專(zhuān)利名稱(chēng)：凹凸圖案形成方法及信息記錄介質(zhì)制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種將壓模壓在形成于基材上的樹(shù)脂層上，在基材上形成凹凸圖案的凹凸圖案形成方法，及使用依據(jù)該凹凸圖案形成方法形成的凹凸圖案制造信息記錄介質(zhì)的信息記錄介質(zhì)制造方法。
背景技術(shù)：
作為這種凹凸圖案形成方法，在美國(guó)專(zhuān)利6814898號(hào)說(shuō)明書(shū)中公開(kāi)了壓印法(imprint)，通過(guò)將形成有凹凸圖案的壓模(金屬壓模)壓在基材(玻璃基板)上的樹(shù)脂層(抗蝕劑層)上，將壓模的凹凸圖案轉(zhuǎn)印到樹(shù)脂層上，在基材上形成凹凸圖案。在該凹凸圖案形成方法中，首先，如該說(shuō)明書(shū)的圖1A所示，在應(yīng)形成凹凸圖案的基材上形成樹(shù)脂層。接著，如該說(shuō)明書(shū)的圖1B所示，通過(guò)將壓模壓在基材上的樹(shù)脂層上，將壓模的凹凸圖案轉(zhuǎn)印到樹(shù)脂層上。這時(shí)，在該凹凸圖案形成方法中，不加熱處理基材及樹(shù)脂層的層疊體和壓模兩者，在室溫狀態(tài)下將壓模壓在樹(shù)脂層上。接著，如該說(shuō)明書(shū)的圖1C所示，在從樹(shù)脂層剝離壓模后，如該說(shuō)明書(shū)的圖1D所示，通過(guò)對(duì)轉(zhuǎn)印到樹(shù)脂層上的凹凸圖案中的凹部底面進(jìn)行蝕刻處理，在凹部的底面使基材從樹(shù)脂層中露出。由此，在壓入了壓模中各凸部的部位上形成各凹部的同時(shí)，由壓模中各凹部的部位形成各凸部，在基材上(樹(shù)脂層)形成凹凸圖案。
專(zhuān)利文獻(xiàn)1美國(guó)專(zhuān)利6814898號(hào)說(shuō)明書(shū)(第4-10欄、圖1)可是，在現(xiàn)有的凹凸圖案形成方法中存在以下問(wèn)題。即，在現(xiàn)有的凹凸圖案形成方法中，不執(zhí)行對(duì)層疊體及壓模的加熱處理及冷卻處理，將壓模壓在樹(shù)脂層上。但是，依據(jù)該凹凸圖案形成方法，例如產(chǎn)生如下問(wèn)題即，在采用玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)比按壓壓模時(shí)樹(shù)脂層的溫度(室溫)低的樹(shù)脂材料構(gòu)成樹(shù)脂層來(lái)形成凹凸圖案時(shí)，盡管在按壓壓模時(shí)可將壓模的各凸部順利地壓入樹(shù)脂層，但在凹凸圖案轉(zhuǎn)印結(jié)束、從樹(shù)脂層剝離壓模之后，轉(zhuǎn)印到樹(shù)脂層上的凹凸圖案隨著時(shí)間慢慢變形。另外，依據(jù)該凹凸圖案形成方法，例如產(chǎn)生如下問(wèn)題(產(chǎn)生轉(zhuǎn)印缺陷)即，在采用玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)比按壓壓模時(shí)樹(shù)脂層的溫度(室溫)高的樹(shù)脂材料構(gòu)成樹(shù)脂層來(lái)形成凹凸圖案時(shí)，盡管可避免在壓模剝離后凹凸圖案產(chǎn)生較大變形，但難以將壓模的各凸部壓入樹(shù)脂層，結(jié)果，不能對(duì)樹(shù)脂層形成足夠深度的凹部(足夠高度的凸部)。這樣，在現(xiàn)有的凹凸圖案形成方法中，存在引起形成于基材上的凹凸圖案變形或凹凸圖案轉(zhuǎn)印缺陷的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于上述問(wèn)題作出，其主要目的在于提供一種不引起凹凸圖案變形及轉(zhuǎn)印缺陷、可在基材上以高精度形成凹凸圖案的凹凸圖案形成方法和可在全部區(qū)域以高精度形成凹凸圖案的信息記錄介質(zhì)制造方法。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的凹凸圖案形成方法通過(guò)將形成了壓模側(cè)凹凸圖案的壓模壓在基材上的樹(shù)脂層上，從而將該壓模側(cè)凹凸圖案轉(zhuǎn)印到該樹(shù)脂層上，在該基材上形成凹凸圖案，通過(guò)在所述基材上涂布混合了玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)比按壓所述壓模時(shí)所述樹(shù)脂層的溫度低的第1樹(shù)脂材料、和玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)比所述按壓時(shí)所述樹(shù)脂層的溫度高的第2樹(shù)脂材料的混合樹(shù)脂材料來(lái)形成所述樹(shù)脂層。另外，在本發(fā)明的混合樹(shù)脂材料中，不只是僅混合了第1樹(shù)脂材料及第2樹(shù)脂材料的混合樹(shù)脂材料，除此之外，還包含含有添加劑或其他樹(shù)脂材料等的各種混合樹(shù)脂材料。
另外，本發(fā)明的信息記錄介質(zhì)制造方法使用依據(jù)上述的凹凸圖案形成方法在所述基材上形成的凹凸圖案來(lái)制造信息記錄介質(zhì)。
根據(jù)本發(fā)明的凹凸圖案形成方法，通過(guò)在基材上涂布混合了玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)比按壓壓模時(shí)樹(shù)脂層的溫度低的第1樹(shù)脂材料、和玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)比按壓壓模時(shí)樹(shù)脂層的溫度高的第2樹(shù)脂材料的混合樹(shù)脂材料來(lái)形成樹(shù)脂層，在向樹(shù)脂層按壓壓模時(shí)，可將壓模側(cè)凹凸圖案中各凸部順利地壓入樹(shù)脂層至足夠深。因此，可避免各凸部壓入不足所引起的凹凸圖案的轉(zhuǎn)印缺陷，從而在基材上以高精度形成凹凸圖案。另外，可避免在從樹(shù)脂層剝離壓模之后凹凸圖案發(fā)生較大變形的情況，從而在高精度的狀態(tài)下維持該凹凸形狀。
另外，根據(jù)本發(fā)明的信息記錄介質(zhì)制造方法，使用依據(jù)上述凹凸圖案形成方法在基材上形成的凹凸圖案來(lái)制造信息記錄介質(zhì)，從而例如可以通過(guò)將形成的凹凸圖案作為掩模圖案，或者將凹凸位置關(guān)系與形成的凹凸圖案一致的凹凸圖案用作掩模圖案來(lái)蝕刻處理基材，在其全部區(qū)域以高精度形成凹凸圖案。


圖1是磁盤(pán)1的截面圖。
圖2是壓模2的截面圖。
圖3是在記錄層14上形成了樹(shù)脂層3的狀態(tài)下的中間體10的截面圖。
圖4是將壓模2壓在中間體10上的樹(shù)脂層3上的狀態(tài)下的截面圖。
圖5是從圖4所示狀態(tài)的樹(shù)脂層3剝離了壓模2的狀態(tài)下的中間體10的截面圖。
圖6是說(shuō)明向?qū)嵤├?～4的樹(shù)脂層及比較例1、2的樹(shù)脂層壓入壓模的壓入容易性和轉(zhuǎn)印后凹凸圖案的形狀穩(wěn)定性的說(shuō)明圖。
圖7是說(shuō)明向?qū)嵤├?、5～12的樹(shù)脂層及比較例3、4的樹(shù)脂層壓入壓模的壓入容易性和轉(zhuǎn)印后凹凸圖案的形狀穩(wěn)定性的說(shuō)明圖。
圖8是說(shuō)明向?qū)嵤├?、13～20的樹(shù)脂層及比較例4、5的樹(shù)脂層壓入壓模的壓入容易性和轉(zhuǎn)印后凹凸圖案的形狀穩(wěn)定性的說(shuō)明圖。
圖9是拍攝了壓模2中各凸部25a的壓入量不足、在形成的凹凸圖案(數(shù)據(jù)磁道圖案)中產(chǎn)生轉(zhuǎn)印缺陷的樹(shù)脂層表面的附圖代用照片。
圖10是拍攝了形成有未產(chǎn)生轉(zhuǎn)印缺陷的凹凸圖案(數(shù)據(jù)磁道圖案)的樹(shù)脂層表面的附圖代用照片。
圖11是拍攝了在形成的凹凸圖案中產(chǎn)生了較大變形的狀態(tài)的樹(shù)脂層表面的附圖代用照片。
圖12是拍攝了在形成的凹凸圖案中產(chǎn)生了可用作掩模圖案程度的較小變形的狀態(tài)的樹(shù)脂層表面的附圖代用照片。
圖13是拍攝了在形成的凹凸圖案中產(chǎn)生極小變形的狀態(tài)的樹(shù)脂層表面的附圖代用照片。
圖14是拍攝了在形成的凹凸圖案中幾乎未產(chǎn)生變形的樹(shù)脂層表面的附圖代用照片。
具體實(shí)施例方式
下面，參照

本發(fā)明的凹凸圖案形成方法及信息記錄介質(zhì)制造方法的最佳實(shí)施方式。
圖1示出的磁盤(pán)1例如是可以根據(jù)垂直記錄方式記錄記錄數(shù)據(jù)的離散磁道型磁記錄介質(zhì)(布圖介質(zhì))，將軟磁性層12、中間層13及記錄層(磁性記錄層)14依次形成于基材11上。該磁盤(pán)1相當(dāng)于本發(fā)明的信息記錄介質(zhì)，在其一面(圖1中的上面)上，形成了至少其突出端部側(cè)是由磁性材料(記錄層14)形成的多個(gè)凸部15a和多個(gè)凹部15b，以形成用作數(shù)據(jù)磁道圖案或伺服圖案的凹凸圖案15。另外，圖2示出的壓模2是在制造上述磁盤(pán)1時(shí)，用于在中間體10(本發(fā)明的基材參照?qǐng)D3)上形成作為掩模圖案的凹凸圖案35(參照?qǐng)D5)的母盤(pán)，整體構(gòu)成為圓板狀。該壓模2通過(guò)將鎳層21用作電極的電鑄處理，在鎳層21上形成鎳層22，構(gòu)成為薄板狀。另外，在壓模2上形成有凹凸圖案25(本發(fā)明的「壓模側(cè)凹凸圖案」的一例)，該凹凸圖案25具有對(duì)應(yīng)于磁盤(pán)1中凹凸圖案15的各凹部15b形成的多個(gè)凸部25a、和對(duì)應(yīng)于凹凸圖案15的各凸部15a形成的多個(gè)凹部25b。另外，圖3示出的中間體10將軟磁性層12、中間層13及記錄層14依次形成于基材11上。
在制造上述磁盤(pán)1時(shí)，首先，依據(jù)本發(fā)明的凹凸圖案形成方法在中間體10上形成作為掩模圖案的凹凸圖案35。這時(shí)，首先混合玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)比后述的壓印處理時(shí)樹(shù)脂層3(參照?qǐng)D3)的溫度(作為一例，22℃)低的樹(shù)脂材料(即，低彈性模量、高流動(dòng)性的樹(shù)脂材料本發(fā)明的「第1樹(shù)脂材料」)、和玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)比壓印處理時(shí)樹(shù)脂層3的溫度高的樹(shù)脂材料(即，高彈性模量、低流動(dòng)性的樹(shù)脂材料本發(fā)明的「第2樹(shù)脂材料」)，制作混合樹(shù)脂材料。具體地說(shuō)，作為一例，以體積比(混合比)1∶1混合玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)為13℃、重量平均分子量為5782、彈性模量為1.59GPa的丙烯酸樹(shù)脂(本發(fā)明的第1樹(shù)脂材料的一例)和玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)為34℃、重量平均分子量為5074、彈性模量為2.98GPa的丙烯酸樹(shù)脂(本發(fā)明的第2樹(shù)脂材料的一例)，制作混合樹(shù)脂材料。
這時(shí)，作為一例，在兩種丙烯酸樹(shù)脂中將PGMEA(單甲基醚丙二醇酯)用作溶劑。另外，上述的兩種丙烯酸樹(shù)脂是丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯的共聚物，通過(guò)使構(gòu)成的各分子(單體單位)的構(gòu)成比變化來(lái)調(diào)整玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)，同時(shí)，通過(guò)在上述溶劑之外添加各種添加劑，使其特性不同。另外，上述的兩種丙烯酸樹(shù)脂及在后述的各實(shí)施例或比較例中使用的各樹(shù)脂A～D(參照?qǐng)D6～圖8)的玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)是基于示差熱分析的測(cè)定值，重量平均分子量是基于凝膠滲透色譜分析法(GPC)的測(cè)定值。另外，就兩種丙烯酸樹(shù)脂及各樹(shù)脂A～D的彈性模量而言，是在測(cè)定用的支撐體(未圖示)上涂布各樹(shù)脂使膜厚成為1μm后，作為一例，對(duì)通過(guò)在90℃下執(zhí)行90秒鐘的烘焙處理而形成的樹(shù)脂層、利用納米壓痕法測(cè)定出的測(cè)定值。
接著，例如利用旋涂法將制作出的混合樹(shù)脂材料涂布在中間體10上，作為一例，在中間體10的記錄層14上形成厚度為100nm的涂膜。接著，在90℃下執(zhí)行90分鐘的烘焙處理。由此，如圖3所示，在中間體10的記錄層14上形成樹(shù)脂層3。接著，使樹(shù)脂層3的形成面朝上，將中間體10安裝到壓印裝置上，同時(shí)，使凹凸圖案25的形成面朝下，將壓模2安裝到壓印裝置上。接著，通過(guò)使壓模2向中間體10下降，將凹凸圖案25壓在樹(shù)脂層3的表面上。這時(shí)，不對(duì)中間體10(樹(shù)脂層3)及壓模2兩者執(zhí)行加熱處理，在維持室溫(作為一例為22℃)的狀態(tài)下，作為一例，對(duì)壓模2的全部區(qū)域施加16.3Mpa的按壓力(壓印處理開(kāi)始)。
這時(shí)，在該凹凸圖案形成方法中，涂布含有玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)比按壓壓模2時(shí)樹(shù)脂層3的溫度低的丙烯酸樹(shù)脂(低彈性模量、高流動(dòng)性的樹(shù)脂材料)的混合樹(shù)脂材料來(lái)形成樹(shù)脂層3。因此，在向樹(shù)脂層3按壓壓模2時(shí)，雖然未加熱處理樹(shù)脂層3及壓模2兩者(雖然樹(shù)脂層3是室溫22℃)，但是可將壓模2中的凹凸圖案25的各凸部25a順利地(容易地)壓入樹(shù)脂層3。結(jié)果，如圖4所示，壓模2的各凸部25a壓入樹(shù)脂層3至足夠深。另外，在圖4及后面參照的圖5中，為了容易理解本發(fā)明，省略按壓壓模2時(shí)在各凸部25a的突出端面和中間體10(記錄層14)之間產(chǎn)生的樹(shù)脂材料(殘?jiān)?的圖示。接著，將壓模2壓在樹(shù)脂層3上的狀態(tài)維持了例如5分鐘之后，通過(guò)使壓模2相對(duì)中間體10向上移動(dòng)，從樹(shù)脂層3剝離壓模2。由此，如圖5所示，將壓模2中的凹凸圖案25的凹凸形狀轉(zhuǎn)印到樹(shù)脂層3上，在中間體10上形成凹凸圖案35。這時(shí)，中間體10上形成的凹凸圖案35對(duì)應(yīng)壓模2的凹凸圖案25中的各凸部25a形成各凹部35b，對(duì)應(yīng)凹凸圖案25中的各凹部25b形成各凸部35a。由此，基于本發(fā)明的凹凸圖案形成方法的凹凸圖案35(掩模圖案)的形成處理結(jié)束。
接著，通過(guò)例如氧等離子體處理除去殘留在中間體10上的樹(shù)脂層3中凹凸圖案35的各凹部35b底面的殘?jiān)?未圖示)。接著，通過(guò)將凹凸圖案35(各凸部35a)用作掩模圖案、對(duì)中間體10(記錄層14)進(jìn)行蝕刻處理，在中間層13上形成凹凸圖案15。這時(shí)，在上述凹凸圖案形成方法中，涂布含有玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)比按壓壓模2時(shí)樹(shù)脂層3的溫度高的丙烯酸樹(shù)脂(高彈性模量、低流動(dòng)性的樹(shù)脂材料)的混合樹(shù)脂材料來(lái)形成樹(shù)脂層3。因此，避免了從凹凸圖案35形成后的樹(shù)脂層3剝離壓模2之后到中間體10的蝕刻處理開(kāi)始之前，凹凸圖案35的凹凸形狀發(fā)生較大變形的情況。結(jié)果，如圖5中虛線所示，對(duì)應(yīng)維持該凹凸形狀的狀態(tài)的凹凸圖案35中的各凸部35a形成各凸部15a，同時(shí)，對(duì)應(yīng)各凹部35b形成各凹部15b，如圖1所示，在中間層13上形成凹凸圖案15。由此，本發(fā)明的信息記錄介質(zhì)制造方法結(jié)束，完成磁盤(pán)1。
下面，參照

壓模的各凸部對(duì)基材上樹(shù)脂層的壓入容易性及剝離壓模后的凹凸形狀穩(wěn)定性(凹凸圖案變形的難度)和用于樹(shù)脂層形成時(shí)的樹(shù)脂材料的關(guān)系。
組合玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)不同的4種樹(shù)脂材料(作為一例，丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯的共聚物丙烯酸樹(shù)脂)，制作各種混合樹(shù)脂材料，在支撐基材(未圖示)上形成圖6示出的實(shí)施例1～4及比較例1、2的樹(shù)脂層。另外，通過(guò)將上述壓模2中的凹凸圖案25壓在所形成的各實(shí)施例及各比較例的樹(shù)脂層上，在支撐基材上(樹(shù)脂層)形成凹凸圖案。另外，就各樹(shù)脂層而言，除混合樹(shù)脂材料的制作方法外，按與所述樹(shù)脂層3的形成方法相同的步驟形成。另外，就壓模2對(duì)各樹(shù)脂層的按壓處理(凹凸圖案的形成處理壓印處理)而言，按與所述壓模2對(duì)樹(shù)脂層3的按壓處理(凹凸圖案35的形成處理)相同的步驟執(zhí)行。這樣，就形成了凹凸圖案的各實(shí)施例及各比較例的樹(shù)脂層而言，通過(guò)利用原子間力顯微鏡(AFM)觀察其表面的凹凸形狀，確認(rèn)壓模2的各凸部25a對(duì)各樹(shù)脂層的壓入容易性和剝離壓模2后的凹凸形狀穩(wěn)定性。圖6中示出該結(jié)果。
另外，在圖6及后面參照的圖7、圖8中，對(duì)于如圖9所示、各凸部25a對(duì)樹(shù)脂層的壓入量不足、產(chǎn)生凹凸圖案的轉(zhuǎn)印缺陷的情況，在「壓入容易性」的部位寫(xiě)上「×」，對(duì)于各凸部25a難以壓入樹(shù)脂層、但可以以充分高的精度轉(zhuǎn)印凹凸圖案的情況，在「壓入容易性」的部位寫(xiě)上「△」，對(duì)于各凸部25a壓入樹(shù)脂層稍困難、但未產(chǎn)生轉(zhuǎn)印缺陷的情況，在「壓入容易性」的部位寫(xiě)上「 ○ 」，對(duì)于如圖10所示，各凸部25a容易壓入樹(shù)脂層、且可壓入各凸部25a至足夠深的樹(shù)脂層的情況，在「壓入容易性」的部位上寫(xiě)上「◎」。這時(shí)，圖9、10及后面參照的圖11～14是利用AFM拍攝形成了凹凸圖案的狀態(tài)的各實(shí)施例及各比較例的樹(shù)脂層表面的附圖代用照片，越接近樹(shù)脂層表面的部位為白色，沿厚度方向越離開(kāi)樹(shù)脂層表面的部位(深的部位)為黑色。因此，黑色部位與白色部位的交界部分越清晰的部位意味著是在樹(shù)脂層上形成的凹凸圖案中未產(chǎn)生轉(zhuǎn)印缺陷或變形的部位。
另外，在圖6～圖8中，對(duì)于在從樹(shù)脂層剝離了壓模2之后，如圖11所示，形成的凹凸圖案變形較大的情況，在「凹凸形狀穩(wěn)定性」的部位寫(xiě)上「 × 」，對(duì)于如圖12所示，稍微產(chǎn)生變形、但可用作掩模圖案的程度的情況，在「凹凸形狀穩(wěn)定性」的部位寫(xiě)上「△」，對(duì)于如圖13所示，產(chǎn)生極小變形、但足可用作掩模圖案的程度的情況，在「凹凸形狀穩(wěn)定性」的部位寫(xiě)上「 ○ 」，對(duì)于如圖14所示，在形成的凹凸圖案上幾乎不產(chǎn)生變形的樹(shù)脂層，在「凹凸形狀穩(wěn)定性」的部位寫(xiě)上「◎」。
使用混合樹(shù)脂材料形成樹(shù)脂層(通過(guò)壓印處理形成凹凸圖案的樹(shù)脂層)，該混合樹(shù)脂材料以混合比(體積比)1∶1(50％∶50％)混合了玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)為13℃、重量平均分子量為5782、彈性模量為1.59GPa的丙烯酸樹(shù)脂(圖6中的「樹(shù)脂A」下面稱(chēng)該丙烯酸樹(shù)脂為「樹(shù)脂A」)和玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)為34℃、重量平均分子量為5074、彈性模量為2.98GPa的丙烯酸樹(shù)脂(圖6中的「樹(shù)脂C」下面稱(chēng)該丙烯酸樹(shù)脂為「樹(shù)脂C」)。
使用混合樹(shù)脂材料形成樹(shù)脂層，該混合樹(shù)脂材料以混合比(體積比)1∶1(50％∶50％)混合了樹(shù)脂A和玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)為27℃、重量平均分子量為7420、彈性模量為1.88GPa的丙烯酸樹(shù)脂(圖6中的「樹(shù)脂D」下面稱(chēng)該丙烯酸樹(shù)脂為「樹(shù)脂D 」)。
使用混合樹(shù)脂材料形成樹(shù)脂層，該混合樹(shù)脂材料以混合比(體積比)1∶1(50％∶50％)混合了玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)為10℃、重量平均分子量為5120、彈性模量為1.46GPa的丙烯酸樹(shù)脂(圖6中的「樹(shù)脂B」下面稱(chēng)該丙烯酸樹(shù)脂為「樹(shù)脂B」)和樹(shù)脂C。
使用以混合比(體積比)1∶1(50％∶50％)混合了樹(shù)脂B和樹(shù)脂D的混合樹(shù)脂材料形成樹(shù)脂層。

使用以混合比(體積比)1∶1(50％∶50％)混合了樹(shù)脂A和樹(shù)脂B的混合樹(shù)脂材料形成樹(shù)脂層。
使用以混合比(體積比)1∶1(50％∶50％)混合了樹(shù)脂C和樹(shù)脂D的混合樹(shù)脂材料形成樹(shù)脂層。
如圖6所示，在使用混合了玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)比壓印處理時(shí)樹(shù)脂層的溫度(在本例中，22℃)低的樹(shù)脂A或樹(shù)脂B、和玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)比壓印處理時(shí)樹(shù)脂層的溫度高的樹(shù)脂C或樹(shù)脂D的混合樹(shù)脂材料形成的實(shí)施例1～4的樹(shù)脂層中，在向樹(shù)脂層按壓壓模2時(shí)，可使各凸部25a順利地(容易地)壓入樹(shù)脂層至足夠深。因此，避免了產(chǎn)生凹凸圖案轉(zhuǎn)印缺陷的情況，在樹(shù)脂層上以高精度形成了凹凸圖案。另外，實(shí)施例1～4的樹(shù)脂層在剝離了壓模2之后，形成的凹凸圖案也未產(chǎn)生較大變形，即便在從壓模2的剝離時(shí)刻經(jīng)過(guò)了120分鐘的時(shí)刻，也可將該凹凸形狀維持在足夠高精度的狀態(tài)下。相反，在使用混合了玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)比壓印處理時(shí)樹(shù)脂層的溫度低的兩種樹(shù)脂材料(樹(shù)脂A、B)的混合樹(shù)脂材料形成的比較例1的樹(shù)脂層中，盡管在向樹(shù)脂層按壓壓模2時(shí)，與實(shí)施例1～4的樹(shù)脂層相同，可將各凸部25a順利地(容易地)壓入樹(shù)脂層，但在剝離壓模2之后，形成的凹凸圖案發(fā)生較大變形，不能維持該凹凸形狀。
另外，在使用混合了玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)比壓印處理時(shí)樹(shù)脂層的溫度高的兩種樹(shù)脂材料(樹(shù)脂C、D)的混合樹(shù)脂材料形成的比較例2的樹(shù)脂層中，盡管在剝離壓模2之后，形成的凹凸圖案未產(chǎn)生較大變形，維持了該凹凸形狀，但在向樹(shù)脂層按壓壓模2時(shí)，不能將各凸部25a壓入樹(shù)脂層至足夠深，不能形成足夠深度的凹部(產(chǎn)生轉(zhuǎn)印缺陷)。這樣，在制作利用壓印處理形成凹凸圖案的樹(shù)脂層時(shí)，由于使用混合了玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)比壓印處理時(shí)樹(shù)脂層的溫度低的樹(shù)脂材料(在本例中，樹(shù)脂A或樹(shù)脂B)、和玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)比壓印處理時(shí)樹(shù)脂層的溫度高的樹(shù)脂材料(在本例中，樹(shù)脂C或樹(shù)脂D)的混合樹(shù)脂材料來(lái)形成，所以在向樹(shù)脂層按壓壓模2時(shí)，可將各凸部25a順利地壓入樹(shù)脂層至足夠深，且可以高精度形成期望的凹凸圖案(可避免產(chǎn)生轉(zhuǎn)印缺陷)，同時(shí)，在壓模2剝離之后，可長(zhǎng)時(shí)間維持該凹凸形狀(避免凹凸圖案變形)。
下面，改變各樹(shù)脂材料的混合比(體積比)來(lái)制作各種混合樹(shù)脂材料，在支撐基材上形成實(shí)施例5～20及比較例3～5的樹(shù)脂層，在形成的各樹(shù)脂層上形成凹凸圖案，確認(rèn)壓模2的各凸部25a對(duì)各樹(shù)脂層的壓入容易性和剝離壓模2后的凹凸形狀穩(wěn)定性。在圖7、8中示出其結(jié)果。另外，就各實(shí)施例及各比較例的樹(shù)脂層而言，除混合樹(shù)脂材料的制作方法外，按與所述樹(shù)脂層3的形成方法相同的步驟形成。另外，就壓模2對(duì)各樹(shù)脂層的按壓處理(凹凸圖案的形成處理壓印處理)而言，按與所述的向樹(shù)脂層3按壓壓模2的按壓處理(凹凸圖案35的形成處理)相同的步驟執(zhí)行。
使用以混合比(體積比)1∶9(10％∶90％)混合了樹(shù)脂A和樹(shù)脂C的混合樹(shù)脂材料形成樹(shù)脂層。
使用以混合比(體積比)2∶8(20％∶80％)混合了樹(shù)脂A和樹(shù)脂C的混合樹(shù)脂材料形成樹(shù)脂層。
使用以混合比(體積比)3∶7(30％∶70％)混合了樹(shù)脂A和樹(shù)脂C的混合樹(shù)脂材料形成樹(shù)脂層。
使用以混合比(體積比)4∶6(40％∶60％)混合了樹(shù)脂A和樹(shù)脂C的混合樹(shù)脂材料形成樹(shù)脂層。
使用以混合比(體積比)6∶4(60％∶40％)混合了樹(shù)脂A和樹(shù)脂C的混合樹(shù)脂材料形成樹(shù)脂層。
使用以混合比(體積比)7∶3(70％∶30％)混合了樹(shù)脂A和樹(shù)脂C的混合樹(shù)脂材料形成樹(shù)脂層。
使用以混合比(體積比)8∶2(80％∶20％)混合了樹(shù)脂A和樹(shù)脂C的混合樹(shù)脂材料形成樹(shù)脂層。
使用以混合比(體積比)9∶1(90％∶10％)混合了樹(shù)脂A和樹(shù)脂C的混合樹(shù)脂材料形成樹(shù)脂層。
使用以混合比(體積比)1∶9(10％∶90％)混合了樹(shù)脂A和樹(shù)脂在D的混合樹(shù)脂材料形成樹(shù)脂層。
使用以混合比(體積比)2∶8(20％∶80％)混合了樹(shù)脂A和樹(shù)脂D的混合樹(shù)脂材料形成樹(shù)脂層。
使用以混合比(體積比)3∶7(30％∶70％)混合了樹(shù)脂A和樹(shù)脂D的混合樹(shù)脂材料形成樹(shù)脂層。
使用以混合比(體積比)4∶6(40％∶60％)混合了樹(shù)脂A和樹(shù)脂D的混合樹(shù)脂材料形成樹(shù)脂層。
使用以混合比(體積比)6∶4(60％∶40％)混合了樹(shù)脂A和樹(shù)脂D的混合樹(shù)脂材料形成樹(shù)脂層。
使用以混合比(體積比)7∶3(70％∶30％)混合了樹(shù)脂A和樹(shù)脂D的混合樹(shù)脂材料形成樹(shù)脂層。
使用以混合比(體積比)8∶2(80％∶20％)混合了樹(shù)脂A和樹(shù)脂D的混合樹(shù)脂材料形成樹(shù)脂層。
使用以混合比(體積比)9∶1(90％∶10％)混合了樹(shù)脂A和樹(shù)脂D的混合樹(shù)脂材料形成樹(shù)脂層。
僅使用樹(shù)脂C形成樹(shù)脂層。
僅使用樹(shù)脂A形成樹(shù)脂層。
僅使用樹(shù)脂D形成樹(shù)脂層。
如圖7、8所示，在使用含有10％以上玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)比壓印處理時(shí)樹(shù)脂層的溫度(在本例中為22℃)低的樹(shù)脂A的混合樹(shù)脂材料形成的實(shí)施例1、2、5～20的樹(shù)脂層、或僅使用樹(shù)脂A形成的比較例4的樹(shù)脂層中，在向樹(shù)脂層按壓壓模2時(shí)，可將各凸部25a順利地(容易地)壓入樹(shù)脂層至足夠深。相反，不含有玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)比壓印處理時(shí)樹(shù)脂層的溫度低的樹(shù)脂A、僅使用樹(shù)脂C形成的比較例3及僅使用樹(shù)脂D形成的比較例5的樹(shù)脂層在向樹(shù)脂層按壓壓模2時(shí)，不能將各凸部25a壓入樹(shù)脂層至足夠深，不能形成足夠深度的凹部(產(chǎn)生轉(zhuǎn)印缺陷)。這樣，可理解在形成用于形成凹凸圖案的樹(shù)脂層時(shí)，由于使用至少含有10％玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)比壓印處理時(shí)樹(shù)脂層的溫度低的樹(shù)脂材料(在本例中為樹(shù)脂A)的混合樹(shù)脂材料，所以在向樹(shù)脂層按壓壓模2時(shí)，可將各凸部25a順利地壓入樹(shù)脂層至足夠深，且可以高精度形成期望的凹凸圖案(可避免產(chǎn)生轉(zhuǎn)印缺陷)。
另外，使用含有10％以上玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)比壓印處理時(shí)樹(shù)脂層的溫度高的樹(shù)脂材料(樹(shù)脂C、D)的混合樹(shù)脂材料形成的實(shí)施例1、2、5～20的樹(shù)脂層、或僅使用樹(shù)脂C形成的比較例3的樹(shù)脂層及僅使用樹(shù)脂D形成的比較例5的樹(shù)脂層在剝離壓模2之后，所形成的凹凸圖案沒(méi)有產(chǎn)生較大變形，將該凹凸形狀維持在高精度的狀態(tài)下。相反，不含有玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)比壓印處理時(shí)樹(shù)脂層的溫度高的樹(shù)脂材料(樹(shù)脂C、D)、僅使用樹(shù)脂A形成的比較例4的樹(shù)脂層在剝離了壓模2之后，所形成的凹凸圖案變形大，不能維持該凹凸形狀。這樣，可理解在形成用于形成凹凸圖案的樹(shù)脂層時(shí)，由于使用至少含有10％玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)比壓印處理時(shí)樹(shù)脂層的溫度高的樹(shù)脂材料(在本例中，樹(shù)脂C、D)的混合樹(shù)脂材料，所以在剝離了壓模2之后，所形成的凹凸圖案沒(méi)有產(chǎn)生較大變形，將該凹凸形狀維持在了高精度的狀態(tài)下。
這時(shí)，如圖7、8所示，為了避免產(chǎn)生轉(zhuǎn)印缺陷、以充分高的精度形成凹凸圖案，最好使用含有30％以上玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)比壓印處理時(shí)樹(shù)脂層的溫度低的樹(shù)脂材料(樹(shù)脂A)的混合樹(shù)脂材料形成樹(shù)脂層。另外，為了避免在壓模2剝離后凹凸圖案的變形、維持該凹凸形狀足夠的時(shí)間，最好是使用含有30％以上玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)比壓印處理時(shí)樹(shù)脂層的溫度高的樹(shù)脂材料(樹(shù)脂C、D)的混合樹(shù)脂材料形成樹(shù)脂層。因此，為了在避免產(chǎn)生轉(zhuǎn)印缺陷、以充分高的精度形成凹凸圖案的同時(shí)，避免在壓模2剝離之后凹凸圖案的變形、維持凹凸形狀足夠的時(shí)間，最好是含有30％以上玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)比壓印處理時(shí)樹(shù)脂層的溫度低的樹(shù)脂材料、且含有30％以上玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)比壓印處理時(shí)樹(shù)脂層的溫度高的樹(shù)脂材料來(lái)制作混合樹(shù)脂材料。
這樣，根據(jù)上述的凹凸圖案形成方法，通過(guò)在中間體10(基材)上涂布混合了玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)比按壓壓模2時(shí)樹(shù)脂層3的溫度低的第1樹(shù)脂材料、和玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)比按壓壓模2時(shí)樹(shù)脂層3的溫度高的第2樹(shù)脂材料的混合樹(shù)脂材料來(lái)形成樹(shù)脂層3，由此在向樹(shù)脂層3按壓壓模2時(shí)，可將凹凸圖案25中的各凸部25a順利地壓入樹(shù)脂層3至足夠深。因此，可避免各凸部25a壓入不足所引起的凹凸圖案25的轉(zhuǎn)印缺陷，在中間體10上以高精度形成凹凸圖案35。另外，可避免在從樹(shù)脂層3剝離壓模2之后凹凸圖案35發(fā)生較大變形的情況，在高精度的狀態(tài)下維持了該凹凸形狀。
另外，根據(jù)上述的信息記錄介質(zhì)制造方法，由于使用依據(jù)上述的凹凸圖案形成方法在中間體10(基材)上形成的凹凸圖案35來(lái)制造磁盤(pán)1(信息記錄介質(zhì))，所以，例如通過(guò)將形成的凹凸圖案35用作掩模圖案或?qū)纪刮恢藐P(guān)系與凹凸圖案35一致的凹凸圖案用作掩模圖案來(lái)蝕刻處理中間體10，可在其全部區(qū)域以高精度形成凹凸圖案15。
另外，本發(fā)明不限于上述的構(gòu)成及方法。例如，在上述的凹凸圖案形成方法中，未執(zhí)行對(duì)中間體10、樹(shù)脂層3及壓模2的加熱處理或冷卻處理等而進(jìn)行壓印處理，但本發(fā)明的凹凸圖案形成方法不限于此，為了使各凸部25a更容易壓入樹(shù)脂層3，可采用在壓印處理開(kāi)始之前加熱處理中間體10、樹(shù)脂層3及壓模2至某種程度的溫度的方法。在該方法中，通過(guò)在用于形成樹(shù)脂層3的樹(shù)脂材料中含有玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)比壓印處理時(shí)樹(shù)脂層3的溫度高的樹(shù)脂材料，即便在壓模2剝離之前未冷卻處理中間體10、樹(shù)脂層3及壓模2，也可充分避免形成于樹(shù)脂層3上的凹凸圖案35產(chǎn)生較大變形的情況。
另外，例如在進(jìn)行壓印處理的作業(yè)場(chǎng)所的溫度高時(shí)，為了避免在壓模2剝離后凹凸圖案35變形，可采用在壓印處理開(kāi)始之前冷卻處理中間體10、樹(shù)脂層3及壓模2至某種程度的溫度的方法。在該方法中，通過(guò)在用于形成樹(shù)脂層3的樹(shù)脂材料中含有玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)比壓印處理時(shí)樹(shù)脂層3的溫度低的樹(shù)脂材料，即便通過(guò)冷卻處理降低樹(shù)脂層3的溫度，也可將壓模2的各凸部25a容易地壓入樹(shù)脂層3。由此，可充分避免產(chǎn)生凹凸圖案轉(zhuǎn)印缺陷的情況。
權(quán)利要求
1.一種凹凸圖案形成方法，通過(guò)將形成了壓模側(cè)凹凸圖案的壓模壓在基材上的樹(shù)脂層上，從而將該壓模側(cè)凹凸圖案轉(zhuǎn)印到該樹(shù)脂層上，在該基材上形成凹凸圖案，其中，通過(guò)在所述基材上涂布混合了玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)比按壓所述壓模時(shí)所述樹(shù)脂層的溫度低的第1樹(shù)脂材料、和玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)比所述按壓時(shí)所述樹(shù)脂層的溫度高的第2樹(shù)脂材料的混合樹(shù)脂材料來(lái)形成所述樹(shù)脂層。
2.一種信息記錄介質(zhì)制造方法，其中，使用依據(jù)權(quán)利要求1所述的凹凸圖案形成方法在所述基材上形成的凹凸圖案來(lái)制造信息記錄介質(zhì)。
全文摘要
提供一種不引起凹凸圖案變形及轉(zhuǎn)印缺陷、可在基材上以高精度形成凹凸圖案的凹凸圖案形成方法。該凹凸圖案形成方法通過(guò)將形成有凹凸圖案(25)的壓模(2)壓在中間體(10)(基材)上的樹(shù)脂層(3)上，從而將凹凸圖案(25)轉(zhuǎn)印到樹(shù)脂層(3)上，在中間體(10)上形成凹凸圖案，通過(guò)在中間體(10)上涂布混合了玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)比按壓壓模(2)時(shí)樹(shù)脂層(3)的溫度低的第1樹(shù)脂材料、和玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)比按壓時(shí)樹(shù)脂層(3)的溫度高的第2樹(shù)脂材料的混合樹(shù)脂材料來(lái)形成樹(shù)脂層(3)。
文檔編號(hào)B81C1/00GK1987646SQ20061016866
公開(kāi)日2007年6月27日 申請(qǐng)日期2006年12月22日 優(yōu)先權(quán)日2005年12月22日
發(fā)明者日比干晴, 藤田實(shí) 申請(qǐng)人:Tdk株式會(huì)社