專利名稱：微流體系統(tǒng)用支持單元及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及以中空絲作為流路的微流體系統(tǒng)用支持單元及其制造方法。
背景技術(shù)：
在化學(xué)或生物化學(xué)的領(lǐng)域，正在進(jìn)展關(guān)于應(yīng)用MEMS (Micro Electro Mechanical System)技術(shù)的反應(yīng)系或分析裝置的小型化的研究，正在進(jìn)行關(guān)于作為其中構(gòu)成要素之一的微型泵、微型閥這樣的具有單一功能的機(jī)械要素(微型機(jī)器)的研究開發(fā)(例如參照莊子，《化學(xué)工業(yè)》，化學(xué)工業(yè)社，2001年11月，第52卷，第11號(hào)，42-46頁，及前田，《工^夕卜口二夕^實(shí)裝學(xué)會(huì)志》，社團(tuán)法人工^夕卜口二夕^實(shí)裝學(xué)會(huì)，2002年1月，第5卷，第1號(hào)， 25-27 頁)。近年來，將這些功能通過微小流路作為回路(系統(tǒng))，以進(jìn)行目的的化學(xué)反應(yīng)或化學(xué)分析的研究正在盛行。一般說來，那些系統(tǒng)的完成形被稱為微反應(yīng)器系統(tǒng)(Micro Reactor System)、微化學(xué)分析系統(tǒng)(Micro Total Analysis System μ TAS)等?，F(xiàn)在，作為該微小流路，例如提出了以使用蝕刻等在玻璃等的表面形成的溝作為微小流路的芯片型基板。該芯片型流路基板應(yīng)用了半導(dǎo)體或者印刷電路板的光刻法技術(shù)。另一方面，以中空絲作為流路的微流體系統(tǒng)用支持單元，具有要么容易實(shí)現(xiàn)在芯片型流路基板上為困難的流路層的多層化(交叉)，要么容易選擇作為流路的中空絲的材料等特長，有利于形成復(fù)雜的流路回路。其制造方法，提出過，將已在薄膜狀的材料上敷設(shè)成任意形狀的中空絲群，用同樣的薄膜狀材料進(jìn)行層壓的方法等(例如參照日本特開 2004-174701 號(hào)公報(bào))。作為進(jìn)行敷設(shè)的裝置，例如在日本特公昭50-9346號(hào)公報(bào)中提出了能夠在導(dǎo)線上一邊施加載荷和超聲波振動(dòng)一邊敷設(shè)的裝置，在日本特公平7-95622號(hào)公報(bào)中提出了能夠一邊施加載荷和照射激光一邊敷設(shè)的裝置，在日本特開2001-59910號(hào)公報(bào)中提出了在配線體(光纖)上施加載荷，向粘接劑層面進(jìn)行布線的布線裝置。

發(fā)明內(nèi)容
但是，若使用如上所述的層壓方法，當(dāng)被敷設(shè)的中空絲的外徑規(guī)格不同時(shí)，或在該中空絲發(fā)生交叉的部分，會(huì)在微流體系統(tǒng)用支持單元的表面產(chǎn)生凹凸。于是，當(dāng)上述微流體系統(tǒng)用支持單元的表面被施加強(qiáng)外力時(shí)，力就會(huì)集中在凸部分，發(fā)生中空絲破損或變形的問題。進(jìn)而中空絲的變形，還會(huì)引起絲內(nèi)的流路形狀的變形，發(fā)生流體堵塞或壓力損失變大等問題。再有，如果被敷設(shè)的中空絲的數(shù)增多，就會(huì)有中空絲相互的交叉增加而凹凸數(shù)增加的問題。而且，若使用上述的進(jìn)行層壓的方法，在中空絲的具有交叉的部分，因?qū)訅簤毫Χ锌战z容易破損或變形，在層壓時(shí)必須使用適宜的緩沖材料。另外，若使用上述的進(jìn)行層壓的方法，在具有外徑不同的數(shù)根中空絲的部分，因?qū)訅旱膲毫Χ鈴皆酱蟮闹锌战z越容易破損或變形，在層壓時(shí)必須使用適宜的緩沖材料。另外，在中空絲的交叉部，由于基材和中空絲接觸的面積減少，中空絲的固定力變?nèi)酰兄锌战z移動(dòng)而引起位置偏移這樣的問題。本發(fā)明就是為了解決如上所述的問題而進(jìn)行的，目的是提供表面凹凸少、并且與進(jìn)行層壓的方法相比能夠抑制在微流體系統(tǒng)用支持單元制造時(shí)的中空絲交叉部及具有外徑不同的數(shù)根中空絲的部分的破損·變形的、還能夠減低中空絲的交叉部的位置偏移的微流體系統(tǒng)用支持單元及其制造方法。本發(fā)明涉及(1)微流體系統(tǒng)用支持單元，其具有基材和設(shè)置在該基材上的固定層，在該固定層中有至少一根中空絲的一部分被敷設(shè)成任意的形狀而被固定。另外，本發(fā)明涉及( 具有覆蓋至少一部分基材和固定層的保護(hù)層的上述(1)記載的微流體系統(tǒng)用支持單元。另外，本發(fā)明( 涉及具有保護(hù)層和設(shè)置在該保護(hù)層上的固定層，在該固定層中有至少一根中空絲的一部分被敷設(shè)成任意的形狀而被固定的微流體系統(tǒng)用支持單元。另外，本發(fā)明涉及(4)具有中間層和設(shè)置在該中間層上的固定層，在該固定層中有至少一根中空絲的一部分被敷設(shè)成任意的形狀而被固定的微流體系統(tǒng)用支持單元。另外，本發(fā)明( 涉及在固定層中有至少一根中空絲的一部分被敷設(shè)成任意的形狀而被固定的微流體系統(tǒng)用支持單元。另外，本發(fā)明涉及(6)在基材和固定層之間設(shè)置有中間層的上述(1)或者(2)記載的微流體系統(tǒng)用支持單元。另外，本發(fā)明涉及(7)在保護(hù)層和固定層之間設(shè)置有中間層的上述C3)記載的微流體系統(tǒng)用支持單元。另外，本發(fā)明涉及(8)中間層是具有粘接能力的層、或者是具有緩沖能力的層、或者是具有脫模能力的層的上述G)、(6)或者(7)記載的微流體系統(tǒng)用支持單元。另外，本發(fā)明涉及(9)至少一根中空絲的端部從基材端部突出，且具有冗長部分的上述(1)、(2)或者(6)記載的微流體系統(tǒng)用支持單元。另外，本發(fā)明涉及(10)至少一根中空絲的端部從保護(hù)層端部突出，且具有冗長部分的上述O)、(3)、(6)或者(7)記載的微流體系統(tǒng)用支持單元。另外，本發(fā)明涉及(11)至少一根中空絲的端部從固定層端部突出，且具有冗長部分的上述(1) (10)的任一項(xiàng)中記載的微流體系統(tǒng)用支持單元。另外，本發(fā)明涉及(12)至少一根中空絲的中間部的外壁的至少一部分從固定層露出的上述(1) (11)中的任一項(xiàng)記載的微流體系統(tǒng)用支持單元。另外，本發(fā)明涉及(13)至少一根中空絲的中間部的外壁的至少一部分從保護(hù)層露出的上述(1 記載的微流體系統(tǒng)用支持單元。另外，本發(fā)明涉及(14)至少一根中空絲的中間部的外壁從固定層露出的上述 (1) (11)中的任一項(xiàng)記載的微流體系統(tǒng)用支持單元。另外，本發(fā)明涉及(15)中空絲是2根以上的上述(1) (14)中的任一項(xiàng)記載的微流體系統(tǒng)用支持單元。
另外，本發(fā)明涉及(16)2根以上的中空絲由具有2種以上的不同外徑的中空絲構(gòu)成的上述(1 記載的微流體系統(tǒng)用支持單元。另外，本發(fā)明涉及(17)至少一根中空絲被敷設(shè)成具有交叉部的(1) (16)中的任一項(xiàng)記載的微流體系統(tǒng)用支持單元。另外，本發(fā)明涉及(18)已敷設(shè)中空絲區(qū)域的微流體系統(tǒng)用支持單元的厚度比全部的中空絲的外徑更厚的上述(1) (17)中的任一項(xiàng)記載的微流體系統(tǒng)用支持單元。另外，本發(fā)明涉及(19)已敷設(shè)中空絲區(qū)域的微流體系統(tǒng)用支持單元的厚度比交叉部中的中空絲的厚度的合計(jì)更厚的上述(1) (18)中的任一項(xiàng)記載的微流體系統(tǒng)用支持單元。另外，本發(fā)明涉及00)已敷設(shè)中空絲區(qū)域的微流體系統(tǒng)用支持單元的表面是平坦的上述(1) (19)中的任一項(xiàng)記載的微流體系統(tǒng)用支持單元。另外，本發(fā)明涉及固定層是已固化的清漆的上述(1) 00)中的任一項(xiàng)記載的微流體系統(tǒng)用支持單元。另外，本發(fā)明涉及0 固化前的清漆具有流動(dòng)性的上述記載的微流體系統(tǒng)用支持單元。另外，本發(fā)明涉及已敷設(shè)中空絲區(qū)域的微流體系統(tǒng)用支持單元的厚度是未敷設(shè)中空絲區(qū)域的微流體系統(tǒng)用支持單元厚度的100 120%的上述(1) 02)中的任一項(xiàng)記載的微流體系統(tǒng)用支持單元。另外，本發(fā)明涉及04)已敷設(shè)中空絲區(qū)域的微流體系統(tǒng)用支持單元的厚度是未敷設(shè)中空絲區(qū)域的微流體系統(tǒng)用支持單元厚度的100 110%的上述(1) 02)中的任一項(xiàng)記載的微流體系統(tǒng)用支持單元。另外，本發(fā)明涉及0 已敷設(shè)中空絲區(qū)域的微流體系統(tǒng)用支持單元的厚度是未敷設(shè)中空絲區(qū)域的微流體系統(tǒng)用支持單元厚度的100 105%的上述(1) 02)中的任一項(xiàng)記載的微流體系統(tǒng)用支持單元。另外，本發(fā)明涉及06)已敷設(shè)中空絲區(qū)域的微流體系統(tǒng)用支持單元的厚度是未敷設(shè)中空絲區(qū)域的微流體系統(tǒng)用支持單元厚度的100 103%的上述(1) 02)中的任一項(xiàng)記載的微流體系統(tǒng)用支持單元。另外，本發(fā)明涉及、2Τ)至少一根中空絲被敷設(shè)成具有交叉部，該交叉部區(qū)域的微流體系統(tǒng)用支持單元的厚度是交叉部以外的敷設(shè)有中空絲的區(qū)域的微流體系統(tǒng)用支持單元厚度的100 120%的上述(1) 06)中的任一項(xiàng)記載的微流體系統(tǒng)用支持單元。另外，本發(fā)明涉及08)至少一根中空絲被敷設(shè)成具有交叉部，該交叉部區(qū)域的微流體系統(tǒng)用支持單元的厚度是交叉部以外的敷設(shè)有中空絲的區(qū)域的微流體系統(tǒng)用支持單元厚度的100 110%的上述(1) 06)中的任一項(xiàng)記載的微流體系統(tǒng)用支持單元。另外，本發(fā)明涉及09)至少一根中空絲被敷設(shè)成具有交叉部，該交叉部區(qū)域的微流體系統(tǒng)用支持單元的厚度是交叉部以外的敷設(shè)有中空絲的區(qū)域的微流體系統(tǒng)用支持單元厚度的100 105%的上述(1) 06)中的任一項(xiàng)記載的微流體系統(tǒng)用支持單元。另外，本發(fā)明涉及(30)至少一根中空絲被敷設(shè)成具有交叉部，該交叉部區(qū)域的微流體系統(tǒng)用支持單元的厚度是交叉部以外的敷設(shè)有中空絲的區(qū)域的微流體系統(tǒng)用支持單元厚度的100 103%的上述(1) 06)中的任一項(xiàng)記載的微流體系統(tǒng)用支持單元。
另外，本發(fā)明涉及(31)至少具備以下的(i)、(ii)和(iii)的工序的微流體系統(tǒng)用支持單元的制造方法。(i)在基材上將至少一根中空絲敷設(shè)成任意的形狀的工序；(ii)用清漆覆蓋包含該中空絲的至少一部分的規(guī)定部分的工序；(iii)使該清漆的全部或者一部分固化的工序。另外，本發(fā)明涉及(32)至少具備以下的(i)、(ii)、(iii)和(iv)的工序的微流體系統(tǒng)用支持單元的制造方法。(i)在基材上將至少一根中空絲敷設(shè)成任意的形狀的工序；(ii)用清漆覆蓋包含該中空絲的至少一部分的規(guī)定部分的工序；(iii)使該清漆的全部或者一部分固化的工序；(iv)在規(guī)定的部分形成保護(hù)層的工序。另外，本發(fā)明涉及(33)至少具備以下的(ν)、(vi)、(vii)的工序的微流體系統(tǒng)用支持單元的制造方法。(ν)用清漆覆蓋基材上的規(guī)定部分的工序；(vi)將至少一根中空絲的至少一部分浸漬在該清漆中的工序，或者使至少一根中空絲浮在清漆上的工序；(vii)使該清漆的全部或者一部分固化的工序。另外，本發(fā)明涉及(34)至少具備以下的(V)、(vi)、(vii)和(viii)的工序的微流體系統(tǒng)用支持單元的制造方法。(ν)用清漆覆蓋基材上的規(guī)定部分的工序；(vi)將至少一根中空絲的至少一部分浸漬在該清漆中的工序，或者使至少一根中空絲浮在清漆上的工序；(vii)使該清漆的全部或者一部分固化的工序；(viii)在規(guī)定的部分形成保護(hù)層的工序。另外，本發(fā)明涉及(35)至少具備以下的(ix)、(vi)、(vii)和(χ)的工序的微流體系統(tǒng)用支持單元的制造方法。(ix)在容器中充填清漆的工序；(vi)將至少一根中空絲的至少一部分浸漬在該清漆中的工序，或者使至少一根中空絲浮在清漆上的工序；(vii)使該清漆的全部或者一部分固化的工序；(χ)去除容器的至少一部分的工序。另外，本發(fā)明涉及(36)至少具備以下的(ix)、(Vi)、(vii)、(X)和(viii)的工序的微流體系統(tǒng)用支持單元的制造方法。(ix)在容器中充填清漆的工序；(vi)將至少一根中空絲的至少一部分浸漬在該清漆中的工序，或者使至少一根中空絲浮在清漆上的工序；(vii)使該清漆的全部或者一部分固化的工序；(χ)去除容器的至少一部分的工序；(viii)在規(guī)定的部分形成保護(hù)層的工序。
另外，本發(fā)明涉及(37)至少具備以下的(ix)、(vi)、(vii)、(viii)和(χ)的工序的微流體系統(tǒng)用支持單元的制造方法。(ix)在容器中充填清漆的工序；(vi)將至少一根中空絲的至少一部分浸漬在該清漆中的工序，或者使至少一根中空絲浮在清漆上的工序；(vii)使該清漆的全部或者一部分固化的工序；(viii)在已固化的清漆的表面形成保護(hù)層的工序；(χ)去除容器的至少一部分的工序。另外，本發(fā)明涉及(38)進(jìn)一步包括在基材上敷設(shè)至少一根中空絲之前，在該基材和該至少一根中空絲之間設(shè)置中間層的工序的上述(31)或(32)記載的微流體系統(tǒng)用支持單元的制造方法。另外，本發(fā)明涉及(39)進(jìn)一步包括在用清漆覆蓋基材上的規(guī)定部分之前，在該基材上設(shè)置中間層的工序的上述(3 或(34)記載的微流體系統(tǒng)用支持單元的制造方法。另外，本發(fā)明涉及00)進(jìn)一步包括在容器中充填清漆之前，在容器的表面上設(shè)置中間層的工序的上述(3 (37)中的任一項(xiàng)記載的微流體系統(tǒng)用支持單元的制造方法。另外，本發(fā)明涉及Gl)包括將至少一根中空絲的全部或者一部分在中間層上敷設(shè)成任意的形狀的工序的上述(38) 00)中的任一項(xiàng)記載的微流體系統(tǒng)用支持單元的制造方法。另外，本發(fā)明涉及0 中間層是具有粘接能力的層、或者是具有緩沖能力的層、 或者是具有脫模能力的層的上述(38) 中的任一項(xiàng)記載的微流體系統(tǒng)用支持單元的制造方法。另外，本發(fā)明涉及設(shè)置堰提物，用清漆覆蓋規(guī)定的部分的上述(31) (34) 中的任一項(xiàng)記載的微流體系統(tǒng)用支持單元的制造方法。另外，本發(fā)明涉及04)進(jìn)一步包括在使清漆的全部或者一部分固化后，至少去除中間層的一部分的工序的上述(38) 中的任一項(xiàng)記載的微流體系統(tǒng)用支持單元的制造方法。另外，本發(fā)明涉及0 進(jìn)一步包括在使清漆的全部或者一部分固化后，至少去除基材的一部分的工序的上述(31) (34)、(38)、(39)、(42) 04)的任一項(xiàng)中的微流體系統(tǒng)用支持單元的制造方法。另外，本發(fā)明涉及06)將預(yù)先固定成任意形狀的中空絲浸漬在清漆中，或者使預(yù)先固定成任意形狀的中空絲浮在清漆上的上述(3 0 的任一項(xiàng)中的微流體系統(tǒng)用支持單元的制造方法。另外，本發(fā)明涉及07)中空絲預(yù)先在基材上或者在具有中間層的基材的中間層上被敷設(shè)成任意的形狀而被固定的上述G6)記載的微流體系統(tǒng)用支持單元的制造方法。另外，本發(fā)明涉及08)將中空絲在清漆中固定成任意形狀的上述(33) (37)的任一項(xiàng)中的微流體系統(tǒng)用支持單元的制造方法。另外，本發(fā)明涉及09)清漆具有流動(dòng)性的上述(31) 08)的任一項(xiàng)中的微流體系統(tǒng)用支持單元的制造方法。另外，本發(fā)明涉及(50)進(jìn)一步包括去除清漆的工序的上述(31) 09)的任一項(xiàng)中的微流體系統(tǒng)用支持單元的制造方法。本申請的公開與2004年12月9日申請的特愿2004-356662號(hào)中記載的主題相關(guān)， 其公開內(nèi)容通過弓丨用在此被援用。


圖1(a)是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式的工序(i)中的第一工序的俯視圖，(b)是 (a)的rt-Ib線箭頭方向的剖視圖。圖2(a)是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式的工序(i)中的第二工序的俯視圖，(b)是 (a)的nb-nb線箭頭方向的剖視圖。圖3(a)是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式的工序(ii)的剖視圖，(b)是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式的工序(iii)的剖視圖，(c)是表示(b)后的去除清漆的工序的剖視圖。圖4(a)是表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式的工序(i)中的第一工序的俯視圖，(b)是 (a)的IVb-IVb線箭頭方向的剖視圖。圖5(a)是表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式的工序(i)中的第二工序的俯視圖，(b)是 (a)的Vb-Vb線箭頭方向的剖視圖。圖6(a)是表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式的工序(ii)的剖視圖，(b)是表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式的工序(iii)的剖視圖，(c)是表示(b)后的去除清漆的工序的剖視圖。圖7(a)是表示本發(fā)明的第三實(shí)施方式的工序(i)中的第一工序的俯視圖，(b)是 (a)的Vnb-VIIb線箭頭方向的剖視圖。圖8(a)是表示本發(fā)明的第三實(shí)施方式的工序(i)中的第二工序的俯視圖，(b)是 (a)的Vinb-Vinb線箭頭方向的剖視圖。圖9(a)是表示本發(fā)明的第三實(shí)施方式的工序(ii)的剖視圖，(b)是表示本發(fā)明的第三實(shí)施方式的工序(iii)的剖視圖，(c)是表示(b)后的去除清漆的工序的剖視圖。圖10(a)是表示本發(fā)明的第四實(shí)施方式的工序(ii)的剖視圖，(b)是表示本發(fā)明的第四實(shí)施方式的工序(iii)的剖視圖，(c)是表示(b)后的去除清漆的工序的剖視圖。圖11(a)是表示本發(fā)明的第五實(shí)施方式的工序(ii)的剖視圖，(b)是表示本發(fā)明的第五實(shí)施方式的工序(iii)的剖視圖，(c)是表示(b)后的去除清漆的工序的剖視圖，(d) 是表示本發(fā)明的第五實(shí)施方式的工序(iv)的剖視圖。圖中，1是基材；11是粘接劑層；2、201 208、211 218是中空絲；3是清漆；31 是被固化的清漆；32是使清漆固化的部分；4是保護(hù)層；5是堰提物；6是NC布線機(jī)。
具體實(shí)施例方式參照

本發(fā)明的實(shí)施方式和工序。在以下的附圖記載中，相同或者類似的部分以相同或者類似的符號(hào)表示。只是，附圖是示意性的，厚度和平面尺寸的關(guān)系、各層的厚度的比例等與真實(shí)情況會(huì)有所不同。因此，具體的厚度或尺寸必須要對照以下的說明進(jìn)行判斷。另外，不用說即使在附圖相互之間，也包含相互的尺寸關(guān)系或比例不同的部分。中空絲可以使用市售的各種材質(zhì)的管，根據(jù)目的可以選擇任意材質(zhì)的管。例如可舉出聚氯乙烯樹脂(PVC)、聚偏氯乙烯樹脂、聚醋酸乙烯酯樹脂、聚乙烯醇樹脂(PVA)、聚苯乙烯樹脂(PQ、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物(ABQ、聚乙烯樹脂(PE)、乙烯-醋酸乙烯酯共聚物樹脂(EVA)、聚丙烯樹脂(PP)、聚4-甲基戊烯樹脂(TPX)、聚甲基丙烯酸甲酯樹脂 (PMMA)、聚醚醚酮樹脂(PEEK)、聚酰亞胺樹脂(PI)、聚醚酰亞胺樹脂(PEI)、聚苯硫醚樹脂 (PPS)、醋酸纖維素、聚四氟乙烯樹脂(PTFE)、四氟·六氟丙烯樹脂(FEP)、四氟乙烯·全氟烷氧基乙烯共聚物(PFA)、四氟乙烯 乙烯共聚物(ETFE)、聚三氟氯乙烯樹脂(PCTFE)、偏氟乙烯樹脂(PVDF)、聚對苯二甲酸乙二醇酯樹脂(PET)、聚酰胺樹脂(尼龍等、PA)、聚縮醛樹脂(POM)、聚苯醚樹脂(PPO)、聚碳酸酯樹脂(PC)、聚氨酯樹脂、聚酯彈性體、聚烯烴樹脂、硅樹脂等有機(jī)材質(zhì)，或玻璃、石英、碳等無機(jī)材質(zhì)等。本發(fā)明中的中空絲的內(nèi)徑和外徑可以根據(jù)目的選擇。特別是，因?yàn)槭购辽?mL) 微升(PL)單位的流體流動(dòng)，所以內(nèi)徑優(yōu)選為Φ 0.05mm 1.5mm左右。在制作這種直徑的中空絲時(shí)，例如聚酰亞胺(PI)、聚醚醚酮(PEEK)、聚醚酰亞胺(PEI)、聚苯硫醚(PPS)、四氟乙烯 全氟烷氧基乙烯共聚物(PFA)等材質(zhì)是特別適用的。中空絲的內(nèi)徑若不到Φ0. 05mm, 就有中空絲的內(nèi)壁面和流體的界面阻力的影響變得不能忽視的傾向。要使得在中空絲中流動(dòng)的流體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)時(shí)，中空絲適宜具備耐藥品性。另外，對于在中空絲中流動(dòng)的流體照射光，使得發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)，或者進(jìn)行分光分析時(shí)，中空絲適宜具有透光性。透光率只要是滿足目的的值即可，對于目的波長來說優(yōu)選為 80%以上，尤其優(yōu)選為90%以上。為了達(dá)到該要求，例如通過將規(guī)定處的中空絲和后述的固定層、基材、或保護(hù)層等制成透明，或者使規(guī)定處的中空絲露出，而且將至少該處的中空絲制成透明等可以實(shí)施。本發(fā)明的特征為，在固定層中至少一根中空絲的一部分被敷設(shè)成任意形狀而被固定。作為固定層的材料，優(yōu)選為固化的清漆。清漆的材質(zhì)，可舉出環(huán)氧樹脂、三聚氰胺樹脂、 氰酸酯樹脂、酚醛樹脂、硅樹脂，或者凝膠狀物質(zhì)、天然橡膠、或者硅橡膠等。優(yōu)選固化前的清漆具有流動(dòng)性，固定層優(yōu)選為使清漆的全部或者一部分固化而得到的固定層。作為清漆，優(yōu)選為由熱或光固化的清漆。這里所說的固化，除了指一般的液-固轉(zhuǎn)移以外，也指光固化、熱固化等固化反應(yīng)、凝膠化以外的，通過減少溶劑含量，或者通過降低清漆溫度，來降低清漆的流動(dòng)性的工序等。例如適宜采用高分子量合成橡膠或硅樹脂系的清漆。作為高分子量合成橡膠的清漆，例如可以使用像Tonex公司制的商品名Vistanex MML-120那樣的聚異丁烯，或日本kon株式會(huì)社制的商品名NipolN1432等的丙烯腈丁二烯橡膠、或像杜邦公司制的Hypalon(注冊商標(biāo))20那樣的氯磺化聚乙烯等。另外，根據(jù)需要， 在這些材料中也可以配合交聯(lián)劑。作為硅樹脂系的清漆，適宜采用以由高分子量的聚二甲基硅氧烷或者聚甲基苯基硅氧烷構(gòu)成并且在末端具有硅烷醇基的硅橡膠、和甲基硅樹脂或者甲基苯基硅這樣的硅樹脂作為主成分的硅粘接材料。為了控制凝集力也可以進(jìn)行各種交聯(lián)。例如可以利用硅烷的加成反應(yīng)、烷氧基縮合反應(yīng)、乙酰氧基縮合反應(yīng)、由過氧化物等引起的自由基反應(yīng)等進(jìn)行交聯(lián)。作為這樣的清漆，在市售的清漆中，有YR3286(GE東芝硅株式會(huì)社制，商品名)或 TSR1521(GE東芝硅株式會(huì)社制，商品名)、DKQ9-9009(道康寧公司制，商品名)等。作為感光性清漆，例如適宜使用作為印刷電路板的蝕刻抗蝕劑使用的干膜抗蝕劑、阻焊劑油墨、印刷電路板的感光性裝配材料等的清漆。具體地有日立化成工業(yè)株式會(huì)社制的商品名H-K440或f K i'M ￥ -公司制的I^Obimer等。特別是，作為裝配線路板用途提供的photobia材料，還能耐受于印刷電路板的制造工序或利用焊接的部件安裝工序。作為這樣的材料，只要是含具有可利用光交聯(lián)的官能團(tuán)的共聚物或者單體的組合物、和/或混合有除光以外可利用熱交聯(lián)的官能團(tuán)和熱聚合引發(fā)劑的組合物，都能夠使用。作為其他的清漆，例如可舉出環(huán)氧樹脂、溴化環(huán)氧樹脂、橡膠改性環(huán)氧樹脂、橡膠分散環(huán)氧樹脂等脂環(huán)式環(huán)氧樹脂或者雙酚A系環(huán)氧樹脂及這些環(huán)氧樹脂的酸改性物等。特別是，通過照射光來進(jìn)行光固化時(shí)，優(yōu)選這些環(huán)氧樹脂和不飽和酸的改性物。作為不飽和酸，例如可舉出馬來酸酐、四氫化鄰苯二甲酸酐、衣康酸酐、丙烯酸、甲基丙烯酸等。這些可以通過以相對于環(huán)氧樹脂的環(huán)氧基為等量或者等量以下的配合比例反應(yīng)不飽和羧酸來得到。除此以外，如三聚氰胺樹脂、氰酸酯樹脂這樣的熱固性材料，或者該材料和酚醛樹脂的組合等也是優(yōu)選的應(yīng)用例之一。除此以外，可撓性賦予材料的使用也是合適的組合，作為其例子，可舉出丙烯腈丁二烯橡膠、天然橡膠、丙烯酸橡膠、SBR、羧酸改性丙烯腈丁二烯橡膠、 羧酸改性丙烯酸橡膠、交聯(lián)NBR粒子、羧酸改性交聯(lián)NBR粒子等。通過加入這樣的各種樹脂成分，可以在保持光固性、熱固性這樣的基本性能的條件下，賦予固化物以各種各樣的性質(zhì)。例如通過組合環(huán)氧樹脂和酚醛樹脂可以對固化物賦予良好的電絕緣性。在配合橡膠成分時(shí)，在對固化物賦予強(qiáng)韌的性質(zhì)的同時(shí)，通過利用氧化性藥液的表面處理，可以簡單地進(jìn)行固化物表面的粗糙化。另外，在清漆中也可以添加通常使用的添加劑(聚合穩(wěn)定劑、流平劑、顏料、染料等)。另外，配合填料也可以。作為填料，可舉出二氧化硅、熔融二氧化硅、滑石粉、氧化鋁、 水合氧化鋁、硫酸鋇、氫氧化鈣、氣溶膠、碳酸鈣等無機(jī)微粒，粉末狀環(huán)氧樹脂、粉末狀聚酰亞胺粒子等有機(jī)微粒，粉末狀聚四氟乙烯粒子等。這些填料也可以預(yù)先實(shí)施偶聯(lián)處理。填料的分散可以使用捏合機(jī)、球磨機(jī)、珠磨機(jī)、三輥磨機(jī)等已知的混煉方法來完成。再有，作為清漆，可以使用凝膠材料。作為市售的產(chǎn)品，可舉出超軟質(zhì)聚氨酯樹脂 (Exseal公司制)或硅彈性體SYLGARD184 (道康寧亞洲公司制商品名)，作為光固化材料， 可舉出 Technovit 2000LC(Heraeus Kulzer 公司制，商品名)等。清漆的量或粘度等，可以根據(jù)目的任意地選擇。例如如果是流動(dòng)性好的清漆，在中空絲是數(shù)根的情況下，清漆就容易插入到各中空絲之間。另外，向交叉部的流入也變得容易。于是，固定這些中空絲的作用就進(jìn)一步提高，因此是令人滿意的。用清漆覆蓋的方法，可以選用自動(dòng)薄膜涂布、簾幕式涂布、噴涂、旋涂等各種涂布。 另外，在進(jìn)行厚覆蓋時(shí)，優(yōu)選設(shè)置堰提物，以防止向清漆的規(guī)定范圍以外流動(dòng)。在清漆的流動(dòng)性好的情況下，容易進(jìn)入中空絲和基材之間、交叉的中空絲之間等的間隙，難以產(chǎn)生殘存氣泡等。另外，在用清漆覆蓋規(guī)定的部分時(shí)，將系統(tǒng)置于減壓下等，就能夠使中空絲的保持力增加。例如在用清漆覆蓋規(guī)定的部分時(shí)，在復(fù)雜的圖案或高密度交叉部等情況下，清漆容易進(jìn)入中空絲相互之間、中空絲和基材或粘接劑層之間產(chǎn)生的空隙中，中空絲的保持力增加。另外，在使清漆固化前，即使將系統(tǒng)置于減壓下，也可以得到和上述同樣的效果。再有， 在用清漆覆蓋規(guī)定的部分時(shí)，或者使清漆固化前，將系統(tǒng)置于減壓下，就能夠降低清漆中的殘存氣泡。例如二液型環(huán)氧樹脂等在進(jìn)行固化的工序中，容易在清漆內(nèi)產(chǎn)生氣泡。使用這樣的清漆時(shí)，在用清漆覆蓋規(guī)定部分的工序前，即使將上述清漆置于減壓下等，也能夠減少氣泡的產(chǎn)生。
本發(fā)明的微流體系統(tǒng)用支持單元具有基材，還可以在該基材上設(shè)置固定層。基材的材質(zhì)、形狀、尺寸等可以根據(jù)目的選擇?；暮穸鹊暮线m范圍由于目的或所要求的功能不同也不同。例如基材要求電絕緣性的情況下，優(yōu)選采用在印刷電路板等中使用的環(huán)氧樹脂板或聚酰亞胺樹脂板、或可撓性電路板中使用的以杜邦公司制的Kapton(注冊商標(biāo))薄膜為代表的聚酰亞胺薄膜、或以東麗株式會(huì)社制的Lumirror (注冊商標(biāo))薄膜為代表的PET薄膜?；牡陌搴?膜度)適宜在0.05mm以上。另外，基材要求放熱性時(shí)，例如選擇鋁(Al) 板、銅(Cu)板、不銹鋼板、鈦(Ti)板等金屬制板就能夠滿足放熱性。另外，基材要求透光性時(shí)，優(yōu)選玻璃、石英板等透明無機(jī)材料的板、或聚碳酸酯或丙烯酸類等透明有機(jī)材料的板或薄膜。希望基材的板厚(膜度)是0. 5mm以下。再有，可以使用利用蝕刻或鍍敷在基材的表面形成銅等的金屬圖案的所謂可撓性電路板或印刷電路板。由此能夠形成用來安裝微型機(jī)器、發(fā)熱元件、壓電元件、溫度·壓力·應(yīng)變·振動(dòng)·電壓·磁場等各種傳感器或電阻·電容器·線圈·晶體管或IC等電子元件、還有半導(dǎo)體激光器(LD)、發(fā)光二極管(LED)、 以及光電二極管(PD)等光部件等各種各樣部件或元件的端子或電路，容易實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)化。將中空絲用基材或者已固化清漆等固定層固定的狀態(tài)，與自由的狀態(tài)相比，有容易控制周圍溫度·電場 磁場等各種各樣環(huán)境的優(yōu)點(diǎn)。該優(yōu)點(diǎn)在進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)或化學(xué)分析時(shí)是有利的，特別是對于微型化反應(yīng)系和分析系有效。另外，還有容易和其他部件對準(zhǔn)，容易連接，可緊湊地容納許多中空絲等益處。作為在基材上敷設(shè)中空絲的方法，可以使用公知的敷設(shè)方法。例如可舉出使中空絲在基材上熔敷的方法(是使中空絲或基材的至少一部分熔融等而固定的方法，在此情況，也可以成為中空絲的一部分埋入基材的結(jié)構(gòu))，或敷設(shè)在后述的中間層上的方法(在此情況，也可以成為中空絲埋入于中間層的結(jié)構(gòu))，在基材或者中間層上邊用粘接劑邊敷設(shè)的方法，或在基材的敷設(shè)中空絲的地方用蝕刻或鍍敷等形成凹狀的圖案、在其上敷設(shè)中空絲的方法，在基材或者中間層的敷設(shè)中空絲的地方用蝕刻或鍍敷或光電圖案形成等形成凹狀的圖案、在其上敷設(shè)中空絲的方法等。作為該粘接劑，一般可以使用市售的粘接劑或在上述作為基材或者清漆記載的各種材料。作為具體的敷設(shè)方法，可以應(yīng)用NC布線機(jī)等市售的裝置。例如可舉出能夠在導(dǎo)線上一邊施加載荷和超聲波振動(dòng)一邊敷設(shè)的裝置，能夠一邊施加載荷和照射激光一邊敷設(shè)的裝置，在配線體(光纖)上施加載荷而向粘接劑面布線的裝置等。NC布線機(jī)，數(shù)值被控制的超聲波振動(dòng)和載荷的輸出控制是可能的，使用該NC布線機(jī)，能夠精密地控制中空絲的敷設(shè)圖案。具體地說，一邊使NC布線機(jī)相對基材水平移動(dòng)，一邊在中空絲上施加載荷和由超聲波引起的振動(dòng)來進(jìn)行敷設(shè)。另外，本發(fā)明微流體系統(tǒng)用支持單元，也可以具有固定層和保護(hù)層，該保護(hù)層上設(shè)有上述固定層。另外，也可以具有固定層和保護(hù)層及基材，設(shè)有覆蓋上述固定層和該基材的至少一部分的保護(hù)層。作為保護(hù)層的形成方法可舉出固化清漆的表面改性或各種材料的涂布、粘接、層疊等。作為具體的保護(hù)層的材料，可以使用在上述作為基材或者清漆舉出的各種材料。另外，在固定層的表面，為了在基材上容易敷設(shè)中空絲，作為中間層可以具有有粘接能力的層(以下稱為粘接劑層)。具體地說，在基材和固定層之間，或者在保護(hù)層和固定層之間，或者在固定層的一面可以設(shè)置中間層。再者，所謂“中間層”并不是非要固定在二層之間。作為像上述那樣的粘接劑層，優(yōu)選日東電工株式會(huì)社制型號(hào)No. 500或3M公司制的商品名VHB A-10、A-20、A-30等丙烯酸樹脂系的雙面膠帶等，或東方產(chǎn)業(yè)公司制硅系粘著片商品名6A05AW等硅系粘接劑。另外，在使基材和固定層脫模時(shí)，優(yōu)選中間層為具有脫模能力的層。例如可以使用氟樹脂或硅樹脂的材質(zhì)。具體地可以使用氟系脫模劑Mold Sput MR-K681(旭硝子株式會(huì)社制商品名)或Frelease系列(Neos公司制)、硅型脫模劑KF412SP(信越化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制商品名)等。另外，作為粘接劑層，可以使用作為上述清漆記載的材料。再有，在使用感光性樹脂時(shí)，可以使用輥涂、簾幕式涂布、浸涂等方法進(jìn)行涂布而形成粘接劑層的方式，或者在載體薄膜上使絕緣樹脂薄膜化而用層壓法貼合的方式。具體地可舉出日立化成工業(yè)株式會(huì)社制的photobia薄膜商品名BF-8000等。另外，作為中間層，除了具有粘接能力的層、具有脫模能力的層以外，還可舉出具有緩沖能力的層。具有緩沖能力的層，例如除了可以使用作為基材記載的各種材質(zhì)以外，還可舉出以硅樹脂或軟質(zhì)聚氨酯樹脂的凝膠體、橡膠體、發(fā)泡體等為代表的低硬度或者低彈性的緩沖性優(yōu)良的材質(zhì)、以PET、PEEK、PPS等為代表的耐摩擦·磨耗性、耐藥品性、耐油性、 氣體阻擋性等化學(xué)物質(zhì)耐性和物理特性優(yōu)良的工程塑料、金屬等材質(zhì)。中空絲的截面外形狀可以根據(jù)使用目的任意地選擇。例如在制造時(shí)，在使用由布線頭使該中空絲旋轉(zhuǎn)或朝X、Y方向運(yùn)動(dòng)來布線成任意圖案的布線裝置的情況下，為了防止在裝置內(nèi)拉回時(shí)因扭曲等而引起堵塞或卡住，優(yōu)選為圓形或者橢圓形等截面外形狀上沒有彎曲點(diǎn)的形狀。除此以外，也可以使用例如三角形或四邊形等多邊形、以連續(xù)自由曲線描繪成的形狀、或者組合這些形狀的形狀。中空絲的截面流路形狀，可以根據(jù)使用目的任意地選擇。例如可以使用在中空絲的截面外形狀中表示的形狀。通常是一筆畫成的形狀。另外，在血液等含有不溶解微粒的混合流體的情況下，容易發(fā)生由沉淀或儲(chǔ)液而引起的堵塞或紊流，因此優(yōu)選無彎曲點(diǎn)的形狀。 更優(yōu)選難以儲(chǔ)液的橢圓形狀，最優(yōu)選的是圓形形狀。再有，中空絲的截面流路中空部的數(shù)目，可以根據(jù)使用目的任意地選擇。通常一根中空絲中有一個(gè)流路，但是希望在一根中空絲中處理數(shù)個(gè)流體的情況等，也可以具有數(shù)個(gè)流路。例如可以使用在內(nèi)窺鏡等中使用的具有數(shù)個(gè)流路中空部(多孔)的中空絲(內(nèi)腔型)。它們的截面流路形狀可以各自不同，可以根據(jù)目的選擇尺寸和形狀。路使用在中空絲的截面外形狀中表示的形狀。優(yōu)選至少一根中空絲的端部從基材端部、保護(hù)層端部或者固定層端部突出，且具有冗長部分。借此外部的裝置或外部的部件的流路和微流體系統(tǒng)用支持單元的流路能夠簡便地連接。優(yōu)選至少一根中空絲的中間部的外壁的至少一部分從固定層露出，或從保護(hù)層露出。借此來自外部的光、熱等就容易施加到中空絲的任意的中間部，溫度控制或反應(yīng)控制、 流路和流體的觀察成為可能。如果中空絲或基材等構(gòu)成材料使用透明性高的材料的話，光學(xué)觀測就會(huì)容易。另外，若使用導(dǎo)熱性高的材料，熱的施加就會(huì)變得容易。再有，容易對中空絲的外壁進(jìn)行加工，例如安裝傳感器或壓電元件等，加工孔或縫隙等就會(huì)變得容易，通過進(jìn)行孔加工，可以將熱電偶等傳感器插入于流路內(nèi)，以及注入、采取流體等。另外，形成流路的分岔部也是可能的。至少一根中空絲的中間部的外壁，也可以不從固定層露出。借此固定層對于中空絲的保持力提高。另外，能夠防止外力直接施加于中空絲，抑制該中空絲變形。另外，能夠抑制或緩沖光和熱向該中空絲傳導(dǎo)。例如，如果對于固定層或基材選擇符合于低導(dǎo)熱性或高耐熱性或遮光性等目的的合適的材料，則不管該中空絲的材料如何，都可以抑制熱向流路傳導(dǎo)，或防止接觸到光，從而難以受到周圍環(huán)境的影響。中空絲，可以是一根，但優(yōu)選的是2根以上。另外，材質(zhì)或形狀等可以根據(jù)目的分別選擇。再有，2根以上的中空絲可以由具有2種以上的不同外徑的中空絲組成。至少一根中空絲可以被敷設(shè)成具有交叉部，在同一中空絲內(nèi)交叉或者和其他中空絲交叉都可以。借此即使是具有數(shù)個(gè)流路的復(fù)雜的流體回路也不需要地方，因此可以實(shí)現(xiàn)中空絲的高密度化。另外，中空絲即使是交叉或具有不同的外徑，也能夠得到表面的凹凸少的微流體系統(tǒng)用支持單元。敷設(shè)了中空絲的區(qū)域的微流體系統(tǒng)用支持單元的厚度，分別優(yōu)選為比所有的中空絲的外徑更厚，比交叉部中的中空絲的厚度的合計(jì)更厚。借此可以得到固定層的表面平坦的微流體系統(tǒng)用支持單元。再者，這里所謂平坦，是指表面不受中空絲形狀影響的狀態(tài)。另外，敷設(shè)了中空絲的區(qū)域的微流體系統(tǒng)用支持單元的厚度，優(yōu)選為未敷設(shè)中空絲的區(qū)域的微流體系統(tǒng)用支持單元的厚度的100 120%。更優(yōu)選為100 110%，進(jìn)一步優(yōu)選為100 105%，尤其優(yōu)選為100 103%。再有，當(dāng)至少一根中空絲被敷設(shè)成具有交叉部的情況，該交叉部區(qū)域的微流體系統(tǒng)用支持單元的厚度，優(yōu)選為交叉部以外的敷設(shè)有中空絲的區(qū)域的微流體系統(tǒng)用支持單元厚度的100 120 %。更優(yōu)選為100 110 %，進(jìn)一步優(yōu)選為100 105 %，尤其優(yōu)選為100 103%。固定層可以覆蓋基材端面或者和設(shè)有固定層的面相反側(cè)的基材面的至少一部分。 另外，保護(hù)層可以覆蓋固定層上面、固定層端面、基材端面、或者和設(shè)有固定層的面相反側(cè)的基材面的至少一部分。保護(hù)層可以覆蓋固定層端面或者固定層下面的至少一部分。這樣， 通過在基材的各面設(shè)置固定層，可以得到更多的中空絲被固定的微流體系統(tǒng)用支持單元。 另外通過設(shè)置保護(hù)層，還可以防止固定層或基材變質(zhì)、變形，也可以掩蓋固定層或基材自身所具有的膠粘性等性質(zhì)。下面，結(jié)合

微流體系統(tǒng)用支持單元的制造方法。本發(fā)明涉及具有至少以下的(i)、(ii)和(iii)的工序的微流體系統(tǒng)用支持單元的制造方法。(i)在基材上將至少一根中空絲敷設(shè)成任意形狀的工序；(ii)用清漆覆蓋包含該中空絲的至少一部分的規(guī)定部分的工序；(iii)使該清漆的全部或者一部分固化的工序。在上述(iii)之后還可以包括以下的(iv)的工序。
(iv)在規(guī)定的部分形成保護(hù)層的工序。在圖1 圖3所示本發(fā)明的制造方法的第一實(shí)施方式中，不設(shè)置粘接劑層而將中空絲直接敷設(shè)在基材上。圖1 (a)是表示在第一實(shí)施方式的(i)基材上將至少一根中空絲敷設(shè)成任意形狀的工序中的第一工序的俯視圖，(b)是(a)的rt-Ib線箭頭方向的剖面圖。在圖1中，將第一中空絲群201 208各自平行地直接敷設(shè)在基材1上，使其端部不從基材端部突出。另外，在敷設(shè)中空絲時(shí)，例如雖然在圖1中未圖示，但如前面述那樣可以使用NC布線機(jī)。接著，將另外的第二中空絲群211 218敷設(shè)成為，與已敷設(shè)的第一中空絲群 201 208交叉，而且端部不從基材端部突出。圖2(a)是表示工序(i)中的該第二工序的俯視圖，(b)是(a)的IIb IIb線的箭頭方向的剖面圖。在進(jìn)行該敷設(shè)時(shí)，例如雖然在圖2的(a)平面圖中未圖示，但也可以使用NC布線機(jī)6。但是，該NC布線機(jī)6優(yōu)選被設(shè)定為，在已敷設(shè)的第一中空絲群201 208和新敷設(shè)的第二中空絲211 218交叉的部分停止載荷和超聲波振動(dòng)。由于在第一中空絲群201 208和第二中空絲群211 218的交叉部的附近停止載荷和/或超聲波振動(dòng)，因此能夠降低對各中空絲的應(yīng)力，防止中空絲破損。圖3(a)是用清漆覆蓋包含工序(ii)該中空絲的至少一部分的規(guī)定部分的工序， 用清漆3覆蓋已敷設(shè)的第一中空絲群201 208和第二中空絲群211 218交叉的部分。此后，是固化清漆3。以該已固化的清漆31作為固定層。圖3(b)是表示使工序 (iii)該清漆的全部或者一部分，也就是使規(guī)定的固化部分32固化的工序的一例的剖面圖，該固化方法，可以根據(jù)清漆種類進(jìn)行各種選擇，如果舉例的話，靠熱、光、減少含溶劑量等來進(jìn)行固化。特別是在使用光的情況下，通過僅使規(guī)定的固化部分32接觸光，就能夠成為如圖3(b)那樣僅該部分固化的清漆31。圖3(c)是表示(b)后的，從(b)去除清漆的工序的剖面圖。作為去除未固化的清漆的方法，通?？梢允褂迷谌コ垂袒那迤犷悤r(shí)所使用的方法。在清漆的流動(dòng)性高時(shí)，可以使微流體系統(tǒng)用支持單元傾斜或?qū)⑵漕嵉?，利用清漆的流?dòng)進(jìn)行去除。另外，可以使用用注射器或吸管、吸引機(jī)等吸取的方法，用紙或海綿等吸濕體或吸附劑吸取或擦拭的方法，用溶劑或水洗掉的方法，用氣體或液體吹掉的方法，用匙子或刮刀或刀刃進(jìn)行撇掉或者剝掉的方法。另外，在清漆的流動(dòng)性低時(shí)，也可以使用在上述流動(dòng)性高時(shí)的清漆的去除中列舉的方法，特別是在流動(dòng)性低時(shí)，可以使用用切刀切取的方法。另外，作為去除清漆的方法，可以將上述列舉的方法組合使用。再有，作為去除已固化的清漆的方法，可以使用在上述的未固化的清漆的去除中列舉的方法。特別是在流動(dòng)性低、清漆硬的情況下，用激光或離子束等切斷的方法或使用切削器或車床或鉆孔機(jī)等切刀切取的方法或用錘等進(jìn)行弄碎的方法，用藥劑溶掉的方法。另外，作為去除已固化的清漆的方法，可以將上述列舉的方法組合使用。另外，在去除清漆時(shí)，使得不對中空絲帶來損傷。通過對中空絲實(shí)施脫模加工，清漆的去除變得容易。例如可以使用涂布脫模劑的方法或用等離子處理等進(jìn)行表面改性的方法等。作為脫模劑，可以使用作為上述的中間層的材料所示的脫模劑等。另外，對于中空絲的材料，也可以使用上述的硅系材料或氟系樹脂、或者添加了這些的材料等脫模性優(yōu)良的材料。再有，希望組合這些脫模性優(yōu)良的材料和上述的脫模劑。在圖4 圖11所示的第二 第五實(shí)施方式中，在基材上設(shè)置粘接劑層，向粘接劑層上敷設(shè)中空絲。這里，粘接劑層在基材的表面上是以大致相同的形狀和大致相同的尺寸形成。再者，在圖5(a)和圖8(a)中，未圖示NC布線機(jī)6。圖4(a)是表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式的工序(i)中的第一工序的俯視圖，(b)是
(a)的IVb-IVb線箭頭方向的剖面圖。圖5(a)是表示工序(i)中的第二工序的俯視圖，(b)是(a)的Vb-Vb線箭頭方向的剖面圖。在圖4中，在基材1上設(shè)置粘接劑層11，將第一中空絲群201 208在粘接劑層11 上敷設(shè)成為使端部不從基材端部突出。在圖5中，利用NC布線機(jī)6將第二中空絲群211 218敷設(shè)成與已敷設(shè)的第一中空絲群201 208交叉、而且端部要不從基材端部突出。圖6(a)是表示工序(ii)的剖面圖，(b)是表示工序(iii)的剖面圖，(C)是表示
(b)后的去除清漆的工序的剖面圖。圖7(a)是本發(fā)明的第三實(shí)施方式的工序(i)中的第一工序的俯視圖，(b)是(a) 的Vnb-VIIb線箭頭方向的剖面圖。圖8(a)是表示工序(i)中的第二工序的俯視圖，(b)是(a)的Vinb-Vinb線箭頭方向的剖面圖。在圖7和圖8中，各中空絲端部被敷設(shè)成從基材端部突出，并且具有冗長部分。圖9(a)是表示工序(ii)的剖面圖，(b)是表示工序(iii)的剖面圖，(C)是表示 (b)后的去除清漆的工序的剖面圖。在圖9中，已固化的清漆31 (固定層)覆蓋著基材端面的一部分(圖中左端面)。在圖10中，以剖面圖表示本發(fā)明制造方法的第四實(shí)施方式的一部分。圖10(a)是表示工序(ii)的剖面圖，(b)是表示工序(iii)的剖面圖，(c)是表示(b)后的去除清漆的工序的剖面圖。在圖10中，中空絲被敷設(shè)成端部從基材端部突出且具有冗長部分，設(shè)置堰提物5，使清漆3流入其內(nèi)側(cè)(參照圖10(a))。堰提物5設(shè)置在中空絲端部的外側(cè)或內(nèi)側(cè)都可以。如圖10(b)所示，通過使規(guī)定的清漆固化的部分32進(jìn)行固化，如(c)所示去除清漆，就能夠用固定層覆蓋規(guī)定的部分。由此得到僅中空絲的必要部分被固定層固定了的微流體系統(tǒng)用支持單元。在圖11中是以剖面圖表示本發(fā)明制造方法的第五實(shí)施方式的一部分。(a)表示第五實(shí)施方式的工序(ii)，(b)表示工序(iii)，(c)表示(b)后的去除清漆的工序，(d)表示形成保護(hù)層的工序(iv)。在工序(iV)中，在已固化的清漆31(固定層)的表面上形成保護(hù)層4。如圖11(d)所示，不只是在已固化的清漆31(固定層)的上面或側(cè)面，而且在基材 1的表面、粘接劑層11的表面、剝離基材1和粘接劑層11而露出的中空絲側(cè)的固定層表面的任何面上都可以形成保護(hù)層4。本發(fā)明涉及至少具備以下的(V)、(vi)和(Vii)的工序的微流體系統(tǒng)用支持單元的制造方法。(ν)用清漆覆蓋基材上的規(guī)定部分的工序；
(vi)在該清漆中浸漬至少一根中空絲的至少一部分的工序，或者使至少一根中空絲浮在清漆上的工序；(vii)使該清漆的全部或者一部分固化的工序。再有，上述(vii)后也可以包含以下的(Viii)的工序。(viii)在規(guī)定的部分形成保護(hù)層的工序。由此，可以得到不易引起基材、中間層、固定層的變質(zhì)，或者掩蓋了基材、中間層、 固定層所具有的粘著性等性質(zhì)而容易操作的微流體系統(tǒng)用支持單元。除此以外，通過使保護(hù)層具有耐藥品性、剛性、低吸濕性，而得到符合于使用目的的微流體系統(tǒng)用支持單元。本發(fā)明涉及至少具備以下的(ix)、(vi)、(vii)和(χ)的工序的微流體系統(tǒng)用支持單元的制造方法。(ix)在容器中充填清漆的工序；(vi)在該清漆中浸漬至少一根中空絲的至少一部分的工序，或者使至少一根中空絲浮在清漆上的工序；(vii)使該清漆的全部或者一部分固化的工序；(χ)去除容器的至少一部分的工序。再有，在上述(vii)工序和(X)工序之間，或者在(X)工序后也可以包含以下的 (viii)工序。(viii)在規(guī)定的部分形成保護(hù)層的工序。借此可以得到不易引起固定層的變質(zhì)或變形，或者掩蓋了固定層所具有的粘著性等性質(zhì)而容易操作的微流體系統(tǒng)用支持單元。本發(fā)明的制造方法，如上述的第二實(shí)施方式的圖4(a)所示，在基材上敷設(shè)至少一根中空絲之前，還可以包含在該基材和該至少一根中空絲之間設(shè)置中間層的工序。另外，本發(fā)明的制造方法，在用清漆覆蓋基材上的規(guī)定部分之前，還可以包含在該基材上設(shè)置中間層的工序。再有，本發(fā)明的制造方法，在容器中充填清漆之前，還可以包含在容器表面上設(shè)置中間層的工序。另外，本發(fā)明的制造方法，還可以包含在中間層上將至少一根中空絲的全部或者一部分敷設(shè)成任意形狀的工序。在此，中間層優(yōu)選為具有粘接能力的層、或者是具有緩沖能力的層、或者是具有脫模能力的層。本發(fā)明的制造方法，還可以包含在使清漆的全部或者一部分固化后，至少去除基材的一部分、或者至少去除中間層的一部分的工序。借此能夠選定不取決于使用環(huán)境的基材或中間層。例如在制造以在高溫下使用為目的的微流體系統(tǒng)用支持單元時(shí)，也能夠使用低耐熱性的廉價(jià)的基材或中間層進(jìn)行制造。由于可以僅使固定層的必要部分露出，因此在固定層中當(dāng)中空絲的外壁的一部分露出在基材側(cè)的情況下，通過去除該部分的基材，就能夠使中空絲的外壁露出在外部。另外，即使基材使用硬質(zhì)金屬或厚樹脂板等，也可以通過去除必要部分，而在以后對固定層實(shí)施直接加工。本發(fā)明的制造方法，也可以在清漆中浸漬預(yù)先已固定成任意形狀的中空絲，或者使預(yù)先已固定成任意形狀的中空絲浮在清漆上。由此在制作工序時(shí)不必使清漆自身移動(dòng)或流動(dòng)。因此，清漆的流動(dòng)性非常高的情況或溫度控制困難的情況等，即使是操作性不好的清漆也能夠使用。另外，在中空絲的任意的形狀中即使有立體的部分也能夠用固定層固定。這里，中空絲可以預(yù)先在基材上、或者具有中間層的基材的中間層上敷設(shè)成任意的形狀而固定。本發(fā)明的制造方法，在清漆中將中空絲固定成任意的形狀都可以。由此就沒有必要使用布線裝置等將中空絲布線成任意的形狀，能夠簡便地制作微流體系統(tǒng)用支持單元。實(shí)施例以下，用實(shí)施例來說明本發(fā)明。但本發(fā)明不受這些實(shí)施例的限制。實(shí)施例1向切成長150mm、寬200mm左右的厚0.05mm的PET薄膜(基材)的一面，使用輥式層壓裝置粘接厚0. 25mm的雙面粘接帶9415PC (住友3M株式會(huì)社制商品名)作為具有粘接能力的中間層。準(zhǔn)備Nitta Moore株式會(huì)社制的特殊雙層管(內(nèi)層ETFE、外層PA11、內(nèi)徑 1. 00mm、外徑1. 50mm)，在上述雙面帶的粘接劑層表面，將上述中空絲布線固定成縱橫20mm 間隔的矩陣狀。此時(shí)，中空絲的所有端部都以自由狀態(tài)從基材端部突出IOOmm左右，作為冗長部分。在上述基材的PET薄膜的另一面的四周部貼上雙面帶，固定在塑料制的盤(內(nèi)尺寸200mmX 150mmX30mm)內(nèi)。此時(shí)冗長部分從盤的邊緣露出在外。接著，以10比1的重量比稱量硅彈性體SYLGARD184(道康寧亞洲公司制商品名) 的主劑和催化劑，為了空氣盡可能不進(jìn)入，慢慢地?cái)嚢?，得到清漆。使其?0mm左右深度平穩(wěn)地流入到盤內(nèi)。在常溫放置M小時(shí)時(shí)的結(jié)果，清漆固化而成為固定層，得到表面無凹凸的微流體系統(tǒng)用支持單元。實(shí)施例2在作為基材的厚度0. 06mm的聚苯硫醚(PPS)薄膜(Lumirror 東麗株式會(huì)社制注冊商標(biāo))的一面，以0.40mm的厚度形成在室溫(25°C )為非粘著性粘接劑的S9009 (道康寧亞洲公司制商品名)，切成長200mm、寬200mm左右。接著，準(zhǔn)備PFA氟樹脂制的中空絲(內(nèi)徑0. 79mm、外徑1. 53mm, Iwase公司制)。使用能夠施加載荷和超聲波的NC控制布線裝置將上述中空絲在上述基材的非粘著性粘接劑面上固定成長Im的一筆畫的網(wǎng)狀，將各端部作為冗長部分伸出在基材外。沿基材的外緣部固定聚氨酯制的間隙堵塞用帶(厚10mm、寬15mm，帶粘接劑， Nitoms公司制)，作為堰提物。特別是，在上述聚氨酯制帶跨過中空絲的地方，使上述帶和上述中空絲之間無間隙地良好地追隨而固定。精密地稱量超軟質(zhì)聚氨酯樹脂(Exseal公司制)的主劑300g和固化劑100g(3比1的比例)，使用攪拌機(jī)均勻地混合兩者，得到共計(jì) 400g的清漆。此時(shí)，使得主劑和固化劑的重量誤差在1重量％以內(nèi)。使該清漆以5mm厚度平穩(wěn)地流入上述堰提物的內(nèi)側(cè)。在25°C、濕度80%以下的條件下將其放置M小時(shí)時(shí)的結(jié)果，該清漆得以固化。該固化物(清漆)是淡黃色，具有可撓性和粘著性，壓縮強(qiáng)度(30%) 是7kPa，拉伸伸長率是700 %。接著，將基材和粘接劑S9009小心謹(jǐn)慎地剝下，得到上述中空絲被保持在上述固化物上的微流體系統(tǒng)用支持單元。得到的微流體系統(tǒng)用支持單元的表面具有粘著性(已固化的超軟質(zhì)聚氨酯樹脂的特征)。將該微流體系統(tǒng)用支持單元靜置在不銹鋼制的墊內(nèi)，在底面以外的面上用毛刷涂布表面涂層劑(Exseal公司制)在室溫下放置3小時(shí)左右。確認(rèn)表面涂層劑已發(fā)生某種程度固化后，翻過來在底面也同樣地涂布表面涂層劑，在室溫下放置3小時(shí)左右，得到在表面形成非粘著性的保護(hù)層而操作性優(yōu)良的微流體系統(tǒng)用支持單元。實(shí)施例3將住友3M株式會(huì)社制的雙面粘接帶商品名9415PC切成長100mm、寬200mm左右， 在長110mm、寬210mm、厚5mm的環(huán)氧樹脂板上，放置成剝離薄膜與上述環(huán)氧樹脂板面接觸， 然后用紙帶固定四周部。接著，準(zhǔn)備聚醚酰亞胺制的中空絲(內(nèi)徑0.3mm、外徑0.5mm:仁禮工業(yè)株式會(huì)社制)，使用能夠施加載荷和超聲波的NC控制布線裝置，以具有交叉部的曲率半徑20mm左右的半圓圖案，將第一中空絲群敷設(shè)在上述雙面帶的粘接劑層上。作為堰提物，準(zhǔn)備寬10mm、高IOmm的海綿，貼附在雙面帶上，使得能夠包圍該中空絲群。此時(shí)，中空絲的各端部(50mm左右)，用海綿固定成處于被堰提物包圍的部分之外，來作為冗長部分?？邕^中空絲的地方，要不產(chǎn)生間隙地使海綿良好地追隨中空絲。以10比1的重量比稱量道康寧亞洲公司制的硅彈性體SYLGARD184(商品名)的主劑和催化劑，為了盡可能空氣不進(jìn)入，謹(jǐn)慎地進(jìn)行混合，得到清漆。使清漆以5mm左右的深度平穩(wěn)地流入上述被包圍的空間內(nèi)。在常溫(25°C )放置M小時(shí)，使其固化。接著，只去除上述基材的環(huán)氧樹脂板和雙面帶的剝離薄膜，在已固化的清漆的表面殘留上述雙面帶的粘接劑層。以此作為基材，以仁禮工業(yè)株式會(huì)社制的PEEK管(內(nèi)徑 0. 10mm、外徑0. 25mm)作為第二中空絲群，以1. Omm的間隔布線成并列直線形狀，再以日星電氣株式會(huì)社制的PFA管(內(nèi)徑0. 70mm、外徑1.00mm)作為第三中空絲群，在與第二中空絲群交叉的方向，以1. 5mm的間隔敷設(shè)成并列直線狀。固定聚氨酯制的間隙堵塞用帶(厚10mm、寬15mm，帶粘接劑，Nitoms公司制)，使其能夠包圍已敷設(shè)在基材面上的上述第二和第三中空絲群的交叉部，來設(shè)置堰提物。使和在上述第一中空絲群的固定中使用的清漆相同的清漆平穩(wěn)地流入上述堰提物內(nèi)，充滿成厚IOmm程度。在常溫放置M小時(shí)，使其固化，得到微流體系統(tǒng)用支持單元。實(shí)施例4準(zhǔn)備鋁制的管暫時(shí)固定夾具和仁禮工業(yè)株式會(huì)社制的高密度聚乙烯管(內(nèi)徑 0. 50mmX外徑1. 00mm) 600mm。上述管暫時(shí)固定夾具是在長250mm、寬150mm、厚5mm的鋁板上，以縱橫15mm間隔，以格子狀立著直徑3mm、高15mm的圓柱而成。用粘合帶將尼龍6管的兩端固定在圓柱上，使各IOOmm垂直地立在管暫時(shí)固定夾具上作為冗長部分。其余的管被引導(dǎo)穿過管暫時(shí)固定夾具內(nèi)的圓柱間，成為Z字形圖案。將其放到預(yù)熱至100°C的干燥機(jī)中2小時(shí)后，冷卻至室溫。去掉粘合帶，從管暫時(shí)固定夾具取出管，結(jié)果管成為Z字形的面部分并在垂直于該部分的方向延伸著冗長部分。準(zhǔn)備長300mm、寬200mm、深40_的SUS制的容器，使SUS制的方棒(一邊20mm)
在容器上跨過。加入先前所述的管，使得冗長部分從容器的開口方向(上)出來，然后用粘合帶將冗長部分固定在SUS制的方棒上，使得管全體從容器的底部上浮數(shù)mm。以10比1的重量比稱量道康寧亞洲公司制的硅彈性體SYLGARD184(商品名)的主劑和催化劑，為了盡可能空氣不進(jìn)入，謹(jǐn)慎地進(jìn)行混合，得到清漆。使清漆以深度IOmm左右平穩(wěn)地流入上述的容器中。在常溫(25°C )放置M小時(shí)，結(jié)果清漆發(fā)生固化而成為固定層。將其從容器中取出，就得到在表面無凹凸的微流體系統(tǒng)用支持單元。
實(shí)施例5準(zhǔn)備SUS制的直徑30mm的圓柱棒和仁禮工業(yè)株式會(huì)社制的尼龍6管(內(nèi)徑 LOmmX外徑1.59mm) 600mm。在管的兩端IOOmm處加上標(biāo)記作為冗長。用粘合帶將一方的 IOOmm冗長固定在SUS制的圓柱棒的長度方向后，將剩余的管在圓柱棒上卷成螺旋狀，留下另一方的冗長，用粘合帶固定。用粘合帶將該未固定的冗長朝著與先前已固定的冗長向相同的方向、平行地固定。在其進(jìn)入預(yù)熱至100°C的干燥機(jī)中2小時(shí)后，冷卻至室溫。去掉粘合帶，從圓柱棒卸下管，結(jié)果管成為螺旋狀。以10比1的重量比稱量道康寧亞洲公司制的硅彈性體SYLGARD184(商品名)的主劑和催化劑，為了盡可能空氣不進(jìn)入，謹(jǐn)慎地進(jìn)行混合，得到清漆。將該清漆放入開口部 50mm、底部40mm、深75mm的塑料杯中至50mm深度。抓住成為螺旋狀的先前所述的管的兩端部，在避免進(jìn)入氣泡的條件下使螺旋狀的部分慢慢地下沉到塑料杯中。固定冗長部分，使得管不接觸塑料杯，在常溫(25°C)放置36小時(shí)的結(jié)果，清漆發(fā)生固化而成為固定層。從塑料杯中取出，得到了在表面無凹凸的微流體系統(tǒng)用支持單元。雖然通過上述的實(shí)施方式記載了本發(fā)明，但構(gòu)成該公開的一部分的部分和附圖， 不應(yīng)該理解為是限定本發(fā)明。從該公開中，本專業(yè)人員應(yīng)當(dāng)會(huì)明白各種各樣的代替實(shí)施方式、實(shí)施例和運(yùn)用技術(shù)。產(chǎn)業(yè)上的應(yīng)用可能性按照本發(fā)明的微流體系統(tǒng)用支持單元及其制造方法，微流體系統(tǒng)用支持單元的表面凹凸少，另外與層壓法相比，能夠抑制微流體系統(tǒng)用支持單元制造時(shí)的中空絲交叉部和具有外徑不同的數(shù)根中空絲的部分的破損、變形，還能夠減低中空絲的交叉部的位置偏移。 借此，由于能夠?qū)⒅锌战z敷設(shè)成任意的圖案，所以使中空絲交叉也是可能的。因此，能夠?qū)崿F(xiàn)中空絲的高密度化，容易制造具有cm單位的流路的微流體系統(tǒng)用支持單元。另外，在使中空絲交叉的情況下，或使用具有2種以上的不同外徑的中空絲的情況下，也能夠得到表面凹凸少，平坦性優(yōu)良的微流體系統(tǒng)用支持單元。另外，若使數(shù)根中空絲彼此交叉，則即使是具有數(shù)個(gè)流路的復(fù)雜的流體回路，也能夠得到不需要地方的小型微流體系統(tǒng)用支持單元。另外，由于能夠用固定層僅覆蓋中空絲的任意部分，因此可以用清漆等固定層覆蓋中空絲的末端部分以外來防止清漆等進(jìn)入到流路內(nèi)，或者僅覆蓋交叉部或外徑大的中空絲等由強(qiáng)外力引起變形而危險(xiǎn)的部分、或復(fù)雜圖案或高密度交叉部等認(rèn)為圖案維持力弱的部分等，能夠用固定層僅覆蓋必要的部分。通過采用去掉固定層的一部分這樣的結(jié)構(gòu)，還可以使中空絲的中間部露出，形成觀察窗或與其他部件的連接部。作為觀察窗時(shí)，也可以根據(jù)需要在中空絲露出部充填透明性高的樹脂等而進(jìn)行保護(hù)。另外，作為連接部時(shí)，也可以根據(jù)需要在連接后的連接部位充填樹脂而進(jìn)行保護(hù)。也可以是不設(shè)置觀察窗，而用透明性高的材料代替固定層自身。另外，因?yàn)槟軌蜃杂傻卦O(shè)定將成為固定層的清漆量，所以其厚度也能夠任意地設(shè)定。另外，比所使用的全部中空絲的外徑還厚的話，容易得到平坦性優(yōu)良的微流體系統(tǒng)用支持單元。同樣，優(yōu)選比交叉部的中空絲的厚度合計(jì)也厚。雖然中空絲優(yōu)選用固定層固定，但也可以采用在敷設(shè)在基材上的中空絲以外區(qū)域的規(guī)定部分設(shè)置層而從外界保護(hù)開的形態(tài)。這樣做，能夠防止由中空絲的固定層引起的化學(xué)變化，或容易和其他的部件的連接，或是容易觀察流路中空絲。即使在這樣的情況下，也能夠通過用固定層固定中空絲的一部分，形成可靠性更優(yōu)良的微流體系統(tǒng)用支持單元。另外，在用清漆覆蓋規(guī)定的部分時(shí)，通過設(shè)置堰提物，能夠防止清漆流出，并且僅覆蓋規(guī)定的部分。另外，在用數(shù)種清漆覆蓋上述基材面時(shí)，還能夠防止清漆種類混雜在一起。再有，通過任意地選擇堰提物的高度，可容易選擇固定層的厚度為任意的高度。另外，在形成固定層后，通過去除規(guī)定部分的基材、固定層、清漆、中間層，能夠得到使規(guī)定的中空絲部分露出的微流體系統(tǒng)用支持單元、或中空絲以外的部分露出的微流體系統(tǒng)用支持單元。
權(quán)利要求
1.微流體系統(tǒng)用支持單元的制造方法，該制造方法至少具備以下的(i)、(ii)和(iii) 的工序(i)在基材上將至少一根中空絲敷設(shè)成任意的形狀的工序；(ii)用清漆覆蓋包含該中空絲的至少一部分的規(guī)定部分的工序；(iii)使該清漆的全部或者一部分固化的工序。
2.微流體系統(tǒng)用支持單元的制造方法，該制造方法至少具備以下的(i)、(ii)、(iii) 和(iv)的工序(i)在基材上將至少一根中空絲敷設(shè)成任意的形狀的工序；(ii)用清漆覆蓋包含該中空絲的至少一部分的規(guī)定部分的工序；(iii)使該清漆的全部或者一部分固化的工序；(iv)在規(guī)定的部分形成保護(hù)層的工序。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的微流體系統(tǒng)用支持單元的制造方法，其中，在基材上敷設(shè)至少一根中空絲之前，進(jìn)一步包括在該基材和該至少一根中空絲之間設(shè)置中間層的工序。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的微流體系統(tǒng)用支持單元的制造方法，其中，包括將至少一根中空絲的全部或者一部分在中間層上敷設(shè)成任意的形狀的工序。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的微流體系統(tǒng)用支持單元的制造方法，其中，中間層是具有粘接能力的層、或者是具有緩沖能力的層、或者是具有脫模能力的層。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的微流體系統(tǒng)用支持單元的制造方法，其中，在使清漆的全部或者一部分固化后，進(jìn)一步包括至少去除中間層的一部分的工序。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的微流體系統(tǒng)用支持單元的制造方法，其中，設(shè)置堰提物， 用清漆覆蓋規(guī)定的部分。
8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的微流體系統(tǒng)用支持單元的制造方法，其中，在使清漆的全部或者一部分固化后，進(jìn)一步包括至少去除基材的一部分的工序。
9.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的微流體系統(tǒng)用支持單元的制造方法，其中，清漆具有流動(dòng)性。
10.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的微流體系統(tǒng)用支持單元的制造方法，其中，進(jìn)一步包括去除清漆的工序。
全文摘要
本發(fā)明涉及微流體系統(tǒng)用支持單元及其制造方法。微流體系統(tǒng)用支持單元的制造方法，該制造方法至少具備以下的(i)、(ii)和(iii)的工序(i)在基材上將至少一根中空絲敷設(shè)成任意的形狀的工序；(ii)用清漆覆蓋包含該中空絲的至少一部分的規(guī)定部分的工序；(iii)使該清漆的全部或者一部分固化的工序。
文檔編號(hào)B82Y40/00GK102172508SQ20111006865
公開日2011年9月7日 申請日期2005年12月9日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月9日
發(fā)明者河添宏, 赤井邦彥 申請人:日立化成工業(yè)株式會(huì)社