專利名稱：可偏轉(zhuǎn)微機(jī)械元件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種可偏轉(zhuǎn)微機(jī)械元件。就此而言，偏轉(zhuǎn)可在沿軸線平移 中發(fā)生，但也可通過繞軸線樞轉(zhuǎn)而發(fā)生。在平移式偏轉(zhuǎn)時(shí)，具體地，相 應(yīng)軸線垂直于微機(jī)械元件的平面排列。偏轉(zhuǎn)也能以振動(dòng)的方式發(fā)生。例 如靜電驅(qū)動(dòng)器概念這種本身公知的驅(qū)動(dòng)器概念可用于這種偏轉(zhuǎn)。
背景技術(shù)：
對于最后提到的元件，又稱作平移振蕩器，平移振蕩器懸桂在彈簧 處，并且在平移式偏轉(zhuǎn)時(shí)不應(yīng)該傾斜。直式彎曲彈簧或折疊式彎曲彈簧 可用于此彈簧。就此而言，抗橫向力的剛度、對張力和扭矩的抵抗能力 應(yīng)該高。與此相對比，希望使用沿偏轉(zhuǎn)方向比較柔軟的彈簧。通常，這種具有懸掛裝置的元件是由共同基材以平面技術(shù)制成。就 此而言，這些元件基本上是從一層進(jìn)行二維蝕刻的。眾所周知，對直式彎曲彈簧而言，在他們內(nèi)部有較大偏轉(zhuǎn)情況下， 張力的影響顯得更加重要。因此，彈簧常數(shù)隨偏轉(zhuǎn)增大而增大。因此， 這種彎曲彈簧具有漸變式彈簧特性。增加這種彎曲彈簧的長度從而減小 這種影響，但這增加了所需的結(jié)構(gòu)尺寸。替代地，這也可以通過折疊或通過形成所謂的蛇形彈簧來實(shí)現(xiàn)。然 而這種彈簧容易彎曲或扭曲。關(guān)于懸掛裝置的彈性效果，可利用某些參數(shù)來改進(jìn)懸掛裝置。然而， 只有費(fèi)力選擇出或設(shè)計(jì)出沿偏轉(zhuǎn)方向足夠柔軟、但對橫向力、沿其它軸 向的張力或扭矩的影響有抵抗能力的彈簧或彈簧系統(tǒng)，這才有可能。就 此而言，通過蝕刻制成這種元件的有用基材材料的厚度小，也具有劣化 效果。就已知解決方案的懸掛裝置而言，不同的彈簧元件均可特別地與在 平移中可偏轉(zhuǎn)的微機(jī)械元件一起使用。它們例如是桿簧(四彈簧元件，八彈簧元件，交叉彈簧元件等)、角彈簧(angular spring )、曲折形彈 簧或蛇形彈簧。然而，所有這些已知的解決方案都存在缺點(diǎn)。這些缺點(diǎn)涉及構(gòu)造及制造的努力和/或花費(fèi)較高，沿某些軸向或抗扭矩的剛度不足，以及不 希望存在的彈簧特性的非線性特性。發(fā)明內(nèi)容因此，本發(fā)明的目的是提供一種可以振蕩方式偏轉(zhuǎn)并且即使在較大 偏轉(zhuǎn)下對橫向力和扭矩也不敏感的微機(jī)械元件。根據(jù)本發(fā)明，這一目的由具有如權(quán)利要求1所述特征的元件來實(shí)現(xiàn)。 本發(fā)明的有利實(shí)施方式和進(jìn)一步的改進(jìn)能夠通過利用從屬權(quán)利要求中 指定的特征來獲得。關(guān)于根據(jù)本發(fā)明的元件，在待偏轉(zhuǎn)的微機(jī)械元件處具有懸掛裝置， 所述懸掛裝置由至少一個(gè)彈簧系統(tǒng)形成。在彈簧系統(tǒng)中，連桿以樞轉(zhuǎn)方 式連接到扭簧元件。所有扭簧元件沿共用軸線和/或沿多條互相平行排 列的軸線排列，并且至少一個(gè)扭簧元件固定在固定夾具中。就此而言，扭簧元件也形成相互連接的連桿之間的接合件，并且可 利用已知技術(shù)容易并且簡單地形成。就此而言，扭黃元件能被加工成棒的形式，并且通過對某些橫截面 的觀測，可發(fā)現(xiàn)扭簧元件的彈性力效果受到影響.因此，也可以將沿著 扭簧元件縱軸線的不同橫截面的幾何形狀和尺寸考慮進(jìn)去。連桿根據(jù)相同基底和相同材料的制造技術(shù)制成為扭簧元件。然而， 就連桿的橫截面幾何形狀而言，它們以如下方式制成，即它們至少在軸 向上具有比扭簧元件高得多的對扭矩的機(jī)械抵抗能力。當(dāng)微機(jī)械元件處于無偏轉(zhuǎn)狀態(tài)下時(shí)，微機(jī)械元件、連桿以及扭簧元 件可設(shè)置于同一平面內(nèi)?？善D(zhuǎn)微機(jī)械元件的懸桂裝置可由兩個(gè)以相同方式制造并且能互 相對稱設(shè)置的彈簧系統(tǒng)形成。多于兩個(gè)的彈簧系統(tǒng)應(yīng)該分別以互相等角 距的方式設(shè)置，并且應(yīng)該具有對應(yīng)的角方向。彈簧系統(tǒng)應(yīng)該進(jìn)一步制成關(guān)于與扭簧元件的軸線垂直排列的軸線 相對稱。彈簧系統(tǒng)應(yīng)該設(shè)置于扭簧元件的固定夾具之間的中心處。扭簧元件的固定夾具應(yīng)該具有盡可能大的連桿臂，并且應(yīng)該因此可 觀察到間距，該間距在相應(yīng)的彈簧系統(tǒng)與微機(jī)械元件接合的區(qū)域內(nèi)至少是微機(jī)械元件的延伸范圍的2/3大。然而，彈黃系統(tǒng)的這種固定夾具的 較大間距是優(yōu)選的.此外，本發(fā)明還能夠進(jìn)一步有利地改進(jìn)，并且更具體地，由于將已 經(jīng)連接到扭簧元件的連桿另外借助于加強(qiáng)元件連接，所以能夠增加某些 軸向上的剛度。
連桿除了借助于扭簧元件連接外，它們還能用彎曲彈簧元件連接。 彎曲彈簧元件優(yōu)選地直接地接合在微機(jī)械元件處。
本發(fā)明不但可用于傳感器，而且也可用于致動(dòng)器。例如，它們可用 于加速度計(jì)、路徑長度調(diào)節(jié)器或者還用作可樞轉(zhuǎn)的反射元件(微鏡)。 在應(yīng)用于光學(xué)路徑長度調(diào)節(jié)時(shí)，本發(fā)明因此可用于共焦顯微鏡、傅立葉
變換光鐠儀或者還有光學(xué)相干斷層掃描裝置中(OCT)。
此外，可偏轉(zhuǎn)元件可為鏡子、及半透性的大量光學(xué)元件的骨架(光 學(xué)透鏡)、隔膜、波帶片、快門、衍射光柵或以及空氣動(dòng)力繞流體。
本發(fā)明還可作為振蕩器在加速度計(jì)、轉(zhuǎn)速傳感器、粘度傳感器中使 用，或者用作平衡彈簧.
對已知的解決方案而言，本發(fā)明的有利之處在于與偏轉(zhuǎn)相關(guān)的力不 一定通過附加的彈簧元件施加于該運(yùn)動(dòng)。
與彎曲彈簧元件相對比，實(shí)際中線性振蕩器可通過使用以至少大體 線性方式(復(fù)位扭矩隨扭轉(zhuǎn)角度線性增加)動(dòng)作的扭簧元件來實(shí)現(xiàn)。
就此而言，懸掛裝置或彈簧系統(tǒng)可全部或部分地以動(dòng)臂結(jié)構(gòu)的形式 制成。
利用懸掛裝置在較大張力情況下可實(shí)現(xiàn)微機(jī)械元件的較大偏轉(zhuǎn)。因 為活躍的即變形的結(jié)構(gòu)(扭簧元件)比幾何形狀更復(fù)雜的非線性彎曲結(jié) 構(gòu)具有基本上更簡單的特性，從而4吏設(shè)計(jì)和概念簡化。
對所需空間的要求可同樣減小。
能夠用于本發(fā)明中的彈簧系統(tǒng)可與能夠形成連桿結(jié)構(gòu)的其他連桿 連接。連桿結(jié)構(gòu)可制成傳統(tǒng)形狀，例如，制成一個(gè)或多個(gè)蛇形的形式。
在可能的實(shí)施方式中，單個(gè)連桿也能以局部限定的方式制成，從而 使這種所選定的連桿可能位于各自的位置并且所述連桿可以形成彎曲 彈簧。
在下文中應(yīng)該參考實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)行解釋。


圖中示出
圖1以兩個(gè)視圖示出根據(jù)本發(fā)明的元件的實(shí)施例，且下部圖示以側(cè) 視圖示出在平移時(shí)偏轉(zhuǎn)的微機(jī)械元件；
圖2類似地以兩個(gè)視圖并以示意性形式示出用于懸掛裝置的簡易彈 簧系統(tǒng)；
圖3示出彈簧系統(tǒng)的另外四個(gè)實(shí)施例；
圖4示出具有成行配置的彈簧系統(tǒng)的另外四個(gè)實(shí)施例；
圖5示出具有交錯(cuò)式平行配置的彈簧系統(tǒng)的兩個(gè)實(shí)施例；
圖6以兩個(gè)視圖示出連桿的樞轉(zhuǎn)連接裝置的兩個(gè)實(shí)施例；
圖7示出具有多于一個(gè)彈簧系統(tǒng)所形成的懸桂裝置的三個(gè)實(shí)施例；
和
圖8是具有可繞軸樞轉(zhuǎn)的微機(jī)械元件的實(shí)施例的兩個(gè)視圖。 不是所有元件在圖中都有相應(yīng)的附圖標(biāo)記。
具體實(shí)施例方式
在圖1中以兩個(gè)視圖示出根據(jù)本發(fā)明的元件的實(shí)施例。在上部示出 的平面圖中，清楚看到形成了具有兩個(gè)彈簧系統(tǒng)的微機(jī)械元件1的懸掛 裝置，兩個(gè)彈簧系統(tǒng)在微機(jī)械元件1處沿直徑相對配置并通過連桿2， 接合到微機(jī)械元件l。在連桿2的一側(cè)，連桿2，借助于扭簧元件4以樞 轉(zhuǎn)方式連接到連桿2。在該連桿2的另一側(cè)處，兩個(gè)扭簧元件4又將該 連桿2與另外兩個(gè)相應(yīng)的連桿2連接成樞轉(zhuǎn)連接。后者所稱的連桿2相 對于扭簧元件4的軸線傾斜成斜角。在該連桿2的另一端處，又呈現(xiàn)扭 簧元件4，扭簧元件4在一側(cè)連接到這些連桿2的端面，并且在另一側(cè) 處相應(yīng)地保持于固定夾具3中。
下部圖示示出偏轉(zhuǎn)的微機(jī)械元件1。平移時(shí)的偏轉(zhuǎn)由雙箭頭用相應(yīng) 的運(yùn)動(dòng)軸線指示出。
可從圖1的下部圖示中看出，在微機(jī)械元件1偏轉(zhuǎn)時(shí)連桿2和連桿 2，未發(fā)生彎曲，并且彈性效果只通過扭簧元件4獲得。
在該實(shí)施例中，兩個(gè)彈簧系統(tǒng)中的每一個(gè)均形成動(dòng)臂結(jié)構(gòu)。在圖2中類似地以兩個(gè)視圖示出彈簧系統(tǒng)的簡單結(jié)構(gòu)。就此而言， 微機(jī)械元件1與第一連桿2，連接。該連桿2，的另一端面與扭簧元件4 以樞轉(zhuǎn)方式連接，并且該扭簧元件4依次與另一連桿2連接。該連桿2 和一與其平行排列的、在此具有相同長度和尺寸的連桿2以樞轉(zhuǎn)方式連
接到扭簧元件4。
與上述一個(gè)連桿2連接的扭簧元件4被保持在固定夾具中。
圖2的下部圖示再次示出微機(jī)械元件1偏轉(zhuǎn)后的位置以及繞扭簧元 件4的縱軸線樞轉(zhuǎn)的連桿2。
在圖2中示意性地示出簡單的動(dòng)臂式懸掛裝置。
圖3示出在微機(jī)械元件1處具有一個(gè)相應(yīng)的彈簧系統(tǒng)的四個(gè)實(shí)施 例。就此而言,在最左側(cè)示出的實(shí)施例基本上與也在圖l示出的實(shí)施例 中所設(shè)計(jì)的那種彈簧系統(tǒng)對應(yīng)。
在圖3中從左起第二個(gè)所示出的實(shí)施例中，以一定傾斜角排列的連 桿2另外連接到加強(qiáng)元件5與扭簧元件4成樞轉(zhuǎn)連接。
圖3右側(cè)示出的兩個(gè)實(shí)施例利用互相至少部分地平行排列的連桿2 和連桿2，。就此而言，這些連桿2中的兩個(gè)連桿以成角的形式制成，并 且在最右側(cè)的實(shí)施例中，這兩個(gè)成角的連桿除與扭簧元件4連接外還類 似地與加強(qiáng)元件5連接。
通過這種加強(qiáng)元件5的作用，尤其能使橫向剛度增加。
如圖3的左側(cè)圖示中由虛線所示的，這種彈簧系統(tǒng)制成對稱的，并 且彈簧系統(tǒng)的在此區(qū)域內(nèi)配置的部分形成了動(dòng)臂結(jié)構(gòu)，且依次能在另一 側(cè)處發(fā)現(xiàn)與該動(dòng)臂結(jié)構(gòu)相對稱的互補(bǔ)部分。
這種情況適于圖3中所示的所有四個(gè)實(shí)施例。
圖4示出在微機(jī)械元件1處更復(fù)雜地形成的彈簧系統(tǒng)。就此而言， 由多個(gè)連桿2和連桿2'以及以樞轉(zhuǎn)方式連接到這些連桿的扭簧元件4提 供一種形成為多個(gè)動(dòng)臂的成行配置。就此而言，這種動(dòng)臂再次在右起第 二個(gè)圖中以虛線包圍的區(qū)域標(biāo)記出來。在左起第二個(gè)和最右側(cè)的實(shí)施例 中，再次呈現(xiàn)將連桿2附加地彼此連接的加強(qiáng)元件5。在最右側(cè)示出的 實(shí)施例中，形成了兩個(gè)這樣的加強(qiáng)元件5。
就彈簧系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)而言，還能以未示出的形式增加另外的連桿結(jié) 構(gòu)，該形式可以是一個(gè)半動(dòng)臂形式。為了獲得較高的剛度，可將兩個(gè)這種結(jié)構(gòu)互相連接并設(shè)置成彼此緊 鄰。就此而言，對稱的可移動(dòng)部件應(yīng)該互相連接。
由這種行配置可增大微機(jī)械元件l的最大偏轉(zhuǎn)，而無需延長單獨(dú)的
連桿2和連桿2，。因此，也可提高設(shè)計(jì)緊湊性。
圖5中示出可用作根據(jù)本發(fā)明元件的用于彈簧系統(tǒng)的另外兩個(gè)實(shí)施 例。這里在右側(cè)示出的實(shí)施例中，加強(qiáng)元件5也對稱地連接到連桿2。 就此而言，在這兩個(gè)實(shí)施例中都選用了交錯(cuò)式動(dòng)臂結(jié)構(gòu)的配置。此種情 況下端部保持平行。因此，可以稱之為"平行連接"。在平移中振蕩并 且只具有兩個(gè)動(dòng)臂結(jié)構(gòu)的微機(jī)械元件1因此變得對傾斜更加穩(wěn)定。相對 于那種具有超過兩個(gè)懸掛裝置/彈簧系統(tǒng)并且將類似地避免傾斜的實(shí)施 方式而言，這種實(shí)施方式具有單個(gè)元件更加緊湊和整體設(shè)計(jì)緊湊的優(yōu) 點(diǎn)。
由扭簧元件4實(shí)現(xiàn)的動(dòng)臂和彈簧系統(tǒng)處的接合件能夠用于兩種實(shí)施 方式中。這在圖6中示出。在左側(cè)圖示中，扭簧元件4簡單地連接到兩 個(gè)連桿2的相同端面處。在非偏轉(zhuǎn)狀態(tài)下連桿2互相平行且相鄰。在左 側(cè)下圖中示出偏轉(zhuǎn)。在圖6的右側(cè)圖中示出兩個(gè)扭簧元件4。 一連桿2 與下扭簧元件4連接，且另 一扭簧元件4連接到作為用于加強(qiáng)示例的連 桿臂。右側(cè)下圖又示出這種在偏轉(zhuǎn)中的實(shí)施方式。能夠發(fā)現(xiàn)該圖右側(cè)示 出的實(shí)施方式的優(yōu)點(diǎn)在于增加了橫向剛度。
多個(gè)彈簧系統(tǒng)作為在此制成圓形的微機(jī)械元件l的懸掛裝置的可能 配置由圖7示出。在位于左側(cè)的實(shí)施例中，兩個(gè)彈簧系統(tǒng)互相沿直徑相 對設(shè)置。在中間示出位于此微機(jī)械元件1處的三個(gè)彈簧系統(tǒng)的對稱配置。 彈簧系統(tǒng)以彼此等角距的方式設(shè)置，使得能夠繞微機(jī)械元件1的中心保 持對稱。在最右側(cè)示出的實(shí)施例中，呈現(xiàn)兩對彈簧系統(tǒng)，它們彼此沿直 徑相對設(shè)置。在這些實(shí)施例中，微機(jī)械元件l發(fā)生運(yùn)動(dòng)出附圖平面和運(yùn) 動(dòng)進(jìn)附圖平面的振蕩式平移運(yùn)動(dòng)。
一般而言，可用于本發(fā)明的連桿2和連桿2，還可具有任何期望的形 狀，例如三角形或梯形。然而，連桿應(yīng)該比接合件或扭簧元件4硬。
在由于微機(jī)械元件1繞軸振蕩而發(fā)生微機(jī)械元件1繞軸樞轉(zhuǎn)的動(dòng)態(tài) 變形時(shí)，所述動(dòng)態(tài)變形由慣性引起，這些動(dòng)態(tài)變形可通過在扭轉(zhuǎn)軸線外 側(cè)設(shè)置另外的彈簧元件來減少。具有動(dòng)臂結(jié)構(gòu)的彈簧系統(tǒng)非常適用于這 一目的，因?yàn)槠湓诳梢垣@得大的偏轉(zhuǎn)的同時(shí)所需空間小并具有線性彈性行為。
在圖8中示出對應(yīng)的實(shí)施例。就此而言，能以振蕩的方式繞扭轉(zhuǎn)軸線 樞轉(zhuǎn)的g械元件1的懸掛裝置可由兩個(gè)也用于圖1實(shí)施例中的彈簧系統(tǒng) 形成。另外，在^Ofe元件1處給出兩個(gè)扭簧6，在非偏轉(zhuǎn)狀態(tài)時(shí)扭簧6 位于與連桿2、連桿2，和扭簧元件4相同的平面內(nèi)。扭簧6沿^UOfe元件 1的扭轉(zhuǎn)軸線設(shè)置。
在圖8的下部圖示中又示出已偏轉(zhuǎn)位置。
權(quán)利要求
1.一種由懸掛裝置保持的可偏轉(zhuǎn)微機(jī)械元件，所述懸掛裝置由至少一個(gè)彈簧系統(tǒng)形成，其特征在于，所述彈簧系統(tǒng)由以樞轉(zhuǎn)方式與扭簧元件(4)連接的連桿(2、2’)形成；且所述彈簧系統(tǒng)的所述扭簧元件(4)沿共用軸線和/或沿多條互相平行排列的軸線排列，并且至少一個(gè)所述扭簧元件被牢固地夾緊。
2.如權(quán)利要求l所述的元件，其特征在于，在所述微機(jī)械元件(l) 的偏轉(zhuǎn)方向上所述連桿(2、 2，)比所述扭簧元件(4)對扭矩具有更大 的機(jī)械抵抗能力。
3.如權(quán)利要求1或2所述的元件，其特征在于，所述連桿(2、 2，) 與所述扭簧元件(4)由共同的基材制成。
4.如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的元件，其特征在于，至少兩個(gè) 相似的彈簧系統(tǒng)互相對稱地布置。
5.如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的元件，其特征在于，所述彈簧 系統(tǒng)的至少兩個(gè)所述扭簧元件(4)沿直徑互相相對地牢固地固定。
6.如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的元件，其特征在于，所述彈簧 系統(tǒng)繞與所述扭簧元件(4)沿其排列的軸線相垂直排列的軸線對稱地 制成。
7.如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的元件，其特征在于，所述彈簧 系統(tǒng)的所述扭簧元件(4)的固定夾具(3)以互相間隔一定間距的方式 布置，該間距在相應(yīng)的彈簧系統(tǒng)與所述微機(jī)械元件(1)接合的區(qū)域內(nèi) 至少是所述微機(jī)械元件(1)的延伸范圍的2/3大。
8.如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的元件，其特征在于，與所述扭 簧元件(4)連接的所述連桿(2)另外與加強(qiáng)元件(5)連接。
9.如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的元件，其特征在于，所述彈簧 系統(tǒng)的兩個(gè)連桿(2，)在所述微機(jī)械元件(1)處接合。
10.如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的元件，其特征在于，沿軸線設(shè) 置的兩個(gè)扭簧(6)另外接合于由兩個(gè)彈簧系統(tǒng)保持并且可繞軸線轉(zhuǎn)動(dòng) 的所述微機(jī)械元件(1)。
11.如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的元件，其特征在于，在所述微 機(jī)械元件(1)的非偏轉(zhuǎn)狀態(tài)下，所述微機(jī)械元件(1)以及所有所述連 桿(2、 2，)和所述扭簧元件(4)位于同一平面內(nèi)。
12.如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的元件，其特征在于，所述扭簧 元件(4)具有沿其縱軸線改變的橫截面。
13.如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的元件，其特征在于，所述彈簧 系統(tǒng)的所述連桿(2、 2，)與彎曲彈簧連接。
14.如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的元件，其特征在于，接合于所 述微機(jī)械元件(1)處的所述連桿(2)設(shè)計(jì)為彎曲彈簧元件。
15.如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的元件，其特征在于，所述彈簧 系統(tǒng)的扭簧元件(4)沿多條互相平行排列并且與所述微機(jī)械元件(1) 相距不同間隔的軸線設(shè)置。
16.如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的元件，其特征在于，多于兩個(gè) 的彈簧系統(tǒng)分別以互相隔開相似的角間距設(shè)置和排列。
17.如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的元件，其特征在于，連接到所 述扭簧元件的多個(gè)所述連桿(2、 2，)以交錯(cuò)的形式形成平行回路。
18.如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的元件，其特征在于， 一個(gè)或多 個(gè)所述彈簧系統(tǒng)與其它形成連桿結(jié)構(gòu)的連桿連接。
19.如權(quán)利要求18所述的元件，其特征在于，所述連桿結(jié)構(gòu)制成蛇 形形式。
20.如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的元件，其特征在于，所述連桿 (2、 2，)能夠以局部限定的方式沿偏轉(zhuǎn)方向在一個(gè)或多個(gè)所述彈簧系 統(tǒng)處彎曲。
21.如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的元件，其特征在于，所述微機(jī) 械元件被制成為傳感器或致動(dòng)器。
全文摘要
本發(fā)明涉及可偏轉(zhuǎn)微機(jī)械元件，并且該元件優(yōu)選地可被平移式偏轉(zhuǎn)，也可能以振蕩的方式偏轉(zhuǎn)。與已知的解決方案相比，本發(fā)明的目的是容許較大的偏轉(zhuǎn)，且同時(shí)對側(cè)向力和扭矩具有更好的抵抗能力。在這種情況下，在根據(jù)本發(fā)明的元件中提供了由至少一個(gè)彈簧系統(tǒng)所形成的懸掛裝置。在彈簧系統(tǒng)中提供了以鉸接方式與扭簧元件連接的連桿。彈簧系統(tǒng)的扭簧元件沿共用軸線和/或多條互相平行排列的軸線排列，并且至少一個(gè)扭簧被牢固地夾緊。
文檔編號(hào)B81B3/00GK101316789SQ200580052156
公開日2008年12月3日 申請日期2005年11月25日 優(yōu)先權(quán)日2005年11月25日
發(fā)明者亞歷山大·沃爾特, 托馬斯·克洛澤 申請人:弗蘭霍菲爾運(yùn)輸應(yīng)用研究公司