一種硅片切割液的制作方法
【專利說明】一種硅片切割液
[0001]
技術領域
[0002]本發(fā)明屬于化學化工技術領域，尤其涉及用于單晶硅和碳化硅切片的金屬絲切割液。
【背景技術】
[0003]在硅片切割生產過程中，作為金屬絲切割的負責耗材，硅片切割液并不可少。切割液在懸浮能力、冷卻性能、潤滑性能和砂漿分散性能的好壞，很大程度上決定了硅片切割的精度和效率。目前市場上普通的硅片切割液在散熱冷卻性能還有所欠缺，尤其是在高頻率切割下難以達到尤其。而且隨著切割的進行，金屬絲如果磨損到一定程度后，且潤滑性能會降低，導致切割精度下降，有的抗雜質能力較差，當切割硅、鐵、極氧化合物等雜質的產生，還會導致切割液性能明顯下降。

【發(fā)明內容】

[0004]發(fā)明目的:針對上述現有存在的問題和不足，本發(fā)明的目的是提供一種硅片切割液，具有更優(yōu)秀的潤滑性能，能提高硅片的切割精度，并降低切割液的使用成本。
[0005]技術方案:為實現上述發(fā)明目的，本發(fā)明采用以下技術方案:一種硅片切割液，按重量份數計包括以下組份:
去離子水 100份；
聚乙二醇 70?120份；
植物油40?100份；
螯合劑10?20份
表面活性劑 2?5份。
[0006]作為優(yōu)選，所述聚乙二醇的聚合度為600?800。
[0007]作為優(yōu)選，所述表面活性劑為環(huán)烷酸鋅鹽、十二烷基磺酸鈉或十二烷基硬脂酸鹽。
[0008]作為優(yōu)選，所述植物油為大豆油、花生油、玉米油。
[0009]作為優(yōu)選，所述螯合劑由對苯二酚、三聚磷酸鈉和氨基三亞甲基磷酸組成，各組分重量比為1:1.2?1.5:1.2?1.5。
[0010]有益效果:與現有技術相比，本發(fā)明切割液具有較強的碳化硅懸浮分散能力，能有效提高磨料在金屬絲上的攜帶量；同時具有較高的潤滑效果，且成本低廉，易于聚乙二醇的回收。
【具體實施方式】
[0011]下面結合具體實施例，進一步闡明本發(fā)明，應理解這些實施例僅用于說明本發(fā)明而不用于限制本發(fā)明的范圍，在閱讀了本發(fā)明之后，本領域技術人員對本發(fā)明的各種等價形式的修改均落于本申請所附權利要求所限定的范圍。
[0012]實施例1
在100L的去離子水中，依次加入聚合度為800的100L聚乙二醇、50L大豆油、5L的環(huán)烷酸鋅鹽，并攪拌均勻，接著加入10L的三聚磷酸鈉，攪勻備用。得到切割液為無色透明液體，在25 °C下的粘度為27.5?32.0，比重為1.11?1.25，5%的水溶液Ph值范圍為5?7，旋轉粘度隨溫度上升而降低，45°C的旋轉粘度相對于20°C的旋轉粘度下降64.5%。
[0013]實施例2
在100L的去離子水中，依次加入聚合度為600的100L聚乙二醇、40L大豆油、2L的十二烷基磺酸鈉，并攪拌均勻，接著加入10L的對苯二酚，攪勻備用。得到切割液為無色透明液體，在25 °C下的粘度為27.5?32.0，比重為1.11?1.25，5%的水溶液Ph值范圍為5?7，旋轉粘度隨溫度上升而降低，45°C的旋轉粘度相對于20°C的旋轉粘度下降62.5%。
【主權項】
1.一種硅片切割液，其特征在于，按重量份數計包括以下組份: 去離子水 100份； 聚乙二醇 70?120份； 植物油40?100份； 螯合劑10?20份 表面活性劑 2?5份。2.根據權利要求1所述硅片切割液，其特征在于:所述聚乙二醇的聚合度為600?800。3.根據權利要求1所述硅片切割液，其特征在于:所述表面活性劑為環(huán)烷酸鋅鹽、十二烷基磺酸鈉或十二烷基硬脂酸鹽。4.根據權利要求1所述硅片切割液，其特征在于:所述植物油為大豆油、花生油、玉米油。5.根據權利要求1所述硅片切割液，其特征在于:所述螯合劑由對苯二酚、三聚磷酸鈉和氨基三亞甲基磷酸組成，各組分重量比為1:1.2?1.5:1.2?1.5。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種硅片切割液，按重量份數計包括以下組份：去離子水100份；聚乙二醇70～120份；植物油40～100份；螯合劑10～20份；表面活性劑2～5份。本發(fā)明具有更優(yōu)秀的潤滑性能，能提高硅片的切割精度，并降低切割液的使用成本。
【IPC分類】C10M173/00, C10N30/04
【公開號】CN105385489
【申請?zhí)枴緾N201510787934
【發(fā)明人】陳斌
【申請人】江蘇金暉光伏有限公司
【公開日】2016年3月9日
【申請日】2015年11月17日