集成電微流控探針卡、系統(tǒng)及其使用方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種生物場效應(yīng)晶體管(BioFET)設(shè)備的測試和處理方法、系統(tǒng)和裝置。晶圓級生物傳感器處理工具包括晶圓載物臺、集成電微流控探針卡以及流體供應(yīng)器和回流器。該集成電微流控探針卡包括流控底座(其可以為透明的)、流控底座中的微流體通道、位于流控底座的底部的至少一個微流控探針和多個電探針頂端、位于流控底座的側(cè)部的流體和電子輸入口和輸出口以及位于流控底座上的至少一個操作凸緣。該方法包括對準(zhǔn)晶圓、安裝集成電微流控探針卡、使測試流體流動以及測試電氣性能。該工具還可以用于標(biāo)識或標(biāo)記晶圓上的設(shè)備區(qū)中的流體。本發(fā)明還提供了一種集成電微流控探針卡、系統(tǒng)及其使用方法。
【專利說明】集成電微流控探針卡、系統(tǒng)及其使用方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及在芯片上形成和測試生物傳感器的方法。具體地，本發(fā)明涉及用于測試生物場效應(yīng)晶體管(bioFET)的系統(tǒng)和方法及其形成方法。
【背景技術(shù)】
[0002]生物傳感器是用于感測和檢測生物分子的設(shè)備并基于電子、電化學(xué)、光學(xué)和機(jī)械檢測原理運(yùn)行。包括晶體管的生物傳感器是電檢測電荷、光子和生物實(shí)體或生物分子的機(jī)械性能的傳感器。通過檢測生物實(shí)體或生物分子本身或者通過指定反應(yīng)物與生物實(shí)體/生物分子之間的相互作用或反應(yīng)，可完成檢測。這種生物傳感器可使用半導(dǎo)體工藝制造，能夠?qū)⑸锓肿有畔⒖焖俎D(zhuǎn)變成電信號并易于應(yīng)用到集成電路(IC)和微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)中。
[0003]BioFET (生物場效應(yīng)晶體管、生物敏感場效應(yīng)晶體管、生物活性場效應(yīng)晶體管或生物有機(jī)場效應(yīng)晶體管)是包括用于電檢測生物分子或生物實(shí)體的晶體管的生物傳感器的一種類型。盡管BioFET在很多方面具有優(yōu)越性，但是例如由于半導(dǎo)體制造工藝與生物學(xué)應(yīng)用之間的兼容性問題，增加了其制造和/或操作的挑戰(zhàn)性。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]為了解決現(xiàn)有技術(shù)中所存在的問題，根據(jù)本發(fā)明的一個方面，提供了一種集成電微流控探針卡，包括:透明流控底座，所述流控底座具有第一主面和第二主面以及位于所述第一主面和所述第二主面之間的至少一個副面；多個微流體通道，位于所述流控底座中；至少一個微流控探針和多個電探針頂端，布置在所述第一主面上，所述至少一個微流控探針連接至所述多個微流體通道中的至少一個；至少一個流體入口和至少一個流體出口，位于所述流控底座的一個或多個副面上；輸入/輸出電端口，位于所述流控底座上，電連接至所述多個電探針頂端；以及一個或多個操作凸緣，附接至所述流控底座。
[0005]在所述集成電微流控探針卡中，還包括:連接至所述多個微流體通道的壓力傳感器、流量計(jì)或溫度傳感器中的一個或多個。
[0006]在所述集成電微流控探針卡中，還包括:連接至所述多個微流體通道的電磁電極或鐵磁電極以及用于控制所述電磁電極或所述鐵磁電極的控制器。
[0007]在所述集成電微流控探針卡中，還包括:位于所述多個微流體通道中的閥、泵、力口熱器或它們的組合。
[0008]在所述集成電微流控探針卡中，所述流控底座包括硅樹脂、環(huán)氧樹脂或光刻膠。
[0009]在所述集成電微流控探針卡中，所述流控底座包括聚二甲硅氧烷(PDMS)或聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)。
[0010]根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種晶圓級生物傳感器處理工具，包括:晶圓載物臺；集成電微流控探針卡，可拆卸地附接至卡固定臂，所述集成電微流控探針卡包括:流控底座，所述流控底座具有第一主面和第二主面以及位于所述第一主面和所述第二主面之間的至少一個副面；多個微流體通道，位于所述流控底座中；至少一個微流控探針，設(shè)置在所述第一主面上，所述至少一個微流控探針流體連通至所述多個微流體通道中的至少一個；多個電探針頂端，設(shè)置在所述第一主面上；至少一個流體入口和至少一個流體出口，位于所述流控底座的一個或多個副面上；輸入/輸出電端口，位于所述流控底座上，電連接至所述多個電探針頂端；和一個或多個操作凸緣；流體供應(yīng)器，可拆卸地連接至所述集成電微流控探針卡的所述至少一個流體入口 ；以及回流器，可拆卸地連接至所述集成電微流控探針卡的所述至少一個流體出口 ；其中，所述卡固定臂被配置為移動所述集成電微流控探針卡以緊靠晶圓載物臺上的晶圓密封所述至少一個微流控探針并使所述多個電探針頂端與所述晶圓上的導(dǎo)電表面電接觸。
[0011]在所述集成電微流控探針卡中，還包括:位于所述晶圓載物臺上方的顯微鏡；以及被配置為照亮所述晶圓載物臺上的晶圓的至少一個光源；其中，所述流控底座是透明的。
[0012]在所述集成電微流控探針卡中，所述晶圓載物臺被配置為相對于所述卡固定臂在至少兩個方向上移動。
[0013]在所述集成電微流控探針卡中，還包括:被配置為操作一個或多個探測工具的顯微操作器。
[0014]根據(jù)本發(fā)明的又一方面，提供了一種用于測試部分制成的生物傳感器設(shè)備晶圓的方法，所述方法包括:在晶圓級生物傳感器處理工具的晶圓載物臺上對準(zhǔn)所述部分制成的生物傳感器設(shè)備晶圓；將集成電微流控探針卡安裝至所述部分制成的生物傳感器設(shè)備晶圓上的設(shè)備區(qū)；在所述集成電微流控探針卡上的流體探針與所述設(shè)備區(qū)之間形成密封；將所述集成電微流控探針卡上的一個或多個電探針頂端電連接至所述設(shè)備區(qū)的導(dǎo)電區(qū)域；使測試流體從流體供應(yīng)器流動至所述集成電微流控探針卡；以及基于測試流體流，通過所述一個或多個電探針頂端電氣測量所述設(shè)備區(qū)的一個或多個生物場效應(yīng)晶體管的電性能。
[0015]在所述方法中，還包括；測量流體壓力的變化；測量所述集成電微流控探針卡中的所述測試流體的溫度。
[0016]在所述方法中，還包括:將所述晶圓暴露于光；測量所述晶圓的光輻射等級。
[0017]在所述方法中，還包括:使所述測試流體從所述集成電微流控探針卡流出。
[0018]在所述方法中，還包括:使第二測試流體從所述流體供應(yīng)器流至所述集成電微流控探針卡；以及基于第二測試流體流，通過所述一個或多個電探針頂端電氣測量所述設(shè)備區(qū)的一個或多個生物場效應(yīng)晶體管的電性能。
[0019]在所述方法中，還包括:基于電性能測量值將所述設(shè)備區(qū)標(biāo)記為合格或不合格。
[0020]在所述方法中，還包括:從所述晶圓的所述設(shè)備區(qū)移除所述集成電微流控探針卡；將所述集成電子微流控探針安裝至所述晶圓上的第二設(shè)備區(qū)；以及重復(fù)流動操作和電測量操作。
[0021 ] 在所述方法中，還包括:基于生物傳感器設(shè)備設(shè)計(jì)形成所述集成電微流控探針卡。
[0022]根據(jù)本發(fā)明的又一方面，提供了一種制造生物傳感器設(shè)備晶圓的方法，所述方法包括:在晶圓上形成生物場效應(yīng)晶體管、非生物場效應(yīng)晶體管和互連結(jié)構(gòu)；在晶圓級生物傳感器處理工具的晶圓載物臺上對準(zhǔn)所述晶圓；將集成電微流控探針卡安裝至所述晶圓上的設(shè)備區(qū)，以在所述集成電微流控探針卡上的流體探針與所述晶圓的所述設(shè)備區(qū)之間形成密封；標(biāo)識或標(biāo)記所述晶圓上的所述設(shè)備區(qū)中的流體。
[0023]在所述方法中，還包括:形成具有圖案化流體探針的集成電微流控探針卡。【專利附圖】

【附圖說明】
[0024]根據(jù)以下結(jié)合附圖的詳細(xì)描述可以最好地理解本發(fā)明。需要強(qiáng)調(diào)的是，根據(jù)工業(yè)中的標(biāo)準(zhǔn)實(shí)踐，各種不同部件沒有按比例繪制，并且只是用于圖示的目的。實(shí)際上，為了使論述清晰，可以任意增加或減小各種部件的數(shù)量和尺寸。
[0025]圖1是根據(jù)本發(fā)明的一個或多個方面的晶圓級生物傳感器處理工具的實(shí)施例的示意圖。
[0026]圖2是根據(jù)本發(fā)明的一個或多個方面的集成電微流控探針卡和部分生物場效應(yīng)晶體管的截面圖。
[0027]圖3和圖4是根據(jù)本發(fā)明的一個或多個實(shí)施例的集成電微流控探針卡的立體圖。
[0028]圖5和圖6是根據(jù)本發(fā)明的多個方面的用于測試和制造生物場效應(yīng)晶體管的方法實(shí)施例的流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0029]應(yīng)該理解，以下公開提供了用于實(shí)現(xiàn)本發(fā)明不同特征的許多不同實(shí)施例或?qū)嵗?。以下描述了部件和配置的具體實(shí)例以簡化本發(fā)明。當(dāng)然，這些僅僅為實(shí)例而不用于構(gòu)成限制。此外，在以下描述中，第一部件形成在第二部件上方或第二部件上，可包括第一和第二部件被形成為直接接觸的實(shí)施例，并且還可以包括形成插入第一和第二部件之間的附加部件以使第一和第二部件不直接接觸的實(shí)施例。此外，對諸如“頂部”、“前部”、“底部”和“后部”的相關(guān)術(shù)語的參考用于提供元件之間的相對關(guān)系，并非旨在說明任何絕對方向。為了簡單和清楚，各種部件可以按不同比例任意繪制。
[0030]在生物場效應(yīng)晶體管(BioFET)中，控制半導(dǎo)體在源級和漏極接觸件之間的電導(dǎo)的金屬-氧化物-半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管(MOSFET)包括作為表面受體的固定化探針模塊的生物或生化兼容層或生物官能化層。實(shí)質(zhì)上，BioFET是具有半導(dǎo)體傳感器的場效應(yīng)晶體管。BioFET的優(yōu)勢是無標(biāo)記運(yùn)行的前景。具體地，BioFET能夠避免昂貴和費(fèi)時的標(biāo)記操作，諸如對具有例如熒光粉或放射性探針的分析物的標(biāo)記。當(dāng)被標(biāo)記的分析物按照設(shè)計(jì)作出反應(yīng)并發(fā)出熒光或放射性時，由于放射是短暫的，因此具有很短的測量機(jī)會。然而，盡管具有這些昂貴、費(fèi)時和設(shè)計(jì)限制的缺點(diǎn)，被標(biāo)記分析物的使用提供了大量的反應(yīng)并在某些場合下適用，例如用于檢測新的生物傳感器。
[0031]由于靶生物分子或生物實(shí)體與感測表面或固定在BioFET的感測表面上的受體分子的結(jié)合，BioFET的典型的檢測機(jī)制是傳感器的電導(dǎo)調(diào)制。當(dāng)靶生物分子或生物實(shí)體結(jié)合到感測表面或固定化受體上時，BioFET的漏極電流按照感測表面的電位變化。可以測量漏極電流的這種改變并可以確定受體與靶生物分子或生物實(shí)體的結(jié)合。很多生物分子或生物實(shí)體(諸如離子、酶、抗體、配體、受體、肽、寡核苷酸、器官的細(xì)胞、生物體和組織片)可以用于官能化BioFET的感測表面。例如，為了檢測ssDNA(單鏈脫氧核糖核酸)，可以官能化具有固定的互補(bǔ)ssDNA單鏈的BioFET的感測表面。同樣，為了檢測諸如腫瘤標(biāo)記的蛋白質(zhì)，可以官能化具有單克隆抗體的BioFET的感測表面。
[0032]各種類型的BioFET的一個差別是感測表面的位置。感測表面的一個實(shí)例是位于連接至BioFET的柵極的浮柵的頂部。在感測表面的其他實(shí)例中，生物分子直接結(jié)合或通過受體結(jié)合到柵極或BioFET的柵極電介質(zhì)上。這些BioFET直接感測靶生物分子并比在浮柵上具有感測表面的那些BioFET更加準(zhǔn)確。
[0033]BioFET設(shè)備可包括多個BioFET和其他晶體管以及電路。每個BioFET均具有與微流體通道或阱相關(guān)的感測表面，生物物質(zhì)在微流體通道或阱中流動并被檢測。BioFET設(shè)備可通過若干實(shí)體來制造，而裝配/檢測可由其他實(shí)體完成。在一個典型的方案中，在半導(dǎo)體生產(chǎn)制造設(shè)備中的半導(dǎo)體襯底上使用互補(bǔ)型金屬-氧化物-半導(dǎo)體(CMOS)工藝兼容技術(shù)制造晶體管(包括BioFET和非BioFET)。在一些實(shí)施例中，BioFET設(shè)備上的微流體結(jié)構(gòu)在晶體管和管道形成之后在襯底上直接形成。在一些實(shí)施例中，BioFET設(shè)備上的微流體結(jié)構(gòu)單獨(dú)形成并附接在半導(dǎo)體生產(chǎn)制造設(shè)備上。在一些實(shí)施例中，BioFET設(shè)備上的微流體結(jié)構(gòu)單獨(dú)形成并附接在另一個設(shè)備上，該設(shè)備可能是半導(dǎo)體生產(chǎn)制造設(shè)備的用戶或供應(yīng)商。
[0034]裝備半導(dǎo)體生產(chǎn)制造設(shè)備以執(zhí)行對在制造設(shè)備上生產(chǎn)的半導(dǎo)體設(shè)備的芯片級、晶圓級和晶圓級芯片的尺寸測試。一般的半導(dǎo)體探針臺通常包括用于部分或完全裝配設(shè)備的電探測的顯微操作器和探針卡。如果發(fā)現(xiàn)任何缺陷，該產(chǎn)品會在裝運(yùn)前被重新加工或標(biāo)記。然而，傳統(tǒng)的半導(dǎo)體探針臺沒有被配置在操作條件下測試BioFET設(shè)備。盡管可以檢測基本的電氣性能，但是BioFET設(shè)備中使用生物體液的部分(諸如感測表面和微流體通道)不能使用傳統(tǒng)的半導(dǎo)體探針臺測試。
[0035]在生物實(shí)驗(yàn)室中，送樣系統(tǒng)通常使用一排吸頭或打印頭，以將生物樣品轉(zhuǎn)移到具有固定尺寸的靶標(biāo)(例如，96孔板)上的標(biāo)本上。一個或多個流體供應(yīng)器連接至將流體注入容器(通常為板上的試管或孔(well))的輸送移液管。容器或移液管均可相對于彼此移動。送樣系統(tǒng)可包括可同時輸送流體至多個容器的若干移液管。一些移液管還可從一個容器拾取流體然后輸送至另一個容器。
[0036]本發(fā)明提供了用于BioFET設(shè)備(諸如片上實(shí)驗(yàn)室設(shè)備)晶圓級芯片尺寸后處理和測試的系統(tǒng)。在不必為了在客戶現(xiàn)場完成測試而裝運(yùn)從而不會產(chǎn)生相應(yīng)延誤的情況下來檢驗(yàn)BioFET設(shè)備的功能和產(chǎn)量的能力使得在半導(dǎo)體代工廠大量生產(chǎn)生物醫(yī)學(xué)設(shè)備成為可能。晶圓級生物傳感器處理工具可集成后處理(感測表面官能化、送樣)和測試(光探測流體動力學(xué)和生物反應(yīng)、電探測設(shè)備特性)。晶圓級生物傳感器處理工具可通過所附接的顯微鏡實(shí)時監(jiān)測生物反應(yīng)。如果檢測到問題，晶圓級生物傳感器處理工具允許測試和診斷/故障排除。晶圓級生物傳感器處理工具還加快向BioFET設(shè)備的生產(chǎn)商的反饋。
[0037]本發(fā)明提供了晶圓級生物傳感器處理工具，其結(jié)合了用于在一個平臺進(jìn)行電處理的和生物處理和測試的各種功能。圖1是根據(jù)本發(fā)明的多個實(shí)施例的晶圓級生物傳感器處理工具100的示意圖。晶圓級生物傳感器處理工具100可封裝在腔室中以可用于環(huán)境控制。例如，多種處理和測試可在不同于周圍環(huán)境的溫度和壓力環(huán)境中執(zhí)行。腔室可包括進(jìn)氣口和出氣口以在處理和測試期間控制大氣成分。對于大批量生產(chǎn)，還可以將負(fù)載鎖和自動化晶圓托架/盒處理集成到晶圓級生物傳感器處理工具100中。
[0038]當(dāng)晶圓進(jìn)入晶圓級生物傳感器處理工具100時，已經(jīng)形成了 BioFET和電路。晶圓113放置在工具100中的晶圓載物臺103上。晶圓113以虛線示出，這是因?yàn)槠湓诜沁\(yùn)行狀態(tài)下不屬于晶圓級生物傳感器處理工具100的一部分。晶圓113可由晶圓傳輸機(jī)器人手臂(未示出)定位或者由操作員手動放置。晶圓載物臺103至少部分透明，以允許操作期間來自光源109的光線穿過晶圓載物臺傳輸光線。晶圓載物臺103可以是同時可處理或測試一個以上晶圓或工件的基架、基座或傳送帶。晶圓載物臺103可以在一個或多個方向上移動。根據(jù)多個實(shí)施例，晶圓載物臺103在至少兩個方向X和y上具有移動自由度。在一些實(shí)施例中，晶圓載物臺103可在3個方向上移動:x、y和z ;x、z和Θ (旋轉(zhuǎn))；或x、y和Θ (旋轉(zhuǎn))。晶圓載物臺103還可包括具有傳感器和加熱器/冷卻器的嵌入式溫度控制器，其中加熱器/冷卻器配置為通過傳導(dǎo)加熱或冷卻來改變晶圓113的溫度。在一些實(shí)施例中，晶圓載物臺103可容納部分晶圓(部分地成片狀)、管芯、封裝襯底上的多個管芯或封裝芯片。
[0039]晶圓級生物傳感器處理工具100還包括定位在晶圓載物臺103上方的集成電微流控探針卡101。集成電微流控探針卡101包括包含一個或多個流體探針127和一個或多個電探針123的流控底座121。流控底座121包括至少一組流體入口和流體出口 117，其接收來自流體供應(yīng)器115的測試流體或處理流體并使得使用過的流體返回至回流器116。圖2至圖4示出了集成電微流控探針卡的不同實(shí)施例，并且將更詳細(xì)地討論集成電微流控探針卡的各種特征。
[0040]集成電微流控探針卡101還包括一個或多個附接至集成電微流控探針卡的邊緣或側(cè)部的操作凸緣119。通過一個或多個卡固定臂125或者通過使用一個或多個操作凸緣119的顯微操作器手臂來固定和移動集成電微流控探針卡101。運(yùn)行期間，卡固定臂125在集成電微流控探針卡101上施加向下的力，以便于流體探針127倚靠著晶圓113密封。因此，配置卡固定臂125以至少在向下的方向上移動集成電微流控探針卡101。根據(jù)多種實(shí)施例，卡固定臂125具有能夠橫向以及垂直移動的可動關(guān)節(jié)和/或基座。
[0041]根據(jù)多種實(shí)施例，集成電微流控探針卡至少部分透明，使得位于集成電微流控探針卡101上部的顯微鏡111可透過流控底座121觀測晶圓113上的生物反應(yīng)。操作凸緣119以不阻礙光線向顯微鏡111傳播的方式定位。至少在流體探針127上部的部分流控底座121是透明的。顯微鏡111上部的光源107可用于透過集成電微流控探針卡101照亮晶圓或者通過分析物中具有特定波長的放射標(biāo)記觸發(fā)熒光或磷光。
[0042]顯微鏡111可以安裝至能夠記錄和測量使用顯微鏡捕獲的圖像的各種光學(xué)特征的相機(jī)。此外，顯微鏡111可以從晶圓載物臺103和集成電微流控探針卡101獨(dú)立地移動，以便透過透明的流控底座121僅集中于部分可見區(qū)域。
[0043]晶圓級生物傳感器處理工具100還包括能夠支撐多個探測工具(例如探針、劃片、噴嘴、吸管頭或電極)的一個或多個顯微操作器105。通過探測工具，少量的處理流體或測試流體可添加到晶圓113中或從晶圓113中提取出來。顯微操作器105可以通過操作界面來控制并具有足夠的移動精度來對準(zhǔn)被檢測BioFET設(shè)備的很小面積。例如，如果BioFET測試失敗，可以添加少量蝕刻劑以從晶圓的表面移除層或者移除部分感測表面以進(jìn)一步檢測失敗的原因。顯微操作器105可與顯微鏡111協(xié)同工作。例如，顯微操作器105可通過在晶圓載物臺103的特定區(qū)域滴些流體來校準(zhǔn)，該液滴可由附接至顯微鏡111的相機(jī)自動驗(yàn)證。在另一個實(shí)例中，操作員可通過使用顯微操作器105鋸或劃線來移除部分材料層，并通過透過顯微鏡111觀察來驗(yàn)證結(jié)果。
[0044]圖2包括集成電微流控探針卡201和晶圓113的部分221的截面圖。該集成電微流控探針卡201包括流控底座217。該流控底座217具有正對著晶圓部分221的主面251和正對著遠(yuǎn)離晶圓部分221的方向的另一主面253。一個或多個電探針213和一個或多個流體探針209在主面251上形成或安裝。一個或多個操作凸緣215靠近副面255在另一個主面253上形成或安裝或者在副面255上形成或安裝，以免阻礙從主面253觀察晶圓部分221。至少一個電子端口(未示出)、至少一個流體入口 203和至少一個流體出口 205布置在副面255上。詞語“主”和“副”的使用不意味著主面的表面積必定大于副面的表面積。相反，這些詞用于區(qū)分朝向晶圓的表面還是遠(yuǎn)離晶圓的表面還是正交于晶圓的表面。
[0045]電探針213包括導(dǎo)電材料制成的電探針頂端以及用于支撐電探針頂端并用于將電探針頂端電氣連接至流控底座217上的電子端口的底座。電探針頂端可由金屬制成并可包括彈性材料或接合點(diǎn)。電探針頂端處的導(dǎo)電材料可被配置以使用小于接觸焊盤223的面積的接觸面形成與晶圓部分221的表面上的接觸焊盤223的電接觸。
[0046]微流體通道207位于流控底座217內(nèi)部，其引導(dǎo)來自流體入口 203的流體通過流體探針209到達(dá)流體出口 205。微流體通道207可包括閥、泵、加熱器或與流體接觸的能夠控制或引導(dǎo)流體的其他設(shè)備。其他設(shè)備可包括能夠增加、減少或偏轉(zhuǎn)流體流動的各種電極。實(shí)例為用作磁泳(magnetophoresis)的磁鐵或鐵磁體或電極、用作電泳的金屬電極或者用作介電泳的特定介電材料。閥、泵和加熱器可以是微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)。微流體通道207還可包括各種傳感器和微傳感器，諸如壓力傳感器、流量計(jì)、溫度傳感器和連接至液流的電傳感器。
[0047]流體探針209包括用于引導(dǎo)去向和來自晶圓部分221的被測試流體的管道211。測試或處理期間，集成電微流控探針卡201定位在晶圓部分221的上部，以便集成電微流控探針卡201上的電探針213與晶圓部分221上的金屬焊盤223對準(zhǔn)，同時流體探針209與晶圓部分221上的BioFET阱229對準(zhǔn)。然后，集成電微流控探針卡201或者通過向上移動晶圓載物臺或者通過降低集成電微流控探針卡201來與晶圓221安裝，以在流體探針209與BioFET阱229之間形成密封。為形成密封，可使流控底座217和/或流體探針209變形。然而，流控底座217和流體探針209被設(shè)計(jì)為從晶圓上拆卸下來之后恢復(fù)它們的原始形狀，因此它們可以被再次使用。
[0048]流控底座217和流體探針209可由硅樹脂、環(huán)氧樹脂或光刻膠形成。在一些實(shí)施例中，流控底座217和流體探針209可由聚二甲基硅氧烷(PDMS)或聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)形成。在某些實(shí)施例中，流控底座217和流體探針209可由相同材料制成，其是生物兼容性材料并可以再次使用。在一些實(shí)施例中，材料是可模制的。
[0049]晶圓部分221在襯底225上形成，襯底225包括具有電接觸焊盤223的互連結(jié)構(gòu)231和位于封閉微流體孔229的微流體結(jié)構(gòu)227內(nèi)的感測表面233。在一些實(shí)施例中，微流體結(jié)構(gòu)227可基于感測表面233的定位而具有不同的結(jié)構(gòu)。例如,在一些實(shí)施例中，感測表面位于或臨近BioFET的柵極處，這允許微流體結(jié)構(gòu)227嵌入到互連結(jié)構(gòu)中。
[0050]在一些實(shí)施例中，可形成具有電探針、電子端口、流體入口和出口以及操作凸緣的流體安裝模塊。在電探針的同一側(cè)配備凹部。流體探針插頭被設(shè)計(jì)為補(bǔ)充BioFET設(shè)備上的微流體結(jié)構(gòu)。例如，如果在BioFET設(shè)備上具有包括入口和出口的孔結(jié)構(gòu)，那么可使用諸如圖2的流體探針209的管道式流體探針。如果在BioFET設(shè)備上沒有微流體結(jié)構(gòu)，那么可使用阱式微流控探針，其中，微流控探針圍繞并覆蓋BioFET上的感測表面。對流控底座上的凹部的使用使得同一流控底座可用于多個BioFET設(shè)備布局。對凹部用的使用還使得流體探針被移除而用于清潔。在其他實(shí)施例中，可形成流控底座和流體探針來用于每個BioFET設(shè)備。[0051]晶圓部分221可包括一個BioFET設(shè)備、部分BioFET設(shè)備或多個BioFET設(shè)備。在一些實(shí)施例中，集成電微流控探針卡201在不同位置具有很多流體探針和電探針，以使用一個集成電微流控探針卡同時測試多個BioFET設(shè)備。另一方面，具有一個或幾個流體探針和一個或幾個電探針的簡易的集成電微流控探針卡201可用于以類似的方式分別測試待檢測BioFET設(shè)備。在一個實(shí)例中，集成電微流控探針卡包括具有用于流體探針的凹部的流控底座。根據(jù)待測試的BioFET的數(shù)目和BioFET的位置，凹部可配置有流體探針或覆蓋不用于測試的凹部的盲法蘭(blank flange)。在一些實(shí)施例中，可添加或移除附加探針。這種集成電微流控探針卡可以是能夠測試不同BioFET設(shè)備的通用卡。
[0052]圖3和圖4均為集成電微流控探針卡實(shí)施例300和400的立體圖。在圖3中，集成電微流控探針卡300包括具有窗口 313的流控底座301，顯微鏡111 (圖1)透過該窗口313可記錄或觀測反應(yīng)。因?yàn)槭褂昧擞^測窗口，所以流控底座301可以是透明的或者可以是不透明的?？刂仆咕?03附接至流控底座301的頂面。電子端口 311也在流控底座301的頂面上形成。在其他實(shí)施例中，操作凸緣和電子端口可位于正交于晶圓113(圖1)的副面上。流體入口和出口 305在副面上形成。盡管在每個副面上僅示出了一個流體入口和出口，但是在流控底座301上可能有另外的流體入口和出口。此外，流體入口和出口 305可在流控底座301的同側(cè)或異側(cè)。在最靠近晶圓的主面上，布置有流體探針309和電探針307。在一些實(shí)施例中，電探針307是柔性的，以與晶圓上的接觸焊盤223 (圖2)形成可靠的電接觸。在某些實(shí)施例中，電探針是機(jī)械致動的，以通過顯微操作器手臂上的一個或多個關(guān)節(jié)的移動來接觸晶圓上的不同接觸焊盤223。除感測電氣性能之外，電探針還可用于提供偏置電壓或電流。
[0053]在圖4中，集成電微流控探針卡400包括具有窗口 413的流控底座401，通過顯微鏡111(圖1)透過該窗口 413可記錄或觀測反應(yīng)。因?yàn)槭褂昧擞^測窗口，所以流控底座401可以是透明的或者可以是不透明的。在圖4的實(shí)施例中，流體探針409是透明的以允許觀測。在這個實(shí)施例中，操作凸緣403附接至流控底座401的頂面。在其他實(shí)施例中，操作凸緣403附接在正交于晶圓113(圖1)的副面上。在一些實(shí)施例中，流體入口和出口 405和電子端口 411在流控底座401的副面上形成。盡管示出了三個流體入口和出口 405，但是在一些實(shí)施例中也可能有附加的流體進(jìn)出口。流控底座401在這個實(shí)施例中為圓柱形并僅具有一個副面。在最靠近晶圓113的主面上，布置有一個或多個流控底座409和電探針407。在一實(shí)施例中，電探針407是柔性的，以與晶圓上的接觸焊盤223(圖2)形成可靠的電接觸。在某些實(shí)施例中，電探針407是機(jī)械致動的，以通過顯微操作器手臂上的一個或多個關(guān)節(jié)的移動來接觸晶圓113上的不同接觸焊盤。除感測電氣性能之外，電探針407還可用于提供偏置電壓或電流。
[0054]圖5和圖6是根據(jù)本發(fā)明的多個實(shí)施例的測試和處理部分或完全裝配的BioFET設(shè)備的工藝流程圖。圖5是測試部分裝配或完全裝配的BioFET設(shè)備的方法500的工藝流程圖。在操作502中，形成集成電微流控探針卡。該操作由測試BioFET設(shè)備的設(shè)備執(zhí)行，其還可以是制造BioFET設(shè)備的同一設(shè)備。集成電微流控探針卡還可以由單獨(dú)設(shè)備(例如，制造商的客戶)形成。正如所討論的，該集成電微流控探針卡可包括多種運(yùn)行機(jī)制(例如，MEMS)以實(shí)現(xiàn)除測試之外的診斷檢查。
[0055]在操作504中，將工件在晶圓級生物傳感器處理工具的載物臺上對準(zhǔn)。工件包括部分裝配或者完全裝配的BioFET設(shè)備。工件可能是晶圓、部分晶圓(部分切割)、管芯、封裝襯底上的多個管芯或封裝芯片的形狀。盡管在這里對晶圓級生物傳感器處理工具的描述集中于晶圓處理，但是所討論的概念可應(yīng)用于其他工件形狀和類型。在一些實(shí)施例中，可使用工件上的對準(zhǔn)標(biāo)記或壓痕光學(xué)地或機(jī)械地確認(rèn)對準(zhǔn)。
[0056]在操作506中，集成電微流控探針卡安裝至工件的設(shè)備區(qū)。正如所討論的，該安裝包括集成電微流控探針卡朝向工件移動或者工件朝向集成電微流控探針卡移動。安裝后，集成電微流控探針卡上的一個或多個流體探針倚靠著通常位于感測表面上(例如，感測表面233(圖2))的工件的部分設(shè)備區(qū)密封，該工件可包括或不包括微流體結(jié)構(gòu)上的接觸。此夕卜，集成電微流控探針卡上的的電探針(例如，電探針213(圖2))還與工件上的接觸焊盤的形成電接觸。
[0057]在操作508中，使測試流體流動至集成電微流控探針卡。在一些實(shí)施例中，測試流體流過一個或多個流體入口，例如流體入口 203 (圖2)。該測試流體可包括生物物質(zhì)或生物物質(zhì)的代替物以測試BioFET。集成電微流控探針卡上的各種流動機(jī)制可向具有感測表面的一個或多個微流體孔或通道輸送或引導(dǎo)測試流體。此外，在操作510和512中，晶圓可暴露于光中，然后可通過透明的流控底座或流控底座中的觀測窗口測量流體性能或光輻射等級。例如，可在感測表面上部的微流體阱中添加或混合兩種測試流體。顯微鏡(例如，顯微鏡11 (圖1))可通過測量特定頻率下的光輻射等級來記錄反應(yīng)程度，例如，可在輻照之后透過透明流控底座或透過觀測窗口通過顯微鏡測量該反應(yīng)引起的光子輻射。
[0058]在操作514中，通過一個或者多個電探針頂端來測量一個或者多個BioFET基于測試流體的變化。測試流體包括當(dāng)附接至感測表面時會改變BioFET的電氣性能的材料。當(dāng)選擇性施加電壓或電流時，電探針頂端可測量電壓或電流。在一些實(shí)施例中，電探針頂端在測試流體流動之前和之后感測通過BioFET的電流中的差異。感測到的變化與設(shè)計(jì)所期望的結(jié)果比較，同時還與基于顯微鏡的光學(xué)測量的期望結(jié)果比較。如果感測的變化與期望結(jié)果匹配，那么BioFET設(shè)備正如所設(shè)計(jì)和制造的運(yùn)行正常且通過測試。
[0059]在一些實(shí)施例中，電探針頂端為BioFET設(shè)備提供電能用于BioFET設(shè)備對測試流體進(jìn)行測試和分析。測試結(jié)果被提供給晶圓級生物傳感器處理工具并與期望結(jié)果比較。在這種情況下，在提供測試結(jié)果之前，由BioFET設(shè)備執(zhí)行信號處理和進(jìn)一步的操作。BioFET設(shè)備可根據(jù)測試的對象由多個測試和分析程序預(yù)編程，這些程序由晶圓級生物傳感器處理工具激活。例如，一種測試可聚焦于感測表面保持受體的能力。包括可由顯微鏡檢測的對受體具有很好親和性的標(biāo)記或著色的測試流體可用于測試感測表面。顯微鏡數(shù)據(jù)與來自電探針頂端的數(shù)據(jù)比較，以檢驗(yàn)受體是否附接至感測表面。另一種測試可集中于晶體管柵極對多個綁定標(biāo)記中的細(xì)微變化的靈敏度?？稍O(shè)計(jì)出多個測試程序并且結(jié)果可用于調(diào)整BioFET設(shè)備設(shè)計(jì)和/或制造工藝。
[0060]在操作516中，在測試和讀取之后，測試流體可從集成電探針卡流出。該流出過程包括抽真空、增加清洗液流(例如，去離子水、惰性流體或氣體)并干燥。在生物材料用于測試的一些情況下，在進(jìn)一步處理之前，流控底座和BioFET設(shè)備中的流體通道被沖洗和清潔。感測表面上的一些受體會需要濕潤或其他防腐技術(shù)以防止在擱置或裝運(yùn)期間劣化或剝離。
[0061]在操作518中，BioFET設(shè)備可基于測試工藝期間BioFET的性能被標(biāo)記為“通過”或“未通過”。該標(biāo)記可以是通過劃線或以其他方式在BioFET設(shè)備上做標(biāo)記的物理標(biāo)記。該標(biāo)記還可以是非物理性標(biāo)記，例如通過將缺陷的數(shù)量和位置錄入數(shù)據(jù)庫。如果可能，標(biāo)記的BioFET設(shè)備可進(jìn)行進(jìn)一步處理以糾正檢測到的問題或者從制造過程中移除。
[0062]在操作520中，集成電微流控探針卡被從設(shè)備區(qū)移除并移動到下一個設(shè)備區(qū)。如果集成的電探針卡已經(jīng)測試完晶圓上的所有設(shè)備，那么集成電微流控探針卡移動到遠(yuǎn)離晶圓的起始位置。在一些實(shí)施例中，僅晶圓上的某些測試設(shè)備用于方法500。例如，一些BioFET設(shè)備設(shè)計(jì)旨在作為單次使用，測試會限制為代表晶圓上剩余BioFET設(shè)備的成品率的晶圓上的幾個測試BioFET設(shè)備。對于可重復(fù)使用的更加復(fù)雜的設(shè)計(jì)或?yàn)榱蓑?yàn)證制造過程，需要測試每個BioFET設(shè)備。
[0063]方法500包括一些光學(xué)操作。例如，形成集成電微流控探針卡的操作502可由另一個設(shè)備執(zhí)行。在一些情況下，可以使用通用的集成電微流控探針卡。如果使用的標(biāo)記不是光致發(fā)光或者具有其他光探測特性(諸如染色)，則可以省略利用光學(xué)測量的操作510和512。如果BioFET為單次使用的BioFET，則可以省略使測試流體從BioFET設(shè)備和集成電微流控探針卡中涌出。將集成電微流控探針卡從晶圓上移除之后，集成的電子流流體探針卡不會移動到測試工件上的另一位置。正如所討論的，該工件不是在其上具有很多設(shè)備的整體晶圓。
[0064]方法500包括一些可選操作。例如，通過使不同的測試流體流動或者通過在操作516之后沿著虛線返回至操作508來改變測試流體流動特性可執(zhí)行多個測試。通過在操作520之后沿著虛線至操作506可測試多個設(shè)備區(qū)。
[0065]除測試之外，晶圓級生物傳感器處理工具還可用于執(zhí)行一些處理，諸如在感測表面和微流體結(jié)構(gòu)中的其他流體表面上建立理想的化學(xué)反應(yīng)(諸如涂覆和附接受體)。圖6是用于在BioFET設(shè)備上后加工處理的方法600的工藝流程圖。在操作602中，形成集成電微流控探針卡。正如所討論的，集成電微流控探針卡可包括多種操作機(jī)構(gòu)(例如，MEMS)。
[0066]在操作604中，將工件在晶圓級生物傳感器處理工具上對準(zhǔn)。工件包括部分裝配或完全裝配的BioFET設(shè)備。工件可以是晶圓(例如晶圓113(圖1))、部分晶圓(例如，晶圓部分221 (圖2)(部分地切割))、管芯、位于封裝襯底上的多個管芯或封裝芯片部分的形狀。使用工件上的對準(zhǔn)標(biāo)記或壓痕來光學(xué)地或機(jī)械地確認(rèn)對準(zhǔn)。在操作606中，集成電微流控探針卡安裝至工件的設(shè)備區(qū)。該操作與圖5的操作506相同。
[0067]在操作608中，流體在工件的設(shè)備區(qū)標(biāo)識(stamp)或標(biāo)記(print)。在一些實(shí)施例中，流體探針在設(shè)備區(qū)表面上形成密封以當(dāng)流體流過流體探針時在表面上有效地形成圖案。流體探針可在流體探針的接觸設(shè)備區(qū)的表面上包括另外的圖案。可交替地或連續(xù)地應(yīng)用一種或多種流體以實(shí)現(xiàn)期望的化學(xué)反應(yīng)。在一些實(shí)施例中，流體探針可包括與能夠釋放由流體探針限定的區(qū)域中的一定量的流體的打印頭(printer head)類似的噴嘴。在一個實(shí)例中，受體的自對準(zhǔn)單層可通過壓印在設(shè)備區(qū)表面上來應(yīng)用。在其他實(shí)施例中，通過圖案化流體探針來獲得標(biāo)記效果，使得表面的一個或多個部分可由流體潤濕而表面的其他部分沒有被流體潤濕。然后，流體探針暴露在流體中并且圖案化部分通過標(biāo)記轉(zhuǎn)移至設(shè)備區(qū)表面。另一種標(biāo)記效果可使用流體滲透性材料作為流體探針表面，并且圖案化部分表面以便其不會被流體滲透。一個實(shí)例是使用多孔介電材料作為流體探針表面并使用非介電材料涂覆部分流體探針表面。當(dāng)流體流過安裝在設(shè)備區(qū)上的集成電微流控探針卡時，流體流過介電材料并在設(shè)備區(qū)表面上印記圖案。本領(lǐng)域技術(shù)人員可使用前述技術(shù)中的一個或多個或本領(lǐng)域技術(shù)人員已知的其他技術(shù)設(shè)計(jì)在設(shè)備區(qū)上標(biāo)識或標(biāo)記圖案的流體探針。
[0068]在操作610中，流體可從集成電微流控探針卡中流出。正如關(guān)于圖5的操作516所論述的，流出過程可涉及多種流體和氣體。如果標(biāo)識或標(biāo)記需要使用不同流體的組合應(yīng)用，那么在操作612中改變流體。在一些實(shí)施例中，可使用一種流體和化學(xué)品反應(yīng)首先處理設(shè)備區(qū)的感測表面，然后使用另一種流體和化學(xué)品反應(yīng)處理附接的受體。例如，為使用模塊的自組裝單層(SAM)，第一步可能是標(biāo)記圖案以處理感測表面。下一步可能是附接硅烷基團(tuán)、甲娃燒基、娃燒醇基團(tuán)、勝酸基、胺基、硫醇基、燒基、稀基、塊基、置氣基或環(huán)氧基團(tuán)的頭部基團(tuán)。在頭部基團(tuán)形成之后，受體附接至SAM的頭部基團(tuán)。如果在操作612中改變流體，則處理過程沿著虛線返回至操作608。
[0069]在操作614中，集成電微流控探針卡從設(shè)備區(qū)移除并移動至下一個設(shè)備區(qū)。操作614與圖5的操作520相同。
[0070]根據(jù)本發(fā)明的一個方面涉及集成電微流控探針卡，其具有透明流控底座、流控底座中的微流體通道、至少一個微流控探針和多個微流控探針頂端、流體入口和出口、一個或多個電子端口以及一個或多個操作凸緣。流控底座具有第一和第二主面以及位于第一和第二主面之間的副面。微流控探針和電探針布置在第一主面上。至少一個流體入口和至少一個流體出口布置在流控底座的一個或多個副面上。至少一個微流控探針流體連通至多個微流體通道中的一個，流控底座上的電子端口電氣連接至多個電探針頂端。
[0071]在另一個實(shí)施例中，本發(fā)明涉及晶圓級生物傳感器處理工具，其具有晶圓載物臺、可拆卸地附接至卡固定臂上的集成電微流控探針卡以及流體供應(yīng)器和回流器。配置卡固定臂以移動集成電微流控探針卡以倚靠著晶圓載物臺上的晶圓密封至少一個微流控探針并通過晶圓上的導(dǎo)電表面電接觸多個電探針頂端。晶圓級生物傳感器處理工具還可包括顯微鏡、至少一個光源和顯微操作器。
[0072]在又一個方面中，本發(fā)明涉及用于測試部分制成生物傳感器設(shè)備晶圓的方法。該方法包括對準(zhǔn)晶圓級生物傳感器處理工具的晶圓載物臺上的部分制成生物傳感器設(shè)備晶圓、經(jīng)由卡固定臂將集成電微流控探針卡安裝至部分裝配的生物傳感器設(shè)備晶圓上的設(shè)備區(qū)以在集成電微流控探針卡上的流體探針和設(shè)備區(qū)之間形成密封并使集成電微流控探針卡上的一個或多個電探針頂端電接觸設(shè)備區(qū)的導(dǎo)電表面、使測試流體從流體供應(yīng)器流動至集成電微流控探針卡以及經(jīng)由一個或多個電探針頂端基于測試流體流動電氣測量設(shè)備區(qū)的一個或多個生物場效應(yīng)晶體管的電氣性能。
[0073]在另一個方面中，本發(fā)明涉及用于制造生物傳感器設(shè)備晶圓的方法。該方法包括:在晶圓上形成生物場效應(yīng)晶體管、非生物場效應(yīng)晶體管和互連結(jié)構(gòu)；將晶圓在晶圓級生物傳感器處理工具的晶圓載物臺上對準(zhǔn)；經(jīng)由顯微操作器臂將集成電微流控探針卡安裝至晶圓上的設(shè)備區(qū)以在集成電微流控探針卡和晶圓的設(shè)備區(qū)之間形成密封；以及標(biāo)識或標(biāo)記晶圓上的設(shè)備區(qū)中的流體。
[0074]在描述這些實(shí)施例中的一個或多個時，本發(fā)明可提供相對于現(xiàn)有技術(shù)設(shè)備的若干優(yōu)勢。在接下來對優(yōu)勢或利益的討論中，應(yīng)當(dāng)注意，這些優(yōu)勢和/或結(jié)果可在一些實(shí)施例中示出，但是并非需要在每個實(shí)施例中示出。此外，應(yīng)當(dāng)理解，這里公開的不同實(shí)施例提供了不同的特征和優(yōu)勢，并且可以形成各種變化、替代和變型而不偏離本發(fā)明的主旨和范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種集成電微流控探針卡，包括: 透明流控底座，所述流控底座具有第一主面和第二主面以及位于所述第一主面和所述第二主面之間的至少一個副面； 多個微流體通道，位于所述流控底座中； 至少一個微流控探針和多個電探針頂端，布置在所述第一主面上，所述至少一個微流控探針連接至所述多個微流體通道中的至少一個； 至少一個流體入口和至少一個流體出口，位于所述流控底座的一個或多個副面上； 輸入/輸出電端口，位于所述流控底座上，電連接至所述多個電探針頂端；以及 一個或多個操作凸緣，附接至所述流控底座。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電微流控探針卡，還包括:連接至所述多個微流體通道的壓力傳感器、流量計(jì)或溫度傳感器中的一個或多個。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電微流控探針卡，還包括:連接至所述多個微流體通道的電磁電極或鐵磁電極以及用于控制所述電磁電極或所述鐵磁電極的控制器。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電微流控探針卡，還包括:位于所述多個微流體通道中的閥、泵、加熱器或它們的組合。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電微流控探針卡，其中，所述流控底座包括硅樹脂、環(huán)氧樹脂或光刻膠。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電微流控探針卡，其中，所述流控底座包括聚二甲硅氧烷(PDMS)或聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)。
7.一種晶圓級生物傳感器處理工具，包括: 晶圓載物臺； 集成電微流控探針卡，可拆卸地附接至卡固定臂，所述集成電微流控探針卡包括: 流控底座，所述流控底座具有第一主面和第二主面以及位于所述第一主面和所述第二主面之間的至少一個副面； 多個微流體通道，位于所述流控底座中； 至少一個微流控探針，設(shè)置在所述第一主面上，所述至少一個微流控探針流體連通至所述多個微流體通道中的至少一個； 多個電探針頂端，設(shè)置在所述第一主面上； 至少一個流體入口和至少一個流體出口，位于所述流控底座的一個或多個副面上； 輸入/輸出電端口，位于所述流控底座上，電連接至所述多個電探針頂端；和 一個或多個操作凸緣； 流體供應(yīng)器，可拆卸地連接至所述集成電微流控探針卡的所述至少一個流體入口 ；以及 回流器，可拆卸地連接至所述集成電微流控探針卡的所述至少一個流體出口 ； 其中，所述卡固定臂被配置為移動所述集成電微流控探針卡以緊靠晶圓載物臺上的晶圓密封所述至少一個微流控探針并使所述多個電探針頂端與所述晶圓上的導(dǎo)電表面電接觸。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的晶圓級生物傳感器處理工具，還包括: 位于所述晶圓載物臺上方的顯微鏡；以及被配置為照亮所述晶圓載物臺上的晶圓的至少一個光源； 其中，所述流控底座是透明的。
9.一種用于測試部分制成的生物傳感器設(shè)備晶圓的方法，所述方法包括: 在晶圓級生物傳感器處理工具的晶圓載物臺上對準(zhǔn)所述部分制成的生物傳感器設(shè)備晶圓; 將集成電微流控探針卡安裝至所述部分制成的生物傳感器設(shè)備晶圓上的設(shè)備區(qū)； 在所述集成電微流控探針卡上的流體探針與所述設(shè)備區(qū)之間形成密封； 將所述集成電微流控探針卡上的一個或多個電探針頂端電連接至所述設(shè)備區(qū)的導(dǎo)電區(qū)域； 使測試流體從流體供應(yīng)器流動至所述集成電微流控探針卡；以及基于測試流體流，通過所述一個或多個電探針頂端電氣測量所述設(shè)備區(qū)的一個或多個生物場效應(yīng)晶體管的電性能。
10.一種制造生物傳感器設(shè)備晶圓的方法，所述方法包括: 在晶圓上形成生物場效應(yīng)晶體管、非生物場效應(yīng)晶體管和互連結(jié)構(gòu)； 在晶圓級生物傳感器處理工具的晶圓載物臺上對準(zhǔn)所述晶圓； 將集成電微流控探針卡安裝至所述晶圓上的設(shè)備區(qū)，以在所述集成電微流控探針卡上的流體探針與所述晶圓的所述 設(shè)備區(qū)之間形成密封； 標(biāo)識或標(biāo)記所述晶圓上的所述設(shè)備區(qū)中的流體。
【文檔編號】B81B7/00GK103803479SQ201310039862
【公開日】2014年5月21日 申請日期:2013年1月31日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月9日
【發(fā)明者】劉怡劭, 賴飛龍, 鄭創(chuàng)仁, 鄭鈞文 申請人:臺灣積體電路制造股份有限公司