距離的調(diào)節(jié)，Y軸向?qū)к?30具有適當(dāng)?shù)拈L(zhǎng)度，并且Y軸向?qū)к?30朝向第一導(dǎo)引件610的另一端延伸,該另一端與第一導(dǎo)引件610的彎曲的一端相反。
[0084]設(shè)置成與第一導(dǎo)引件610的彎曲一端相反的第二導(dǎo)引件620—端向下彎曲并延伸預(yù)定長(zhǎng)度。第二臂644聯(lián)接至第二導(dǎo)引件620的向下延伸的一端。
[0085]Y軸向?qū)к夁B接件622聯(lián)接至第二導(dǎo)引件620的上部，并且如果需要可一體地聯(lián)接至第二導(dǎo)引件620。此外，輔助導(dǎo)軌連接件624聯(lián)接至第二導(dǎo)引件620的下部，并且如果需要可與第二導(dǎo)引件620 —體地設(shè)置。
[0086]Y軸向?qū)к夁B接件622用于導(dǎo)引第二導(dǎo)引件620的Y軸向移動(dòng)并使第二導(dǎo)弓I件620可掛在Y軸向?qū)к?30上。為此，彼此對(duì)應(yīng)的凸起和凹槽分別形成在Y軸向?qū)к?30與Y軸向?qū)к夁B接件622中。
[0087]輔助導(dǎo)軌連接件624配置成使Y軸向距離調(diào)節(jié)設(shè)備300的輔助導(dǎo)軌370可插設(shè)在輔助導(dǎo)軌連接件624中。輔助導(dǎo)軌連接件624用于將Y軸向移動(dòng)導(dǎo)引件360的移動(dòng)傳輸至第二導(dǎo)引件620。詳細(xì)地，如果Y軸向移動(dòng)導(dǎo)引件360在Y軸方向上移動(dòng)，輔助導(dǎo)軌與Y軸向移動(dòng)導(dǎo)引件360 —起移動(dòng)。當(dāng)輔助導(dǎo)軌370移動(dòng)時(shí)，輔助導(dǎo)軌連接件624與輔助導(dǎo)軌370一起移動(dòng)。因此，第二導(dǎo)引件620也在Y軸方向上移動(dòng)。
[0088]X軸向?qū)к夁B接件612、614與輔助導(dǎo)軌連接件624具有凹槽，這些凹槽配置成在相同方向上導(dǎo)引對(duì)應(yīng)的導(dǎo)軌。Y軸向?qū)к夁B接件622具有凹槽，該凹槽垂直于連接件612、連接件614以及連接件624的凹槽。
[0089]帶連接件650聯(lián)接至第一導(dǎo)引件610,以使得第三帶B3通過帶連接件650連接至第一拾取器模塊600。帶連接件650固定至第三帶B3的預(yù)定部分，以使得帶連接件650可與第三帶B3 —起移動(dòng)。第一導(dǎo)引件610通過帶連接件650的移動(dòng)而移動(dòng)，因此第一拾取器模塊600可在X軸方向上移動(dòng)。
[0090]第一導(dǎo)引件610的帶連接件650包括連接臂651和覆蓋件652。連接臂651從第一導(dǎo)引件610延伸至第三帶B3上部的下表面，以及覆蓋件652設(shè)置在第三帶B3上部的上表面上并聯(lián)接至連接臂651以將連接臂651緊固至第三帶B3。連接臂651從第一導(dǎo)引件610穿過基部110的孔116延伸至第三帶B3?？紤]到第三帶B3和第一導(dǎo)引件610的位置以及與周圍零件的干涉，連接臂651具有適當(dāng)?shù)膸缀涡螤睢?br> [0091]與第三帶B3形狀對(duì)應(yīng)的凹槽分別形成在連接臂651的上端部分和覆蓋件652的下部中，以使得第三帶B3處于凹槽中。第三帶B3與帶連接件650之間的聯(lián)接可通過組裝、結(jié)合、螺栓連接等提供的聯(lián)接力而實(shí)現(xiàn)。
[0092]第二拾取器模塊700、第三拾取器模塊800和第四拾取器模塊900中每個(gè)的總體構(gòu)造與第一拾取器模塊600的構(gòu)造相同。下文中，為了便于解釋，將省略與第一拾取器模塊600的元件相同的第二、第三、第四拾取器模塊700、800、900的元件的附圖標(biāo)記和詳細(xì)描述，而僅描述與第一拾取器模塊600不同的元件。對(duì)于與第一拾取器模塊600的元件對(duì)應(yīng)的第二、第三、第四拾取器模塊700、800、900的元件的附圖標(biāo)記，僅是將三位數(shù)的百位數(shù)字改成與每個(gè)拾取器模塊對(duì)應(yīng)的數(shù)字。也就是說，第二拾取器模塊700的第一導(dǎo)引件由附圖標(biāo)記710表不,第三拾取器模塊800的第一導(dǎo)引件由附圖標(biāo)記810表不,而第四拾取器模塊的第一導(dǎo)引件由附圖標(biāo)記910表不。
[0093]第二拾取器模塊700的第一導(dǎo)引件710裝配在X軸向?qū)к?12和114之上并在預(yù)定位置處固定至基部110。X軸向?qū)к夁B接件712和714設(shè)置在第一導(dǎo)引件710上。與基部110的各拾取器模塊緊固部115對(duì)應(yīng)的聯(lián)接孔716分別形成在X軸向?qū)к夁B接件712和714中。聯(lián)接孔716和拾取器模塊緊固部115可通過諸如螺栓的緊固構(gòu)件(未示出)彼此緊固。從而，第二拾取器模塊700可固定至基部110，并且不在X軸方向上移動(dòng)。雖然該實(shí)施方式已示為設(shè)有X軸向?qū)к夁B接件712、714，并且第一導(dǎo)引件710通過X軸向?qū)к夁B接件712,714聯(lián)接至X軸向?qū)к?12和114，但是第二拾取器模塊700可設(shè)置成沒有X軸向?qū)к夁B接件712和714，這是因?yàn)榈诙叭∑髂K700不需要在X軸方向上移動(dòng)。
[0094]此外，因?yàn)榈诙叭∑髂K700的第二導(dǎo)引件720不需要在X軸方向上移動(dòng)，所以還可省略第二拾取器模塊700中與第一拾取器模塊600的輔助導(dǎo)軌連接件624對(duì)應(yīng)的元件。相反地，為了使第二導(dǎo)引件720在Y軸方向上移動(dòng)，第二導(dǎo)引件720的下部直接聯(lián)接至Y軸向移動(dòng)導(dǎo)引件360。為此，第二拾取器模塊緊固部364設(shè)置在Y軸向移動(dòng)導(dǎo)引件360上與第二拾取器模塊700的第二導(dǎo)引件720對(duì)應(yīng)的位置處。
[0095]除帶連接件850或950之外，第三拾取器模塊800或第四拾取器模塊900的總體構(gòu)造與第一拾取器模塊600相同。[0096]第三拾取器模塊800的帶連接件850以預(yù)定形狀延伸，以使得其可連接至第三帶B3的下部。第一拾取器模塊600的帶連接件650和第三拾取器模塊800的帶連接件850連接至相同的第三帶B3。帶連接件650和帶連接件850分別連接至第三帶B3的上部和下部。因此，當(dāng)旋轉(zhuǎn)第三帶B3時(shí)，帶連接件650和帶連接件850在相反的方向上移動(dòng)。這里，第一拾取器模塊600的移動(dòng)距離與第三拾取器模塊800的移動(dòng)距離相同。
[0097]第四拾取器模塊900的帶連接件950以預(yù)定形狀延伸，以使得其可連接至第二帶B3的下部。因?yàn)槭沟诙2移動(dòng)的第二驅(qū)動(dòng)輪213的直徑不同于使第三帶B3移動(dòng)的第三驅(qū)動(dòng)輪214的直徑，所以第四拾取器模塊900的移動(dòng)量不同于第一拾取器模塊600或第三拾取器模塊700的移動(dòng)量。在該實(shí)施方式中，第二驅(qū)動(dòng)輪213直徑為第三驅(qū)動(dòng)輪214直徑的兩倍，所以第四拾取器模塊900移動(dòng)量也是第一拾取器模塊600或第三拾取器模塊700移動(dòng)量的兩倍。
[0098]另一方面，Y軸向距離調(diào)節(jié)設(shè)備300的滾珠絲杠支承件340固定至基部110，以使得滾珠絲杠320可以可靠地旋轉(zhuǎn)。
[0099]滾珠螺母330裝配在滾珠絲杠320之上，以能夠在Y軸方向上移動(dòng)。滾珠螺母330設(shè)有與托架350連接的凸緣。
[0100]托架350聯(lián)接至滾珠螺母330并與滾珠螺母330 —起移動(dòng)。Y軸向移動(dòng)導(dǎo)引件360聯(lián)接至托架350。緊固孔362形成在Y軸向移動(dòng)導(dǎo)引件360中，以使得Y軸向移動(dòng)導(dǎo)引件360通過諸如螺栓等的緊固構(gòu)件(未示出)通過緊固孔362固定至托架350。Y軸向移動(dòng)導(dǎo)引件360包括第二拾取器模塊緊固部364，第二拾取器模塊緊固部364緊固至第二拾取器模塊700的第二導(dǎo)引件720。例如，第二拾取器模塊緊固部364包括聯(lián)接孔，螺栓等擰緊到該聯(lián)接孔中。由于上述結(jié)構(gòu)，當(dāng)Y軸向移動(dòng)導(dǎo)引件360在Y軸方向上移動(dòng)時(shí)，第二拾取器模塊700的第二導(dǎo)引件720也可在Y軸方向上移動(dòng)。
[0101]輔助導(dǎo)軌370固定在Y軸向移動(dòng)導(dǎo)引件360上部上并在X軸向?qū)к?12、114延伸的X軸方向上延伸。輔助導(dǎo)軌370連接至第一拾取器模塊600的輔助導(dǎo)軌連接件624、第三拾取器模塊800的輔助導(dǎo)軌連接件824以及第四拾取器模塊900的輔助導(dǎo)軌連接件924。因此，當(dāng)Y軸向移動(dòng)導(dǎo)引件360在Y軸方向上移動(dòng)時(shí),第一拾取器模塊600的第二導(dǎo)引件620、第三拾取器模塊800的第二導(dǎo)引件820以及第四拾取器模塊900的第二導(dǎo)引件920與Y軸向移動(dòng)導(dǎo)引件360 —起在Y軸方向上移動(dòng)。
[0102]在該實(shí)施方式中，雖然第二拾取器模塊700示為直接連接至Y軸向移動(dòng)導(dǎo)引件360而不連接至輔助導(dǎo)軌370，但本發(fā)明的精神并不限于這種結(jié)構(gòu)。第二拾取器模塊700還可設(shè)有輔助導(dǎo)軌連接件，第二拾取器模塊700通過該輔助導(dǎo)軌連接件連接至輔助導(dǎo)軌370。
[0103]下文中，將參照附圖描述根據(jù)本發(fā)明實(shí)施方式的具有上述結(jié)構(gòu)的拾取與放置裝置100的操作。
[0104]圖12示出了圖4的拾取與放置裝置的X軸向距離的調(diào)節(jié)操作。
[0105]參照?qǐng)D12，當(dāng)?shù)谝获R達(dá)Ml從功率供應(yīng)裝置(未示出)接收功率并旋轉(zhuǎn)其輸出軸時(shí)，驅(qū)動(dòng)力從第一驅(qū)動(dòng)輪211經(jīng)過第一帶BI傳輸至第一從動(dòng)輪212。因而，連接至第一從動(dòng)輪212的第一軸SI旋轉(zhuǎn)。
[0106]當(dāng)旋轉(zhuǎn)第一軸SI時(shí)，連接至第一軸SI的第三驅(qū)動(dòng)輪214和第二驅(qū)動(dòng)輪213以相同角速度旋轉(zhuǎn)。然后，分別連接至第二驅(qū)動(dòng)輪213和第三驅(qū)動(dòng)輪214的第二從動(dòng)輪215和第三從動(dòng)輪216也通過第二帶B2和第三帶B3進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。第二帶B2和第三帶B3在與第一軸SI旋轉(zhuǎn)的方向(即第一馬達(dá)Ml的正常/反向旋轉(zhuǎn)的方向)對(duì)應(yīng)的方向上移動(dòng)。這里，因?yàn)榈诙?qū)動(dòng)輪213直徑為第三驅(qū)動(dòng)輪214直徑的兩倍，所以第二帶B2移動(dòng)量也是第三帶B3移動(dòng)量的兩倍。
[0107]此外，因?yàn)榈谝惠SSI與第二軸S2設(shè)置在同一水平面上并且第二從動(dòng)輪215和第三從動(dòng)輪216分別具有與相應(yīng)驅(qū)動(dòng)輪相同的直徑，所以當(dāng)?shù)诙2和第三帶B3移動(dòng)時(shí)第二帶B2和第三帶B3的中間部分可保持水平。
[0108]當(dāng)?shù)诙2移動(dòng)時(shí)，第四拾取器模塊400的固定至第二帶B2的帶連接件950通過第二帶B2移動(dòng)，因此第四拾取器模塊400在X軸方向上移動(dòng)。此外，當(dāng)?shù)谌龓3移動(dòng)時(shí)，都固定至第三帶B3的第一拾取器模塊600的帶連接件650和第三拾取器模塊800的帶連接件850通過第三帶B3移動(dòng)。因此，第一拾取器模塊600和第三拾取器模塊800在X軸方向上移動(dòng)。
[0109]第一拾取器模塊600、第三拾取器模塊800和第四拾取器模塊900的移動(dòng)通過X軸向?qū)к?12和114以及輔助導(dǎo)軌370導(dǎo)引。
[0110]如圖12所示，當(dāng)?shù)谝惠SSI在順時(shí)針方向上旋轉(zhuǎn)時(shí)，連接至第三帶B3上部的第一拾取器模塊600在X軸的正向方向上(朝圖12的右方)移動(dòng)。連接至第三帶B3下部的第三拾取器模塊800和連接至第二帶B2下部的第四拾取器模塊900在X軸的負(fù)向方向上(朝圖12的左方)移動(dòng)。當(dāng)?shù)谝惠SSI在逆時(shí)針方向上旋轉(zhuǎn)時(shí),第一拾取器模塊600、第三拾取器模塊800以及第四拾取器模塊900的移動(dòng)方向改變。
[0111]在上述過程中，因?yàn)榈诙叭∑髂K700固定至基部110，所以第二拾取器模塊700不移動(dòng)。由于帶連接件650、850、950的上述設(shè)置，第一拾取器模塊600、第三拾取器模塊800和第四拾取器模塊900可基于第二拾取器模塊700靠攏或分散。
[0112]在拾取器模塊之間的距離設(shè)為a的初始狀態(tài)，如果第三帶B3通過第一軸SI的順時(shí)針旋轉(zhuǎn)移動(dòng)山則第一拾取器模塊600在X軸的正向方向上移動(dòng)d，第三拾取器模塊800在X軸的負(fù)向方向上移動(dòng)d，以及第四拾取器模塊900在X軸的負(fù)向方向上移動(dòng)2d。因此，相鄰拾取器模塊之間的距離都變?yōu)橄嗤腶-d。
[0113]另一方面，在該實(shí)施方式中，雖然已示出了設(shè)有四個(gè)拾取器模塊，但本發(fā)明的精神并不限于這種結(jié)構(gòu)。如果需要，可增加或減少拾取器模塊的數(shù)目。在這種情況下，驅(qū)動(dòng)輪和帶的數(shù)目也對(duì)應(yīng)于拾取器模塊的數(shù)目而改變，以便可以調(diào)節(jié)所有拾取器模塊之間的距離。
[0114]此外，在該實(shí)施方式中，雖然已示出了第二拾取器模塊700固定至基部110，但本發(fā)明的精神并不限于這種結(jié)構(gòu)。例如，第二拾取器模塊700可配置成連接至帶并且可被移動(dòng)。在這種情況下，第一拾取器模塊600和第四拾取器模塊900連接至具有更大轉(zhuǎn)向半徑的第二帶B2。第二拾取器模塊700和第三拾取器模塊800連接至具有更小轉(zhuǎn)向半徑的第三帶B3。此外，通過對(duì)裝置進(jìn)行設(shè)置，使得拾取器模塊之間的距離可保持彼此相等，這樣第二驅(qū)動(dòng)輪213直徑為第三驅(qū)動(dòng)輪214直徑的三倍。
[0115]本發(fā)明的精神是制造這樣的裝置，在該裝置中拾取器模塊選擇性地連接至通過驅(qū)動(dòng)輪移動(dòng)的帶，因此可調(diào)節(jié)拾取器模塊之間的X軸向距離。本領(lǐng)域技術(shù)人員可使用簡(jiǎn)單的數(shù)學(xué)公式輕易地實(shí)現(xiàn)上述修改，如改變拾取器模塊的數(shù)目或是否固定拾取器模塊等。并且這種修改也落入本發(fā)明的范圍中。[0116]圖13和圖14示出了圖4的拾取與放置裝置的Y軸向距離的調(diào)節(jié)操作。
[0117]參照?qǐng)D13和圖14，當(dāng)?shù)诙R達(dá)M2從功率供應(yīng)裝置(未示出)接收功率并使其輸出軸旋轉(zhuǎn)時(shí)，驅(qū)動(dòng)力從第四驅(qū)動(dòng)輪311經(jīng)過第四帶B4傳輸至第四從動(dòng)輪312。從而，旋轉(zhuǎn)與第四從動(dòng)輪312連接的滾珠絲杠320。
[0118]當(dāng)旋轉(zhuǎn)滾珠絲杠320時(shí)，滾珠螺母330在Y軸方向上移動(dòng)。然后，與滾珠螺母330連接的輔助導(dǎo)軌370、Y軸向移動(dòng)導(dǎo)引件360和托架350 —起在Y軸方向上移動(dòng)。
[0119]因?yàn)榈谝皇叭∑髂K600、第三拾取器模塊800和第四拾取器模塊900通過輔助導(dǎo)軌連接件624、824以及924連接至輔助導(dǎo)軌370，所以它們可以通過滾珠螺母330的Y軸向移動(dòng)與輔助導(dǎo)軌370 —起移動(dòng)。因?yàn)榈诙?dǎo)引件720固定至Y軸向移動(dòng)導(dǎo)引件360，所以第二拾取器模塊700通過滾珠螺母330的Y軸向移動(dòng)與Y軸向移動(dòng)導(dǎo)引件360 —起在Y軸方向上移動(dòng)。最終，所有拾取器模塊PM通過滾珠螺母330的Y軸向移動(dòng)而在Y軸方向上移動(dòng)。
[0120]隨著Y軸向移動(dòng)導(dǎo)引件360和輔助導(dǎo)軌370，拾取器模塊的第二導(dǎo)引件620、720、820,920通過在第一導(dǎo)引件610、710、810、910上的Y軸向?qū)к?30、730、830、930的導(dǎo)引而
在Y軸方向上移動(dòng)。
[0121]在該實(shí)施方式中，雖然該裝置已示為配置成每個(gè)拾取器模塊設(shè)有第一導(dǎo)引件和第二導(dǎo)引件并且一對(duì)拾取器分別連接至第一導(dǎo)引件和第二導(dǎo)引件，但是本發(fā)明并不限于此。例如，每個(gè)拾取器模塊可包括依次設(shè)置在Y軸方向上的三個(gè)或更多拾取器，并且拾取器可分級(jí)地彼此相連并緊固至可在Y軸方向上移動(dòng)的導(dǎo)引件。在這種情況下，導(dǎo)引件連接至Y軸向距離調(diào)節(jié)設(shè)備，以使得拾取器之間的Y軸向距離可通過導(dǎo)引件的移動(dòng)而被調(diào)節(jié)。
[0122]如上所述，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施方式的拾取與放置裝置10可以可靠地實(shí)施調(diào)節(jié)拾取器之間的X軸向距離和Y軸向距離的功能，并且與傳統(tǒng)技術(shù)相比，該拾取與放置裝置10具有較小且簡(jiǎn)單的整體結(jié)構(gòu)。
[0123]此外，可容易地調(diào)節(jié)拾取器的X軸向位移和Y軸向位移。因此，本發(fā)明的拾取與放置裝置10可用于各種工作，例如裝載、分類、卸載等。
[0124]雖然已示出并參照優(yōu)選實(shí)施方式描述了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施方式的拾取與放置裝置，但本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)理解，在不背離如所附權(quán)利要求所限定的本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可對(duì)本發(fā)明進(jìn)行多種改變和修改。
【權(quán)利要求】
1.一種用于測(cè)試分選機(jī)的拾取與放置裝置，所述拾取與放置裝置將半導(dǎo)體器件從第一位置傳輸至第二位置，并且所述拾取與放置裝置設(shè)有在X軸方向上設(shè)置的多個(gè)拾取器模塊，所述拾取與放置裝置包括: 主體； X軸向?qū)к?，設(shè)置在所述主體處； 多個(gè)拾取器模塊，設(shè)置在所述主體處并設(shè)置在X軸方向上，每個(gè)所述拾取器模塊包括相對(duì)于Y軸方向彼此間隔開的多個(gè)拾取器； X軸向距離調(diào)節(jié)設(shè)備，調(diào)節(jié)所述多個(gè)拾取器模塊之間的距離；以及Y軸向距離調(diào)節(jié)設(shè)備，調(diào)節(jié)在Y軸方向上設(shè)置在每個(gè)所述拾取器模塊中的所述多個(gè)拾取器之間的距離， 其中，每個(gè)所述拾取器模塊包括: 第一導(dǎo)引件，設(shè)置成能夠沿所述X軸向?qū)к壱苿?dòng)； Y軸向?qū)к?，設(shè)置在所述第一導(dǎo)引件處并在Y軸方向上延伸預(yù)定長(zhǎng)度；以及第二導(dǎo)引件，設(shè)置成能夠沿所述Y軸向?qū)к壱苿?dòng)，所述第二導(dǎo)引件連接至所述Y軸向距離調(diào)節(jié)設(shè)備的Y軸向移動(dòng)導(dǎo)引件，以使所述Y軸向移動(dòng)導(dǎo)引件可與所述第二導(dǎo)引件一起移動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拾取與放置裝置，其中 所述Y軸向移動(dòng)導(dǎo)引件處設(shè)有輔助導(dǎo)軌，所述輔助導(dǎo)軌在X軸方向上延伸，以及 所述第二導(dǎo)引件上設(shè)有輔助導(dǎo)軌連接件，所述輔助導(dǎo)軌連接件連接至所述輔助導(dǎo)軌。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拾取與放置裝置，其中， 所述X軸向距離調(diào)節(jié)設(shè)備包括: 至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)輪，從第一馬達(dá)接收功率； 至少一個(gè)帶，連接至所述至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)輪；以及 至少一個(gè)從動(dòng)輪，通過所述至少一個(gè)帶與所述驅(qū)動(dòng)輪互鎖，所述Y軸向距離調(diào)節(jié)設(shè)備包括: 滾珠絲杠，通過從第二馬達(dá)傳輸?shù)哪芰窟M(jìn)行旋轉(zhuǎn)，所述滾珠絲杠在Y軸方向上延伸；以及 滾珠螺母，聯(lián)接至所述滾珠絲杠，所述滾珠螺母在Y軸方向上移動(dòng)， 其中，所述Y軸向移動(dòng)導(dǎo)引件聯(lián)接至所述滾珠螺母，所述Y軸向移動(dòng)導(dǎo)引件在Y軸方向上與所述滾珠螺母一起移動(dòng)， 所有的所述拾取器模塊或者除所述拾取器模塊中任一個(gè)之外的其余拾取器模塊分別連接至所述至少一個(gè)帶中對(duì)應(yīng)的一個(gè)帶，并且與所述X軸向?qū)к壴赬軸方向上一起移動(dòng)，以及 設(shè)置在每個(gè)所述拾取器模塊中的所述多個(gè)拾取器的至少一個(gè)連接至所述Y軸向移動(dòng)導(dǎo)引件并與所述滾珠螺母在Y軸方向上一起移動(dòng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的拾取與放置裝置，其中，所述驅(qū)動(dòng)輪包括多個(gè)驅(qū)動(dòng)輪，并且所述多個(gè)驅(qū)動(dòng)輪具有彼此不同的直徑。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的拾取與放置裝置，其中，不與所述帶連接的所述拾取器模塊緊固至所述主體。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的拾取與放置裝置，其中，所述至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)輪包括兩個(gè)驅(qū)動(dòng)輪，所述至少一個(gè)帶包括兩個(gè)帶，以及所述至少一個(gè)從動(dòng)輪包括兩個(gè)從動(dòng)輪， 其中，所述兩個(gè)驅(qū)動(dòng)輪的直徑比率為1:2，以及 所述多個(gè)拾取器模塊包括: 第二拾取器模塊，緊固至所述主體并被阻止在X軸方向上移動(dòng)； 第一拾取器模塊，設(shè)置在所述第二拾取器模塊的一側(cè)并且連接至所述帶的一側(cè)，所述帶的所述一側(cè)連接至具有較小直徑的驅(qū)動(dòng)輪； 第三拾取器模塊，設(shè)置在所述第二拾取器模塊的另一側(cè)并且連接至所述帶的另一側(cè)，所述帶的所述另一側(cè)連接至具有所述較小直徑的驅(qū)動(dòng)輪；以及 第四拾取器模塊，設(shè)置在所述第二拾取器模塊的另一側(cè)并連接至所述帶的連接具有較大直徑的驅(qū)動(dòng)輪的一側(cè)。
【文檔編號(hào)】B07C5/38GK103831254SQ201310573224
【公開日】2014年6月4日 申請(qǐng)日期:2013年11月15日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月21日
【發(fā)明者】成耆炷 申請(qǐng)人:泰克元有限公司