專利名稱：層疊型壓電致動(dòng)器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及作為用于驅(qū)動(dòng)柴油發(fā)動(dòng)機(jī)的燃料噴射裝置等的驅(qū)動(dòng)源等而使用的層 疊型壓電致動(dòng)器，更具體而言，所涉及的層疊型壓電致動(dòng)器的形成于層疊型壓電體的外表 面的外部電極具有對(duì)因?qū)盈B型壓電體的伸縮所施加的應(yīng)力進(jìn)行緩和的應(yīng)力吸收用外部電 極材料。
背景技術(shù)：
在層疊型壓電致動(dòng)器中雖然可以獲得較大的位移量，但施加到層疊型壓電體的應(yīng) 力也增大。層疊型壓電致動(dòng)器包括活性部和非活性部，上述活性部的與不同電位相連接的 第一、第二內(nèi)部電極隔著壓電體層進(jìn)行多層層疊，上述非活性部位于活性部的層疊方向外 側(cè)。在進(jìn)行驅(qū)動(dòng)時(shí)，不向非活性部的壓電體層施加電壓。因而，在驅(qū)動(dòng)時(shí)，在利用壓電效應(yīng) 而伸縮的活性部和非活性部之間施加較大的應(yīng)力，可能會(huì)在壓電體中產(chǎn)生裂紋。若上述裂紋擴(kuò)大，則可能會(huì)導(dǎo)致形成于層疊型壓電體表面的外部電極斷裂。因此， 為了防止外部電極斷裂，一直以來提出了各種結(jié)構(gòu)。例如，在下述的專利文獻(xiàn)1中，揭示了 圖6所述的層疊型壓電致動(dòng)器。如圖6所示，對(duì)于層疊型壓電致動(dòng)器101，在層疊型壓電體 102中，將多個(gè)第一內(nèi)部電極103和多個(gè)內(nèi)部電極104隔著壓電體層交替層疊。向側(cè)面102a 引出第二內(nèi)部電極104。以覆蓋側(cè)面102a的方式形成有外部電極105。外部電極105包括 基礎(chǔ)金屬被覆層105a和三維結(jié)構(gòu)的電極材料105b，上述基礎(chǔ)金屬被覆層105a形成于側(cè)面 102a上，上述三維結(jié)構(gòu)的電極材料105b配置于基礎(chǔ)金屬被覆層105a上。電極材料105b利 用導(dǎo)電性接合材料106在多個(gè)接觸部分與基礎(chǔ)金屬被覆層105a相接合。即使在層疊型壓電體102中產(chǎn)生裂紋A，該裂紋A到達(dá)側(cè)面102a，基礎(chǔ)金屬被覆層 105a斷裂，但利用具有三維結(jié)構(gòu)的電極材料105b也能夠確保導(dǎo)通。另外，即使是在對(duì)具有 三維結(jié)構(gòu)的電極材料105b施加了成為裂紋A的原因的應(yīng)力的情況下，也能夠吸收該應(yīng)力。 因而，電極材料105b不容易斷裂。在專利文獻(xiàn)1中，作為具有這樣三維結(jié)構(gòu)的電極材料105b，不限于圖6所示的形 狀，還示出了使用海綿金屬、金屬網(wǎng)的結(jié)構(gòu)。另一方面，在下述專利文獻(xiàn)2、專利文獻(xiàn)3中，在層疊型壓電致動(dòng)器中，由金屬網(wǎng)構(gòu) 成的增強(qiáng)用外部電極材料層疊于基底電極上。專利文獻(xiàn)1 日本專利特開平10-229227號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 日本專利特開昭63-153870號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3 日本專利特開2003-210884號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
如上所述，提出了具有對(duì)來自層疊型壓電體的應(yīng)力進(jìn)行吸收的結(jié)構(gòu)的種種外部電 極。另外，對(duì)于層疊型壓電體的外部電極，為了施加用于驅(qū)動(dòng)層疊型壓電致動(dòng)器的電
3壓，與引線等供電端子相接合。供電端子利用焊料、銀焊等與外部電極相接合。因而，在供 電端子和外部電極的接合部分不具有彈性。因而，若將來自上述層疊型壓電體的應(yīng)力施加 到上述接合部分，則供電端子也可能脫落。若供電端子從外部電極脫落，則已經(jīng)不能驅(qū)動(dòng)層 疊型壓電致動(dòng)器。特別是在要求高速驅(qū)動(dòng)的情況下，例如作為柴油發(fā)動(dòng)機(jī)的燃料噴射裝置用的驅(qū)動(dòng) 源而使用層疊型壓電致動(dòng)器的情況下，非常需要供電端子與外部電極進(jìn)行牢固地接合。然 而，在現(xiàn)有的層疊型壓電致動(dòng)器中，雖然能夠?qū)崿F(xiàn)進(jìn)一步小型化且擴(kuò)大位移量，但是難以充 分提高外部電極和供電端子的接合強(qiáng)度。本發(fā)明的目的在于消除上述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，提供一種層疊型壓電致動(dòng)器，該層 疊型壓電致動(dòng)器具有以下結(jié)構(gòu)即，外部電極不僅不容易因裂紋等所引起的應(yīng)力而斷裂，還 能提高與弓I線等供電端子的接合強(qiáng)度。根據(jù)本發(fā)明，提供一種層疊型壓電致動(dòng)器，其特征在于，包括層疊型壓電體和第 一、第二外部電極，上述層疊型壓電體中層疊有多個(gè)內(nèi)部電極和多個(gè)壓電體層，上述層疊型 壓電體的多個(gè)內(nèi)部電極包括與不同電位相連接的第一內(nèi)部電極和第二內(nèi)部電極，上述第 一、第二外部電極分別與上述第一、第二內(nèi)部電極電連接，且形成于上述層疊型壓電體的外 表面，上述第一、第二外部電極包括基底電極和應(yīng)力吸收用外部電極材料，上述基底電極形 成于上述層疊型壓電體的外表面，上述應(yīng)力吸收用外部電極材料設(shè)置于基底電極的外側(cè)， 上述應(yīng)力吸收用外部電極材料包括彈性結(jié)構(gòu)部和平面部，上述彈性結(jié)構(gòu)部形成于上述基底 電極上，且在施加外力時(shí)會(huì)發(fā)生彈性形變，上述平面部與上述彈性結(jié)構(gòu)部相連，且具有的面 積是能夠?qū)εc上述第一、第二外部電極相接合的供電端子進(jìn)行接合的面積以上。本發(fā)明的層疊型壓電致動(dòng)器在某特定情況下，與上述供電端子相連接的平面部未 與上述基底電極相接合，平面部以外的應(yīng)力吸收用外部電極材料的一部分固定于基底電 極。由于平面部未與基底電極相接合，因此即使平面部中與引線等供電端子相接合，來自層 疊型壓電體的應(yīng)力也不容易傳至平面部。因而，供電端子不容易從應(yīng)力吸收用外部電極材 料的平面部脫落。另外，本發(fā)明的層疊型壓電致動(dòng)器在特定情況下，除了上述彈性結(jié)構(gòu)部及平面部 以外，還包括與基底電極相接合的固定部，在該固定部中應(yīng)力吸收用外部電極材料與基底 電極相接合。因而，由于平面部及彈性結(jié)構(gòu)部這兩者都未與基底電極相接合，因此彈性結(jié)構(gòu) 部中能夠有效地吸收從層疊型壓電體側(cè)施加的應(yīng)力，由此，不容易產(chǎn)生應(yīng)力吸收用外部電 極材料的斷裂。而且，由于應(yīng)力不容易傳至上述平面部，因此供電端子不容易從平面部脫 落。本發(fā)明在其他特定情況下，在使用時(shí)固定上述層疊型壓電致動(dòng)器的端部側(cè)包括上 述應(yīng)力吸收用外部電極材料的上述平面部。本發(fā)明的層疊型壓電致動(dòng)器適用于例如燃料噴 射裝置。在將本發(fā)明的層疊型壓電致動(dòng)器用于燃料噴射裝置的情況下，通常，將層疊型壓電 驅(qū)動(dòng)器僅在一側(cè)的端部固定。因而，如上所述，通過使連接供電端子的外部電極材料的平面 部與使用時(shí)固定層疊型壓電致動(dòng)器的端部側(cè)相連接，從而由于累積的位移變小，因此能夠 抑制供電端子的脫落。在本發(fā)明的層疊型壓電驅(qū)動(dòng)器中，外部電極包括基底電極和形成于基底電極的應(yīng) 力吸收用外部電極材料，在應(yīng)力吸收用外部電極材料中，設(shè)置有在施加外力時(shí)發(fā)生彈性形
4變的彈性結(jié)構(gòu)部、和與引線等供電端子相接合的平面分，因此通過彈性結(jié)構(gòu)部發(fā)生彈性形 變，可以有效地吸收所施加的應(yīng)力，且上述應(yīng)力不容易傳至上述平面部。因此，即使重復(fù)使 用，或長時(shí)間使用，外部電極也不容易產(chǎn)生斷裂。另外，引線等供電端子等也不容易從外部 電極脫落。


圖1(a)及(b)是示出本發(fā)明的實(shí)施方式1的層疊型壓電致動(dòng)器的外觀的立體圖 及右視圖。圖2是用于說明實(shí)施方式1的層疊型壓電致動(dòng)器的應(yīng)力吸收用外部電極材料的彈 性結(jié)構(gòu)部的形狀的部分剖開立體圖。圖3是用于說明實(shí)施方式1的層疊型壓電致動(dòng)器的變形例的右視圖。圖4是用于說明應(yīng)力吸收用外部電極材料的彈性結(jié)構(gòu)部的變形例的立體圖。圖5是用于說明應(yīng)力吸收用外部電極材料的彈性結(jié)構(gòu)部的其他變形例的立體圖。圖6是示出現(xiàn)有的層疊型壓電致動(dòng)器的一例的部分剖開主視剖視圖。標(biāo)號(hào)說明1層疊型壓電致動(dòng)器2層疊型壓電體2a壓電體層2b、2c 第二側(cè)面2d上表面2e下表面2f 正面2g 背面3 5第一內(nèi)部電極7、8第二內(nèi)部電極9外部電極10基底電極11應(yīng)力吸收用外部電極材料Ila彈性結(jié)構(gòu)部IlbUlc 固定部Ild平面部21、22插入金屬層31a彈性結(jié)構(gòu)部31b,31c 固定部32、33導(dǎo)電性接合材料41a彈性結(jié)構(gòu)部41b,41c 固定部42、43導(dǎo)電性接合材料
具體實(shí)施例方式以下，通過一面參照附圖、一面說明本發(fā)明的具體實(shí)施方式
，來闡明本發(fā)明。圖1(a)及(b)是示出本發(fā)明的一實(shí)施方式的層疊型壓電致動(dòng)器的外觀的立體圖 及示意性的右視圖。層疊型壓電致動(dòng)器1包括層疊型壓電體2。層疊型壓電體2是利用一體燒成技術(shù) 來對(duì)內(nèi)部電極和壓電體陶瓷層進(jìn)行燒成而獲得的單片型的壓電體。更具體而言，在層疊型壓電體2中，在層疊方向上交替配置有與一側(cè)電位相連接 的多個(gè)第一內(nèi)部電極3 5、和與不同于第一內(nèi)部電極的另一側(cè)電位相連接的第二內(nèi)部電 極7、8。第一內(nèi)部電極3 5及第二內(nèi)部電極7、8以分別隔著壓電體層2a重疊的方式進(jìn)行 配置。層疊型壓電體2中，壓電體層2a沿厚度方向進(jìn)行分極。將第一內(nèi)部電極3 5向?qū)盈B型壓電體2的第一側(cè)面2b引出。另一方面，將多個(gè) 第二內(nèi)部電極7、8向與第一側(cè)面2b相反一側(cè)的第二側(cè)面2c引出。作為構(gòu)成層疊型壓電體2的壓電材料，能夠使用適當(dāng)?shù)膲弘娞沾?。另外，?nèi)部電極 3 5、7、8是由Ag、Ag-Pd糊料那樣的導(dǎo)電糊料和上述陶瓷進(jìn)行共同燒結(jié)而形成的。層疊型壓電體2具有長方體狀的形狀，上述長方體狀包括第一、第二側(cè)面2b、2c、 上表面2d、下表面2e、正面2f、及背面2g。形成有第一外部電極，使得與第一內(nèi)部電極3 5的引出到側(cè)面2b的內(nèi)部電極端部邊緣部分電連接。在圖1(a)中，未示出第一外部電極。另一方面，在第二側(cè)面2c形成有第二外部電極9。第二外部電極9與第二內(nèi)部電 極7、8的引出到側(cè)面2c的內(nèi)部電極端部邊緣部分電連接。由于第一外部電極與第二外部電極9具有相同的結(jié)構(gòu)，因此以第二外部電極9為 代表進(jìn)行說明。第二外部電極9包括基底電極10和應(yīng)力吸收用外部電極材料11，上述基底電極 10由形成于側(cè)面2c上的金屬膜構(gòu)成，上述應(yīng)力吸收用外部電極材料11與基底電極10的外
表面相接合?；纂姌O10能夠使用Ag、Ag-Pd等合適的金屬形成。在本實(shí)施方式中，通過涂布 包括上述金屬的導(dǎo)電糊料，并進(jìn)行燒接，從而形成基底電極10。但是，也可以利用蒸鍍、鍍 敷、濺射等薄膜形成法來形成基底電極10。應(yīng)力吸收用外部電極材料11包括在施加外力時(shí)發(fā)生彈性形變的彈性結(jié)構(gòu)部11a、 多組第一、第二固定部llb、llc、及平面部lid。如圖2所示，在本實(shí)施方式中，彈性結(jié)構(gòu)部 Ila具有金屬網(wǎng)狀的形狀。因而，即使在層疊型壓電體2的層疊方向或與層疊方向交叉的方 向上發(fā)生應(yīng)力，金屬網(wǎng)狀部分也能很自然地進(jìn)行彈性形變。因此，即使被重復(fù)驅(qū)動(dòng)，或施加 熱沖擊，彈性結(jié)構(gòu)部Ila也不容易斷裂。另一方面，第一、第二固定部IlbUlc隔著彈性結(jié)構(gòu)部Ila而相對(duì)配置。第一、第 二固定部IlbUlc與基底電極10相接合。后文中將說明該接合結(jié)構(gòu)。上述彈性結(jié)構(gòu)部Ila未與基底電極10的外表面相接合。因而，彈性結(jié)構(gòu)部Ila很 自然地進(jìn)行彈性形變，吸收所施加的應(yīng)力。但是，也可以將彈性結(jié)構(gòu)部Ila的一部分或全部 與基底電極10相接合。在這種情況下，盡管彈性結(jié)構(gòu)部Ila的應(yīng)力吸收作用降低，但與未 設(shè)置彈性結(jié)構(gòu)部Ila的情況相比，也不容易產(chǎn)生斷裂。此外。也可以僅設(shè)置第一、第二固定部IlbUlc中的一個(gè)。還可以不設(shè)第一、第二
6固定部llb、llc，使上述彈性結(jié)構(gòu)部Ila的一部分與基底電極10接合，并固定。另一方面，平面部Ild與上述彈性結(jié)構(gòu)部Ila的上方相連。平面部Ild是至少具 有與引線等供電端子相接合的足夠面積的平面狀部分。因而，在平面部Iid的外側(cè)表面，能 夠容易且可靠地利用焊接、銀焊來接合引線等供電端子。由于除了接受應(yīng)力而發(fā)生彈性形 變的彈性結(jié)構(gòu)部，還設(shè)置有與供電端子相接合的平面部lld，因此即使彈性結(jié)構(gòu)部Ila發(fā)生 形變，供電端子也不容易從平面部Ild脫落。另外，在本實(shí)施方式中，以與上述平面部Ild相連的方式設(shè)置第一、第二固定部 IleUlf0但是，平面部Ild也可以不與基底電極10相接合。在這種情況下，即使來自層疊 型壓電體2的應(yīng)力傳至基底電極10，該應(yīng)力也不容易從基底電極10傳至上述平面部lid。 由此，供電端子不容易從平面部Ild脫落。最好將上述層疊型壓電致動(dòng)器1在使用時(shí)在上表面2d側(cè)端部固定。例如，汽車的 燃料噴射裝置中使用層疊型壓電致動(dòng)器1作為致動(dòng)器的情況下，僅將層疊型壓電致動(dòng)器1 在一端側(cè)固定。在這種情況下，最好在上表面2d側(cè)固定。由此，由于累積位移在上表面2d 側(cè)要小于下表面2e側(cè)，因此能夠有效地抑制供電端子從平面部Ild脫落。在本實(shí)施方式中，上述第一、第二固定部IlbUlc利用擴(kuò)散接合而與基底電極10 相接合。通過使用擴(kuò)散接合，并不用加熱至那么高的溫度，就能使基底電極10和固定部 IlbUlc牢固地接合。在使用上述擴(kuò)散接合的情況下，如圖3示意性的右視圖所示，也可以在基底電極 10上配置條狀的插入金屬層21、22來進(jìn)行接合。該插入金屬層21、22以跨過多個(gè)第一固定 部lib、固定部lie及多個(gè)第二固定部11c、固定部Ilf的方式沿上下方向延伸。成為在一 對(duì)帶狀的內(nèi)插金屬層21、22間配置上述彈性結(jié)構(gòu)部Ila及平面部lid。然后，將內(nèi)插金屬層 21配置于多個(gè)固定部lib及l(fā)ie和基底電極10之間，將內(nèi)插金屬層22配置于多個(gè)第二固 定部IlcUlf和基底電極10之間，在該狀態(tài)下利用加熱來進(jìn)行擴(kuò)散接合。由此，將多個(gè)固定部lib、11c、lie、Ilf牢固地與基底電極10相接合。在這種情況 下，由于設(shè)置有內(nèi)插金屬層21、22，因此配置于內(nèi)插金屬層21、22間的彈性結(jié)構(gòu)部Ila及平 面部Ild難以與基底電極10緊貼。由此，可以提高彈性結(jié)構(gòu)部Ila的應(yīng)力吸收作用，而且 來自基底電極10側(cè)的應(yīng)力更難傳至平面部lid。在上述實(shí)施方式中，彈性結(jié)構(gòu)部Ila具有網(wǎng)狀的形狀，但只要因施加的應(yīng)力而發(fā) 生彈性形變，能夠吸收應(yīng)力，則能夠使用各種形狀的彈性結(jié)構(gòu)部11a。例如，如圖4所示那 樣，也可以在第一、第二固定部31b、31c之間設(shè)置具有多個(gè)彎曲部的Z字形曲折形狀的彈性 結(jié)構(gòu)部31a。第一、第二固定部31b、31c利用導(dǎo)電性接合材料32、33與基底電極相接合。另外，如圖5所示那樣，也可以在第一、第二固定部41b、41c之間配置彎曲狀即蛇 行形狀的彈性結(jié)構(gòu)部41a。第一、第二固定部41b、41c利用導(dǎo)電性接合材料42、43與基底電 極相接合。圖4及圖5是示出彈性結(jié)構(gòu)部的各種變形例的圖。在這種情況下，也可以在第一、 第二固定部間形成多排Z字形曲折形狀的彈性結(jié)構(gòu)部31a或彎曲狀的彈性結(jié)構(gòu)部41a。接下來，基于具體實(shí)驗(yàn)例，說明利用上述實(shí)施方式的層疊型壓電致動(dòng)器使供電端 子難以脫落的情況。首先，使用包括鋯鈦酸鉛類壓電陶瓷粉末、樹脂粘合劑、可塑劑的陶瓷漿料，利用
7刮刀法，形成厚度大約為160 μ m的陶瓷生片。在上述陶瓷生片的單面上，印刷包含Ag-Pd粉末的導(dǎo)電糊料。層疊印刷有導(dǎo)電糊 料的多片陶瓷生片，還在層疊方向兩側(cè)分別層疊多片無圖案的陶瓷生片。對(duì)獲得的層疊體 進(jìn)行加壓，將陶瓷生片彼此之間進(jìn)行壓接。將壓接后的層疊體切割為作為目標(biāo)的層疊型壓 電體的大小，獲得層疊體芯片。對(duì)層疊體芯片進(jìn)行加熱、和脫粘合劑處理，再進(jìn)行燒成，獲得 層疊型壓電體2。在層疊型壓電體2中，使相鄰的內(nèi)部電極間的距離、即夾在內(nèi)部電極間的壓電體 層的厚度為100 μ m。由此，獲得IOmmXlOmmX層疊方向尺寸40mm的層疊型壓電體2。在層疊型壓電體2的側(cè)面2b、2c，印刷以Ag為主體的導(dǎo)電糊料。印刷后，使導(dǎo)電 糊料干燥，之后，作為用于擴(kuò)散接合的內(nèi)插金屬層，印刷與上述導(dǎo)電糊料相同的導(dǎo)電糊料， 并進(jìn)行干燥。然后，配置應(yīng)力吸收用外部電極材料。在這種情況下，使得第一、第二固定部 IlbUlc及平面部Ild與構(gòu)成內(nèi)插金屬層的導(dǎo)電糊料上面相接觸，而彈性結(jié)構(gòu)部Ila與形成 基底電極的導(dǎo)電糊料不接觸。然后，使形成內(nèi)插金屬層的導(dǎo)電糊料干燥。此外，作為應(yīng)力吸收用外部電極材料11，是通過對(duì)鐵_鎳合金進(jìn)行蝕刻，從而加工 成為具有圖1(b)所示的形狀。加工后，在表面利用電鍍形成5 10 μ m的銀。接下來，對(duì)上述導(dǎo)電糊料進(jìn)行燒接，完成基底電極10，并使基底電極10與應(yīng)力吸 收用外部電極材料11的固定部IlbUlc及平面部Ild進(jìn)行擴(kuò)散接合。此外，平面部Ild的尺寸為高度2mmX寬度4mm的矩形形狀。由此獲得的層疊型壓電致動(dòng)器的平面部Ild利用焊接與由直徑為Imm的硅橡膠絕 緣柔性電線構(gòu)成的引線相接合。作為實(shí)施方式2，除了平面部的面積為2mmX2mm、且平面部未與基底電極相接合 之外，都與上述實(shí)施方式1相同，獲得了層疊型壓電致動(dòng)器。對(duì)于該實(shí)施方式2的層疊型壓 電致動(dòng)器，也與實(shí)施方式1的實(shí)驗(yàn)例的情況相同，同樣對(duì)由硅橡膠絕緣柔性電線構(gòu)成的引 線進(jìn)行焊接。為了進(jìn)行比較，作為第一比較例，除了未設(shè)有上述平面部lid、且使用彈性結(jié)構(gòu)部 Ila延伸至本應(yīng)設(shè)有平面部Ild的部分的應(yīng)力吸收用外部電極材料之外，都與上述實(shí)施方 式相同，從而制造了層疊型壓電致動(dòng)器。在該第一比較例的層疊型壓電致動(dòng)器中，與實(shí)施方 式的情況相同利用焊接將上述彈性結(jié)構(gòu)部的一部分與引線相接合。(評(píng)價(jià))對(duì)上述第一、第二實(shí)施方式及第一比較例的各層疊型壓電致動(dòng)器分別準(zhǔn)備五個(gè)樣 品，且使其分別與引線相接合。設(shè)對(duì)各樣品施加0V-200V的矩形波，其中200V的施加時(shí)間 為Ims (毫秒)，接下來施加OV時(shí)的時(shí)間為3ms (毫秒)，由此驅(qū)動(dòng)各樣品，并反復(fù)該驅(qū)動(dòng)。求 出到發(fā)生故障為止的驅(qū)動(dòng)次數(shù)。此外，測(cè)定是在60°C及相對(duì)濕度為50%的情況下進(jìn)行的， 在該驅(qū)動(dòng)條件下，從層疊型壓電致動(dòng)器發(fā)生大約IOA的電流。其結(jié)果是，在比較例的層疊型壓電致動(dòng)器中，在進(jìn)行了 IXlO8以下的驅(qū)動(dòng)次數(shù)后， 五個(gè)樣品全部停止驅(qū)動(dòng)。與此不同的是，在實(shí)施方式1的樣品中，即使進(jìn)行IXlO9以上驅(qū)動(dòng)，也未發(fā)現(xiàn)故 障，在進(jìn)行1. 5 X IO9次驅(qū)動(dòng)的情況下，五個(gè)樣品內(nèi)的三個(gè)樣品停止驅(qū)動(dòng)。而且，在實(shí)施方式 2的樣品中，即使五個(gè)樣品全部被驅(qū)動(dòng)2X IO9次以上，也未發(fā)現(xiàn)故障。
即，可以認(rèn)為與第一比較例相比，根據(jù)實(shí)施方式1，在上述平面部中，由于與引線牢 固地接合，因此在發(fā)生故障前的驅(qū)動(dòng)次數(shù)大幅地增加。而且可以認(rèn)為在實(shí)施方式2中，由于 平面部未與基底電極相接合，因此，引線更難以從平面部脫落。
權(quán)利要求
一種層疊型壓電致動(dòng)器，其特征在于，包括層疊型壓電體和第一、第二外部電極，所述層疊型壓電體中層疊有多個(gè)內(nèi)部電極和多個(gè)壓電體層，所述層疊型壓電體的多個(gè)內(nèi)部電極包括與不同電位相連接的第一內(nèi)部電極和第二內(nèi)部電極，所述第一、第二外部電極分別與所述第一、第二內(nèi)部電極電連接，且形成于所述層疊型壓電體的外表面，所述第一、第二外部電極包括基底電極和應(yīng)力吸收用外部電極材料，所述基底電極形成于所述層疊型壓電體的外表面，所述應(yīng)力吸收用外部電極材料設(shè)置于基底電極的外側(cè)，所述應(yīng)力吸收用外部電極材料包括彈性結(jié)構(gòu)部和平面部，所述彈性結(jié)構(gòu)部形成于所述基底電極上，且在施加外力時(shí)會(huì)發(fā)生彈性形變，所述平面部與所述彈性結(jié)構(gòu)部相連，且具有的面積是能夠?qū)εc所述第一、第二外部電極相接合的供電端子進(jìn)行接合的面積以上。
2.如權(quán)利要求1所述的層疊型壓電致動(dòng)器，其特征在于，所述應(yīng)力吸收用外部電極材料的所述平面部未與所述基底電極相接合，所述平面部以 外的應(yīng)力吸收用外部電極材料的一部分與所述基底電極上相接合。
3.如權(quán)利要求2所述的層疊型壓電致動(dòng)器，其特征在于，所述應(yīng)力吸收用外部電極材料還包括與所述基底電極相接合的固定部，所述平面部及 所述彈性結(jié)構(gòu)部未與所述基底電極相接合。
4.如權(quán)利要求1至3的任一項(xiàng)所述的層疊型壓電致動(dòng)器，其特征在于，所述基底電極與所述應(yīng)力吸收用外部電極材料通過擴(kuò)散接合而相接合。
5.如權(quán)利要求1至4的任一項(xiàng)所述的層疊型壓電致動(dòng)器，其特征在于，在使用時(shí)固定所述層疊型壓電致動(dòng)器的端部側(cè)包括所述應(yīng)力吸收用外部電極材料的 所述平面部。
全文摘要
本發(fā)明的目的在于提供一種層疊型壓電致動(dòng)器，該層疊型壓電致動(dòng)器不容易因應(yīng)力而發(fā)生外部電極的斷裂，且引線等供電端子不容易從外部電極脫落。在層疊有多個(gè)內(nèi)部電極及多個(gè)壓電體層的層疊型壓電體(2)的外表面形成有外部電極(9)，外部電極(9)包括基底電極(10)、和形成于基底電極(10)上的應(yīng)力吸收用外部電極材料(11)，應(yīng)力吸收用外部電極材料11包括可進(jìn)行彈性形變的彈性結(jié)構(gòu)部(11a)、和與彈性結(jié)構(gòu)部(11a)相連并至少具有能夠與引線等供電端子相接合的足夠面積的平面部。
文檔編號(hào)F02M51/06GK101978522SQ20098011059
公開日2011年2月16日 申請(qǐng)日期2009年3月31日 優(yōu)先權(quán)日2008年4月11日
發(fā)明者林宏一, 葛西重治, 進(jìn)藤智 申請(qǐng)人:株式會(huì)社村田制作所