一種采用膜過濾方式在線回收硅片切割廢砂漿工藝的制作方法
【專利摘要】一種采用膜過濾方式在線回收硅片切割廢砂漿工藝，其特征在于：所述的采用膜過濾方式在線回收硅片切割廢砂漿工藝，具體為將切割使用后的廢棄砂漿經(jīng)分離機后，流體部分通過管道輸送給壓濾機，壓濾機的膜采用纖維膜，孔徑小于5微米，流體壓強小于8兆帕，助濾劑添加量的質(zhì)量比為4～30%。所述的助濾劑為珍珠巖。本發(fā)明的優(yōu)點：本發(fā)明所述的采用膜過濾方式在線回收硅片切割廢砂漿工藝，用于回收硅片切割工藝中所產(chǎn)生的廢砂漿，同時亦適用于半導體芯片、水晶、鉆石等行業(yè)的廢液回收利用?；厥招Ч?，小顆粒雜質(zhì)去除率達95%以上?；厥招矢?，有效地避免了浪費，降低了企業(yè)的生產(chǎn)成本。
【專利說明】一種采用膜過濾方式在線回收硅片切割廢砂漿工藝

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及硅片切割廢砂漿在線回收工藝，特別涉及了一種采用膜過濾方式在線回收硅片切割廢砂漿工藝。

【背景技術(shù)】
[0002]目前，為了保證硅片切割質(zhì)量，切割工藝中使用的砂漿基本都是極少的重復使用，切割使用后的廢棄砂漿直接作為工業(yè)廢棄物堆積處理，或者委托專業(yè)處理廠對使用過的砂漿進行處理，無論以上那種方式，都會造成極大浪費，產(chǎn)生較大成本，因此，實現(xiàn)砂漿的回收再利用是硅片生產(chǎn)企業(yè)降低生產(chǎn)成本的有效途徑，需要合理的在線回收工藝。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是為了降低成本，提高廢砂漿回收效率，特提供了一種采用膜過濾方式在線回收硅片切割廢砂漿工藝。
[0004]本發(fā)明提供了一種采用膜過濾方式在線回收硅片切割廢砂漿工藝，其特征在于:所述的采用膜過濾方式在線回收硅片切割廢砂漿工藝，具體為將切割使用后的廢棄砂漿經(jīng)分離機后，流體部分通過管道輸送給壓濾機，壓濾機的膜采用纖維膜，孔徑小于5微米，流體壓強小于8兆帕，助濾劑添加量的質(zhì)量比為4?30%。
[0005]所述的助濾劑為珍珠巖。
[0006]所述的助濾劑為珍珠巖和活性炭組合，二者質(zhì)量比例為I?2:1。
[0007]所述的助濾劑為珍珠巖、活性炭和硅藻土，三者質(zhì)量比例為I?2:1:1?2。
[0008]所述的采用膜過濾方式在線回收硅片切割廢砂漿工藝，助濾劑添加量的質(zhì)量比小于4%時，堵塞嚴重，過濾無法進行；助濾劑添加量的質(zhì)量比大于30%時，助濾劑成本過高，回收發(fā)砂漿經(jīng)的濟性不合理。
[0009]在流量為1250公斤/平方米，每天24小時連續(xù)工作，持續(xù)運行6?8個月的情況下，更換一次過濾膜，使用效果好。
[0010]本發(fā)明的優(yōu)點:
[0011]本發(fā)明所述的采用膜過濾方式在線回收硅片切割廢砂漿工藝，用于回收硅片切割工藝中所產(chǎn)生的廢砂漿，同時亦適用于半導體芯片、水晶、鉆石等行業(yè)的廢液回收利用?；厥招Ч?，小顆粒雜質(zhì)去除率達95%以上?；厥招矢?，有效地避免了浪費，降低了企業(yè)的生產(chǎn)成本。

【具體實施方式】
[0012]實施例1
[0013]本實施例提供了一種采用膜過濾方式在線回收硅片切割廢砂漿工藝，其特征在于:所述的采用膜過濾方式在線回收硅片切割廢砂漿工藝，具體為將切割使用后的廢棄砂漿經(jīng)分離機后，流體部分通過管道輸送給壓濾機，壓濾機的膜采用纖維膜，孔徑小于5微米，流體壓強小于8兆帕，助濾劑添加量的質(zhì)量比為4%。
[0014]所述的助濾劑為珍珠巖。
[0015]所述的采用膜過濾方式在線回收硅片切割廢砂漿工藝，助濾劑添加量的質(zhì)量比小于4%時，堵塞嚴重，過濾無法進行。
[0016]在流量為1250公斤/平方米，每天24小時連續(xù)工作，持續(xù)運行6個月的情況下，更換一次過濾膜，使用效果好。
[0017]實施例2
[0018]本實施例提供了一種采用膜過濾方式在線回收硅片切割廢砂漿工藝，其特征在于:所述的采用膜過濾方式在線回收硅片切割廢砂漿工藝，具體為將切割使用后的廢棄砂漿經(jīng)分離機后，流體部分通過管道輸送給壓濾機，壓濾機的膜采用纖維膜，孔徑小于5微米，流體壓強小于8兆帕，助濾劑添加量的質(zhì)量比為15%。
[0019]所述的助濾劑為珍珠巖和活性炭組合，二者質(zhì)量比例為1:1。
[0020]所述的采用膜過濾方式在線回收硅片切割廢砂漿工藝，在流量為1250公斤/平方米，每天24小時連續(xù)工作，持續(xù)運行7個月的情況下，更換一次過濾膜，使用效果好。
[0021]實施例3
[0022]本實施例提供了一種采用膜過濾方式在線回收硅片切割廢砂漿工藝，其特征在于:所述的采用膜過濾方式在線回收硅片切割廢砂漿工藝，具體為將切割使用后的廢棄砂漿經(jīng)分離機后，流體部分通過管道輸送給壓濾機，壓濾機的膜采用纖維膜，孔徑小于5微米，流體壓強小于8兆帕，助濾劑添加量的質(zhì)量比為30%。
[0023]所述的助濾劑為珍珠巖、活性炭和硅藻土，三者質(zhì)量比例為2:1:1。
[0024]在流量為1250公斤/平方米，每天24小時連續(xù)工作，持續(xù)運行8個月的情況下，更換一次過濾膜，使用效果好。
【權(quán)利要求】
1.一種采用膜過濾方式在線回收硅片切割廢砂漿工藝，其特征在于:所述的采用膜過濾方式在線回收硅片切割廢砂漿工藝，具體為將切割使用后的廢棄砂漿經(jīng)分離機后，流體部分通過管道輸送給壓濾機，壓濾機的膜采用纖維膜，孔徑小于5微米，流體壓強小于8兆帕，助濾劑添加量的質(zhì)量比為4?30%。
2.按照權(quán)利要求1所述的采用膜過濾方式在線回收硅片切割廢砂漿工藝，其特征在于:所述的助濾劑為珍珠巖。
3.按照權(quán)利要求1所述的采用膜過濾方式在線回收硅片切割廢砂漿工藝，其特征在于:所述的助濾劑為珍珠巖和活性炭組合，二者質(zhì)量比例為I?2:1。
4.按照權(quán)利要求1所述的采用膜過濾方式在線回收硅片切割廢砂漿工藝，其特征在于:所述的助濾劑為珍珠巖、活性炭和硅藻土，三者質(zhì)量比例為I?2:1:1?2。
【文檔編號】C10M175/00GK104293472SQ201310298686
【公開日】2015年1月21日 申請日期:2013年7月16日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月16日
【發(fā)明者】張磊, 劉鐵英 申請人:張磊, 劉鐵英