專利名稱：硅片夾持裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體材料生產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域，特別涉及半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具 體是指一種硅片夾持裝置。
背景技術(shù)：
隨著MEMS (微機(jī)電系統(tǒng))技術(shù)的日漸成熟，其相關(guān)的應(yīng)用日益廣泛。從而對(duì)MEMS 產(chǎn)品用材料的需求提出了新的要求。如雙面拋光硅片的需求，而IC器件一般只需要單面拋光 硅片，對(duì)于小直徑硅片(4 6Inch)，以往都只需要單面拋光片，因此在硅片制備過(guò)程中，所 使用的工治具只能滿足單面拋光硅片的技術(shù)工藝要求，如市場(chǎng)提供都是吸筆，在單面拋光珪 片，由于背面為腐蝕面而非拋光面，吸筆接觸并不會(huì)留下吸著跡，或造成硅片污染以及產(chǎn)生 劃傷。
但對(duì)于雙面拋光片，由于硅片兩個(gè)面都是拋光后的鏡面，常規(guī)吸筆一旦接觸，就會(huì)造成 如吸著跡，污染甚至劃傷等外觀不良，對(duì)于高品質(zhì)要求的雙面拋光片，這種情況在品質(zhì)上是 不能接受的，即常規(guī)的半導(dǎo)體吸筆不能滿足雙面拋光片的生產(chǎn)需要。
因此，在現(xiàn)有技術(shù)中急需另辟蹊徑設(shè)計(jì)夾具，而且對(duì)夾具必須滿足如下要求 (1 )不能接觸硅片的兩個(gè)拋光面，只接觸倒角面；
(2) 所用材質(zhì)不能引入顆粒，金屬等污染物；
(3) 作業(yè)簡(jiǎn)單方便。

實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是克服了上述現(xiàn)有技術(shù)中的缺點(diǎn)，提供一種能夠進(jìn)行雙面拋光硅片的 夾持操作、操作簡(jiǎn)單方便、夾持穩(wěn)定牢固、結(jié)構(gòu)筒單實(shí)用、適用范圍較為廣泛的硅片夾持裝置。
為了實(shí)現(xiàn)上述的目的，本實(shí)用新型的硅片夾持裝置具有如下構(gòu)成
該硅片夾持裝置，包括夾持主體和與該夾持主體相連接的夾持頭部，其主要特點(diǎn)是，所 述的夾持頭部包括與夾持主體相連接的伸縮桿，所述的伸縮桿末端設(shè)置有夾頭，所述的夾頭
3與夾持主體之間形成有夾持空間。
該硅片夾持裝置中的夾持主體包括套管和穿設(shè)于該套管的第一端部中的壓把，所述的壓 把的頭部與所述的伸縮桿相連接，且該伸縮桿從所述的套管的第二端部穿出，所述的壓把和 套管之間抵靠設(shè)置有彈性伸縮部件，所述的壓把和伸縮桿在該彈性伸縮部件作用下沿所述的 套管軸向往返滑動(dòng)。
該硅片夾持裝置中的彈性伸縮部件為套設(shè)于所述的伸縮桿上的彈簧，所述的彈簧抵靠設(shè) 置于所述的壓把的末端與所述的套管的第二端部之間。
該硅片夾持裝置中的夾頭的夾持內(nèi)側(cè)設(shè)置有夾持槽位，所述的套管的第二端部的夾持側(cè) 設(shè)置有夾持定位槽。
該硅片夾持裝置中的夾持定位槽為弧形夾持定位槽。
該硅片夾持裝置中的伸縮桿的中間段偏離所述的套管的中軸線。
該硅片夾持裝置中的壓把側(cè)面設(shè)置有限位楔，所述的套管側(cè)壁上與該限位楔對(duì)應(yīng)位置處 設(shè)置有縱向滑動(dòng)狹縫，所述的限位楔設(shè)置于該縱向滑動(dòng)狹縫中，且該限位楔沿該縱向滑動(dòng)狹 縫往返滑動(dòng)。
該硅片夾持裝置中的套管外側(cè)還設(shè)置有握持把手。 該硅片夾持裝置中的壓把的末端設(shè)置有抵壓寬片。 該硅片夾持裝置中的伸縮桿為伸縮金屬桿。
采用了該實(shí)用新型的硅片夾持裝置，由于其通過(guò)伸縮桿末端的夾頭和夾持主體來(lái)夾持硅 片，而避免接觸硅片的兩個(gè)拋光面，僅接觸硅片邊緣的倒角面，而且所用的材質(zhì)不會(huì)引入顆 粒、金屬等污染物，從而在夾持雙面拋光硅片時(shí)不會(huì)在拋光面上留下任何吸筆痕跡，也不會(huì) 有任何污染發(fā)生，不僅能夠滿足雙面拋光硅片的生產(chǎn)工藝需要，同時(shí)也能夠直接使用在單面 拋光硅片的生產(chǎn)工藝中，而且作業(yè)方便，操作簡(jiǎn)單方便，夾持穩(wěn)定牢固，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單實(shí)用，適 用范圍較為廣泛，為半導(dǎo)體加工工藝的進(jìn)一步改進(jìn)和質(zhì)量?jī)?yōu)化奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。


圖1為本實(shí)用新型的硅片夾持裝置的夾持主體的縱向截面示意圖。 圖2為本實(shí)用新型的硅片夾持裝置的整體俯視示意圖。 圖3為本實(shí)用新型的硅片夾持裝置的整體側(cè)面示意圖。 圖4為本實(shí)用新型的硅片夾持裝置的整體仰視示意圖。
具體實(shí)施方式
為了能夠更清楚地理解本實(shí)用新型的技術(shù)內(nèi)容，特舉以下實(shí)施例詳細(xì)說(shuō)明。
請(qǐng)參閱圖1至圖4所示，該硅片夾持裝置，包括夾持主體和與該夾持主體相連接的夾持 頭部，其中，所述的夾持頭部包括與夾持主體相連接的伸縮桿4,所述的伸縮桿4末端設(shè)置 有夾頭5，所述的夾頭5與夾持主體之間形成有夾持空間。在本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
中， 該硅片夾持裝置的伸縮桿4為伸縮金屬桿4。
其中，所述的夾持主體包括套管2和穿設(shè)于該套管2的第一端部中的壓把1,所述的壓 把1的頭部與所述的伸縮桿4相連接，且該伸縮桿4從所述的套管2的第二端部穿出，所述 的壓把1和套管2之間抵靠設(shè)置有彈性伸縮部件3,所述的壓把1和伸縮桿4在該彈性伸縮 部件3作用下沿所述的套管2的軸向往返滑動(dòng)；在本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
中，所述的彈 性伸縮部件3為套設(shè)于所述的伸縮桿4上的彈簧3，所述的彈簧3抵靠設(shè)置于所述的壓把1 的末端與所述的套管2的第二端部之間。
同時(shí)，所述的夾頭5的夾持內(nèi)側(cè)設(shè)置有夾持槽位51 ，所述的套管2的第二端部的夾持側(cè) 設(shè)置有夾持定位槽21;為了能夠獲得盡可能好的夾持定位效果，該夾持定位槽21為弧形夾 持定位槽21。
不僅如此，為了使得整個(gè)夾持裝置在夾持過(guò)程中不會(huì)接觸到硅片的拋光面，該硅片夾持 裝置的伸縮桿4的中間段偏離所述的套管2的中軸線。
同時(shí)，所述的壓把1的側(cè)面設(shè)置有限位楔11,所述的套管2的側(cè)壁上與該限位楔11對(duì) 應(yīng)位置處設(shè)置有縱向滑動(dòng)狹縫22，所述的限位楔11設(shè)置于該縱向滑動(dòng)狹縫22中，且該限位 楔11沿該縱向滑動(dòng)狹縫22往返滑動(dòng)，從而起到限位滑動(dòng)作用，防止壓把1從套管2中脫離。
另外，為了便于握持，該硅片夾持裝置的套管2的外側(cè)還設(shè)置有握持把手23，同時(shí)，該 硅片夾持裝置的壓把1的末端還設(shè)置有抵壓寬片12,從而便于操作。
在實(shí)際使用當(dāng)中，該實(shí)用新型的硅片夾持裝置由以下幾部分組成，其各部分功能和作用 描述如下
(1 )壓把1,其主要功能是吸著硅片時(shí)，壓下壓把1,夾持伸縮金屬桿4伸出，從而能 夾持住硅片；
(2) 套管2,其主要功能一是為壓把提供伸縮套管，而是為硅片夾持時(shí)提供合適的接觸 角度和接觸槽，另外還要滿足操作者易于握持的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)；
(3) 彈簧3,為夾持硅片提供夾持力，其主要要求是此彈力既不能過(guò)大，以至于壓碎硅 片，操作者操作不便；彈力也不能過(guò)小，以至于不能有效夾持住硅片；
(4) 伸縮金屬桿4，其主要功能為提供有效的夾持力，需要設(shè)置一定的彎曲幅度，保證
5夾持硅片時(shí)，伸縮金屬桿4不能接觸硅片，而且不能有金屬污染離子釋放出，造成硅片金屬 污染超標(biāo)，因此對(duì)伸縮金屬桿4的材質(zhì)必須有合適的選擇；
(5)夾頭5,其主要功能是提供硅片夾持槽位，需求是夾頭的大小，既不能太大，造成 不能進(jìn)出片盒；同時(shí)也不能過(guò)小，造成與硅片點(diǎn)接觸，硅片在夾持時(shí)不能有效夾持定位。
在實(shí)際操作中，壓把l的一段套進(jìn)套管2中，用限位楔11不讓其在伸縮過(guò)程中跑出套管 2。壓把1在套管2中一端與伸縮金屬桿4相連，而且會(huì)與彈簧3相接觸(伸縮金屬桿4通過(guò) 彈簧3 ),套管2上由握持^fc手23，以便作業(yè)時(shí)方便作業(yè)者握持。套管2的一端有弧形的凹槽， 此凹槽接觸硅片時(shí)以滿足硅片倒角面弧度，以便于牢固的夾持住硅片，伸縮金屬桿4穿過(guò)套 管2,另一端與夾頭5相連，此夾頭5與套管2上的弧形凹槽共同對(duì)硅片起夾持作用。
不僅如此，伸縮金屬桿4最好選用416型不銹鋼材質(zhì)，以免引入金屬污染，另外在加工 時(shí)，也要考慮夾頭5與套管2上的伸縮金屬桿4的連接位置，以免在使用過(guò)程中伸縮金屬桿 4接觸硅片，造成金屬污染。
采用了上述的硅片夾持裝置，由于其通過(guò)伸縮桿末端的夾頭和夾持主體來(lái)夾持硅片，而 避免接觸硅片的兩個(gè)拋光面，僅接觸硅片邊緣的倒角面，而且所用的材質(zhì)不會(huì)引入顆粒、金 屬等污染物，從而在夾持雙面拋光硅片時(shí)不會(huì)在拋光面上留下吸筆痕跡，也不會(huì)有其他污染 發(fā)生，不僅能夠滿足雙面拋光硅片的生產(chǎn)工藝需要，，同時(shí)也能夠直接使用在單面拋光硅片的 生產(chǎn)工藝中，而且作業(yè)方便，操作簡(jiǎn)單方便，夾持穩(wěn)定牢固，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單實(shí)用，適用范圍較為 廣泛，為半導(dǎo)體加工工藝的進(jìn)一步改進(jìn)和質(zhì)量?jī)?yōu)化奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。
在此說(shuō)明書中，本實(shí)用新型已參照其特定的實(shí)施例作了描述。但是，很顯然仍可以作出 各種修改和變換而不背離本實(shí)用新型的精神和范圍。因此，說(shuō)明書和附圖應(yīng)j皮認(rèn)為是說(shuō)明性 的而非限制性的。
權(quán)利要求1、一種硅片夾持裝置，包括夾持主體和與該夾持主體相連接的夾持頭部，其特征在于，所述的夾持頭部包括與夾持主體相連接的伸縮桿，所述的伸縮桿末端設(shè)置有夾頭，所述的夾頭與夾持主體之間形成有夾持空間。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片夾持裝置，其特征在于，所述的夾持主體包括套管和穿設(shè) 于該套管的第 一端部中的壓把，所述的壓把的頭部與所述的伸縮桿相連接，且該伸縮桿從所 述的套管的第二端部穿出，所述的壓把和套管之間抵靠設(shè)置有彈性伸縮部件，所述的壓把和 伸縮桿在該彈性伸縮部件作用下沿所述的套管軸向往返滑動(dòng)。
3、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片夾持裝置，其特征在于，所述的彈性伸縮部件為套設(shè)于所 述的伸縮桿上的彈簧，所述的彈簧抵靠設(shè)置于所述的壓把的末端與所述的套管的第二端部之 間。
4、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片夾持裝置，其特征在于，所述的夾頭的夾持內(nèi)側(cè)設(shè)置有夾 持槽位，所述的套管的第二端部的夾持側(cè)設(shè)置有夾持定位槽。
5、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的硅片夾持裝置，其特征在于，所述的夾持定位槽為弧形夾持定位槽。
6、 根據(jù)權(quán)利要求2至5中任一項(xiàng)所述的硅片夾持裝置，其特征在于，所述的伸縮桿的中 間段偏離所述的套管的中軸線。
7、 根據(jù)權(quán)利要求2至5中任一項(xiàng)所述的硅片夾持裝置，其特征在于，所述的壓把側(cè)面設(shè) 置有限位楔，所述的套管側(cè)壁上與該限位楔對(duì)應(yīng)位置處設(shè)置有縱向滑動(dòng)狹縫，所述的限位楔 設(shè)置于該縱向滑動(dòng)狹縫中，且該限位楔沿該縱向滑動(dòng)狹縫往返滑動(dòng)。
8、 根據(jù)權(quán)利要求2至5中任一項(xiàng)所述的硅片夾持裝置，其特征在于，所述的套管外側(cè)還 設(shè)置有握持把手。
9、 根據(jù)權(quán)利要求2至5中任一項(xiàng)所述的硅片夾持裝置，其特征在于，所述的壓把的末端 設(shè)置有抵壓寬片。
10、 根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的硅片夾持裝置，其特征在于，所述的伸縮桿為 伸縮金屬桿。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種硅片夾持裝置，包括夾持主體和與該夾持主體相連接的夾持頭部，其特征在于，所述的夾持頭部包括與夾持主體相連接的伸縮桿，所述的伸縮桿末端設(shè)置有夾頭，所述的夾頭與夾持主體之間形成有夾持空間。采用該種結(jié)構(gòu)的硅片夾持裝置，避免接觸硅片的兩個(gè)拋光面，僅接觸硅片邊緣的倒角面，所用材質(zhì)不會(huì)引入顆粒、金屬等污染物，在夾持雙面拋光硅片時(shí)不會(huì)在拋光面上留下吸筆痕跡，也不會(huì)有任何污染產(chǎn)生，不僅能夠滿足雙面拋光硅片的生產(chǎn)工藝需要，同時(shí)也能夠直接使用在單面拋光硅片的生產(chǎn)工藝中，而且作業(yè)方便，操作簡(jiǎn)單方便，夾持穩(wěn)定牢固，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單實(shí)用，適用范圍較為廣泛，為半導(dǎo)體加工工藝的進(jìn)一步改進(jìn)和質(zhì)量?jī)?yōu)化奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。
文檔編號(hào)B81C99/00GK201423579SQ20092007683
公開日2010年3月17日 申請(qǐng)日期2009年6月23日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月23日
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