專利名稱：用于傳感器面板的微結(jié)構(gòu)基板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是關(guān)于一種微制造(micro-fabrication)領(lǐng)域的用于傳感器面板的基板，更具體而言，是關(guān)于用于軟性傳感器面板及可撓曲式傳感器面板(Bendable FlexibleSensor Panel)的具微結(jié)構(gòu)的基板。
背景技術(shù)：
隨著各種各樣的電子產(chǎn)品變得日趨小型化、及輕質(zhì)化，消費(fèi)者常常會(huì)面對(duì)如下的兩難選擇例如，是選擇一輕巧但通常具有一小屏幕的移動(dòng)電話、筆記型計(jì)算機(jī)或觸控面板裝置，還是選擇一笨重、但卻具有一較大屏幕的移動(dòng)電話、筆記型計(jì)算機(jī)或觸控面板裝置。將一外部傳感器面板連接至一輕巧型裝置常常是某些消費(fèi)者所想到的折中方案。然而，傳感器面板通常形成于笨重且不便于攜帶的剛性基板(例如玻璃或晶圓)上。某些較輕且較薄 的傳感器面板設(shè)置于聚合物上，并具有小程度的可撓性(flexibility)。一般而言，這種可撓式傳感器面板可被卷起不到一圈。故需要提供薄且輕量的傳感器面板，而且該傳感器面板具有的可撓性達(dá)至少可以卷起一圈的程度，較佳為二圈或更多圈。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明的主要目的在于提供一種使傳感器面板具有可撓性的用于傳感器面板的微結(jié)構(gòu)基板。為達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供一種用于傳感器面板的微結(jié)構(gòu)基板，其包含一可撓曲式膜，具有一厚度，該可撓曲式膜具有一第一表面及一第二表面，該第二表面與該第一表面間隔該薄膜的該厚度；一微結(jié)構(gòu)陣列，位于該可撓曲式膜中，各該微結(jié)構(gòu)包含一腔室，該腔室自該第一表面形成于該可撓曲式膜中；以及一傳感器陣列，位于該第二表面上，用于產(chǎn)生由靜電荷誘發(fā)的一電流。借由本發(fā)明的用于傳感器面板的微結(jié)構(gòu)基板，可使傳感器面板具有的可撓性達(dá)到至少可以卷起一圈的程度，較佳為二圈或更多圈。結(jié)合附圖參閱以下本發(fā)明的詳細(xì)實(shí)例，可得知本發(fā)明的其它目的、優(yōu)點(diǎn)及新穎特征。


當(dāng)同時(shí)與各附圖閱覽時(shí)，即可更佳了解本發(fā)明的前揭摘要以及下文較佳范例的詳細(xì)說(shuō)明。然而應(yīng)了解本發(fā)明并不限于所繪的精確排置方式及設(shè)備裝置。此外，將了解到為了說(shuō)明的簡(jiǎn)單與清楚，顯示于附圖中的元件并不一定依照比例繪制。例如，為了表述清楚，某些元件的尺寸相對(duì)于其它元件可能有所放大。在各附圖中
圖I為依據(jù)本發(fā)明的范例，用于軟性顯示裝置的基板的三維(3D)圖2A和圖2B為依據(jù)本發(fā)明的另一范例，具有微結(jié)構(gòu)陣列的可撓曲式薄膜的俯視與剖面示意 圖3A與圖3B為一對(duì)微沖壓模具的剖面不意 圖4為依據(jù)本發(fā)明的范例形成用于軟性顯示裝置的基板的方法流程 圖5為依據(jù)本發(fā)明的范例，用于可撓曲式顯示裝置的基板的剖面示意 圖6為依據(jù)本發(fā)明另一范例用于可撓曲式顯示裝置的基板的剖面示意圖；以及圖7為依據(jù)本發(fā)明另一范例用于軟性顯示裝置的基板的剖面示意圖；以及圖8為例示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)例的一用于一可撓曲式觸控屏幕顯示裝置的基板的剖面示意圖。附圖標(biāo)記說(shuō)明
100:基板
101:可撓曲式薄膜
102:粘性膜 102a :聚合物層 102b :膠粘劑
103:微結(jié)構(gòu) 103a :凹部 103b :側(cè)壁部分
104:粉末
301:微沖壓模具
302:微沖壓模具 301a :突出 301b :微結(jié)構(gòu) 500 :基板
502:第一粘性膜
503:微結(jié)構(gòu)
505:第二粘性膜
506:娃粉末 600 :基板 603 :微結(jié)構(gòu) 700 :基板 703 :微結(jié)構(gòu) 703b :突出 706 :結(jié)晶娃 800 :基板
811 :圖案化絕緣層 812:圖案化導(dǎo)電凝膠層 820 :第三粘性膜 t :厚度
I長(zhǎng)W 寬 L:長(zhǎng)度 W:寬度 d:距離
51:第一表面
52:第二表面 Dl :深度
D2 :深度。
具體實(shí)施例方式現(xiàn)將詳細(xì)參照本發(fā)明于隨附附圖中說(shuō)明的范例。盡其可能，所有附圖中將依相同元件符號(hào)以代表相同或類似的部件。本發(fā)明利用微制造技術(shù)形成有微結(jié)構(gòu)的可撓曲式薄膜。具體來(lái)說(shuō)，使用微制造技術(shù)于薄的和可撓的聚合物薄膜中形成微結(jié)構(gòu)，該聚合物薄膜是可用于軟性顯示裝置(其可被卷起一圈(360°))或可撓曲式顯示裝置(其可被卷起至少兩圈(720°))的基板的組件。依據(jù)本發(fā)明的范例，于薄膜中的第一型微結(jié)構(gòu)是指具有從該薄膜的第一表面沖壓進(jìn)入該薄膜、但不沖壓穿透該薄膜的開口的結(jié)構(gòu)，而且于該第一表面的相反表面上不會(huì)形成明顯的突出。此外，該微結(jié)構(gòu)可具有在約100微米(Mm, micrometer)至500Mm范圍中的直徑。依據(jù)本發(fā)明的范例，于薄膜中的第二型微結(jié)構(gòu)是指具有沖壓進(jìn)入該薄膜的開口、并于該第一表面的相反表面上形成突出的結(jié)構(gòu)。該突出的高度大約等于或小于該微結(jié)構(gòu)的深度。圖I為用于軟性顯示裝置的基板100的3D圖?；?00包含一可撓曲式薄膜101與一粘性膜102。可撓曲式薄膜101的厚度t，t的范圍從97. 5至102. 5 Mm?？蓳锨奖∧?01具有由可撓曲式薄膜101的厚度t隔開的第一表面S1和第二表面S2 (如圖2B所示)?；?00另包含一微結(jié)構(gòu)103陣列，該微結(jié)構(gòu)103陣列設(shè)于該可撓曲式薄膜101中。可撓曲式薄膜101的尺寸及微結(jié)構(gòu)103的數(shù)目可根據(jù)膜的應(yīng)用而異并可根據(jù)膜的應(yīng)用而定制。根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)例，可撓曲式薄膜101的尺寸可為A4紙尺寸、A3紙尺寸及A2紙尺寸其中之一，A4紙尺寸、A3紙尺寸及A2紙尺寸的長(zhǎng)度L及寬度W分別為297毫米*210毫米、420毫米*297毫米、及594毫米*420毫米。每個(gè)微結(jié)構(gòu)103的腔室內(nèi)填充粉末104，粉末104受靜電力吸引，并且在施加不同的等級(jí)的電壓時(shí)會(huì)展現(xiàn)不同的顏色。例如，粉末104可以是液晶粉末，該液晶粉末可以向默克公司(Merck & Co.，Inc.)取得。每個(gè)內(nèi)部填充粉末104的微結(jié)構(gòu)103可以作為軟性顯
示裝置的一個(gè)像素。圖2A和圖2B為具有微結(jié)構(gòu)陣列的可撓曲式薄膜101的俯視圖與剖視圖。每個(gè)微結(jié)構(gòu)103包括從第一表面S1穿入可撓曲式薄膜101形成的一腔室，其中該腔室具有一凹部103a，該凹部103a具有一預(yù)定的深度D2且接近第二表面S2,該腔室并具有接近第一表面S1的一側(cè)壁部分103b。該側(cè)壁部分103b具有起始于第一表面S1的一預(yù)定深度D1。
側(cè)壁部分103b的深度D1介于5至75 Mm之間。例如，側(cè)壁部分103b的深度D1是基于所需的可視距離而決定。在一個(gè)范例中，當(dāng)可視距離每增加2米，側(cè)壁部分103b的深度01即增加5 Mm。例如,對(duì)于2 m的可視距離,側(cè)壁部分103b的深度D1可大約為5 Mm,而對(duì)于20 m的可視距離，側(cè)壁部分103b的深度D1可大約為50 Mm。另外，側(cè)壁部分103b的
深度D1可基于顯示裝置的所需分辨率與亮度而決定。依據(jù)本發(fā)明的范例，側(cè)壁部分103b的深度D1可大約為5 Mm。因?yàn)檠b置中粉末104的量很少，故產(chǎn)生的亮度適合用于小的空間，如住宅內(nèi)的一個(gè)房間。依據(jù)本發(fā)明的另一范例，側(cè)壁部分103b的深度D1可大約為15 Mm。這種顯示裝置含有較多量的粉末104，而產(chǎn)生的亮度適合用于稍微大的空間，如辦公空間。依據(jù)本發(fā)明的又另一范例，側(cè)壁部分103b的深度D1可大約為40 Mm。包含這種基·板的顯示裝置將具有適合用于更大封閉空間的亮度，如禮堂。依據(jù)本發(fā)明的范例，側(cè)壁部分103b的深度D1可大約為75 Mm。由于其將于每個(gè)微結(jié)構(gòu)103中含有大量的粉末104，產(chǎn)生的亮度將適用于戶外使用的顯示裝置。凹部103a的深度D2可基于側(cè)壁部分103b的深度D1而決定，而且凹部103a往第二表面S2逐漸變小的比率可基于側(cè)壁部分103b的尺寸決定。側(cè)壁部分103b與第一表面S1平行的剖面可以是圓形、橢圓形與多邊形中之一。在側(cè)壁部分103b各處的該剖面可以均相同。依據(jù)本發(fā)明一范例的微結(jié)構(gòu)103，其側(cè)壁部分103b具有90Mm的長(zhǎng)I和70 Mm寬w的矩形剖面。各微結(jié)構(gòu)103之間有一間距d，該間距d可為15Mm。另一方面，凹部103a也可具有圓形、橢圓形或多邊形的與第一表面S1平行的剖面，該剖面可往第二表面S2逐漸變小。凹部103a與該第一表面S1垂直的剖面可為等邊三角形、等腰三角形、拋物線及半圓其中之一。在依據(jù)本發(fā)明的范例中，其中凹部103a與該第一表面S1垂直的剖面為等腰三角形，該等腰三角形的二個(gè)相等角度為45度?？蓳锨奖∧?01包含聚合物，該聚合物使該薄膜具有90%或更大的透明度。例如，該聚合物可為聚對(duì)苯二甲酸乙二酯(PET, polyethylene terephthalate)、聚碳酸酯(PC, polycarbonate)及光學(xué)聚萘二甲酸乙二酯(OPEN, optical polyethylenenaphthalate)其中之一。OPEN的重復(fù)化學(xué)結(jié)構(gòu)單元為下式
\.........................%
r^>f—O-CHfCH2I—O
可撓曲式薄膜101的密度介于每立方厘米0.86至0.98克(g/cm3)之間?？蓳锨奖∧?01的其它物理性質(zhì)可包括抗張強(qiáng)度(tensile strength)介于234與246百萬(wàn)帕(MPa，megapascal)之間，張力伸長(zhǎng)(tensile elongation)介于 126% 與 173% 之間，抗張模數(shù)(tensile modulus)介于4. 55至5. 04十億帕(GPa，gigapascal)之間，以及撕裂強(qiáng)度(tearing strength)介于 697 與 899 毫牛頓(mN，millinewton)之間。凹部103a在每個(gè)微結(jié)構(gòu)中心提供較大且較密的發(fā)光強(qiáng)度，因?yàn)樵谥行囊壕Х勰?04的濃度最高。粘性膜102包含聚合物層102a以及粘附于聚合物層102a的膠粘劑102b。該聚合物層包含一內(nèi)嵌的導(dǎo)電圖案(圖中未示出)。聚合物層102a可包含PET、PC及OPEN其中之一，而導(dǎo)電圖案可包含銅。導(dǎo)電圖案的厚度約為一毫英吋，大約相當(dāng)于25. 4 μπι。膠粘劑102b可包含膠水，如以丙烯酸為主的膠，膠粘劑102b并可具有介于10至15 μπι之間的厚度。依據(jù)本發(fā)明，每個(gè)其內(nèi)填充有粉末104的微結(jié)構(gòu)103可作為軟性顯示裝置的一個(gè)像素。此外，聚合物層102a中的導(dǎo)電圖案的功能為對(duì)微結(jié)構(gòu)103電尋址。 依據(jù)本發(fā)明的基板100，可提供制造具有高度可撓性的軟性顯示裝置的部件。例如，以基板100制造的軟性顯示裝置可卷起一圈(360°)。在依據(jù)本發(fā)明的另一范例中，可撓曲式顯示裝置可卷起至少二圈(720°)。圖3A與圖3B為用以于可撓曲式薄膜101中制造微結(jié)構(gòu)103的一對(duì)微沖壓模具301,302的剖面示意圖。該對(duì)微沖壓模具301、302包含上模具301與下模具302。上模具301包含復(fù)數(shù)個(gè)突出301a，而下模具302包含復(fù)數(shù)個(gè)相對(duì)于該上模具301的復(fù)數(shù)個(gè)突出301a的微結(jié)構(gòu)302a。模具301、302的大小以及突出301a與微結(jié)構(gòu)302a的數(shù)量可基于薄膜的用途而變化與客制化。依據(jù)本發(fā)明的范例，模具301、302的大小可為A4、A3及A2紙張尺寸其中之一，其尺寸分別為297 mm乘210 mm、420 mm乘297 mm以及594 mm乘420 mm。依據(jù)本發(fā)明的范例，下模具302的復(fù)數(shù)個(gè)微結(jié)構(gòu)302a具有與上述可撓曲式薄膜101的復(fù)數(shù)個(gè)微結(jié)構(gòu)103的結(jié)構(gòu)相同的結(jié)構(gòu)?，F(xiàn)將參照?qǐng)D4描述依據(jù)本發(fā)明范例的制造基板100的方法。首先，將一卷包含PET、PC與OPEN其中之一的可撓曲式薄膜展開并放置于該對(duì)微沖壓模具301、302之間。該卷可撓曲式薄膜具有介于O. 75至O. 85 g/cm3之間的密度。在步驟401中，借由該對(duì)微沖壓模具301、302以“輕觸”法沖壓該可撓曲式薄膜。具體而言，控制上模具301沖壓可撓曲式薄膜101的力量，以使上模具301不會(huì)沖壓穿透可撓曲式薄膜101，但可沖壓出復(fù)數(shù)個(gè)具有所需深度的微結(jié)構(gòu)103。此外，為便利沖壓工藝，可以使用該上模具301的陣列與對(duì)應(yīng)的該下模具302的陣列，且該陣列尺寸設(shè)計(jì)成符合薄膜尺寸。在步驟402中，在沖壓出復(fù)數(shù)個(gè)微結(jié)構(gòu)103之后，將可撓曲式薄膜101翻轉(zhuǎn)，使微結(jié)構(gòu)103的開口向下面對(duì)充滿粉末104的托盤，該粉末是用以填充微結(jié)構(gòu)103的腔室。之后，當(dāng)啟動(dòng)產(chǎn)生靜電場(chǎng)的工具時(shí)，托盤中的粉末104受靜電力向上吸引并填充每個(gè)微結(jié)構(gòu)103的腔室。某些粉末會(huì)吸附在微結(jié)構(gòu)之間的表面上，因此，在步驟403中借由將填充了粉末10的可撓曲式薄膜101通過(guò)一組產(chǎn)生超音波振蕩的滾輪之間來(lái)移除該些粉末。粘在微結(jié)構(gòu)103之間的表面上的過(guò)多粉末借由超音波振蕩被搖下。接著，在步驟404中，將具有導(dǎo)電圖案的粘性膜102粘附于已填充粉末104的可撓曲式薄膜101，借以形成基板100。可將基板100通過(guò)一組滾輪之間，以適當(dāng)?shù)貙⒄承阅?02與可撓曲式薄膜101按壓在一起，并確?；?00的可撓性。圖5為依據(jù)本發(fā)明的范例，用于可撓曲式顯示裝置的基板500的剖面示意圖，該可撓曲式顯示裝置可被卷起至少二圈(720°)?；?00包含薄膜101、第一粘性膜502以及第二粘性膜505?；?00進(jìn)一步包含第一型微結(jié)構(gòu)503的陣列于薄膜101中，而且每個(gè)微結(jié)構(gòu)503在底表面上包含一層粉末104。圖5中的第一粘性膜502與第二粘性膜505類似于圖I所示的粘性膜102，不同之處在于第一粘性膜502與第二粘性膜505均不包含用以對(duì)微結(jié)構(gòu)503電尋址的導(dǎo)電圖案?；?00于第二表面S2上包含一層娃粉末506。該層娃粉末506借由靜電吸附的方式粘附于第二表面S2,并由第二粘性膜505密封。該層娃粉末506的功能之一是作為太陽(yáng)能面板。太陽(yáng)光中的光子撞擊該層娃粉末506并由娃粉末506吸收。電子從其原子被撞擊松動(dòng)，而產(chǎn)生電位差。電流開始流經(jīng)娃粉末 506以抵消電位差，而該電流所產(chǎn)生的電力可被儲(chǔ)存。可撓曲式顯示裝置可包含太陽(yáng)能電池與集成電路(IC, Integrated Circuit),用以控制收集由該層娃粉末506產(chǎn)生的電力，并提供微結(jié)構(gòu)503不同的電壓，以控制粉末104的顏色變化。IC與太陽(yáng)能電池可位于薄膜101與第一粘性膜502或第二粘性膜505之間。可撓曲式顯示裝置的總厚度小于200 μ mo圖6為依據(jù)本發(fā)明另一范例用于可撓曲式顯示裝置的基板600的剖面示意圖，該可撓曲式顯示裝置可卷起至少二圈(720°)。在圖6所示的基板600與在圖5所示的基板500相似，兩者不同之處在于微結(jié)構(gòu)603不包含凹部。取而代之的，微結(jié)構(gòu)603具有平的底部。圖7為依據(jù)本發(fā)明另一范例用于軟性顯示裝置的基板700的剖面示意圖?；?00與在圖6中的基板600相似，兩者不同之處在于可撓曲式薄膜101包含第二型的微結(jié)構(gòu)703的陣列，微結(jié)構(gòu)703包含出自第二表面S2的突出703b。此外，微結(jié)構(gòu)703填充有粉末104，而且介于突出703b之間的空間填充有結(jié)晶硅706以自太陽(yáng)能產(chǎn)生電力。本發(fā)明更關(guān)于具有微結(jié)構(gòu)的基板，該基板是用于可被卷起一圈(360°)的軟性傳感器面板、或可被卷起至少二圈(720°)的可撓曲式傳感器面板。根據(jù)本發(fā)明一實(shí)例的一軟性傳感器面板或一可撓曲式傳感器面板可包含圖I、圖5、圖6及圖7所示基板其中之一，且更包含一傳感器陣列，以用于產(chǎn)生由靜電荷誘發(fā)的電流。圖8為例示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)例的一用于一可撓曲式傳感器面板的剖面示意圖。圖8所示基板800包含一圖6所示用于可撓曲式顯示裝置的基板600、一傳感器810陣列、以及一第三粘性膜820。傳感器810陣列包含一圖案化絕緣層811及一圖案化導(dǎo)電凝膠層812。圖案化絕緣層811可包含氧化娃(silicon oxide)或其它絕緣材料,并具有一介于25微米至50微米間的厚度。圖案化導(dǎo)電凝膠層812具有一介于2. 5微米至10微米間的厚度。圖案化絕緣層811及圖案化導(dǎo)電凝膠層812被形成為使得當(dāng)一攜帶靜電荷的物體(例如，一手指或一觸控筆)靠近傳感器面板時(shí)，該物體的靜電荷可自位于該物體下方的傳感器810陣列至少其中之一傳感器810誘發(fā)電流。一連接至傳感器810陣列的集成電路可檢測(cè)該誘發(fā)電流并于傳感器面板上確定該誘發(fā)電流的起源(即，該物體相對(duì)于該傳感器面板的位置)?？蓳锨奖∧?01中的該微結(jié)構(gòu)503的密度可為每平方英吋包含160至280個(gè)微結(jié)構(gòu)。根據(jù)本發(fā)明之一實(shí)例，可撓曲式薄膜101每平方英吋包含200個(gè)微結(jié)構(gòu)。觸控筆可包括一含碳的尖端。根據(jù)本發(fā)明，手指或觸控筆無(wú)需與傳感器面板有實(shí)體接觸來(lái)誘發(fā)電流。當(dāng)手指或觸控筆于距傳感器面板的表面I毫米至I. 5毫米的距離處“觸摸”傳感器面板時(shí)，傳感器面板對(duì)該“觸摸”是敏感的。在闡述本發(fā)明的代表性實(shí)例時(shí)，本說(shuō)明書可能已將本發(fā)明的操作方法及/或過(guò)程呈現(xiàn)為一具體序列的步驟。然而，由于該方法或過(guò)程并非依賴于本文所述步驟的具體順序，因而該方法或過(guò)程不應(yīng)被限制于所述步驟的具體序列。此項(xiàng)技術(shù)中的通常知識(shí)者應(yīng)理解，也可采用其它序列的步驟。因此，本說(shuō)明書所述步驟的具體順序不應(yīng)被視為是對(duì)權(quán)利要求的限制。此外，關(guān)于本發(fā)明的方法及/或過(guò)程的權(quán)利要求不應(yīng)被限制于以所述順序執(zhí)行其各步驟，且熟悉此項(xiàng)技術(shù)的人可輕易地理解，該序列可有所變化且仍屬于本發(fā)明的精神及范圍內(nèi)。
熟悉此項(xiàng)技術(shù)的人應(yīng)理解，在不背離上述實(shí)例的廣泛發(fā)明概念的條件下，可對(duì)該實(shí)例作出改變。因此，應(yīng)理解，本發(fā)明并非僅限于所揭示的具體實(shí)例，而是旨在涵蓋屬于隨附權(quán)利要求所界定的本發(fā)明精神及范圍內(nèi)的所有潤(rùn)飾。
權(quán)利要求
1.一種用于傳感器面板的微結(jié)構(gòu)基板，其特征在于，其包含 一可撓曲式薄膜，具有一厚度，該可撓曲式薄膜具有一第一表面及一第二表面，該第二表面與該第一表面間隔該薄膜的該厚度； 一微結(jié)構(gòu)陣列，位于該可撓曲式薄膜中，各該微結(jié)構(gòu)包含一腔室，該腔室系自該第一表面形成于該可撓曲式薄膜中；以及 一傳感器陣列，位于該第二表面上，用于產(chǎn)生由靜電荷誘發(fā)的一電流。
2.如權(quán)利要求I所述的用于傳感器面板的微結(jié)構(gòu)基板，其特征在于，所述傳感器陣列包含一位于所述第二表面上的圖案化絕緣層及一位于該圖案化絕緣層上的圖案化導(dǎo)電凝月父層O
3.如權(quán)利要求2所述的用于傳感器面板的微結(jié)構(gòu)基板，其特征在于，所述圖案化絕緣層包含氧化娃。
4.如權(quán)利要求I所述的用于傳感器面板的微結(jié)構(gòu)基板，其特征在于，所述可撓曲式薄膜每平方英吋包含160-280個(gè)微結(jié)構(gòu)。
5.如權(quán)利要求I所述的用于傳感器面板的微結(jié)構(gòu)基板，其特征在于，該微結(jié)構(gòu)基板更包含一集成電路，該集成電路連接至該傳感器陣列，以用于檢測(cè)該誘發(fā)電流并確定該傳感器面板上該誘發(fā)電流的起源。
6.如權(quán)利要求I所述的用于傳感器面板的微結(jié)構(gòu)基板，其特征在于，更包含粘附至該第二表面的一層娃粉末。
7.如權(quán)利要求6所述的用于傳感器面板的微結(jié)構(gòu)基板，其特征在于，更包含一位于所述層硅粉末與所述傳感器陣列間的第一粘性膜，該第一粘性膜包含一聚合物核心，該聚合物核心包含聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯及光學(xué)聚萘二甲酸乙二醇酯其中之一。
8.如權(quán)利要求I所述的用于傳感器面板的微結(jié)構(gòu)基板，其特征在于，更包含位于所述第二表面上的復(fù)數(shù)個(gè)突出、以及位于該等突出間的結(jié)晶硅。
9.如權(quán)利要求8所述的用于傳感器面板的微結(jié)構(gòu)基板，其特征在于，更包含一位于所述可撓曲式薄膜與所述傳感器陣列間的第一粘性膜，該第一粘性膜包含一聚合物核心，該聚合物核心包含聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯及光學(xué)聚萘二甲酸乙二醇酯其中之一。
10.如權(quán)利要求I所述的用于傳感器面板的微結(jié)構(gòu)基板，其特征在于，所述腔室具有一靠近所述第二表面的凹部。
11.如權(quán)利要求10所述的用于傳感器面板的微結(jié)構(gòu)基板，其特征在于，所述凹部具有朝該第二表面漸縮的一圓形剖面、一橢圓形剖面及一多邊形剖面其中之一。
12.如權(quán)利要求I所述的用于傳感器面板的微結(jié)構(gòu)基板，其特征在于，所述腔室具有一靠近所述第一表面的側(cè)壁部分，該側(cè)壁部分具有一距該第一表面5N微米的深度，N為一自I至15的自然數(shù)，且其中該側(cè)壁部分包含一圓形剖面、一橢圓形剖面及一多邊形剖面其中之O
13.如權(quán)利要求12所述的用于傳感器面板的微結(jié)構(gòu)基板，其特征在于，所述側(cè)壁部分的該剖面為一 90微米*70微米的矩形，且各該矩形間的距離為15微米。
14.如權(quán)利要求I所述的用于傳感器面板的微結(jié)構(gòu)基板，其特征在于，各該微結(jié)構(gòu)包含可被靜電力吸引的粉末，并根據(jù)該微結(jié)構(gòu)的該腔室中的不同電壓而呈現(xiàn)不同的顏色。
15.如權(quán)利要求14所述的用于傳感器面板的微結(jié)構(gòu)基板，其特征在于，所述粉末包含液晶粉末。
16.如權(quán)利要求I所述的用于傳感器面板的微結(jié)構(gòu)基板，其特征在于，所述可撓曲式薄膜包含聚合物，該聚合物使該可撓曲式薄膜具有一 90%或以上的透明度。
17.如權(quán)利要求16所述的用于傳感器面板的微結(jié)構(gòu)基板，其特征在于，該可撓曲式薄膜包含一聚合物核心，該聚合物核心包含聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯及光學(xué)聚萘二甲酸乙二醇酯其中之一，且該可撓曲式薄膜的該聚合物為聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯及光學(xué)聚萘二甲酸乙二醇酯其中之一。
18.如權(quán)利要求I所述的用于傳感器面板的微結(jié)構(gòu)基板，其特征在于，所述可撓曲式薄膜的密度介于0. 86克/立方厘米與0. 98克/立方厘米之間，該可撓曲式薄膜的抗張強(qiáng)度介于234百萬(wàn)帕與246百萬(wàn)帕之間，該可撓曲式薄膜的張力伸長(zhǎng)介于126%與173%之間，該可撓曲式薄膜的抗張模數(shù)介于4. 55十億帕與5. 04十億帕之間，該可撓曲式薄膜的撕裂強(qiáng)度介于697毫牛頓與899毫牛頓之間，且該可撓曲式薄膜的該厚度介于97. 5微米與102. 5微米之間。
19.如權(quán)利要求I所述的用于傳感器面板的微結(jié)構(gòu)基板，其特征在于，更包含一位于該第一表面上的第二粘性膜、以及一位于該傳感器陣列上的第三粘性膜，該第二粘性膜與該第三粘性膜包含一聚合物核心，該聚合物核心包含聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯及光學(xué)聚萘二甲酸乙二醇酯其中之一。
全文摘要
本發(fā)明揭示一種用于傳感器面板的微結(jié)構(gòu)基板，其包含一可撓曲式膜，具有一厚度，該可撓曲式膜具有一第一表面及一第二表面，該第二表面與該第一表面間隔該薄膜的該厚度；一微結(jié)構(gòu)陣列，位于該可撓曲式膜中，各該微結(jié)構(gòu)包含一腔室，該腔室自該第一表面形成于該可撓曲式膜中；以及一傳感器陣列，位于該第二表面上，用于產(chǎn)生由靜電荷誘發(fā)的一電流。借由本發(fā)明的用于傳感器面板的微結(jié)構(gòu)基板，可使傳感器面板具有的可撓性達(dá)到至少可以卷起一圈的程度，較佳為二圈或更多圈。
文檔編號(hào)B81B7/04GK102955609SQ201210283870
公開日2013年3月6日 申請(qǐng)日期2012年8月10日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月12日
發(fā)明者陳世忠 申請(qǐng)人:陳世忠