專(zhuān)利名稱：微機(jī)械結(jié)構(gòu)以及用于調(diào)整微機(jī)械結(jié)構(gòu)的工作間隙寬度的方法
微機(jī)械結(jié)構(gòu)以及用于調(diào)整微機(jī)械結(jié)構(gòu)的工作間隙寬度的方
法
現(xiàn)有技術(shù)本發(fā)明涉及一種按照權(quán)利要求1的前序部分的微機(jī)械結(jié)構(gòu)以及一種按照權(quán)利要求10的前序部分的用于調(diào)整微機(jī)械結(jié)構(gòu)的工作間隙寬度的方法。對(duì)于在微型系統(tǒng)技術(shù)中的許多應(yīng)用都要求，在半導(dǎo)體襯底中實(shí)現(xiàn)具有高的特征比例的工作間隙，也就是說(shuō)，間隙深度與間隙寬度的商數(shù)大的工作間隙。由US6136630和 DE19852878已知一些增大該特征比例的解決方案。在W003/043189中描述了一種具有一個(gè)微機(jī)械結(jié)構(gòu)的機(jī)電式共振器。通過(guò)施加電場(chǎng)將一個(gè)可運(yùn)動(dòng)的結(jié)構(gòu)元件相對(duì)于一個(gè)固定的結(jié)構(gòu)元件預(yù)張緊，以便減小工作間隙寬度。由DE102004053103A1已知，通過(guò)使用至少一個(gè)彈簧縮小間隙寬度，其中該彈簧被固定在一個(gè)夾緊位置上并且具有內(nèi)部的預(yù)緊力，該預(yù)緊力由彈簧的基礎(chǔ)材料的涂層產(chǎn)生并且為了減小間隙寬度被釋放到一種長(zhǎng)度改變中。在由于受工藝的限制而具有小的和統(tǒng)一的工作間隙寬度的微機(jī)械傳感器或執(zhí)行器中，基本上存在兩種困難。例如在設(shè)計(jì)成梳齒驅(qū)動(dòng)器的微機(jī)械結(jié)構(gòu)中，在統(tǒng)一的間隙寬度情況下觀察不到線性的特性并且由此產(chǎn)生不穩(wěn)定的特性。此外，在已知的、具有非常小的間隙寬度的傳感器和執(zhí)行器中具有的問(wèn)題是，僅僅能夠在加速度傳感器和轉(zhuǎn)速傳感器中達(dá)到一個(gè)很小的機(jī)械的工作振幅。本發(fā)明的公開(kāi)技術(shù)任務(wù)本發(fā)明基于的任務(wù)是提出一種可供選擇的微機(jī)械結(jié)構(gòu)，通過(guò)它可以實(shí)現(xiàn)比較大的機(jī)械的工作振幅。此外，該任務(wù)在于建議一種相應(yīng)優(yōu)化的用于增大工作振幅的方法。技術(shù)方案這個(gè)任務(wù)在微機(jī)械結(jié)構(gòu)方面通過(guò)權(quán)利要求1的特征解決而在方法方面通過(guò)權(quán)利要求10的特征解決。本發(fā)明的有利的擴(kuò)展方案在從屬權(quán)利要求中給出。在本發(fā)明的范圍中包括由至少兩個(gè)在說(shuō)明書(shū)、權(quán)利要求書(shū)和/或附圖中公開(kāi)的特征的全部組合。為了避免重復(fù)，按照方法方式公開(kāi)的特征也應(yīng)該被視為按照裝置方式被公開(kāi)并且要求權(quán)利。同樣地， 按照裝置方式公開(kāi)的特征也應(yīng)該被視為按照方法方式被公開(kāi)并且要求權(quán)利。本發(fā)明基于這樣的構(gòu)思，即建議一種微機(jī)械結(jié)構(gòu)，其中不象在現(xiàn)有技術(shù)中那樣在將工作間隙安置到半導(dǎo)體材料中之后，尤其是通過(guò)蝕刻工藝，使該工作間隙(工作溝槽)縮小，而是相反通過(guò)合適的機(jī)構(gòu)擴(kuò)大該間隙寬度。在此情況下，在按照本發(fā)明的設(shè)計(jì)構(gòu)思設(shè)計(jì)的微機(jī)械結(jié)構(gòu)中，對(duì)在微機(jī)械結(jié)構(gòu)運(yùn)行期間相對(duì)于一個(gè)參照點(diǎn)固定的(半導(dǎo)體)結(jié)構(gòu)部段相對(duì)于在微機(jī)械結(jié)構(gòu)運(yùn)行期間可相對(duì)于該參照點(diǎn)調(diào)節(jié)的(半導(dǎo)體)結(jié)構(gòu)部段進(jìn)行調(diào)節(jié)。由此可以，尤其是在加速度和轉(zhuǎn)速傳感器情況下，但是也包括在執(zhí)行器中，在事后實(shí)現(xiàn)大的機(jī)械的工作振幅。而且在微機(jī)械結(jié)構(gòu)的相應(yīng)的設(shè)計(jì)中，如后面還要說(shuō)明的，也可以通過(guò)實(shí)現(xiàn)不統(tǒng)一的間隙寬度來(lái)實(shí)現(xiàn)一種相應(yīng)的、尤其是梳型地結(jié)構(gòu)化的執(zhí)行器或傳感器的線性特性。 參照點(diǎn)可以或者本身可運(yùn)動(dòng)地或者固定地布置。優(yōu)選該參照點(diǎn)是一個(gè)用按照本發(fā)明的微型結(jié)構(gòu)裝配的裝置的組成部分。例如該參照點(diǎn)可以由相對(duì)于一個(gè)旋轉(zhuǎn)框架傳感器的傳感器外殼可旋轉(zhuǎn)地支承的框架形成?？傊?，本發(fā)明的核心因此在于，在微機(jī)械結(jié)構(gòu)中在形成間隙之后擴(kuò)大與功能相關(guān)的該工作間隙。在本發(fā)明的意義中，工作間隙是指這樣的間隙，即在用作執(zhí)行器的微機(jī)械結(jié)構(gòu)中的可運(yùn)動(dòng)的(可主動(dòng)調(diào)節(jié)的)結(jié)構(gòu)部段被調(diào)節(jié)進(jìn)入該間隙。在傳感器情況下，工作間隙被理解為由一些結(jié)構(gòu)部段限制的間隙，在該結(jié)構(gòu)部段之間測(cè)量電容。在此情況下，該電容在工作間隙變小時(shí)通過(guò)在固定的結(jié)構(gòu)部段的方向上調(diào)節(jié)可調(diào)節(jié)的結(jié)構(gòu)部段而增大。在本發(fā)明的擴(kuò)展方案中有利地規(guī)定，該機(jī)構(gòu)這樣地?cái)U(kuò)寬該工作間隙，使得該工作間隙具有不統(tǒng)一的間隙寬度。換言之，通過(guò)至少逐部段地?cái)U(kuò)寬該工作間隙，在工作間隙的至少兩個(gè)不同的位置上實(shí)現(xiàn)不同的間隙寬度并且由此實(shí)現(xiàn)一種線性特性。在梳齒驅(qū)動(dòng)器情況下，此時(shí)在梳齒驅(qū)動(dòng)器的縱向延伸部的方向上延伸的工作間隙部段最好比在梳齒驅(qū)動(dòng)器的縱向延伸部的橫向上延伸的工作間隙部段更寬(在縱向延伸部的橫向上)。按照一種最簡(jiǎn)單的實(shí)施形式，該工作間隙僅僅一維地，亦即通過(guò)調(diào)節(jié)至少一個(gè)結(jié)構(gòu)部段在一個(gè)惟一的方向上被擴(kuò)寬。但是也可以實(shí)現(xiàn)一種實(shí)施形式，尤其是在一個(gè)不是直的而是例如經(jīng)至少一個(gè)角部延伸的工作間隙情況下，其中該工作間隙被二維地?cái)U(kuò)寬，尤其是通過(guò)在兩個(gè)方向上調(diào)節(jié)至少一個(gè)在微機(jī)械結(jié)構(gòu)運(yùn)行中固定的結(jié)構(gòu)部段或者優(yōu)選通過(guò)在兩個(gè)最好相互成直角地延伸的方向上調(diào)節(jié)至少兩個(gè)或多個(gè)結(jié)構(gòu)元件。在用于擴(kuò)寬工作間隙的機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上具有各種不同的可能性。原則上可以設(shè)想使用相同的機(jī)構(gòu)(但是具有相反的作用)，如它們?cè)诂F(xiàn)有技術(shù)中用于使工作間隙變窄那樣。特別優(yōu)選地是一種實(shí)施形式，其中該機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)成通過(guò)產(chǎn)生電磁場(chǎng)，亦即通過(guò)使用靜電力來(lái)擴(kuò)寬工作間隙。附加地或備選地，該機(jī)構(gòu)可以設(shè)計(jì)成通過(guò)使用至少一個(gè)彈簧擴(kuò)寬該工作間隙。在此情況下特別優(yōu)選一種實(shí)施形式，其中彈簧按照在DE102004058103A1中描述的方式進(jìn)行設(shè)計(jì)，即該彈簧具有覆層，該覆層用于實(shí)現(xiàn)彈簧的一種內(nèi)部的預(yù)張力。為了在微機(jī)械結(jié)構(gòu)內(nèi)部提供足夠的空間，以便擴(kuò)大工作間隙，優(yōu)選一種實(shí)施形式， 其中為至少一個(gè)要擴(kuò)寬的工作間隙配置至少一個(gè)輔助間隙，該輔助間隙借助于用于擴(kuò)寬工作間隙的機(jī)構(gòu)被變窄，尤其是被完全閉合。在此情況下特別優(yōu)選一種實(shí)施形式，其中輔助間隙平行于工作間隙延伸。按照微機(jī)械結(jié)構(gòu)的一個(gè)特別優(yōu)選的實(shí)施形式，對(duì)工作間隙限界的結(jié)構(gòu)部段設(shè)計(jì)成梳形，其中梳型的結(jié)構(gòu)部段相互間以一定的間距以嚙合齒的方式相互嚙合到對(duì)方中。為了擴(kuò)寬工作間隙，使在微機(jī)械結(jié)構(gòu)運(yùn)行中靜止的那個(gè)結(jié)構(gòu)部段移動(dòng)而離開(kāi)各其它的結(jié)構(gòu)部段。特別優(yōu)選地，此時(shí)該工作間隙僅僅被一維地?cái)U(kuò)大，最好這樣地?cái)U(kuò)大，即實(shí)現(xiàn)開(kāi)頭所述的非統(tǒng)一的工作間隙寬度。在本發(fā)明的擴(kuò)展方案中有利地規(guī)定，該工作間隙設(shè)計(jì)成圍繞在微機(jī)械結(jié)構(gòu)運(yùn)行中固定的結(jié)構(gòu)部段的環(huán)繞的(環(huán)形的)間隙。優(yōu)選設(shè)置多個(gè)，尤其是四個(gè)，在運(yùn)行中固定的結(jié)構(gòu)部段，它們借助于用于擴(kuò)寬工作間隙的機(jī)構(gòu)被相互朝著對(duì)方移動(dòng)，以便最好均勻地?cái)U(kuò)寬工作間隙。特別優(yōu)選的是一種實(shí)施形式，其中工作間隙通過(guò)平行調(diào)節(jié)多個(gè)在微機(jī)械結(jié)構(gòu)運(yùn)行期間固定的結(jié)構(gòu)部段被擴(kuò)寬。在此情況下優(yōu)選為每個(gè)要調(diào)節(jié)的結(jié)構(gòu)部段配設(shè)一個(gè)輔助間隙，該輔助間隙最好通過(guò)調(diào)節(jié)固定的結(jié)構(gòu)部段被完全封閉。所述的實(shí)施形式是特別有利的，因?yàn)檩o助間隙寬度相互疊加并且因此可以特別大地?cái)U(kuò)寬工作間隙。本發(fā)明還涉及一種用于調(diào)整微機(jī)械結(jié)構(gòu)的、尤其是傳感器或執(zhí)行器的、由至少兩個(gè)可相互相對(duì)調(diào)節(jié)的結(jié)構(gòu)部段限制的工作間隙的方法。按照本發(fā)明規(guī)定，該工作間隙通過(guò)調(diào)節(jié)至少一個(gè)在微機(jī)械結(jié)構(gòu)運(yùn)行期間固定的結(jié)構(gòu)部段被事后擴(kuò)寬。換言之，亦即不是調(diào)節(jié)在微機(jī)械結(jié)構(gòu)運(yùn)行期間可運(yùn)動(dòng)的結(jié)構(gòu)部段，而是固定的基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)部段。附圖簡(jiǎn)述本發(fā)明的其它的優(yōu)點(diǎn)、特征和細(xì)節(jié)由以下對(duì)優(yōu)選實(shí)施例的說(shuō)明以及依據(jù)附圖給出。附圖中所示

圖1是緊接著在形成工作間隙之后在還沒(méi)有被擴(kuò)寬的狀態(tài)下的一個(gè)微機(jī)械的梳結(jié)構(gòu)，圖2是按照?qǐng)D1的在后來(lái)進(jìn)行工作間隙擴(kuò)寬之后的微機(jī)械的梳結(jié)構(gòu)，圖3是按照?qǐng)D1的微機(jī)械的梳結(jié)構(gòu)的一個(gè)局部詳圖，圖4是按照?qǐng)D2的被擴(kuò)寬的微機(jī)械的梳結(jié)構(gòu)的一個(gè)局部詳圖5是一個(gè)在擴(kuò)寬之前具有一個(gè)環(huán)繞的工作間隙的備選微機(jī)械結(jié)構(gòu)，圖6是按照?qǐng)D5的在擴(kuò)寬工作間隙之后的微機(jī)械結(jié)構(gòu)，圖7是具有一個(gè)工作間隙的微機(jī)械結(jié)構(gòu)的另一個(gè)備選實(shí)施例，其中設(shè)置多個(gè)在微機(jī)械結(jié)構(gòu)運(yùn)行期間固定的結(jié)構(gòu)部段，它們可以通過(guò)平行移動(dòng)被調(diào)節(jié)到圖8中所示的狀態(tài)， 以及圖8是按照?qǐng)D7的具有被擴(kuò)寬的工作間隙的微機(jī)械結(jié)構(gòu)。本發(fā)明的實(shí)施形式在附圖中，相同的元件和具有相同功能的元件用相同的標(biāo)記標(biāo)示。圖1中示出了一個(gè)可選擇地用作傳感器或執(zhí)行器的微機(jī)械結(jié)構(gòu)1。微機(jī)械結(jié)構(gòu)1 通過(guò)在半導(dǎo)體材料中的蝕刻步驟形成。如由圖1中可知，微機(jī)械結(jié)構(gòu)包括兩個(gè)主動(dòng)的結(jié)構(gòu)區(qū)2，3，它們各具有一個(gè)回形(波紋)的工作間隙4，5，其中工作間隙4，5相互平行地延伸。 工作間隙4，5中的每一個(gè)都是在一個(gè)在圖面中位于內(nèi)部的、梳型的、在微機(jī)械結(jié)構(gòu)1運(yùn)行中固定的結(jié)構(gòu)部段6，7和一個(gè)在圖面中位于外部的、與對(duì)應(yīng)的固定的結(jié)構(gòu)部段6，7嚙合的、梳型的、可運(yùn)動(dòng)的(在執(zhí)行器情況下是可主動(dòng)調(diào)節(jié)的)結(jié)構(gòu)部段8，9之間形成的。在結(jié)構(gòu)區(qū)2，3的縱向延伸部的方向上延伸的工作間隙部段10，11在蝕刻溝槽結(jié)構(gòu)之后具有與在結(jié)構(gòu)區(qū)2，3的縱向延伸部的橫向上延伸的工作間隙部段12，13相同的間隙寬度。為了擴(kuò)寬在梳型的結(jié)構(gòu)區(qū)2，3的縱向延伸部的方向上延伸的工作間隙部段10，11，這樣地產(chǎn)生一個(gè)電場(chǎng)，使得在圖面中位于內(nèi)部的、在微機(jī)械結(jié)構(gòu)1運(yùn)行期間固定的結(jié)構(gòu)部段6，7 相互向?qū)Ψ揭苿?dòng)，也就是說(shuō)被移動(dòng)離開(kāi)所屬的、在運(yùn)行中可運(yùn)動(dòng)的結(jié)構(gòu)部段8，9。這可以由此實(shí)現(xiàn)，即每個(gè)固定的結(jié)構(gòu)部段6，7配置多個(gè)輔助間隙14，15，它們與在結(jié)構(gòu)區(qū)2，3的縱向延伸部的方向上延伸的工作間隙部段10，11平行地延伸。輔助間隙14，15在彈簧元件16 內(nèi)部形成。除了產(chǎn)生電場(chǎng)以外，也可以附加地或備選地實(shí)現(xiàn)一種機(jī)械的、彈簧力支持的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。輔助間隙14，15通過(guò)向內(nèi)調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)部段6，7而被閉合，從而實(shí)現(xiàn)在圖2中所示的微機(jī)械結(jié)構(gòu)1，其中工作間隙4，5，更確切地說(shuō)，在結(jié)構(gòu)區(qū)2，3的縱向延伸部的方向上延伸的工作間隙部段10，11在結(jié)構(gòu)區(qū)2，3的縱向延伸部的橫向上被擴(kuò)寬，由此保證較大的機(jī)械振幅并且在所示的實(shí)施例中也保證線性的特性。
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在圖3和4中示出了按照?qǐng)D1和圖2的工作間隙4在后來(lái)進(jìn)行工作間隙擴(kuò)寬之前和之后的局部圖?？梢钥匆?jiàn)，該工作間隙4在擴(kuò)寬之前具有一個(gè)統(tǒng)一的間隙寬度，在此處為 1. 5μπι。換言之，在結(jié)構(gòu)區(qū)2的縱向延伸部的方向上延伸的工作間隙部段10的間隙寬度在擴(kuò)寬之前與在該方向的橫向上延伸的工作間隙部段12的寬度一樣大。通過(guò)在圖面中向右調(diào)節(jié)在運(yùn)行期間固定的結(jié)構(gòu)部段6，該工作間隙部段10被擴(kuò)寬，相反，工作間隙部段12的寬度保持恒定。在圖4中所示的實(shí)施例中，工作間隙部段10的間隙寬度是工作間隙12的間隙寬度的兩倍。在圖5和6中示出了在將此處設(shè)計(jì)成環(huán)繞的間隙的工作間隙4擴(kuò)寬之前和之后的一個(gè)微機(jī)械結(jié)構(gòu)ι的備選實(shí)施例。微機(jī)械結(jié)構(gòu)1包括一個(gè)外部的結(jié)構(gòu)部段8和四個(gè)構(gòu)造成三角形輪廓、在微機(jī)械結(jié)構(gòu)1運(yùn)行期間固定的結(jié)構(gòu)部段6，在它們之間實(shí)現(xiàn)傾斜延伸的、相互交叉的輔助間隙14。它們通過(guò)對(duì)結(jié)構(gòu)部段6的相對(duì)調(diào)節(jié)而被閉合，由此產(chǎn)生該環(huán)繞的工作間隙4的二維式擴(kuò)大，如其在圖6中所示。用于調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)部段6的機(jī)構(gòu)例如可以實(shí)現(xiàn)為靜電的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)或在使用至少一個(gè)彈簧元件下的機(jī)械的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。在圖7和8中示出了一個(gè)微機(jī)械結(jié)構(gòu)的另一個(gè)備選的實(shí)施例。可以看見(jiàn)三個(gè)相互平行延伸的結(jié)構(gòu)部段6，它們?cè)谖C(jī)械結(jié)構(gòu)運(yùn)行期間是靜止的。在每?jī)蓚€(gè)相鄰的結(jié)構(gòu)部段6 之間實(shí)現(xiàn)一個(gè)輔助間隙，它通過(guò)使結(jié)構(gòu)部段6相互相對(duì)運(yùn)動(dòng)而被閉合，如圖8中所示。固定的結(jié)構(gòu)部段6以機(jī)械的方式通過(guò)彈簧元件16相互連接，該彈簧元件導(dǎo)致對(duì)結(jié)構(gòu)部段6的調(diào)節(jié)。由此產(chǎn)生一個(gè)在圖8示出的、與圖7相比較被擴(kuò)寬的工作間隙4。
權(quán)利要求
1.微機(jī)械結(jié)構(gòu)，尤其是傳感器或執(zhí)行器，包括至少一個(gè)由至少兩個(gè)可相互相對(duì)調(diào)節(jié)的結(jié)構(gòu)部段(6，7，8，9)限制的工作間隙G，5)并且包括用于調(diào)整該工作間隙寬度的機(jī)構(gòu)，其特征在于，該機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)成通過(guò)對(duì)至少一個(gè)在微機(jī)械結(jié)構(gòu)(1)運(yùn)行期間相對(duì)于一個(gè)參照點(diǎn)固定的結(jié)構(gòu)部段(6，7)相對(duì)于在運(yùn)行中相對(duì)于這個(gè)參照點(diǎn)可運(yùn)動(dòng)的結(jié)構(gòu)部段(8，9)進(jìn)行調(diào)節(jié)而擴(kuò)寬該工作間隙G，5)。
2.按照權(quán)利要求1所述的微機(jī)械結(jié)構(gòu)，其特征在于，該機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)成這樣地?cái)U(kuò)寬該工作間隙G，5)，即工作間隙0，5)在至少兩個(gè)部位上具有不同的間隙寬度。
3.按照權(quán)利要求1或2之一所述的微機(jī)械結(jié)構(gòu)，其特征在于，該機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)成一維地或二維地?cái)U(kuò)寬該工作間隙G，5)。
4.按照前述權(quán)利要求之一所述的微機(jī)械結(jié)構(gòu)(1)，其特征在于，該機(jī)構(gòu)通過(guò)產(chǎn)生靜電力擴(kuò)寬該工作間隙(4，5)。
5.按照前述權(quán)利要求之一所述的微機(jī)械結(jié)構(gòu)，其特征在于，該機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)成借助于至少一個(gè)尤其是被涂層的彈簧擴(kuò)寬該工作間隙G，5)。
6.按照前述權(quán)利要求之一所述的微機(jī)械結(jié)構(gòu)，其特征在于，該機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)成通過(guò)使至少一個(gè)輔助間隙(14，15)變窄來(lái)擴(kuò)寬該工作間隙0，5)。
7.按照前述權(quán)利要求之一所述的微機(jī)械結(jié)構(gòu)，其特征在于，限制該工作間隙G，5)的結(jié)構(gòu)部段(6，7，8，9)設(shè)計(jì)成梳形，并且在微機(jī)械結(jié)構(gòu)(1)運(yùn)行期間固定的結(jié)構(gòu)部段(6，7) 可以借助于所述機(jī)構(gòu)被移動(dòng)離開(kāi)在運(yùn)行期間可調(diào)節(jié)的結(jié)構(gòu)部段。
8.按照前述權(quán)利要求之一所述的微機(jī)械結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述工作間隙(4，5)設(shè)計(jì)成環(huán)繞至少一個(gè)在運(yùn)行中固定的結(jié)構(gòu)部段(6，7)的間隙。
9.按照前述權(quán)利要求之一所述的微機(jī)械結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述工作間隙(4，5)可以通過(guò)平行調(diào)節(jié)多個(gè)在微機(jī)械結(jié)構(gòu)(1)運(yùn)行期間固定的結(jié)構(gòu)部段(6，7)被擴(kuò)寬。
10.用于調(diào)整微機(jī)械結(jié)構(gòu)(1)的、尤其是傳感器或執(zhí)行器的、由至少兩個(gè)可相互相對(duì)調(diào)節(jié)的結(jié)構(gòu)部段(6，7，8，9)限制的工作間隙(4，5)的方法，其特征在于，通過(guò)對(duì)至少一個(gè)在微機(jī)械結(jié)構(gòu)(1)運(yùn)行期間相對(duì)于一個(gè)參照點(diǎn)固定的結(jié)構(gòu)部段(6，7)相對(duì)于一個(gè)相對(duì)于該參照點(diǎn)可運(yùn)動(dòng)的結(jié)構(gòu)部段(8，9)進(jìn)行調(diào)節(jié)而擴(kuò)寬該工作間隙0，5)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種微機(jī)械結(jié)構(gòu)(1)，尤其是傳感器或執(zhí)行器，包括至少一個(gè)由至少兩個(gè)可相互相對(duì)調(diào)節(jié)的結(jié)構(gòu)部段(6，7，8，9)限制的工作間隙(4，5)和包括用于調(diào)整該工作間隙寬度的機(jī)構(gòu)。按照本發(fā)明規(guī)定，該機(jī)構(gòu)通過(guò)對(duì)至少一個(gè)在微機(jī)械結(jié)構(gòu)(1)運(yùn)行期間相對(duì)于一個(gè)參照點(diǎn)固定的結(jié)構(gòu)部段(6，7)相對(duì)于在運(yùn)行中相對(duì)于這個(gè)參照點(diǎn)可運(yùn)動(dòng)的結(jié)構(gòu)部段(8，9)進(jìn)行調(diào)節(jié)來(lái)擴(kuò)寬該工作間隙(4，5)。本發(fā)明此外涉及一種用于調(diào)整工作間隙寬度的方法。
文檔編號(hào)B81B3/00GK102387983SQ200980129796
公開(kāi)日2012年3月21日 申請(qǐng)日期2009年6月15日 優(yōu)先權(quán)日2008年7月30日
發(fā)明者C·勞德茲斯, D·C·邁澤爾, T·弗里德里希 申請(qǐng)人:羅伯特.博世有限公司