專利名稱：光學(xué)開(kāi)關(guān)器件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一光學(xué)開(kāi)關(guān)器件，其使用一鏡面來(lái)開(kāi)關(guān)連接在多個(gè)光纖之間的光路。
背景技術(shù)：
一般所知的一光學(xué)開(kāi)關(guān)器件包括一第一基底和一第二基底，第一基底包括一硅基底，而第二基底包括另一硅基底并布置成與第一基底鄰接。第二基底設(shè)置有四個(gè)互相隔開(kāi)90°的光纖安裝槽，以使其面向第一基底和沿徑向延伸，一具有在兩個(gè)互相相對(duì)的各自的光纖之間進(jìn)出的鏡面的靜電致動(dòng)器，其用來(lái)開(kāi)關(guān)在兩個(gè)光纖之間的一光路(例如，美國(guó)專利6,315,462)。
在這樣一個(gè)傳統(tǒng)的技術(shù)中，如果靜電致動(dòng)器受到阻擋，以致鏡面進(jìn)入兩個(gè)光纖之間，則從光纖發(fā)出的光線被鏡子沿垂直方向反射，這樣，互相垂直布置的各自的兩個(gè)光纖連接在一起。在另一方面，如果靜電致動(dòng)器被驅(qū)動(dòng)，以致鏡面從兩個(gè)光纖之間拔出，則從光纖發(fā)出的光線直線前進(jìn)，這樣，互相相對(duì)的各自的兩個(gè)光纖連接在一起。
順便提及的是，在上述的傳統(tǒng)技術(shù)中，為了對(duì)齊光纖的光軸，在光纖安裝槽內(nèi)的互相相對(duì)的兩個(gè)內(nèi)表面之一，設(shè)置有一用來(lái)推光纖朝向另一表面的彈性支架。然而，盡管光纖可通過(guò)該彈性支架沿第二基底的水平方向被定位，但其不能沿垂直方向被定位。因此，為了對(duì)齊光纖的光軸，必須使用另外的元件來(lái)推光纖朝向第一基底，于是遇到了安裝光纖的諸多困難。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決上述的諸問(wèn)題，本發(fā)明的優(yōu)選的實(shí)施例提供一光學(xué)開(kāi)關(guān)，它能沿兩個(gè)垂直方向定位一光纖，從而提高安裝光纖的方便性。
為了解決上述的諸問(wèn)題，一根據(jù)本發(fā)明的一優(yōu)選實(shí)施例的光學(xué)開(kāi)關(guān)器件包括一第一基底，一布置成鄰接第一基底并具有設(shè)置在其上且靠近第一基底的多個(gè)光纖安裝槽的第二基底，布置在第二基底的多個(gè)光纖安裝槽內(nèi)，且相隔一間距而互相相對(duì)的多個(gè)光纖，以及一致動(dòng)器，其通過(guò)布置成在第二基底上的多個(gè)光纖之間前進(jìn)和退出，在兩個(gè)光纖之間開(kāi)關(guān)一光路，其中，第二基底設(shè)置有一光纖夾具，其用來(lái)推光纖朝向光纖安裝槽的兩個(gè)互相相對(duì)的內(nèi)表面之一和第一基底。
通過(guò)以這樣方式構(gòu)造的光學(xué)開(kāi)關(guān)器件，當(dāng)光纖插入到光纖安裝槽時(shí)，使用光纖夾具，光纖可被推向光纖安裝槽內(nèi)的兩個(gè)內(nèi)表面之一和第一基底。因此，不需使用附加的元件，僅將光纖插入到光纖安裝槽中，光纖即可沿兩個(gè)垂直方向定位，能夠顯著地改進(jìn)并非常容易地安裝光纖。
較佳地，光纖夾具包括一彈簧單元，其尾部支座連接到光纖安裝槽的一個(gè)內(nèi)表面上，且其末端沿光纖安裝槽的寬度方向可移動(dòng)，以及一鄰近彈簧單元的末端的推力單元，其用來(lái)斜向地推光纖朝向另一內(nèi)表面，以及朝向第一基底。
由此，推力單元通過(guò)彈簧單元的彈性與光纖彈性地接觸，而通過(guò)斜向地推光纖朝向另一內(nèi)表面和第一基底，可定位光纖。
較佳地，推力單元設(shè)置有一形成在其上的傾斜平面，它沿第二基底的厚度方向傾斜，以便與光纖面接觸。
由于傾斜平面與光纖面接觸，所以，與推力單元的邊角與光纖線接觸的情形相比，可產(chǎn)生一沿第二基底的厚度方向傾斜的斜向力，這樣，推力可以穩(wěn)定地沿一斜向施加到光纖上。此外，如果一由單晶硅制成的硅基底用作第二基底，則通過(guò)在硅基底上實(shí)施各向異性的蝕刻，可制造具有傾斜平面的推力單元。因此，與采用反應(yīng)離子蝕刻的情形相比，可減小用于推力單元的加工時(shí)間。
較佳地，致動(dòng)器包括一鄰近第二基底的表面設(shè)置且在多個(gè)光纖之間上方延伸的臂，一沿縱向方向設(shè)置在臂的中間且朝向第一基底延伸的鏡面，以及靠近臂的相對(duì)端設(shè)置的兩個(gè)驅(qū)動(dòng)單元，其用來(lái)沿其縱向方向移動(dòng)臂，這樣，驅(qū)動(dòng)鏡面進(jìn)出光路的中間，而其中，光纖夾具與致動(dòng)器的臂一起構(gòu)成，以將光纖夾具定位在第二基底的附近。
由此，使用兩個(gè)驅(qū)動(dòng)單元，鏡面可被驅(qū)動(dòng)進(jìn)出光路的中間，這樣，利用鏡面可開(kāi)關(guān)光路。由于鏡面設(shè)置在臂的中間，所以，諸如靜電致動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)單元可設(shè)置在靠近臂的相對(duì)端的兩個(gè)位置上，而如果鏡面設(shè)置在臂的末端，則驅(qū)動(dòng)單元可僅在臂的后支座的位置處布置。因此，使用兩個(gè)驅(qū)動(dòng)單元，可驅(qū)動(dòng)鏡面進(jìn)出，這樣，減小施加在各個(gè)驅(qū)動(dòng)單元上的電壓，與使用一個(gè)驅(qū)動(dòng)單元的情形相比，可提高其可操作性。此外，由于光纖夾具與致動(dòng)器臂一起構(gòu)成，所以，與致動(dòng)器由光纖夾具分開(kāi)地加工相比，進(jìn)行反應(yīng)離子蝕刻的加工時(shí)間可減少。
本發(fā)明的其它的特征、元素、特性和優(yōu)點(diǎn)，從下面參照附圖對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例作的詳細(xì)描述中，可以變得更加明白。
附圖的簡(jiǎn)要說(shuō)明

圖1是根據(jù)本發(fā)明的第一優(yōu)選實(shí)施例的一光學(xué)開(kāi)關(guān)器件的平面圖，所示狀態(tài)中，用于覆蓋的玻璃基底已移去；圖2是沿圖1的箭頭II-II方向觀察的一光纖安裝槽、一光纖夾具和鏡面等的截面圖；圖3是圖1所示的光纖安裝槽、光纖夾具等的主要部件的放大的平面圖；圖4是圖3所示的光纖夾具和光纖的主要部件的放大的立體圖；圖5是示出某一狀態(tài)的截面圖，其中，一淺槽形成在與圖2中相同位置上的硅基底上；圖6是示出某一狀態(tài)的截面圖，其中，初步光纖安裝槽形成在圖5所示的硅基底上；圖7是示出某一狀態(tài)的截面圖，其中，一支承玻璃基底粘結(jié)在如圖6所示的硅基底的底表面上；圖8是示出某一狀態(tài)的截面圖，其中，從圖7所示的硅基底的表面實(shí)施反應(yīng)離子蝕刻，以便形成光纖夾具、鏡面等；圖9是示出某一狀態(tài)的截面圖，其中，用于覆蓋的玻璃基底粘結(jié)到圖8所示的硅基底的表面上；圖10是根據(jù)第二優(yōu)選實(shí)施例、在圖2中的相同位置的光纖安裝槽、光纖夾具和鏡面等的截面圖；圖11是光纖安裝槽、光纖夾具等的主要部件的放大的平面圖；圖12是圖3所示的光纖夾具和光纖的主要部件的放大的立體圖；圖13是與圖10相同位置的截面圖，示出某一狀態(tài)，其中，從硅基底的底表面實(shí)施各向異性的蝕刻，以形成一初步的傾斜槽；圖14是示出某一狀態(tài)的截面圖，其中，各向異性的蝕刻進(jìn)一步在圖13所示的硅基底上實(shí)施，以形成一淺槽和一最終的傾斜槽；圖15是示出某一狀態(tài)的截面圖，其中，支承玻璃基底粘結(jié)在如圖14所示的硅基底的底表面上；圖16是示出某一狀態(tài)的截面圖，其中，從圖15所示的硅基底的表面實(shí)施反應(yīng)離子蝕刻，以便形成光纖夾具、鏡面等；圖17是示出某一狀態(tài)的截面圖，其中，用于覆蓋的玻璃基底粘結(jié)到圖16所示的硅基底的表面上；圖18是根據(jù)本發(fā)明的第三優(yōu)選實(shí)施例的一光學(xué)開(kāi)關(guān)器件的平面圖，所示狀態(tài)中，用于覆蓋的玻璃基底已移去；圖19是沿圖18的箭頭XIX-XIX方向觀察的一光纖安裝槽、一光纖夾具和鏡面等的截面圖；圖20是在圖19中相同位置的一截面圖，示出這樣一狀態(tài)，其中，從硅基底的底表面實(shí)施反應(yīng)離子蝕刻，以形成一初步的光纖安裝槽和一初步的凹陷的槽；圖21是示出某一狀態(tài)的截面圖，其中，金屬掩模附連在如圖20所示的硅基底的底表面上，以形成一鏡面膜；圖22是示出某一狀態(tài)的截面圖，其中，支承的玻璃基底粘結(jié)到圖21所示的硅基底的底表面上；圖23是示出某一狀態(tài)的截面圖，其中，如圖22所示的硅基底的表面被拋光；圖24是示出某一狀態(tài)的截面圖，其中，從圖23所示的硅基底的表面實(shí)施反應(yīng)離子蝕刻，以便形成光纖夾具、鏡面等；圖25是示出某一狀態(tài)的截面圖，其中，用于覆蓋的玻璃基底粘結(jié)到圖24所示的硅基底的表面上；圖26是一立體圖，示出根據(jù)本發(fā)明的第三優(yōu)選實(shí)施例的一壁、一鏡面和一光纖之間的位置關(guān)系；圖27是一立體圖，示出一對(duì)比實(shí)例的一壁、一鏡面和一光纖之間的位置關(guān)系；圖28是根據(jù)本發(fā)明的一修改的實(shí)例的光學(xué)開(kāi)關(guān)器件的平面圖，所示狀態(tài)中，用于覆蓋的玻璃基底已移去；以及圖29是示出某一狀態(tài)的平面圖，其中，如圖28所示的光學(xué)開(kāi)關(guān)器件由一驅(qū)動(dòng)單元進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。
具體實(shí)施例方式
下面將參照附圖，詳細(xì)描述根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例的一光學(xué)開(kāi)關(guān)器件。
首先，圖1至9示出根據(jù)本發(fā)明的一第一優(yōu)選實(shí)施例，其中，一玻璃基底1是由一玻璃材料制成，這樣，可作為第一基底具有基本上的矩形板形。玻璃基底1具有一基本平的表面，光纖安裝槽3和致動(dòng)器6等將形成在該平的表面上(將在下文中介紹)。
一硅基底2作為第二基底布置成鄰接玻璃基底的表面，并由單晶硅或多晶硅材料制成，以便具有與玻璃基底1的尺寸基本相同的大致的矩形板形。例如，硅基底2采用一陽(yáng)極偶聯(lián)法連接到玻璃基底1的表面上。
總共四個(gè)光纖安裝槽3形成在玻璃基底1和硅基底2之間，并且互相隔開(kāi)約90°成徑向地(交叉地)布置。光纖安裝槽3沿兩個(gè)光路O1和O2互相相交地(基本上垂直)成直線地布置，兩個(gè)槽3布置成各自?shī)A在光路O1和O2的中心交點(diǎn)4。光纖安裝槽3這樣形成沿厚度方向穿過(guò)硅基底2，并將基底2分離為四個(gè)大致的三角形島2A，而互相相對(duì)的內(nèi)表面3A和3B形成在槽3內(nèi)，且玻璃基底1暴露在槽3的底表面上。
附連在光纖安裝槽3內(nèi)的四個(gè)光纖5總體上沿光路O1和O2排列，每個(gè)光路上有兩個(gè)。沿各光路O1和O2布置的兩個(gè)光纖5互相之間隔開(kāi)一間距地相對(duì)，并夾在中心交點(diǎn)4。
一致動(dòng)器6排列在被兩個(gè)光纖安裝槽3夾在中間的硅基底2的島2A上，且通常包括從光路O1和O2的中心交點(diǎn)4朝向島2A直線延伸的一臂7，一形成在臂7的末端上并能進(jìn)出中心交點(diǎn)4的小寬度的鏡面8，以及設(shè)置在臂7的后支座上、用來(lái)沿臂7的縱向(箭頭A的方向)移動(dòng)臂7的一驅(qū)動(dòng)單元9。在鏡面8的表面上，由導(dǎo)電金屬材料制成的一薄膜(未示出)(例如)通過(guò)陰極真空噴鍍和氣相淀積法形成，然后，形成鏡面拋光面。
驅(qū)動(dòng)單元9一般包括一支承梁9A，其從臂7的兩側(cè)沿大致垂直于臂的縱向方向直線地延伸，以沿箭頭A的方向可移動(dòng)地支承臂7，一設(shè)置在臂7的后支座上并與臂7一起移動(dòng)的交叉指型的電極9B，以及一固定在玻璃基底1上的固定的交叉指型電極9C，以便與移動(dòng)的交叉指型電極9B匹配。臂7、鏡面8、支承梁9A以及可移動(dòng)的交叉指型電極9B，在一與玻璃基底1隔開(kāi)的和懸浮的狀態(tài)下，由支承梁9A支承。通過(guò)在兩個(gè)交叉指型電極9B和9C之間施加電壓，產(chǎn)生一靜電吸力，于是，臂7、鏡面8，以及可移動(dòng)的交叉指型電極9B，沿箭頭A的方向整體地位移。
設(shè)置在光纖安裝槽3內(nèi)的一光纖夾具10包括一彈簧單元10A，它的后支座連接在光纖安裝槽3的一個(gè)內(nèi)表面3A上，并沿光纖安裝槽3作為一懸臂梁延伸，以及一靠近彈簧單元10A的末端布置的一推力單元10B，以朝向另一內(nèi)表面3B突出。光纖夾具10布置的位置比被插入到光纖安裝槽3內(nèi)的一光纖5的軸向中心O(芯)更靠近于硅基底2(與玻璃基底1相對(duì))的表面。推力單元10B具有一基本上為矩形的形狀，并從彈簧單元10A的末端突出，而其諸角較佳地被倒圓，以便于光纖5的插入。
彈簧單元10A的末端沿光纖安裝槽3的寬度方向變得可移動(dòng)，這樣，帶有基本上為矩形截面的推力單元10B的諸角彈性地與光纖5接觸，它比軸向中心O更靠近內(nèi)表面3A，且比其間的軸向中心O遠(yuǎn)離玻璃基底1(靠近硅基底2的表面)。由此，光纖夾具10沿箭頭B的方向施加一推力至光纖5，其傾斜于硅基底2的厚度方向，這樣，將光纖5推向另一內(nèi)表面3B和玻璃基底1。
一設(shè)置在作為一蓋基底并具有與玻璃基底1基本相同矩形形狀的硅基底2的表面上的玻璃基底11，用陽(yáng)極偶聯(lián)法粘結(jié)在硅基底2的表面上。在玻璃基底11的底表面上，淺槽11A設(shè)置在覆蓋光纖安裝槽3和致動(dòng)器6的位置上。淺槽11A具有在玻璃基底11和致動(dòng)器6之間的間隙，以及在玻璃基底11和光纖夾具10之間的間隙。由此，致動(dòng)器6和光纖夾具10可防止與玻璃基底11的接觸，并補(bǔ)償這些部件的運(yùn)動(dòng)操作。
此外，玻璃基底11作為蓋基底不是必要的，所以可被略去。
根據(jù)本優(yōu)選的實(shí)施例的光學(xué)開(kāi)關(guān)器件較佳地具有如上所述的結(jié)構(gòu)，現(xiàn)將參照?qǐng)D5至9介紹它的制造方法。
首先，如圖5所示，在對(duì)應(yīng)于光纖安裝槽3、中心交點(diǎn)4、致動(dòng)器6等(見(jiàn)圖2)形成的位置的硅基底2的底表面的部分上，實(shí)施反應(yīng)離子蝕刻(DEEP RIE)以形成淺槽12。
接下來(lái)，如圖6所示，在對(duì)應(yīng)于光纖安裝槽3形成的位置的部分，從硅基底2的底表面再次實(shí)施反應(yīng)離子蝕刻，以形成初步的光纖安裝槽13，其中，在靠近硅基底2的表面留下與光纖夾具10對(duì)應(yīng)的厚度。然后，如圖7所示，在硅基底2的底表面上，玻璃基底1通過(guò)陽(yáng)極偶聯(lián)法連接為一第一基底。
然后，如圖8所示，在與硅基底2的淺槽12對(duì)應(yīng)的部分上，從硅基底2的表面實(shí)施反應(yīng)離子蝕刻，以穿過(guò)硅基底2并形成諸如鏡面的致動(dòng)器6，而同時(shí)一起形成光纖安裝槽3和光纖夾具10。在這種狀態(tài)下，在鏡面8的表面上，由導(dǎo)電金屬材料制成的一薄膜(未示出)，例如，借助于陰極真空噴鍍和氣相淀積法而形成，然后，進(jìn)行鏡面拋光。
最后，如圖9所示，在硅基底2的表面上，具有預(yù)先形成在其上的淺槽11A的玻璃基底11作為一基底而粘結(jié)。然后，在從硅基底2的外周緣插入光纖5朝向和沿著光纖安裝槽3之后，光纖5用粘結(jié)劑固定，這樣就完成該光學(xué)開(kāi)關(guān)器件。
此外，根據(jù)本優(yōu)選的實(shí)施例，淺槽12預(yù)先形成在硅基底2上?；蛘撸鏈\槽12的是，淺槽可形成在玻璃基底1上。
按上述的方法制造根據(jù)本優(yōu)選的實(shí)施例的光學(xué)開(kāi)關(guān)器件，現(xiàn)將描述其開(kāi)關(guān)操作。
首先，如果一電壓不施加在可移動(dòng)的交叉指型電極9B和固定的交叉指型電極9C之間，由于支承梁9A的彈性力，則鏡面8進(jìn)入中心交點(diǎn)4并定位在那里。因此，各從一對(duì)的兩個(gè)光纖5(它們分別沿光路O1和O2排列)發(fā)射的光線，反射在鏡面8上，于是，各進(jìn)入到另一對(duì)兩個(gè)光纖5(它們分別沿垂直的光路O2和O1排列)，于是，在其間實(shí)施光的通訊。
另一方面，如果一電壓施加在可移動(dòng)的交叉指型電極9B和固定的交叉指型電極9C之間，則產(chǎn)生一靜電吸力，這樣，鏡面8抵抗支承梁9A的彈性力，從中心交點(diǎn)4退出。因此，各從一對(duì)的兩個(gè)光纖5(它們分別沿光路O1和O2排列)發(fā)射的光線，各進(jìn)入到另一對(duì)兩個(gè)光纖5(它們分別沿光路O1和O2排列)，于是，在其間實(shí)施光的通訊。其結(jié)果，基于施加在電極9B和9C之間的電壓的是否存在，光路O1和O2可被開(kāi)關(guān)和連接。
然而，根據(jù)本優(yōu)選的實(shí)施例，光纖夾具10設(shè)置在光纖安裝槽3的一個(gè)內(nèi)表面3A上，這樣，使用光纖夾具10光纖5可被推向另一內(nèi)表面3B以及玻璃基底1。因此，僅將光纖5插入到光纖安裝槽3內(nèi)而不使用額外的元件，光纖5即可定位在兩個(gè)方向上，它們是光纖安裝槽3的寬度方向(水平方向)和硅基底2的厚度方向(垂直方向)，由此，顯著地提高安裝光纖5的方便性。
由于光纖夾具10包括彈簧單元10A，它的后支座連接在光纖安裝槽3的一個(gè)表面3A上，它的末端沿光纖安裝槽3的寬度方向可移動(dòng)，以及推力單元10B，它布置在與光纖5接觸的彈簧單元10A的末端的附近，它比軸向中心O更靠近內(nèi)表面3A，且比其間的軸向中心O遠(yuǎn)離玻璃基底1，一推力可沿相對(duì)于硅基底2的厚度方向傾斜的方向施加在光纖5上。因此，利用光纖夾具10的推力單元10B，光纖5可斜向地推向光纖的另一內(nèi)表面3B和玻璃基底1。
由于光纖夾具10設(shè)置在硅基底2內(nèi)，所以，光纖夾具10可采用微加工技術(shù)，例如，反應(yīng)離子蝕刻，以高的精度與致動(dòng)器6等一體形成。因此，與以其它方式形成光纖夾具10的情形相比，定位光纖5的精度大大地得到提高。
接下來(lái)，圖10至17示出根據(jù)本發(fā)明的第二優(yōu)選實(shí)施例。該優(yōu)選實(shí)施例的獨(dú)特的特征之一在于，光纖夾具的推力單元斜向地沿硅基底的厚度方向傾斜，并具有一光纖上面接觸的傾斜平面。此外，根據(jù)本優(yōu)選的實(shí)施例，同樣的標(biāo)號(hào)表示與上述第一優(yōu)選實(shí)施例共同的部件，而且，略去其相關(guān)的描述。
設(shè)置在光纖安裝槽3內(nèi)的根據(jù)本優(yōu)選的實(shí)施例的光纖夾具21，基本上與光纖夾具10同樣的方式，包括一彈簧單元21A，它的后支座連接在光纖安裝槽3的一個(gè)內(nèi)表面3A上并沿光纖安裝槽3作為一懸臂梁延伸，以及一靠近彈簧單元21A的末端布置的一推力單元21B，以朝向另一內(nèi)表面3B突出。推力單元21B具有一基本上為矩形的形狀，并從彈簧單元21A的末端突出，而它的諸角被倒圓，以便于光纖5的插入。此外，推力單元21B具有一斜向地沿硅基底2的厚度方向傾斜的平面21C，它逐漸地與另一內(nèi)表面3B分離。
彈簧單元21A的末端沿光纖安裝槽3的寬度方向變得可移動(dòng)，且推力單元21B的傾斜平面21C彈性地與光纖5接觸，它比軸向中心O更靠近內(nèi)表面3A，且比其間的軸向中心O遠(yuǎn)離玻璃基底1(靠近硅基底2的表面)。由此，光纖夾具21沿箭頭B的方向施加一推力至光纖5，其傾斜于硅基底2的厚度方向，這樣，將光纖5推向另一內(nèi)表面3B和玻璃基底1。
根據(jù)本優(yōu)選實(shí)施例的光學(xué)開(kāi)關(guān)器件具有如上所述的結(jié)構(gòu)，現(xiàn)將參照?qǐng)D13至17介紹它的制造方法。
首先，如圖13所示，在硅基底2的頂和底表面上，氧化膜22形成為掩模。在底表面上的氧化膜22設(shè)置有開(kāi)口22A，它們形成在與光纖安裝槽3形成的位置對(duì)應(yīng)的部分，而薄膜部分22B形成在開(kāi)口22A的附近，且在與中心交點(diǎn)4、致動(dòng)器6等(見(jiàn)圖10)形成位置對(duì)應(yīng)的部分。然后，在該狀態(tài)下，從硅基底2的底表面實(shí)施一預(yù)定時(shí)間段的各向異性的蝕刻，并通過(guò)開(kāi)口22A形成錐度的初步傾斜槽23。
接下來(lái)，如果通過(guò)蝕刻等(如圖14所示)全部氧化膜22在厚度上減小，則形成移去薄膜部分22B的氧化膜22’。然后，從硅基底2的底表面再次實(shí)施一預(yù)定時(shí)間段的各向異性的蝕刻，以形成淺槽24和最后的傾斜槽25。然后，如圖15所示，在去除氧化膜的狀態(tài)下，在硅基底2的底表面上，如第一基底通過(guò)陽(yáng)極偶聯(lián)法粘結(jié)作為第一基底的玻璃基底1。
然后，如圖16所示，在與淺槽24和傾斜槽25對(duì)應(yīng)的部分上，從硅基底2的表面實(shí)施反應(yīng)離子蝕刻，以穿過(guò)硅基底2并形成諸如鏡面8的致動(dòng)器6，而同時(shí)一起形成光纖安裝槽3和光纖夾具21。此時(shí)，在光纖夾具21的推力單元21B上通過(guò)各向異性的蝕刻形成傾斜平面21C。在此狀態(tài)下，在鏡面8的表面上，通過(guò)陰極真空噴鍍和氣相淀積法形成由導(dǎo)電金屬材料制成的一薄膜(未示出)，然后，進(jìn)行鏡面拋光。
最后，如圖17所示，在硅基底2的表面上，具有預(yù)先形成在其上的淺槽11A的玻璃基底11，作為一蓋基底而粘結(jié)。然后，在光纖5從硅基底2的外周緣插入到光纖安裝槽3內(nèi)之后，用粘結(jié)劑固定光纖5，以完成光學(xué)開(kāi)關(guān)器件。
這樣，根據(jù)本優(yōu)選的實(shí)施例具有如上所述的結(jié)構(gòu)，也可獲得如上述的第一優(yōu)選實(shí)施例大致相同的優(yōu)點(diǎn)。而根據(jù)本優(yōu)選的實(shí)施例，由于在光纖夾具21的推力單元21B上，形成沿硅基底2的厚度方向傾斜的傾斜平面21C，該傾斜平面21C與光纖5面接觸。因此，與第一優(yōu)選實(shí)施例相比(其中，推力單元10B的諸角與光纖5線接觸)可容易地產(chǎn)生相對(duì)于硅基底2的厚度方向成傾斜指向的推力，這樣，一推力可沿一斜向穩(wěn)定地施加到光纖5上(箭頭B的方向)。
通過(guò)在由單晶硅制成的硅基底2上實(shí)施各向異性的蝕刻，可形成具有傾斜平面21C的推力單元21B，這樣，可包括下列的情形施加反應(yīng)離子蝕刻，光纖夾具21的加工時(shí)間可減少，可提高生產(chǎn)率。
接下來(lái)，圖18至26示出根據(jù)本發(fā)明的一第三優(yōu)選實(shí)施例。該優(yōu)選實(shí)施例的獨(dú)特的特征之一在于，致動(dòng)器包括一設(shè)置在硅基底的表面上并在多個(gè)光纖之間上方延伸的臂，一沿縱向方向設(shè)置在臂的中間且朝向第一基底延伸的鏡面，以及設(shè)置在臂的兩端的兩個(gè)驅(qū)動(dòng)單元，用來(lái)驅(qū)動(dòng)鏡面進(jìn)出光路的中間，而與致動(dòng)器的臂一起形成光纖夾具，以在硅基底的表面上定位光纖夾具。此外，根據(jù)本優(yōu)選的實(shí)施例，相同的標(biāo)號(hào)表示與上述第一優(yōu)選實(shí)施例的相同的共同部件，且略去其有關(guān)的描述。
一根據(jù)優(yōu)選實(shí)施例的致動(dòng)器31設(shè)置在兩個(gè)島2A上，它們互相相對(duì)地設(shè)置，使中心交點(diǎn)4在其中間。致動(dòng)器31通常包括一在中心交點(diǎn)4上直線延伸的臂32，位于多個(gè)光纖5之間，朝向兩個(gè)島2A，一具有寬度小于臂32的寬度并沿縱向方向設(shè)置在臂32的中間的鏡面33，這樣，在中心交點(diǎn)4處能夠進(jìn)出光路O1和O2，以及設(shè)置在臂32的兩端的兩個(gè)驅(qū)動(dòng)單元34，其用來(lái)沿縱向方向(圖26中的箭頭A的方向)移動(dòng)臂32。其中，鏡面33由薄膜的導(dǎo)電金屬材料制成的鏡面薄膜33A覆蓋。
驅(qū)動(dòng)單元34基本上與根據(jù)第一優(yōu)選實(shí)施例的驅(qū)動(dòng)單元9為相同的方式，它通常包括從臂32的兩側(cè)沿基本上垂直于臂的縱向方向直線延伸的支承梁34A，以支承臂32沿箭頭A的方向移動(dòng)，一可移動(dòng)的交叉指型電極34B靠近臂32的端頭設(shè)置并與臂32一起移動(dòng)，而一固定的交叉指型電極34C固定到玻璃基底1上，以與可移動(dòng)的交叉指型電極34B匹配。在兩個(gè)交叉指型電極34B和34C之間施加反極性或正電極，產(chǎn)生一靜電吸力或斥力，于是，臂32、鏡面33和可移動(dòng)的交叉指型電極34B整體地沿箭頭A的方向移動(dòng)。
設(shè)置在光纖安裝槽3內(nèi)的光纖夾具35，基本上與根據(jù)第一優(yōu)選實(shí)施例的光纖夾具10具有同樣的方式，包括一彈簧單元35A，它的后支座連接在光纖安裝槽3的一個(gè)內(nèi)表面3A上并沿光纖安裝槽3作為一懸臂梁延伸，以及一靠近彈簧單元35A的末端布置的一推力單元35B，以朝向另一內(nèi)表面3B突出。其中，光纖夾具35布置成定位在比連同致動(dòng)器31一起插入到光纖安裝槽3內(nèi)的光纖5的軸向中心O(芯)更靠近硅基底2的表面(相對(duì)玻璃基底1)，而光纖夾具35厚度基本上與致動(dòng)器31的臂32的厚度相同。推力單元35B具有一基本上為矩形的形狀，并從彈簧單元35A的末端突出。
彈簧單元35A的末端沿光纖安裝槽3的寬度方向變得可移動(dòng)，且推力單元35B彈性地推壓光纖5朝向另一內(nèi)表面3B，而將光纖5部分夾在玻璃基底1之間。由此，光纖夾具35沿箭頭B的方向施加一推力至光纖5，其傾斜于硅基底2的厚度方向，這樣，將光纖5推向光纖安裝槽3的另一內(nèi)表面3B和玻璃基底1。
根據(jù)本優(yōu)選實(shí)施例的光學(xué)開(kāi)關(guān)器件較佳地具有如上所述的結(jié)構(gòu)，現(xiàn)將參照?qǐng)D20至25介紹它的制造方法。
首先，如圖20所示，制備一具有厚度大于硅基底2的厚度的硅基底2’。在硅基底2’的底表面上，反應(yīng)離子蝕刻(DEEP RIE)實(shí)施在與光纖安裝槽3、中心交點(diǎn)4、致動(dòng)器6等(見(jiàn)圖19)形成的位置對(duì)應(yīng)的部分，以及與硅基底2的厚度方向的中間對(duì)應(yīng)的部分，這樣，形成初步光纖安裝槽36，其在與形成光纖安裝槽3的位置對(duì)應(yīng)的部分上具有與光纖安裝槽3的寬度基本上相同的寬度，而形成一初步的凹陷槽38，其在與中心交點(diǎn)4對(duì)應(yīng)的部分具有與鏡面33的對(duì)應(yīng)的突出部37。
接下來(lái)，如圖21所示，金屬掩模39附連在硅基底2’的底表面上，突出部37的表面覆蓋有由導(dǎo)電的金屬薄膜制成的鏡面膜33A，其通過(guò)陰極真空噴鍍和氣相淀積法而形成鏡面33。
接下來(lái)，如圖22所示，在硅基底2’的底表面上，玻璃基底1通過(guò)陽(yáng)極偶聯(lián)法粘結(jié)。此時(shí)，在玻璃基底1的表面上，淺槽40形成在中心交點(diǎn)4、致動(dòng)器6等所面向的位置處，這樣，可防止鏡面33等通過(guò)淺槽40與玻璃基底1接觸。然后，在此狀態(tài)下，如圖23所示，硅基底2’的表面被拋光，以形成厚度減薄的硅基底2。
然后，如圖24所示，在與初步安裝槽36和初步凹陷槽38對(duì)應(yīng)的部分上，從硅基底2的表面實(shí)施反應(yīng)離子蝕刻，以穿過(guò)硅基底2。由此，形成包括臂32和鏡面33的致動(dòng)器31，而光纖安裝槽3和光纖夾具35也一起形成。
此時(shí)，由于在硅基底2上，除了初步光纖安裝槽36和初步凹陷槽38預(yù)先形成之外，鏡面33已經(jīng)形成，反應(yīng)離子蝕刻可僅在硅基底2的厚度的剩余長(zhǎng)度上實(shí)施，與蝕刻在整個(gè)厚度上實(shí)施的情形相比，蝕刻可在短時(shí)間內(nèi)完成。此外，由于光纖夾具35的厚度基本上與致動(dòng)器31的臂31的厚度相同，所以，光纖夾具35可與臂32一起形成。
最后，如圖25所示，在硅基底2的表面上，具有預(yù)先形成在其上的淺槽11A的玻璃基底11，作為一蓋基底而粘結(jié)。然后，在光纖5從硅基底2的外周緣插入到光纖安裝槽3內(nèi)之后，用粘結(jié)劑或其它合適的材料或元件固定光纖5，以完成光學(xué)開(kāi)關(guān)器件。
按上述的方法制造根據(jù)本優(yōu)選的實(shí)施例的光學(xué)開(kāi)關(guān)器件，現(xiàn)將描述其開(kāi)關(guān)操作。
首先，如果一電壓不施加在致動(dòng)器31的可移動(dòng)的交叉指型電極34B和固定的交叉指型電極34C之間，由于支承梁34A的彈性力，則鏡面33進(jìn)入中心交點(diǎn)4并定位在那里(光路O1和O2的中間位置)。因此，各從一對(duì)的兩個(gè)光纖5(它們分別沿光路O1和O2排列)發(fā)射的光線，反射在鏡面33上，于是，各進(jìn)入到另一對(duì)兩個(gè)光纖5(它們分別沿垂直的光路O2和O1排列)，于是，在其間實(shí)施光的通訊。
另一方面，如果一反向極性(正極和負(fù)極)的電壓施加在一致動(dòng)器31的驅(qū)動(dòng)單元34的可移動(dòng)的交叉指型電極34B和固定的交叉指型電極34C之間，而帶有相同電極(例如，正極)的一電壓施加在另一驅(qū)動(dòng)單元34的可移動(dòng)的交叉指型電極34B和固定的交叉指型電極34C之間，則在一對(duì)電極34B和34C之間產(chǎn)生一靜電吸力，而在另一對(duì)電極34B和34C之間產(chǎn)生一靜電斥力，這樣，鏡面33抵抗支承梁34A的彈性力，從中心交點(diǎn)4退出。因此，各從一對(duì)的兩個(gè)光纖5(它們分別沿光路O1和O2排列)發(fā)射的光線，各進(jìn)入到另一對(duì)兩個(gè)光纖5(它們分別沿光路O1和O2排列)，于是，在其間實(shí)施光的通訊。其結(jié)果，基于施加在電極34B和34C之間的電壓的是否存在，光路O1和O2可被開(kāi)關(guān)和連接。
這樣，根據(jù)本優(yōu)選的實(shí)施例具有如上所述的結(jié)構(gòu)，也可獲得如上述的第一優(yōu)選實(shí)施例大致相同的優(yōu)點(diǎn)。而根據(jù)本優(yōu)選的實(shí)施例，由于設(shè)置鏡面33，其沿縱向方向布置在臂32的中間并朝向玻璃基底1下垂，驅(qū)動(dòng)單元34可布置在臂32的兩個(gè)相對(duì)端。
這就是說(shuō)，如圖26所示，根據(jù)本優(yōu)選的實(shí)施例，由于鏡面33布置在臂32內(nèi)，從臂上向下下垂，臂32不能屏蔽光路O1和O2。然而，在如圖27所示的對(duì)比實(shí)例(第一優(yōu)選實(shí)施例)中，如果鏡面8沿臂7的整個(gè)厚度設(shè)置，則臂7延伸超過(guò)鏡面8，臂7屏蔽光路O1和O2。因此，如果鏡面8沿臂7的整個(gè)厚度設(shè)置，則必須提供在臂7的末端的鏡面帶有一懸臂的懸架，這樣，驅(qū)動(dòng)單元可僅設(shè)置在臂7的后支座的位置處。
然而，根據(jù)本優(yōu)選的實(shí)施例，驅(qū)動(dòng)單元34可設(shè)置在臂32的相對(duì)端的兩個(gè)位置處，這樣，用于致動(dòng)器31的驅(qū)動(dòng)電壓可減小，能提高操作性，同時(shí)，硅基底2被充分地應(yīng)用而無(wú)浪費(fèi)。
還有，由于光纖夾具35連同致動(dòng)器31的臂32一起構(gòu)造在硅基底2的表面上，用于反應(yīng)離子蝕刻或諸如此類的處理的加工時(shí)間，需要一長(zhǎng)的時(shí)間段，與致動(dòng)器31和光纖夾具35分開(kāi)構(gòu)造的情形相比，加工時(shí)間可以減少。
此外，如果反應(yīng)離子蝕刻在硅基底2的整個(gè)厚度上實(shí)施，則硅基底2趨于沿其厚度方向移位，這樣，在鏡面33的鏡面拋光平面上易產(chǎn)生應(yīng)變。然而，根據(jù)本優(yōu)選的實(shí)施例，通過(guò)在硅基底2上實(shí)施反應(yīng)離子蝕刻，直到其厚度的中間位置，這樣，應(yīng)變難于在鏡面33上形成，能精確地開(kāi)關(guān)光路O1和O2，以及提高其可靠性。
根據(jù)第三優(yōu)選實(shí)施例，預(yù)先制備厚度大于硅基底2的厚度的硅基底2’。在硅基底2’的底表面上實(shí)施蝕刻，然后，在玻璃基底粘結(jié)之后，對(duì)硅基底2’的表面進(jìn)行拋光，以形成具有預(yù)定厚度的硅基底2。在這種情形中，盡管要求一拋光硅基底2’的過(guò)程，但在制造加工的過(guò)程中，硅基底2’可防止產(chǎn)生碎片和裂縫，能提高產(chǎn)量。
然而，本發(fā)明并不限于這些方法，且根據(jù)第三優(yōu)選實(shí)施例，取代硅基底2’的是，可使用從加工開(kāi)始就是薄的一薄硅基底2。由此，可忽略硅基底2’的拋光過(guò)程。另一方面，根據(jù)第一和第二優(yōu)選實(shí)施例，可使用從加工開(kāi)始就是薄的一薄硅基底2，或者，以與第三優(yōu)選實(shí)施例相同的方式，可使用從加工開(kāi)始是厚的一硅基底2’，以在粘結(jié)到玻璃基底1之后通過(guò)拋光硅基底2’形成一薄的硅基底2。
還有，根據(jù)第三優(yōu)選實(shí)施例，在兩個(gè)驅(qū)動(dòng)單元34中，兩對(duì)可移動(dòng)的交叉指型電極34B和固定交叉指型電極34C各排列在互相相對(duì)的位置上(互相對(duì)稱的位置)，這樣，在一個(gè)驅(qū)動(dòng)單元34中，產(chǎn)生一靜電吸力，而在另一驅(qū)動(dòng)單元34中，產(chǎn)生靜電斥力。然而，本發(fā)明并不限制于這種結(jié)構(gòu)，在如圖28和29所示的改型中，在兩個(gè)驅(qū)動(dòng)單元34’中，兩對(duì)可移動(dòng)的交叉指型電極34B’和固定交叉指型電極34C’各可排列在互相等同的位置上(基本上互相平行移動(dòng)的位置)，這樣，可在兩個(gè)驅(qū)動(dòng)單元34’中產(chǎn)生靜電吸力。
還有，根據(jù)第三優(yōu)選實(shí)施例，四個(gè)光纖安裝槽3較佳地交叉地布置?；蛘?，如圖28和29所示，四個(gè)光纖安裝槽3’可基本上平行地布置，每組兩個(gè)槽，這樣，兩個(gè)光路O1和O2基本上互相平行地布置。在這種情形中，臂32’設(shè)置有互相分開(kāi)排列形成的兩個(gè)基本上為三角形的鏡面33’，以使它們的兩個(gè)頂互相面對(duì)。
由此，在如圖28所示的驅(qū)動(dòng)單元34’被阻擋的情形中，從光纖5發(fā)出的光被相對(duì)方向的兩個(gè)鏡面33’反射，這樣，如圖28所示，左側(cè)的兩個(gè)光纖5連接在一起，而右側(cè)的兩個(gè)光纖5連接在一起。在另一方面，如圖29所示，在驅(qū)動(dòng)單元34’被驅(qū)動(dòng)的情形中，由于鏡面33’被移去，所以，從光纖5發(fā)出的光直線前進(jìn)，不撞擊到鏡面33’上，從圖29可見(jiàn)，兩個(gè)在上部的光纖5連接在一起，而兩個(gè)在下部的光纖5連接在一起。
根據(jù)上述的諸優(yōu)選實(shí)施例，如在驅(qū)動(dòng)單元9和34中，較佳地使用交叉指型電極9B、9C、34B和34C。然后，本發(fā)明并不限于此，例如，可使用一平行的板電極，以形成一驅(qū)動(dòng)單元。
此外，根據(jù)上述的優(yōu)選實(shí)施例，如第一基底，可較佳地使用玻璃基底1?；蛘撸墒褂靡还杌鬃鳛榈谝换?。
盡管已經(jīng)描述了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，但應(yīng)該理解的是，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明的范圍和精神的前提下，顯然，可作出許多變體和改型。因此，本發(fā)明的范圍由下列的權(quán)利要求書唯一地限定。
權(quán)利要求
1.一光學(xué)開(kāi)關(guān)器件，包括一第一基底；一布置成鄰接第一基底并具有形成在其上且靠近第一基底的多個(gè)光纖安裝槽的第二基底；布置在第二基底的多個(gè)光纖安裝槽內(nèi)且相隔一間距而互相相對(duì)的多個(gè)光纖；以及一致動(dòng)器，通過(guò)布置成在第二基底上的多個(gè)光纖之間前進(jìn)和退出，在兩個(gè)光纖之間開(kāi)關(guān)一光路；其中，第二基底包括一光纖夾具，其設(shè)置來(lái)推光纖朝向光纖安裝槽的兩個(gè)相對(duì)的內(nèi)表面之一和第一基底。
2.如權(quán)利要求1所述的器件，其特征在于，光纖夾具包括一彈簧單元，其尾部支座連接到光纖安裝槽的一個(gè)內(nèi)表面上，且其一末端沿光纖安裝槽的寬度方向可移動(dòng)，以及一鄰近彈簧單元的末端布置的推力單元，其用來(lái)斜向地推光纖朝向另一內(nèi)表面和第一基底。
3.如權(quán)利要求2所述的器件，其特征在于，推力單元包括一形成在其上的傾斜平面，它沿第二基底的厚度方向傾斜，以便與光纖面接觸。
4.如權(quán)利要求1所述的器件，其特征在于，致動(dòng)器包括一鄰近第二基底的表面設(shè)置且在多個(gè)光纖之間延伸的臂，一沿縱向方向設(shè)置在臂的中間且朝向第一基底延伸的鏡面，以及靠近臂的相對(duì)端設(shè)置的兩個(gè)驅(qū)動(dòng)單元，其用來(lái)沿其縱向方向移動(dòng)臂，這樣，驅(qū)動(dòng)鏡面進(jìn)出光路的中間，而其中，光纖夾具與致動(dòng)器的臂一起構(gòu)成，以將光纖夾具定位在第二基底的表面的附近。
5.如權(quán)利要求2所述的器件，其特征在于，致動(dòng)器包括一鄰近第二基底的表面設(shè)置且在多個(gè)光纖之間延伸的臂，一沿縱向方向設(shè)置在臂的中間且朝向第一基底延伸的鏡面，以及靠近臂的相對(duì)端設(shè)置的兩個(gè)驅(qū)動(dòng)單元，其用來(lái)沿其縱向方向移動(dòng)臂，這樣，驅(qū)動(dòng)鏡面進(jìn)出光路的中間，而其中，光纖夾具與致動(dòng)器的臂一起構(gòu)成，以將光纖夾具定位在第二基底的表面的附近。
6.如權(quán)利要求1所述的器件，其特征在于，第一基底是玻璃基底和硅基底之一。
7.如權(quán)利要求1所述的器件，其特征在于，第一基底具有矩形板形的結(jié)構(gòu)。
8.如權(quán)利要求1所述的器件，其特征在于，第二基底是一硅基底。
9.如權(quán)利要求1所述的器件，其特征在于，第二基底具有矩形板形的結(jié)構(gòu)且其尺寸與第一基底相同。
10.如權(quán)利要求1所述的器件，其特征在于，多個(gè)光纖安裝槽包括四個(gè)徑向布置互相隔開(kāi)90°的光纖安裝槽。
11.如權(quán)利要求10所述的器件，其特征在于，四個(gè)光纖安裝槽中的兩個(gè)沿互相相交的兩個(gè)光路線性地布置，而四個(gè)安裝槽的另外兩個(gè)布置成夾在兩個(gè)光路中心交點(diǎn)的中間。
12.如權(quán)利要求10所述的器件，其特征在于，光纖安裝槽將第二基底分隔成四個(gè)三角形的島。
13.如權(quán)利要求1所述的器件，其特征在于，致動(dòng)器包括一從兩個(gè)互相相交的光路的中心交點(diǎn)直線地延伸的臂，一設(shè)置在臂的末端并布置成進(jìn)出兩個(gè)光路中心交點(diǎn)的鏡面，以及一設(shè)置在臂的后支座處用來(lái)沿臂的縱向方向移動(dòng)該臂的驅(qū)動(dòng)單元。
14.如權(quán)利要求13所述的器件，其特征在于，驅(qū)動(dòng)單元包括一從臂兩側(cè)沿垂直于臂的縱向方向直線地延伸的支承梁，其以可移動(dòng)的方式支承該臂，一設(shè)置在臂的后支座處并與臂一起移動(dòng)的可移動(dòng)的交叉指型電極，以及一固定在第一基底以與可移動(dòng)的交叉指型電極匹配的固定的交叉指型電極。
15.如權(quán)利要求1所述的器件，其特征在于，光纖夾具包括一彈簧單元，其尾部支座連接到諸光纖安裝槽之一的一個(gè)內(nèi)表面上，且其作為一懸臂梁沿光纖安裝槽之一延伸，以及一鄰近彈簧單元的末端布置的推力單元，其朝向光纖安裝槽之一的另一內(nèi)表面突出。
16.如權(quán)利要求15所述的器件，其特征在于，推力單元具有一矩形的形狀并從彈簧單元的末端突出，推力單元的諸角被倒圓。
17.如權(quán)利要求1所述的器件，其特征在于，光纖夾具的位置比插入到光纖安裝槽之一的諸光纖之一的軸向中心更靠近第二基底的表面。
18.如權(quán)利要求1所述的器件，其特征在于，玻璃基底設(shè)置在第二基底的表面，以形成一蓋基底，并具有與第一基底相同的形狀。
19.如權(quán)利要求18所述的器件，其特征在于，諸槽形成在設(shè)置在第二基底的表面上的玻璃基底的表面上。
20.如權(quán)利要求15所述的器件，其特征在于，光纖夾具的推力單元斜向地沿第二基底的厚度方向傾斜，并具有在諸光纖之一上進(jìn)行面接觸的傾斜平面。
21.如權(quán)利要求1所述的器件，其特征在于，致動(dòng)器包括一設(shè)置在第二基底的表面上且在多個(gè)光纖之間上方延伸的臂，一沿縱向方向設(shè)置在臂的中間且朝向第一基底延伸的鏡面，以及設(shè)置在臂的兩端的兩個(gè)驅(qū)動(dòng)單元，其用來(lái)驅(qū)動(dòng)鏡面進(jìn)出光路的中間，而致動(dòng)器被設(shè)置成將光纖夾具定位在第二基底的表面上。
全文摘要
一光學(xué)開(kāi)關(guān)器件能沿基本上垂直方向定位一光纖，而無(wú)需使用額外的元件，從而提高安裝光纖的方便性。盡管一硅基底粘結(jié)到玻璃基底的表面上，但在硅基底上，多個(gè)光纖安裝槽用來(lái)安裝光纖，且一致動(dòng)器包括一鏡面，其用來(lái)在多個(gè)光纖之間開(kāi)關(guān)一光路。在光纖安裝槽的內(nèi)表面上，一光纖夾具構(gòu)造成對(duì)光纖斜向施加一傾斜的推力。由此，光纖被光纖夾具推向另一內(nèi)表面和玻璃基底以定位該光纖。
文檔編號(hào)B81B3/00GK1482483SQ0315225
公開(kāi)日2004年3月17日 申請(qǐng)日期2003年7月30日 優(yōu)先權(quán)日2002年7月30日
發(fā)明者田村昌彌 申請(qǐng)人:株式會(huì)社村田制作所