本申請(qǐng)屬于芯片生產(chǎn)，更具體地說，是涉及一種雙卡盤測(cè)試系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

1、載片是新工藝生產(chǎn)出的新形態(tài)產(chǎn)品，常見的有堆疊、硅基式、bga封裝式、單片等，具有小型化、高集成度、低成本等優(yōu)點(diǎn)。探針臺(tái)是半導(dǎo)體行業(yè)重要的檢測(cè)裝備之一，其廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。因?yàn)檩d片測(cè)試點(diǎn)即pad點(diǎn)裸露分布在載片表面上，再加上物料一致性和生產(chǎn)工藝的影響，導(dǎo)致最終載片的pad點(diǎn)位置不一致排列不規(guī)則，甚至其pad點(diǎn)的高度也不一致；目前市面上的探針臺(tái)主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測(cè)、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用，無法直接用于載片式產(chǎn)品的測(cè)試。

2、現(xiàn)有的技術(shù)方案主要分為手動(dòng)式和工裝式，手動(dòng)式即人工將產(chǎn)品放置在手動(dòng)探針臺(tái)上，通過顯微鏡對(duì)一個(gè)產(chǎn)品進(jìn)行圖像放大，逐一尋找其pad點(diǎn)，然后操作探針進(jìn)行測(cè)試，由于操作繁瑣，而且依賴人工的操作熟練度和感官，無法進(jìn)行大批量測(cè)試，而且容易損傷器件。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本申請(qǐng)采用的技術(shù)方案是：提供一種雙卡盤測(cè)試系統(tǒng)，包括用于放置待測(cè)載片的第一卡盤和第二卡盤、用于將所述第一卡盤和所述第二卡盤移動(dòng)到運(yùn)輸?shù)綑z測(cè)位置的七軸直線運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)以及用于對(duì)所述待測(cè)載片進(jìn)行測(cè)試的測(cè)試機(jī)構(gòu)。

2、可選地，所述測(cè)試機(jī)構(gòu)包括變倍顯微視覺組件和三軸電動(dòng)針座，所述變倍顯微視覺組件用于獲取待測(cè)載片的pad點(diǎn)的位置數(shù)據(jù)和高度數(shù)據(jù)，所述三軸電動(dòng)針座用于根據(jù)所述位置數(shù)據(jù)和所述高度數(shù)據(jù)對(duì)所述待測(cè)載片的pad點(diǎn)進(jìn)行測(cè)試。

3、可選地，所述測(cè)試機(jī)構(gòu)還包括磁吸工作面板，所述三軸電動(dòng)針座與所述磁吸工作面板磁吸連接。

4、可選地，所述測(cè)試機(jī)構(gòu)還包括三軸視覺調(diào)整組件，所述三軸視覺調(diào)整組件與所述變倍顯微視覺組件連接，用于調(diào)節(jié)所述變倍顯微視覺組件在x軸、y軸和z軸方向上的位置。

5、可選地，所述測(cè)試機(jī)構(gòu)還包括三軸手動(dòng)針座，所述三軸手動(dòng)針座與所述磁吸工作面板磁吸連接

6、可選地，所述七軸直線運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)包括基座、第一升降旋轉(zhuǎn)軸、第二升降旋轉(zhuǎn)軸、x軸直線電機(jī)、第一y軸直線電機(jī)、第二y軸直線電機(jī)，所述x軸直線電機(jī)固定于所述基座上，所述第一y軸直線電機(jī)和所述第二y軸直線電機(jī)與所述x軸直線電機(jī)固定連接，所述第一升降旋轉(zhuǎn)軸與所述第一y軸直線電機(jī)固定連接，所述第二升降旋轉(zhuǎn)軸與所述第二y軸直線電機(jī)固定連接。

7、本申請(qǐng)?zhí)峁┑碾p卡盤測(cè)試系統(tǒng)的有益效果在于：與現(xiàn)有技術(shù)相比，本申請(qǐng)?zhí)峁┑碾p卡盤測(cè)試系統(tǒng)，通過七軸直線運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)可對(duì)待測(cè)載片的位置、高度和角度進(jìn)行調(diào)整，通過測(cè)試機(jī)構(gòu)可對(duì)待測(cè)載片進(jìn)行測(cè)試，不依賴人工的操作熟練度和感官，無可進(jìn)行大批量測(cè)試，而且不容易損傷器件。

技術(shù)特征：

1.一種雙卡盤測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，包括用于放置待測(cè)載片的第一卡盤和第二卡盤、用于將所述第一卡盤和所述第二卡盤移動(dòng)到運(yùn)輸?shù)綑z測(cè)位置的七軸直線運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)以及用于對(duì)所述待測(cè)載片進(jìn)行測(cè)試的測(cè)試機(jī)構(gòu)。

2.如權(quán)利要求1所述的雙卡盤測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于：所述測(cè)試機(jī)構(gòu)包括變倍顯微視覺組件和三軸電動(dòng)針座，所述變倍顯微視覺組件用于獲取待測(cè)載片的pad點(diǎn)的位置數(shù)據(jù)和高度數(shù)據(jù)，所述三軸電動(dòng)針座用于根據(jù)所述位置數(shù)據(jù)和所述高度數(shù)據(jù)對(duì)所述待測(cè)載片的pad點(diǎn)進(jìn)行測(cè)試。

3.如權(quán)利要求2所述的雙卡盤測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于：所述測(cè)試機(jī)構(gòu)還包括磁吸工作面板，所述三軸電動(dòng)針座與所述磁吸工作面板磁吸連接。

4.如權(quán)利要求3所述的雙卡盤測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于：所述測(cè)試機(jī)構(gòu)還包括三軸視覺調(diào)整組件，所述三軸視覺調(diào)整組件與所述變倍顯微視覺組件連接，用于調(diào)節(jié)所述變倍顯微視覺組件在x軸、y軸和z軸方向上的位置。

5.如權(quán)利要求3所述的雙卡盤測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于：所述測(cè)試機(jī)構(gòu)還包括三軸手動(dòng)針座，所述三軸手動(dòng)針座與所述磁吸工作面板磁吸連接。

6.如權(quán)利要求1所述的雙卡盤測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于：所述七軸直線運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)包括基座、第一升降旋轉(zhuǎn)軸、第二升降旋轉(zhuǎn)軸、x軸直線電機(jī)、第一y軸直線電機(jī)、第二y軸直線電機(jī)，所述x軸直線電機(jī)固定于所述基座上，所述第一y軸直線電機(jī)和所述第二y軸直線電機(jī)與所述x軸直線電機(jī)固定連接，所述第一升降旋轉(zhuǎn)軸與所述第一y軸直線電機(jī)固定連接，所述第二升降旋轉(zhuǎn)軸與所述第二y軸直線電機(jī)固定連接。

技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N雙卡盤測(cè)試系統(tǒng)，包括用于放置待測(cè)載片的第一卡盤和第二卡盤、用于將所述第一卡盤和所述第二卡盤移動(dòng)到運(yùn)輸?shù)綑z測(cè)位置的七軸直線運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)以及用于對(duì)所述待測(cè)載片進(jìn)行測(cè)試的測(cè)試機(jī)構(gòu)。本申請(qǐng)?zhí)峁┑碾p卡盤測(cè)試系統(tǒng)，通過七軸直線運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)可對(duì)待測(cè)載片的位置、高度和角度進(jìn)行調(diào)整，通過測(cè)試機(jī)構(gòu)可對(duì)待測(cè)載片進(jìn)行測(cè)試，不依賴人工的操作熟練度和感官，無可進(jìn)行大批量測(cè)試，而且不容易損傷器件。

技術(shù)研發(fā)人員：喻洪超,杜柏琳,榮陽,鄧奎
受保護(hù)的技術(shù)使用者：四川川浦融科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240418
技術(shù)公布日：2024/12/10