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      一種硅粉去除工藝設備的制造方法

      文檔序號:8586640閱讀:274來源:國知局
      一種硅粉去除工藝設備的制造方法
      【技術領域】
      [0001]本實用新型涉及一種硅粉去除工藝設備。
      【背景技術】
      [0002]多晶硅料(水爆碎料)在裝爐過程中,由于其含有硅粉,容易對爐內環(huán)境造成污染,從而影響到產品的質量,硅粉如果粘到單晶爐內電路上還容易造成單晶爐過電流,進而發(fā)生燜爐事故。
      【實用新型內容】
      [0003]本實用新型要解決的技術問題是提供一種硅粉去除工藝設備,它具有制作成本低、便于安裝,易于操作等特點。
      [0004]為解決上述技術問題,本實用新型所采取的技術方案是:
      [0005]一種硅粉去除工藝設備,包括硅粉除塵器,硅粉除塵器包括除塵器倉室,除塵器倉室由中效過濾器隔離成濾前室和濾后室兩部分,濾前室設有進風口,濾后室設有出風口 ;還包括硅粉投料器,硅粉投料器包括投料器倉室,投料器倉室上部設有出風口,其中部設有進料篩,其下部設有進風口,其底部設有漏斗形碎料出口,漏斗形碎料出口設有密封蓋,進料篩與投料器倉室內部水平滑配連接,當進料篩推進投料器倉室時,進料篩外端壁與投料器倉室外壁密封配合,還包括風機;上述硅粉除塵器、硅粉投料器和風機通過管路連通形成閉合循環(huán)通風系統(tǒng)。
      [0006]本實用新型進一步改進在于:
      [0007]風機位于硅粉除塵器和投料器之間。
      [0008]硅粉除塵器的濾后室通過空氣過濾器與大氣連通。
      [0009]投料器倉室上部設有泄壓蝶閥。
      [0010]硅粉投料器的進料篩的篩面為不銹鋼篩網,在硅粉投料器內設有四氟空氣導流隔板,四氟空氣導流隔板布滿直徑為1.5mm-2.5mm的空氣導流孔。四氟空氣導流隔板周邊與進風口與進料篩之間的投料器倉室內壁連接。
      [0011]采用上述技術方案所產生的有益效果在于:
      [0012]本實用新型通過通過設備利用電機帶動葉輪,產生循環(huán)風,利用循環(huán)風將硅粉投料器內硅粉吸入硅粉除塵器,經中效過濾器過濾,硅粉被中效過濾器過濾網攔住留在除塵器濾前室,從而達到原料無硅粉的效果。硅粉除塵器的濾后室通過空氣過濾器與大氣連通,使硅粉除塵器的濾后室與大氣壓接近,避免因壓差太大對設備造成的影響;硅粉投料器的進料篩的篩面為不銹鋼篩網,在硅粉投料器內設有四氟空氣導流隔板,四氟空氣導流隔板布滿直徑為1.5mm-2.5mm的空氣導流孔。四氟空氣導流隔板周邊與進風口與進料篩之間的投料器倉室內壁連接,使循環(huán)空氣均勻通過進料篩,提高除塵效果,本實用新型通過濾除多晶硅料中含有的硅粉,使單晶爐進料純凈,避免因硅粉的污染對產品質量造成的影響,并可以避免因硅粉造成單晶爐內電路短路現象的發(fā)生,從而避免燜爐事故,具有制作成本低、便于安裝,易于操作等特點。
      【附圖說明】
      [0013]圖1是本實用新型的結構示意圖。
      [0014]在附圖中:1、中效過濾器;2、除塵器濾前室;3、風機;4、泄壓蝶閥;5、進料篩;6、漏斗形碎料出口 ;7、管路;8、除塵器濾后室;9、空氣過濾器;10、四氟空氣導流隔板。
      【具體實施方式】
      [0015]下面將結合附圖和具體實施例對本實用新型進行進一步詳細說明。
      [0016]由圖1所示的實施例可知,本實施例包括硅粉除塵器,硅粉除塵器包括除塵器倉室,除塵器倉室由中效過濾器I隔離成濾前室2和濾后室8兩部分,濾前室2設有進風口,硅粉除塵器的濾后室8通過空氣過濾器9與大氣連通,濾后室8設有出風口 ;還包括硅粉投料器,硅粉投料器包括投料器倉室,投料器倉室上部設有出風口,其中部設有進料篩5,其下部設有進風口,其底部設有漏斗形碎料出口 6,漏斗形碎料出口 6設有密封蓋,進料篩5與投料器倉室內部水平滑配連接,當進料篩5推進投料器倉室時,進料篩5外端壁與投料器倉室外壁密封配合,硅粉投料器的進料篩5的篩面為不銹鋼篩網,在硅粉投料器內設有四氟空氣導流隔板10,四氟空氣導流隔板10布滿直徑為1.5mm-2.5mm的空氣導流孔。四氟空氣導流隔板10周邊與進風口與進料篩5之間的投料器倉室內壁連接,投料器倉室上部設有泄壓蝶閥4 ;還包括風機3 ;硅粉投料器的出風口與風機的進風口、風機的出風口與硅粉除塵器的進風口硅粉除塵器的出風口與硅粉投料器的進風口依次通過管路7連通。
      [0017]使用方法:
      [0018]開啟風機電源后,空運轉設備I小時后,開啟泄壓蝶閥,將多晶硅料通過進料篩裝入硅粉投料器,多晶硅料需在進料篩內進行平鋪,原料放置完畢后,關閉泄壓蝶閥。設備運轉1-3分鐘后,打開泄壓蝶閥,完成除塵工作,設備運行停止后,取出原料,倒入規(guī)定料筐中備用;進入除塵器濾前室的硅粉沉淀,由工作人員開啟濾前室門進行硅粉收集,收集的硅粉料將再次降級使用。
      【主權項】
      1.一種硅粉去除工藝設備,其特征在于:包括硅粉除塵器,所述硅粉除塵器包括除塵器倉室,所述除塵器倉室由中效過濾器(I)隔離成濾前室(2)和濾后室(8)兩部分,所述濾前室(2)設有進風口,所述濾后室(8)設有出風口 ;還包括硅粉投料器,所述硅粉投料器包括投料器倉室,所述投料器倉室上部設有出風口,其中部設有進料篩(5),其下部設有進風口,其底部設有漏斗形碎料出口出),所述漏斗形碎料出口(6)設有密封蓋,所述進料篩(5)與所述投料器倉室內部水平滑配連接,當所述進料篩(5)推進投料器倉室時,所述進料篩(5)外端壁與所述投料器倉室外壁密封配合,還包括風機(3);上述硅粉除塵器、硅粉投料器和風機(3)通過管路(7)連通形成閉合循環(huán)通風系統(tǒng);所述硅粉投料器的進料篩(5)的篩面為不銹鋼篩網,在所述硅粉投料器內設有四氟空氣導流隔板(10),所述四氟空氣導流隔板(10)布滿直徑為1.5mm-2.5mm的空氣導流孔,所述四氟空氣導流隔板(10)周邊與進風口與進料篩(5)之間的投料器倉室內壁連接。
      2.根據權利要求1所述的一種硅粉去除工藝設備,其特征在于:所述風機(3)位于所述硅粉除塵器和所述投料器之間。
      3.根據權利要求1所述的一種硅粉去除工藝設備,其特征在于:所述硅粉除塵器的濾后室(8)通過空氣過濾器(9)與大氣連通。
      4.根據權利要求1所述的一種硅粉去除工藝設備,其特征在于:所述投料器倉室上部設有泄壓蝶閥⑷。
      【專利摘要】本實用新型公開了一種硅粉去除工藝設備,包括硅粉除塵器,硅粉除塵器包括除塵器倉室,除塵器倉室由中效過濾器隔離成濾前室和濾后室兩部分,濾前室設有進風口,濾后室設有出風口;還包括硅粉投料器,硅粉投料器包括投料器倉室,投料器倉室上部設有出風口,其中部設有進料篩,其下部設有進風口,其底部設有漏斗形碎料出口,漏斗形碎料出口設有密封蓋,進料篩與投料器倉室內部水平滑配連接,當進料篩推進投料器倉室時,進料篩外端壁與投料器倉室外壁密封配合,還包括風機;上述硅粉除塵器、硅粉投料器和風機通過管路連通形成閉合循環(huán)通風系統(tǒng)。本實用新型具有制作成本低、便于安裝,易于操作等特點。
      【IPC分類】B07B9-00
      【公開號】CN204294507
      【申請?zhí)枴緾N201420724962
      【發(fā)明人】周志超, 劉英江, 李紅友, 左丙臣, 董博雨
      【申請人】寧晉晶興電子材料有限公司
      【公開日】2015年4月29日
      【申請日】2014年11月27日
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