專利名稱：一種混合添加劑及由其制得的線鋸切割液的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種混合添加劑，尤其涉及一種用于線鋸切割液的混合添加劑。
背景技術(shù)：
隨著電子工業(yè)的迅速發(fā)展，晶片在集成電路，太陽能電池，LED照明等行業(yè)越來越得到廣泛的應(yīng)用，晶片的線鋸切割也越來越得到重視。對于所切割的材料主要為硅，鍺，砷化鎵，藍(lán)寶石(氧化鋁)等硬性材料。晶片加工領(lǐng)域最早使用的是外圓切割技術(shù)。這種切割方式是通過夾持在高速旋轉(zhuǎn)的主軸上的金剛石薄片砂輪磨削被切材料而達(dá)到切割的目的。隨著材料制備技術(shù)的發(fā)展與切割直徑的加大，外圓刀片剛性差，刀口擺動量難以控制的問題就顯得尤為突出。為增強(qiáng)刀片的剛度，刀體做得很厚，這樣使得切割刀縫很寬，從而使被切材料大量浪費(fèi)；切割質(zhì)量很差，很難切出超薄晶片，因此外圓切割很快被內(nèi)圓切割技術(shù)取代。內(nèi)圓切割時，切割刀片由主軸帶動高速旋轉(zhuǎn)，同時相對工件徑向進(jìn)給完成晶片切割加工過程。內(nèi)圓切割技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)在于切片精度高；切片機(jī)成本較低，同切割尺寸的內(nèi)圓切片機(jī)價格是線切割機(jī)價格的1/3-1/4 ；每片都科技進(jìn)行徑向調(diào)整和切片厚度調(diào)整；小批量多規(guī)格加工時，具有靈活的可調(diào)性。其缺點(diǎn)是晶片表面損傷大；刀口寬，材料損失大；生產(chǎn)率低；因此內(nèi)圓切割從產(chǎn)量和能力上遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿足現(xiàn)在生產(chǎn)需求，尤其是大規(guī)模的集成電路和太陽能電池片的快速發(fā)展，晶片需求量大增，人們開始考慮采用更高效的切割設(shè)備，線鋸便應(yīng)運(yùn)而生。線鋸切割就是把一根細(xì)長的鋼絲纏繞在排線輪上，鋼絲兩頭分別由放線機(jī)構(gòu)和收線機(jī)構(gòu)拉緊。在收放線機(jī)構(gòu)與排線輪之間裝有若干張力控制輪，用以控制鋼絲的剛度。排線輪高速正反向有節(jié)奏地旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)鋼絲往復(fù)運(yùn)動。設(shè)備配有切割砂漿噴灑系統(tǒng)，由壓縮泵提供動力。切割砂漿一般由切割液和碳化硅磨料組成。切割時，切割也噴灑到晶棒刀口和鋼絲線上，切割進(jìn)給機(jī)構(gòu)均勻運(yùn)動，把晶棒壓向高速往復(fù)運(yùn)動的鋼線，切出一組符合要求的尚質(zhì)量晶片。然而，現(xiàn)有的切割液存在穩(wěn)定性差，切割良品率不高，成本高，切割能力不強(qiáng)等缺
點(diǎn)ο

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題就是提供一種混合添加劑，其可以有效地提高線鋸切割液的分散能力和切割能力，提高切割的良品率，提高切割液的穩(wěn)定性，并大大的降低了切割成本。本發(fā)明的用于線鋸切割液的混合添加劑，含有
a)水45 84wt %
b)有機(jī)酸聚合物8 30wt%
C)有機(jī)堿6 25wt%
d)金屬腐蝕抑制劑0. 1 2wt%
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e)表面活性劑0. 1 2wt%。本發(fā)明中，所述的有機(jī)酸聚合物選自丙烯酸、甲基丙酸酸、乙基丙烯酸、烯基磺酸、 苯乙烯磺酸、馬來酸酐、烷基丙烯氧基磺酸、丙烯酰胺基磺酸中的一種或多種為單體單元而得到的均聚物或共聚物中的一種或多種。本發(fā)明中，所述的均聚物或共聚物的分子量為400-5000，其中優(yōu)選分子量是 600-3000，最優(yōu)選 800-2000。本發(fā)明中，所述的有機(jī)堿選自四甲基氫氧化銨、四乙基氫氧化銨、四丙基氫氧化銨、四丁基氫氧化銨和/或芐基三甲基氫氧化銨中的一種或多種。本發(fā)明中，所述的金屬腐蝕抑制劑選自酚類、羧酸類、羧酸酯類和/或酸酐類中的一種或多種。所述的酚類選自苯酚、1，2- 二羥基苯酚、對羥基苯酚和/或連苯三酚中的一種或多種；所述的羧酸類選自苯甲酸、對氨基苯甲酸(PABA)、鄰苯二甲酸(PA)和/或沒食子酸(GA)中的一種或多種；所述的羧酸酯類選自對氨基苯甲酸甲酯、鄰苯二甲酸甲酯和/或沒食子酸丙酯中的一種或多種；所述酸酐類選自乙酸酐和/或己酸酐。本發(fā)明中，所述的表面活性劑選自聚甲基硅氧烷、聚乙基硅氧烷、聚丙基硅氧烷、 聚丁基硅氧烷、聚甲基乙基硅氧烷和/或聚二甲基硅氧烷中的一種或多種。本發(fā)明中，所述的混合添加劑還含有氣味調(diào)節(jié)劑。所述的氣味調(diào)節(jié)劑的質(zhì)量百分含量為0. 05% 0.5%。本發(fā)明中，所述的氣味調(diào)節(jié)劑為市售的水溶性香料。本發(fā)明中，所述的水用于溶解各種添加劑。本發(fā)明的線鋸切割液含有油性切割基體和本發(fā)明的混合添加劑。所述混合添加劑與油性切割基體在所述線切割液中的比例為50 50 3 97之間。所述的油性切割
基體較佳地為聚乙二醇。本發(fā)明的積極效果在于本發(fā)明的線鋸切割液具有很好的分散和再分散磨料的能力，確保了配置砂漿的穩(wěn)定性和持久性，很好的冷卻和潤滑作用，降低了切片的表面損傷， 機(jī)械應(yīng)力，熱應(yīng)力及金屬離子對晶片的污染，有效地改善晶片的厚度誤差，采用更細(xì)的切割線，提高切割良率。
具體實(shí)施例方式制備實(shí)施例1下面用實(shí)施例來進(jìn)一步說明本發(fā)明，但本發(fā)明并不受其限制。下述實(shí)施例中，百分比均為質(zhì)量百分比。表1給出了本發(fā)明的用于厚膜光刻膠的清洗液實(shí)施例1 8的配方，按表1中所列組分及其含量，將有機(jī)堿在1小時內(nèi)，滴加到有機(jī)酸中，并持續(xù)攪拌；當(dāng)?shù)渭油暧袡C(jī)堿后， 繼續(xù)攪拌30分鐘；然后加入金屬腐蝕抑制劑，攪拌20分鐘；最后將表面活性劑和氣味調(diào)節(jié)劑(上海雅加香精香料有限公司YJ40541產(chǎn)品)加入，繼續(xù)攪拌30分鐘，即可以得到用于線鋸切割液的混合添加劑。表1本發(fā)明的用于線鋸切割液的混合添加劑制備實(shí)施例1 8
權(quán)利要求
1.一種用于線鋸切割液的混合添加劑，含有a)7jC45 ~ 84wt%b)有機(jī)酸聚合物8 30wt%c)有機(jī)堿6 25wt%d)金屬腐蝕抑制劑0.1 2wt%e)表面活性劑0. 1 2wt%。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的混合添加劑，所述的有機(jī)酸聚合物選自丙烯酸、甲基丙酸酸、 乙基丙烯酸、烯基磺酸、苯乙烯磺酸、馬來酸酐、烷基丙烯氧基磺酸、丙烯酰胺基磺酸中的一種或多種為單體單元而得到的均聚物或共聚物中的一種或多種。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的混合添加劑，所述的均聚物或共聚物的分子量為400-5000。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的混合添加劑，所述的有機(jī)堿選自四甲基氫氧化銨、四乙基氫氧化銨、四丙基氫氧化銨、四丁基氫氧化銨和/或芐基三甲基氫氧化銨中的一種或多種。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的混合添加劑，所述的金屬腐蝕抑制劑選自酚類、羧酸類、羧酸酯類和/或酸酐類中的一種或多種。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的混合添加劑，所述的酚類選自苯酚、1，2-二羥基苯酚、對羥基苯酚和/或連苯三酚中的一種或多種；所述的羧酸類選自苯甲酸、對氨基苯甲酸(PABA)、鄰苯二甲酸(PA)和/或沒食子酸(GA)中的一種或多種；所述的羧酸酯類選自對氨基苯甲酸甲酯、鄰苯二甲酸甲酯和/或沒食子酸丙酯中的一種或多種；所述酸酐類選自乙酸酐和/或己酸酐。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的混合添加劑，所述的表面活性劑選自聚甲基硅氧烷、聚乙基硅氧烷、聚丙基硅氧烷、聚丁基硅氧烷、聚甲基乙基硅氧烷和/或聚二甲基硅氧烷中的一種或多種。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的混合添加劑，還含有氣味調(diào)節(jié)劑。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的混合添加劑，所述的氣味調(diào)節(jié)劑的質(zhì)量百分含量為 0. 05% 0. 5%。
10.一種線鋸切割液，含有油性切割基體和根據(jù)權(quán)利要求1 8中任一項(xiàng)所述的混合添加劑。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的線鋸切割液，所述混合添加劑與油性切割基體在所述線切割液中的比例為50 50 3 97之間。
12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的線鋸切割液，所述的油性切割基體為聚乙二醇。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種混合添加劑及由其制得的線鋸切割液。本發(fā)明的線鋸切割液具有很好的分散和再分散磨料的能力，確保了配置砂漿的穩(wěn)定性和持久性，很好的冷卻和潤滑作用，降低了切片的表面損傷，機(jī)械應(yīng)力，熱應(yīng)力及金屬離子對晶片的污染，有效地改善晶片的厚度誤差，采用更細(xì)的切割線，提高切割良率。
文檔編號C10M173/02GK102344850SQ201010246708
公開日2012年2月8日 申請日期2010年8月6日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月6日
發(fā)明者于昊, 宮勇 申請人:安集微電子(上海)有限公司